CN101770071A - 光学扫描组件 - Google Patents

Abstract

一种光学扫描组件，应用于投影机中。其包括一基板、一驱动组件以及一光反射组件。驱动组件配置在基板上，并具有一第一开口。驱动组件能受一时变磁力的驱动而沿着一第一转轴摆动。光反射组件具有一反射面，并配置在第一开口内。光反射组件能受一劳伦兹力的驱动沿着一第二转轴摆动。第一转轴实质上与第二转轴垂直。第一转轴与第二转轴实质上与反射面平行。本发明通过时变磁力与劳伦兹力，能让光反射组件沿着第一转轴P1与第二转轴P2摆动，进而让光反射组件所反射的光线作水平方向扫描与垂直方向扫描，以在屏幕上投影出影像。

Description

光学扫描组件

技术领域

本发明涉及一种光学扫描组件，特别是一种利用时变磁力和劳伦兹力来驱动的光学扫描组件。

背景技术

在现今微机电(Micro electro mechanical system，MEMS)的技术领域中，目前已发展出一种光学组件：扫描微镜(Micro Scanning Mirror)，而这种光学组件可以应用在扫描仪(scanner)、条形码机(bar code)以及投影机(projector)中。

目前应用在投影机中的扫描微镜有多种类型，其中一种类型为循序扫描式(raster-scanned)扫描微镜。这种类型的扫描微镜通常应用在虚拟投影机(virtual projector)以及激光投影机(laser projector)中。

详细而言，循序扫描式扫描微镜通常包括一镜面组件，其可以反射投影光源所发出的光线。镜面组件可以沿着二个互相垂直的转轴来摆动，以至于镜面组件能将其所反射的光线作水平方向扫描与垂直方向扫描。通过水平方向扫描与垂直方向扫描，镜面组件所反射的光线得以投射在屏幕上，并且形成影像。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种应用在投影机中光学扫描组件。

为了实现上述目的，本发明公开了一种光学扫描组件，包括一基板、一驱动组件以及一光反射组件。驱动组件配置于基板上，并具有一第一开口。驱动组件能受一时变磁力(time-varied magnetic force)的驱动而沿着一第一转轴摆动。光反射组件具有一反射面，并配置在第一开口内。光反射组件能受一劳伦兹力的驱动沿着一第二转轴摆动。第一转轴实质上与第二转轴垂直，而第一转轴与第二转轴实质上与反射面平行。

本发明的技术效果在于：通过时变磁力与劳伦兹力，本发明能让光反射组件沿着第一转轴P1与第二转轴P2摆动，进而让光反射组件所反射的光线作水平方向扫描与垂直方向扫描，以在屏幕上投影出影像。

的以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1A是本发明一实施例的光学扫描组件的立体示意图；

图1B与图1C是图1A中的光反射组件在摆动时的动作示意图；

图1D是图1A中的光学扫描组件的剖面示意图；

图2是本发明另一实施例的光学扫描组件的剖面示意图；

图3是本发明另一实施例的光学扫描组件的立体示意图；

图4A是本发明另一实施例的光学扫描组件的俯视示意图；

图4B是图4A中线I-I的剖面示意图；

图5A是本发明另一实施例的光学扫描组件的俯视示意图；

图5B是图5A中线J-J的剖面示意图。

100、200、300、400、500  光学扫描组件

110  基板

120、120’、420  驱动组件

120a、120b、120c、120c’、120d、120d’  侧边

122、122’、422  框体

124、424  线圈线路

130、430  光反射组件

132、432  反射面

140a、440a  第一扭转臂

140b、440b  第二扭转臂

150、350  驱动磁场产生装置

152、352  第一磁铁

160  第一磁场产生装置

162  线圈端口

170  第二磁场产生装置

172  第二磁铁

422a  金属层

422b  绝缘层

480a、580a   第一电极

480b、580b   第二电极

A  夹角

B1、B2  磁场

C1、C2  电流

D、U  方向

F1、F1’  第一磁场

F2  第二磁场

H1、H3  第一开口

H2  第二开口

H4开孔

I、I’、I”  内部磁场

P1、P3  第一转轴

P2、P4  第二转轴

R1、R2v转动方向

T1  贯孔

具体实施方式

下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述：

图1A是本发明一实施例的光学扫描组件的立体示意图。如图，本实施例的光学扫描组件100可以应用于投影机，例如虚拟投影机或激光投影机。光学扫描组件100包括一基板110、一驱动组件120以及一光反射组件130。

驱动组件120配置在基板110上，并具有一第一开口H1，而基板110例如是硅基板、玻璃基板或电路板，并可具有一第二开口H2，其中第一开口H1与第二开口H2可以采用微影(lithography)与蚀刻(etching)来形成。光反射组件130配置在第一开口H1内，并具有一反射面132，其中反射面132能反射投影光源所发出的光线，其可以是激光。

驱动组件120可以沿着一第一转轴P1摆动，而光反射组件130可以沿着一第二转轴P2摆动，其中第一转轴P1实质上与第二转轴P2垂直，而且第一转轴P1与第二转轴P2实质上与反射面132平行。

通过以上驱动组件120与光反射组件130二者的摆动，光反射组件130得以沿着第一转轴P1与第二转轴P2来摆动，以使反射面132将其所反射的光线作水平方向扫描与垂直方向扫描，进而使反射面132所反射的光线在屏幕上形成影像。

在本实施例中，驱动组件120可包括一框体122以及一线圈线路124，其中线圈线路124配置在框体122上，并围绕第一开口H1。框体122位于第二开口H2处，例如框体122可在第二开口H2内，或位于第二开口H2的上方。此外，线圈线路124可以利用电镀、微影与蚀刻来形成。

光学扫描组件100还可包括一对第一扭转臂140a以及一对第二扭转臂140b。各第一扭转臂140a连接于框体122与基板110之间，而这些第一扭转臂140a均位于第一转轴P1。即驱动组件120可将这些第一扭转臂140a作为转轴来摆动。

各第二扭转臂140b连接于框体122与光反射组件130之间，且这些第二扭转臂140b均位于第二转轴P2。即光反射组件130也可以将这些第二扭转臂140b作为转轴来摆动。

光反射组件130能受一劳伦兹力的驱动而沿着第二转轴P2摆动。详细而言，光学扫描组件100还可包括一驱动磁场产生装置150，而线圈线路124与驱动磁场产生装置150之间可以产生劳伦兹力。光反射组件130能受此劳伦兹力的驱动而沿着第二转轴P2摆动。

具体而言，驱动磁场产生装置150可包括一对第一磁铁152，而这些第一磁铁152之间产生一第一磁场F1，其中第一磁场F1的方向实质上与第一转轴P1平行。详细而言，这些第一磁铁152是以异极相吸的摆设方式来配置。

举例而言，以图1A为例，其中一个第一磁铁152的S极(如图1A右边的第一磁铁152)会与另一个第一磁铁152的N极(如图1A左边的第一磁铁152)面对面地配置。其次，这些第一磁铁152均可位于第一转轴P1，并使第一转轴P1经过上述彼此面对面的S极与N极，如图1A所示。这样在这些第一磁铁152之间可以产生方向与第一转轴P1实质上平行的第一磁场F1。

线圈线路124可被通入电流，且还可以被通入交流电流(AlternatingCurrent，AC)。当交流电流在线圈线路124中传输时，第一磁场F1会与线圈线路124内的电流作用而产生劳伦兹力，而让光反射组件130沿着第二转轴P2摆动。关于光反射组件130的摆动原理，以下将配合图1B与图1C来进一步地详细说明。

图1B与图1C是图1A中的光反射组件在摆动时的动作示意图。如图1B，当线圈线路124被通入交流电流时，一电流C1会在线圈线路124中传输，其中电流C1在线圈线路124中的传输方向为逆时针方向，如图1B所示。当电流C1流经驱动组件120的相对二侧边120a、120b时，第一磁场F1会与电流C1作用而产生劳伦兹力。

受到上述劳伦兹力的驱动，侧边120a会朝向方向U向上移动，而侧边120b则会朝向方向D向下移动。如此，框体122会沿着转动方向R1而转动，而在框体122转动的过程中，连接框体122的这些第一扭转臂140a会被扭转，如图1B所示。

如图1C，由于线圈线路124是被通入交流电流，因此不仅电流C1在线圈线路124内传输，同时一电流C2会与电流C1交替地在线圈线路124中传输，其中电流C2在线圈线路124中的传输方向为顺时针方向，如图1C所示。

当电流C2流经驱动组件120的相对二侧边120a、120b时，第一磁场F1也会与电流C2作用而产生劳伦兹力，以至于侧边120a会朝向方向D向下移动，而侧边120b则会朝向方向U向上移动。如此，框体122会沿着转动方向R2而转动。当然，在框体122转动的过程中，连接框体122的这些第一扭转臂140a也会被扭转，如图1C所示。

电流C1与电流C2会交替地通入至线圈线路124，因此框体122会受到劳伦兹力的驱动，而沿着转动方向R1、R2来回摆动。受到上述框体122摆动的影响，光反射组件130得以沿着第二转轴P2摆动。

图1D是图1A中的光学扫描组件的剖面示意图，其中图1D是沿着第二转轴P2剖面而成。如图1A与图1D，在本实施例中，驱动组件120可以受时变磁力的驱动而沿着第一转轴P1摆动。

具体而言，光学扫描组件100还可以包括一配置于驱动组件120下方的第一磁场产生装置160，而第一磁场产生装置160可以位于第二开口H2中。时变磁力会形成于第一磁场产生装置160与驱动组件120之间，而第一磁场产生装置160可以是一种线圈，如图1A与图1D所示。

详细而言，当磁场产生装置160被通入交流电流时，磁场产生装置160的一线圈端口162会形成具有时变性的磁极(magnetic pole)，即线圈端口162所形成的磁极会不停地切换成N极或S极。换句话说，线圈端口162会从N极变成S极，接着再从S极变成N极，随时间而交替产生二个方向彼此相反的磁场B1与磁场B2。

其次，框体122的内部可以存在一内部磁场(inner magnetic field)I，而内部磁场I的方向实质上与第二转轴P2平行。详细而言，框体122的材质可以是铁磁性材料或亚铁磁性材料，因此框体122可以被磁化而带有一对相反的磁极，进而形成内部磁场I。

以图1D为例，当框体122的内部存在内部磁场I时，驱动组件120的另外相对二侧边120c、120d会分别形成S极与N极，以至于磁场B1、B2会与侧边120c、120d作用而产生时变磁力，进而让线圈端口162吸引侧边120c或侧边120d。由于磁场B1与磁场B2是随时间而交替产生，因此线圈端口162会交替地吸引侧边120c或侧边120d。如此，驱动组件120得以沿着第一转轴P1摆动。

在本实施例中，内部磁场I可以是利用磁场感应的方式来形成。详细而言，光学扫描组件100还可以包括一第二磁场产生装置170，其可以产生能感应出内部磁场I的一第二磁场F2。

第二磁场产生装置170包括一对第二磁铁172，而第二磁场F2产生于这些第二磁铁172之间。这些第二磁铁172可以是以异极相吸的摆设方式来配置。即其中一个第二磁铁172的S极(如图1D右边的第二磁铁172)与另一个第二磁铁172的N极(如图1D左边的第二磁铁172)面对面地配置。

此外，这些第二磁铁172均可位于第二转轴P2，并让第二转轴P2经过上述彼此面对面的S极与N极。如此，在这些第二磁铁172之间可以产生方向与第二转轴P2实质上平行的第二磁场F2。

特别补充说明的是，有关框体122的材质，上述铁磁性材料可以包括铁、钴或镍，或是掺有任何一种上述金属的合金，而此合金例如是含有铁与镍的波莫合金(Permalloy)。上述亚铁磁性材料可以包括含有亚铁离子的化合物，例如是四氧化三铁等金属氧化物、陶瓷或合金。

图2是本发明另一实施例的光学扫描组件的剖面示意图。如图2，本实施例的光学扫描组件200包括基板110、一驱动组件120’以及第一磁场产生装置160。光学扫描组件200与图1D所示的光学扫描组件100相似，二者的差异在于：驱动组件120’所包括的框体122’具有永久磁场，即驱动组件120’为一种永久磁铁。

详细而言，由于框体122’为永久磁铁，因此驱动组件120’的相对二侧边120c’、120d’会分别形成S极与N极。即框体122’的内部自然会存在一内部磁场I’，其不需要通过磁场感应的方式来形成。此外，内部磁场I’的方向可以与第二转轴P2实质上平行。

第一磁场产生装置160会随时间而交替产生二个方向彼此相反的磁场B1与磁场B2，而磁场B1、B2会与侧边120c’、120d’作用而产生时变磁力。通过此时变磁力，驱动组件120’也可以沿着第一转轴P1摆动。

由此可知，本实施例所采用的框体122’为永久磁铁，因此框体122’不需要通过磁场感应的方式，即可形成内部磁场I’。即光学扫描组件200不需要图1D所示的第二磁场产生装置170，即可使框体122’的内部存在内部磁场I’，同时使驱动组件120’沿着第一转轴P1摆动。

图3是本发明另一实施例的光学扫描组件的立体示意图。如图3，本实施例的光学扫描组件300与前述实施例的光扫描组件100相似，二者的差异在于：光学扫描组件300并不包括第二磁场产生装置170，而且光学扫描组件300所包括的驱动磁场产生装置350，其所产生的第一磁场F1’能在框体122的内部感应出一内部磁场I”。

详细而言，第一磁场F1’的一部分分量可以感应出内部磁场I”，而第一磁场F1’的另一部分分量可以与在线圈线路124内传输的电流作用而产生劳伦兹力。即第一磁场F1’不仅可以用来产生劳伦兹力，同时还可以用来产生内部磁场I”。如此，驱动组件120可以受时变磁力的驱动而沿着第一转轴P1摆动，而光反射组件130可以受劳伦兹力的驱动而沿着第二转轴P2摆动。

具体而言，第一磁场F1’的方向与第一转轴P1之间呈一夹角A，而夹角A实质上等于45度。详细而言，驱动磁场产生装置350包括一对第一磁铁352，而这些第一磁铁352是以异极相吸的摆设方式来配置，其中这些第一磁铁352分别配置于框体122的对角处，如图3所示，以使第一磁场F1’的方向与第一转轴P1之间呈45度的夹角。

这样第一磁场F1’的一部分分量可以产生驱动驱动组件120的时变磁力，而第一磁场F1’的另一部分分量可以产生让光反射组件130摆动的劳伦兹力。如此，光反射组件130得以沿着第一转轴P1与第二转轴P2来摆动，让反射面132所反射的光线在屏幕上形成影像。

图4A是本发明另一实施例的光学扫描组件的俯视示意图，而图4B是图4A中线I-I的剖面示意图。如图4A与图4B，本实施例的光学扫描组件400包括基板110、一驱动组件420以及一光反射组件430，其中驱动组件420配置于基板110上，并具有一第一开口H3，而光反射组件430配置于第一开口H3内。

驱动组件420包括一框体422以及一线圈线路424。框体422包括一金属层422a以及一配置于金属层422a上的绝缘层422b。绝缘层422b具有一贯孔T1，而线圈线路424配置于绝缘层422b上，其中线圈线路424围绕第一开口H3，并且从贯孔T1电性连接金属层422a，如图4B所示。此外，框体422可位于基板110的第二开口H2处。

驱动组件420能沿着一第一转轴P3摆动，而光反射组件430能沿着一第二转轴P4摆动。第一转轴P3实质上与第二转轴P4垂直，且第一转轴P3与第二转轴P4实质上与光反射组件430所具有的反射面432平行。通过以上驱动组件420与光反射组件430二者的摆动，反射面432所反射的光线得以在屏幕上形成影像。

在本实施例中，光学扫描组件400还可以包括一对第一扭转臂440a以及一对第二扭转臂440b。详细而言，各第一扭转臂440a连接于框体422与基板110之间，且这些第一扭转臂440a均位于第一转轴P3，即驱动组件420可将这些第一扭转臂440a作为转轴来摆动。同理，各第二扭转臂440b连接于框体422与光反射组件430之间，且这些第二扭转臂440b均位于第二转轴P4，即光反射组件430也可将这些第二扭转臂440b作为转轴来摆动。

绝缘层422b的材质为Si3N4、SiO2、光阻、环氧树脂(epoxy)或聚酰亚胺(polyimide，PI)，而贯孔T1可以是利用干蚀刻、湿蚀刻或激光钻孔的方式来形成。另外，金属层422a为一磁性层，其具有永久磁场。即金属层422a为一种永久磁铁。

上述磁性层(即金属层422a)的材质可为一硬磁性材料。所谓的硬磁性材料乃是指一种矫顽场(coercive field)大于200奥斯特(oersted，Oe)的磁性材料，而硬磁性材料在被磁化之后，可以保有永久磁场，进而成为永久磁铁。如此，驱动组件420可以受时变磁力的驱动而摆动。此外，上述硬磁性材料可以是CoNiMnP、PtCO/Ag、Pt/Fe、CoCrTaX或FeCrCo。

值得一提的是，光反射组件430与金属层422a可以是对金属膜层进行微影与蚀刻工艺而形成。即光反射组件430与金属层422a可以是由同一层膜层所形成。因此，光反射组件430与金属层422a二者可以同时形成，且二者的材质相同，即光反射组件430的材质也可以是硬磁性材料。此外，光反射组件430同样也可以是具有永久磁场的磁性层。

光学扫描组件400还可包括一第一电极480a与一第二电极480b。第一电极480a电性连接线圈线路424，而第二电极480b电性连接金属层422a。第一电极480a与第二电极480b分别裸露于框体422的相对二侧，其中一个第一扭转臂440a位于第一电极480a与框体422之间，而另一个第一扭转臂440a位于第二电极480b与框体422之间。

第一电极480a与第二电极480b均用来连接外部电源，而使从外部电源而来的电流可以流经线圈线路424与金属层422a。如此，线圈线路424得以产生磁场，进而让驱动组件420能受到劳伦兹力的驱动而摆动。

图5A是本发明另一实施例的光学扫描组件的俯视示意图，而图5B是图5A中线J-J的剖面示意图。如图5A与图5B，本实施例的光学扫描组件500与前述实施例的光扫描组件400相似，差异之处在于光学扫描组件500所包括的第一电极580a与第二电极580b，二者均位于框体422的同一侧。

详细而言，第一电极580a位于第二电极580b的对面，而光学扫描组件500所包括的驱动组件420，其框体422的绝缘层422b配置于第一电极580a与第二电极580b之间。光学扫描组件500还包括一对第一扭转臂440a以及一对第二扭转臂440b，其中一个第一扭转臂440a位于第一电极580a与框体422之间，并且也位于第二电极580b与框体422之间。

绝缘层422b具有一局部暴露第二电极580b的开孔H4。通过开孔H4，第一电极580a与第二电极580b均能电性连接外部电源，进而使从外部电源而来的电流可以输入至驱动组件420，以产生磁场。如此，驱动组件420能受到劳伦兹力的驱动而摆动。此外，开孔H4的形成与前述实施例的贯孔T1相同，故在此不再重复介绍。

综上所述，本发明的光学扫描组件是利用时变磁力与劳伦兹力来让光反射组件沿着二个互相垂直的转轴(如第一转轴P1、P3与第二转轴P2、P4)来摆动，进而让光反射组件所反射的光线作水平方向扫描与垂直方向扫描。如此，本发明的光学扫描组件能在屏幕上投影出影像。

当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (35)

1.一种光学扫描组件，其特征在于，包括：

一基板；

一驱动组件，配置于该基板上，并具有一第一开口，该驱动组件能受一时变磁力的驱动而沿着一第一转轴摆动；以及

一光反射组件，具有一反射面，并配置于该第一开口内，该光反射组件能受一劳伦兹力的驱动沿着一第二转轴摆动，其中该第一转轴实质上与该第二转轴垂直，该第一转轴与该第二转轴实质上与该反射面平行。

2.如权利要求1所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的驱动组件包括一框体以及一线圈线路，该线圈线路配置在该框体上，并围绕该第一开口。

3.如权利要求1所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的基板为一硅基板、一玻璃基板或一电路板。

4.如权利要求2所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的基板具有一第二开口，该框体位于该第二开口处。

5.如权利要求2所述的光学扫描组件，其特征在于，还包括一对第一扭转臂，各该第一扭转臂连接于该框体与该基板之间，且这些第一扭转臂均位于该第一转轴。

6.如权利要求5所述的光学扫描组件，其特征在于，还包括一对第二扭转臂，各该第二扭转臂连接于该框体与该光反射组件之间，且这些第二扭转臂均位于该第二转轴。

7.如权利要求2所述的光学扫描组件，其特征在于，还包括一配置于该驱动组件下方的第一磁场产生装置，其中该时变磁力形成于该第一磁场产生装置与该驱动组件之间。

8.如权利要求7所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的第一磁场产生装置为一线圈。

9.如权利要求7所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的框体的内部存在一内部磁场，该内部磁场的方向实质上与该第二转轴平行。

10.如权利要求9所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的框体的材质为一铁磁性材料或亚铁磁性材料。

11.如权利要求9所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的框体为一永久磁铁。

12.如权利要求9所述的光学扫描组件，其特征在于，还包括一驱动磁场产生装置，该线圈线路与该驱动磁场产生装置之间产生该劳伦兹力，该光反射组件能受该劳伦兹力的驱动而沿着该第二转轴摆动。

13.如权利要求12所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的驱动磁场产生装置包括一对第一磁铁，而这些第一磁铁之间产生一第一磁场，以产生该劳伦兹力。

14.如权利要求13所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的第一磁场感应出该内部磁场。

15.如权利要求14所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的第一磁场的方向与该第一转轴之间呈一夹角，而该夹角实质上等于45度。

16.如权利要求13所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的第一磁场的方向实质上与该第一转轴平行。

17.如权利要求16所述的光学扫描组件，其特征在于，还包括一第二磁场产生装置，该第二磁场产生装置产生一第二磁场，而该第二磁场感应出该内部磁场。

18.如权利要求17所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的第二磁场产生装置包括一对第二磁铁，该第二磁场产生于这些第二磁铁之间。

19.如权利要求17所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的第二磁场的方向实质上与该第二转轴平行。

20.一种光学扫描组件，其特征在于，包括：

一基板；

一驱动组件，配置于该基板上，并具有一第一开口，该驱动组件包括一框体以及一线圈线路，该框体包括一金属层以及一配置于该金属层上的绝缘层，该绝缘层具有一贯孔，而该线圈线路配置于该绝缘层上，并围绕该第一开口，其中该线圈线路从该贯孔电性连接该金属层；以及

一光反射组件，配置于该第一开口内。

21.如权利要求20所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的驱动组件能沿着一第一转轴摆动，而该光反射组件具有一反射面，并能沿着一第二转轴摆动，该第一转轴实质上与该第二转轴垂直，且该第一转轴与该第二转轴实质上与该反射面平行。

22.如权利要求20所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的基板具有一第二开口，而该框体位于该第二开口处。

23.如权利要求20所述的光学扫描组件，其特征在于，还包括一对第一扭转臂，各该第一扭转臂连接于该框体与该基板之间，且这些第一扭转臂均位于该第一转轴。

24.如权利要求23所述的光学扫描组件，其特征在于，还包括一对第二扭转臂，各该第二扭转臂连接于该框体与该光反射组件之间，且这些第二扭转臂均位于该第二转轴。

25.如权利要求23所述的光学扫描组件，其特征在于，还包括一第一电极与一第二电极，该第一电极电性连接该线圈线路，而该第二电极电性连接该金属层。

26.如权利要求25所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的第一电极与该第二电极分别裸露于该框体的相对二侧。

27.如权利要求26所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的一个第一扭转臂位于该第一电极与该框体之间，而另一个第一扭转臂位于该第二电极与该框体之间。

28.如权利要求25所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的第一电极与该第二电极均位于该框体的同一侧，该绝缘层配置于该第一电极与该第二电极之间，并具有一局部暴露该第二电极的开孔。

29.如权利要求28所述的光学扫描组件，其中一个第一扭转臂位于该第一电极与该框体之间，且也位于该第二电极与该框体之间。

30.如权利要求20所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的绝缘层的材质为Si3N4、SiO2、光阻、环氧树脂或聚酰亚胺。

31.如权利要求20所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的光反射组件为一磁性层。

32.如权利要求31所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的磁性层具有永久磁场。

33.如权利要求32所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的金属层与该磁性层二者的材质相同。

34.如权利要求31所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的磁性层的材质为一硬磁性材料。

35.如权利要求34所述的光学扫描组件，其特征在于，所述的硬磁性材料为CoNiMnP、PtCO/Ag、Pt/Fe、CoCrTaX或FeCrCo。

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