CN101784467A - 用于无接触地输送和保持物体或材料的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于输送和保持对接触敏感的零件或材料的装置，具有如下特征：至少一个能振动的板状受料器(2)，用于接受要被输送或者保持的物体，该受料器上固定有至少一个振动发生器(3)；和至少二个支撑元件(4)，其中所述振动发生器(3)设置在板状受料器(2)的预定位置上，以使板状受料器产生弯曲振动，在支撑元件(4)所在的位置上，弯曲振动的振幅至少小于最大振幅的50％，振动发生器(3)的工作频率使得板状受料器(2)产生振动，该振动使零件或材料无接触地悬浮。

Description

用于无接触地输送和保持物体或材料的装置
本发明涉及一种用于无接触地输送和保持物体或材料的装置。
现有技术中公知有各种用于将平坦物体，如零件、容器或者材料沿着一条输送轨道无接触地输送或者保持在一特定的位置的技术。应用广泛的是使用气垫的输送装置，所述气垫借助于大量的喷嘴生成。但这种所谓的空气支架具有各种各样的缺陷。喷嘴恒定地喷出气体或者一种其他气体，也就是说，该过程消耗了气体。因为通常该气体必须先被清洁，所以会产生额外费用。在可调整性方面，该空气支架相当迟缓，还会产生粒子涡流，这例如在使用清洁室时是不希望发生的。
这些缺陷在原理上可以通过采用其它技术来克服。从专利文件US 5810155得知一种根据声压原理运行的输送装置。它被描述成一个输送轨道，其上连接了一个振动发生器。输送轨道产生振动，因此在输送轨道上的平面零件基于所产生的气垫而悬浮，也就是说，与输送轨道在任何时刻都没有接触。公知的是，这时产生驻波，该驻波仅仅引起零件的悬浮。还公知，产生使零件沿着输送轨道移动的行波。
该现有技术的其它改造可以从文件DE 19916922、DE 19916923、DE 19916859和DE 19916872中获悉。
至此所描述的以及基于实验室所建造的此类装置表明，在一个振动的输送轨道上对零件进行无接触输送或保持在原理上是可行的。
然而，在实际应用的尝试中，当被输送的零件比薄的硅晶片或者类似的轻材料要重时，出现了明显的问题，需要说明的是：输送轨道有自重和特定的振动特征。当输送轨道空载运转时，即，其上没有悬空的零件，轨道的振动方式能准确地被计算出来。但是当输送轨道由于要被输送的零件而具有不同的负荷时，共振条件不断地变化，因此输送轨道的振动方式也不断地变化。这会导致，在输送轨道的一定的区段上，气垫不够厚，因而零件可能与输送轨道相接触。为了确保避免这种接触，输送轨道和振动发生器的尺寸的确定必须保证在大负载下输送轨道在输送带的所有位置上都能够有足够强的振动。但这需要使用更强的振动发生器，因此设备花费和能量花费都提高了。
已表明，当需要输送一立方米量级的大平面的且重的零件时，例如，在输送玻璃板时，根据上述原理，输送设备的建造和运行成本过高。对此，在输送轨道的下方需要将多个振动发生器一个接一个地或者必要时并排地设置。这样设备花费明显提高。一个更大的问题是，这些振动发生器必须彼此精确地校准，这样输送轨道才能够产生所希望的最佳的振动方式。因为振动发生器本身会出现一定的老化，这使得振动方式发生微小变化，必须借助调节来调整输送轨道的振动方式。因为只有当输送轨道的振动持续被测量出来时才有可能进行所述调节，所以这一技术由于过度高的技术代价而没有实施。
因此本发明的任务在于，提供一种借助声波振动的技术，其不仅适合于输送和保持小平面的且轻的零件，而且适用于输送和保持大平面的且重的零件。
此任务通过要求1所述的装置来完成。按照本发明的用于输送和保持零件的装置具有至少一个能振动的板状受料器。该受料器用于承载要被输送或者被保持的物体。
在能振动的板状受料器上固定有至少一个振动发生器和至少两个支撑元件，其中振动发生器设置在受料器上的一预定位置上，以使受料器发生弯曲振动。支撑元件被固定在特定位置上，在该位置上，弯曲振动的振幅至少比最大振幅小50％。振动发生器将以一定频率工作，使得板状受料器产生一定振动，使其上物体或材料悬浮在气体膜或空气膜上。该气体膜起着垫子的作用，且阻止零件压在受料器上。
本发明将所提出的任务完全予以完成。因此例如可以，在一输送带上构造一个一米长宽的部分，其上装有一个单独的振动发生器来运送平面重量至多100千克/平方米的重玻璃片。因为被动支撑点仅仅是机械的固定连接，比如螺钉连接，这样的输送带的制造价格与现有技术相比非常低。设备重量也明显降低，因为各个螺钉连接机构比一个振动受料器(假如采用振动受料器代替螺钉连接机构)要轻很多。本发明因此第一次使超声悬浮技术得到广泛的实际应用。
按照权利要求2，支撑元件具有或者被构造成被动的减震器。该减震器抑制多余振动，这种多余的振动有时可能导致在支撑点上产生不希望的噪声。机械振动技术领域人员利用所属测量技术的相关知识，能够基于测量确定减震器安装的位置。
按照权利要求3，支撑元件具有主动的振动发生器。此振动发生器以一定频率振动，在该频率下，不希望的多余振动被抵消。当在少数支撑位置上出现了很难采用被动的方式抑制的多余振动时，就会需要这些措施。
按照权利要求4，被动减震器是可调节或可调整的。这样就可以达到更好的减震特性。可调节或可调整的被动减震器的结构是公知的，因此不必对其进行详细描述。
按照权利要求5，主动减震器是可调节或可调整的。这样就可以达到更好的抵消特性。可调节或可调整的主动减震器的结构同样是公知的，因此不对其进行详细阐述。
按照权利要求6，板状受料器被做成二维的拱形。这例如有利于比如带状材料，例如纸无接触地转向。
按照权利要求7，板状受料器被做成三维的拱形。这例如有利于比如将三维成形的材料例如薄片无接触地保持在受料器上，以便能够在所述片的顶面上执行一道加工工序。
按照权利要求8，振动发生器设置在板状受料器的顶面上，支撑元件设置在板状受料器的底面上。当在底面上没有足够的空间供使用时，这一方案是有利的。本领域技术人员知道，所述一个或多个振动发生器必须被固定在不会阻碍例如零件或材料输送的位置上。这将在本实施例的进一步的描述中予以说明。
下面结合实施例和附图进一步阐述本发明。
图1为本发明的第一种实施方式的示意性的俯视图；
图2为第一种实施方式的从下方观察的立体图；
图3示出图2中带有主要元件的情形。
图4为本发明的第二种实施方式的示意性的俯视图。
图1至图3为本发明的第一种实施方式的示意图。由铝合金AlMg4.5MN0.7制成的平板2，其尺寸为980mm×980mm，厚度为15mm，借助于位置3’处的振动发生器3，以20KHz的频率振动。在此情况下，形成分布在平板表面上的固定的振动形式，该振动形式在预设位置具有最大振动和最小振动。由4’所标记的4个位置形成最小振动。在这些位置，平板2用由塑料所制成的螺钉4拧紧。这些塑料螺钉4作用为被动的减震器。
图4为本发明的第二种实施方式的立体示意图。一个弯曲的板状受料器2用于使得两个薄片1a和1b的转向。附图标记3’表示两个激发点，振动发生器3(未示出)从外部设置在这两个激发点上。附图标记4示意性地表示两个支撑元件4，其上支撑着弯曲薄板2。当以预定频率激发板2时，在该板表面与薄片之间形成空气薄膜，这样薄片1a、1b与薄板表面就无接触。
本领域技术人员知道，合适的激发点及其数量的选择、合适的支撑点的选择都取决于技术参数。本领域技术人员运用公知的方法能够确定这些参数。本领域技术人员同样还要考虑其他可能影响装置的振动特性的参数，比如说周围气体(如空气)的特性。

Claims (8)

1.用于输送和保持平面的物体和材料(1)的装置，其中该装置具有以下特征：
-至少一个能振动的板状受料器(2)，用来接受要被输送或被保持的物体，
-在所述受料器上至少固定一个振动发生器(3)；
-和至少两个支撑元件(4)，
-其中振动发生器(3)被设置在板状受料器(2)的预定位置上，以便使得板状受料器(2)发生弯曲振动，支撑元件(4)被设置在如下位置上，即在所述位置上，弯曲振动的振幅至少比最大振幅小50％，
-振动发生器(3)以一定的频率工作，该频率使得板状受料器(2)发生振动，从而受料器上的物体或者材料(1)悬浮在气体膜或者空气膜上。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：支撑元件(4)具有被动的减震器。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于：支撑元件(4)具有主动的减震器。
4.如权利要求2所述的装置，其特征在于：，该被动的减震器是可调节或可调整的。
5.权利要求3所述的装置，其特征在于：该主动的减震器是可调节或可调整的。
6.如上述任一权利要求所述的装置，其特征在于：板状受料器(2)呈二维拱形。
7.如权利要求1至5所述的装置，其特征在于：板状受料器(2)呈三维拱形。
8.如上述任一权利要求所述的装置，其特征在于：振动发生器(3)设置在板状受料器(2)的顶面上，而支撑元件(4)设置在该板状受料器(2)的底面上。
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WO (1) WO2008122283A2 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105083989A (zh) * 2014-05-12 2015-11-25 康宁精密素材株式会社 无需接触抓取基底的装置
CN105683076A (zh) * 2013-11-04 2016-06-15 康宁精密素材株式会社 张力控制装置及使用该装置的连续幅材处理方法
CN113357263A (zh) * 2021-06-25 2021-09-07 合肥工业大学 一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置及控制方法

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009010164A1 (de) 2009-02-23 2010-09-02 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum berührungslosen Erfassen von Glasplatten
DE202009002567U1 (de) 2009-02-23 2009-06-25 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen von Glasplatten
DE102009003556A1 (de) * 2009-03-02 2010-09-09 Krones Ag Verpackungsmaschine und Verfahren zu deren Steuerung
DE102012110149B4 (de) * 2012-10-24 2019-02-07 Leonhard Kurz Stiftung & Co. Kg Heißprägevorrichtung
JP6113355B2 (ja) 2013-07-22 2017-04-12 ツェットエス−ハンドリング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＺＳ−Ｈａｎｄｌｉｎｇ ＧｍｂＨ 被加工物表面および帯状材料を検査するための装置
WO2015010680A2 (de) * 2013-07-22 2015-01-29 Zs-Handling Gmbh Vorrichtung zur oberflächenbehandlung oder -bearbeitung
KR101520744B1 (ko) * 2013-11-04 2015-05-15 코닝정밀소재 주식회사 비접촉 진동 억제장치 및 대상물 가공방법
KR101515806B1 (ko) 2013-11-04 2015-05-04 코닝정밀소재 주식회사 시트 제조방법 및 제조장치
KR101515807B1 (ko) * 2013-11-04 2015-05-07 코닝정밀소재 주식회사 롤 제조방법 및 제조장치
KR101548310B1 (ko) * 2013-12-30 2015-08-28 코닝정밀소재 주식회사 필름 부착 방법 및 장치
WO2016081353A1 (en) 2014-11-17 2016-05-26 Corning Incorporated Ultrasonic near field hot glass transportation and forming
US9620006B2 (en) 2014-11-21 2017-04-11 At&T Intellectual Property I, L.P. Systems, methods, and computer readable storage devices for controlling an appearance of a surface using sound waves
EP4012358A1 (de) 2020-12-10 2022-06-15 Mettler-Toledo Garvens GmbH Produkttransport in dynamischen inspektionssystemen

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6637585B2 (en) * 2000-11-07 2003-10-28 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Apparatus for levitating and transporting object

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5890580A (en) 1993-07-12 1999-04-06 Kaijo Corporation Object levitating apparatus, object transporting apparatus, and object levitating bearing along with an object levitating process and object transporting process
DE19844796C2 (de) * 1998-09-30 2003-10-30 Feintool Internat Holding Lyss Schienenartige Förderstrecke
DE19916922B4 (de) 1999-04-14 2006-07-27 Technische Universität München Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von Bauteilen und System zum Handhaben und Lagern derselben
DE19916872C1 (de) 1999-04-14 2000-04-13 Inst Werkzeugmaschinen Und Bet Vorrichtung zum berührungslosen Lagern von Bauteilen
DE19916859C1 (de) 1999-04-14 2001-01-04 Inst Werkzeugmaschinen Und Bet Vorrichtung zum berührungslosen Greifen und Positionieren von Bauteilen
DE19916856A1 (de) 1999-04-14 1999-09-23 Eckert Gmbh Dr Verfahren zur Herstellung von Carbonyldichlorid aus Chlor und Kohlenmonoxid
DE19916923B4 (de) 1999-04-14 2004-07-08 Technische Universität München Vorrichtung zum berührungslosen senkrechten Transportieren von Bauteilen
JP3928343B2 (ja) * 2000-09-20 2007-06-13 株式会社豊田自動織機 物体浮揚装置の制御方法及び物体浮揚装置
US6802220B2 (en) * 2000-10-26 2004-10-12 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Apparatus for transporting levitated objects
JP4003568B2 (ja) * 2001-07-27 2007-11-07 株式会社豊田自動織機 物体浮揚装置、物体搬送装置及び荷取り装置
JP3804512B2 (ja) * 2001-10-26 2006-08-02 株式会社豊田自動織機 振動子駆動用電源装置
JP2003159566A (ja) * 2001-11-27 2003-06-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波振動子と駆動装置及び加熱装置
US7036653B2 (en) * 2002-01-29 2006-05-02 Siemens Technology-To-Business Center Llc Load manipulation system
WO2004076320A1 (de) 2003-02-25 2004-09-10 Technische Universität München Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und positionieren von bauteilen
JP2005119839A (ja) * 2003-10-17 2005-05-12 Toyota Industries Corp 物体浮揚装置
DE10352944A1 (de) * 2003-11-11 2005-06-23 Technische Universität München Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren, Handhaben und Lagern von Bauteilen und Materialien

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6637585B2 (en) * 2000-11-07 2003-10-28 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Apparatus for levitating and transporting object

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105683076A (zh) * 2013-11-04 2016-06-15 康宁精密素材株式会社 张力控制装置及使用该装置的连续幅材处理方法
CN105083989A (zh) * 2014-05-12 2015-11-25 康宁精密素材株式会社 无需接触抓取基底的装置
CN105083989B (zh) * 2014-05-12 2017-11-17 康宁精密素材株式会社 无需接触抓取基底的装置
CN113357263A (zh) * 2021-06-25 2021-09-07 合肥工业大学 一种挤压膜辅助稳压的静压气浮支承装置及控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100057530A (ko) 2010-05-31
EP2244961A2 (de) 2010-11-03
ES2380977T3 (es) 2012-05-22
DE102007016840A1 (de) 2008-10-16
US20110311320A1 (en) 2011-12-22
JP5583004B2 (ja) 2014-09-03
KR101507185B1 (ko) 2015-04-06
ATE537094T1 (de) 2011-12-15
EP2244961B1 (de) 2011-12-14
DE202007019012U1 (de) 2010-04-15
WO2008122283A2 (de) 2008-10-16
WO2008122283A3 (de) 2008-12-31
US8794877B2 (en) 2014-08-05
JP2010523436A (ja) 2010-07-15

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