CN101762587A - 一种检测光滑导体表面缺陷的方法 - Google Patents
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Abstract
一种检测光滑导体表面缺陷的方法，包含以下步骤：S1：首先设置圆偏振光源；S2：确定待测导体光滑表面的位置，使其法线与入射光的夹角为a°；S3：确定检测记录装置的位置，使其光轴位于反射光的方向；S4：检测反射光是否为线偏振光，如果反射光不是线偏振光，则返回步骤S2，调整待测导体光滑表面的位置使其法线与入射光的夹角为另一个值的a°，再重复步骤S3、S4，直至反射光为线偏振光为止，如果反射光是线偏振光，则进入步骤S5；S5：处理检测数据得到反射光光强分布图；S6：判断反射光光强分布是否均匀，如果反射光光强分布是不均匀的，说明待测表面存在缺陷，如果反射光光强分布是均匀的，说明待测表面不存在缺陷。
Description
技术领域
本发明涉及一种检测光滑导体表面缺陷方法，尤其涉及一种利用偏振光检测光滑导体表面缺陷方法。
背景技术
目前应用的表面缺陷检测方法主要为红外检测法、超声检测法、涡流法、磁检测法以及机器视觉检测法。但所有的方法都存在检测效率低，费时，耗能。特别是不容易实现工业生产中的实时在线检测与分析。
发明内容
本发明是为了解决例如晶圆表面，抛光后的金属板材表面，一些在离子溶液里定向生长的具有偏振特性的生物体等对象的在线检测问题而提出的，
本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种检测光滑导体表面缺陷的方法，包含以下步骤：
S1：首先设置圆偏振光源；
S2：确定待测导体光滑表面的位置，使其法线与入射光的夹角为a°；
S3：确定检测记录装置的位置，使其光轴位于反射光的方向；
S4：检测反射光是否为线偏振光，如果反射光不是线偏振光，则返回步骤S2，调整待测导体光滑表面的位置使其法线与入射光的夹角为另一个值的a°，再重复步骤S3、S4，直至反射光为线偏振光为止，如果反射光是线偏振光，则进入步骤S5；
S5：处理检测数据得到反射光光强分布图；
S6：判断反射光光强分布是否均匀，如果反射光光强分布是不均匀的，说明待测表面存在缺陷，如果反射光光强分布是均匀的，说明待测表面不存在缺陷。
其中，步骤S1中设置圆偏振光源的步骤是：
S11：设置光源；
S12：在光源后设置同轴的起偏器；
S13：在起偏器后设置与光源和起偏器均同轴的可沿光轴360°旋转的1/4玻片。
其中，步骤S11中的光源是聚光灯、LED、激光器中的任意一种或几种。
其中，步骤S12中的起偏器是偏振片、玻片堆、格兰棱镜。
其中，步骤S2中夹角a°的值可在0°-90°之间任选。
本发明的积极进步效果在于：由于采用低能光线照射，对被测物影响较小，识别信息简单，可以高速处理，具有检测效率高，省时，耗能低的特点。
附图说明
图1为进行本发明所述方法的流程图；
图2为本发明优选实施例各装置的位置分布图。
具体实施方式
下面结合附图给出本发明较佳实施例，以详细说明本发明的技术方案。
实施例一
如图1所示，为本发明较佳实施例的流程图。
步骤101，设置圆偏振光源。
步骤102，确定待测导体光滑表面的位置，使其法线与入射光的夹角为a°。
步骤103，确定检测记录装置的位置，使其光轴位于反射光的方向。
步骤104，检测反射光是否为线偏振光，若是，进入步骤105；若否，返回步骤102。
步骤105，处理检测数据得到反射光光强分布图。
步骤106，判断光强分布是否均匀，若是，进入步骤108；若否，进入步骤107。
步骤107，表示导体表面存在缺陷。
步骤108，表示导体表面不存在缺陷。
参考图2，为本发明优选实施例各装置的位置分布图，由圆偏振光源201出射的光线202照射到表面待测导体材料的表面上，其与该表面的法线的夹角为a°，将检偏成像装置204放置于反射光线202的光路上。检测反射光是否为线偏振光，若是，进入步骤105，进入后续处理；若否，返回步骤102，重新设置新的夹角a°的值。
实施例二
如图1所示，为本发明较佳实施例的流程图。
步骤101，设置圆偏振光源。
步骤102，确定待测导体光滑表面的位置，使其法线与入射光的夹角为a°。
步骤103，确定检测记录装置的位置，使其光轴位于反射光的方向。
步骤104，检测反射光是否为线偏振光，若是，进入步骤105；若否，返回步骤102。
步骤105，处理检测数据得到反射光光强分布图。
步骤106，判断光强分布是否均匀，若是，进入步骤108；若否，进入步骤107。
步骤107，表示导体表面存在缺陷。
步骤108，表示导体表面不存在缺陷。
参考图2，为本发明优选实施例各装置的位置分布图，由圆偏振光源201出射的光线202照射到表面待测导体材料的表面上，其与该表面的法线的夹角为a°，将检偏成像装置204放置于反射光线202的光路上。检测反射光是否为线偏振光，若是，进入步骤105，进入后续处理；若否，返回步骤102，重新设置新的夹角a°的值。
较佳的，步骤101中设置圆偏振光源的方法为：
S11：设置光源；
S12：在光源后设置同轴的起偏器；
S13：在起偏器后设置与光源和起偏器均同轴的可沿光轴360°旋转的1/4玻片。
其中，步骤S11中的光源是聚光灯、LED、激光器中的任意一种或几种。
其中，步骤S12中的起偏器是偏振片、玻片堆、格兰棱镜。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改。因此，本发明的保护范围由所附权利要求书限定。
Claims (5)
1.一种检测光滑导体表面缺陷的方法，其特征在于，包含以下步骤：
S1：首先设置圆偏振光源；
S2：确定待测导体光滑表面的位置，使其法线与入射光的夹角为a°；
S3：确定检测记录装置的位置，使其光轴位于反射光的方向；
S4：检测反射光是否为线偏振光，如果反射光不是线偏振光，则返回步骤S2，调整待测导体光滑表面的位置使其法线与入射光的夹角为另一个值的a°，再重复步骤S3、S4，直至反射光为线偏振光为止，如果反射光是线偏振光，则进入步骤S5；
S5：处理检测数据得到反射光光强分布图；
S6：判断反射光光强分布是否均匀，如果反射光光强分布是不均匀的，说明待测表面存在缺陷，如果反射光光强分布是均匀的，说明待测表面不存在缺陷。
2.根据权利要求1所述的检测光滑导体表面缺陷的方法，其特征在于，步骤S1中设置圆偏振光源的步骤是：
S11：设置光源；
S12：在光源后设置同轴的起偏器；
S13：在起偏器后设置与光源和起偏器均同轴的可沿光轴360°旋转的1/4玻片。
3.根据权利要求2所述的检测光滑导体表面缺陷的方法，其特征在于，步骤S11中的光源是聚光灯、LED、激光器中的任意一种或几种。
4.根据权利要求2所述的检测光滑导体表面缺陷的方法，其特征在于，步骤S12中的起偏器是偏振片、玻片堆、格兰棱镜。
5.根据权利要求1或2所述的检测光滑导体表面缺陷的方法，其特征在于，步骤S2中夹角a°的值可在0°-90°之间任选。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN200810207909A CN101762587A (zh) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | 一种检测光滑导体表面缺陷的方法 |
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| CN200810207909A CN101762587A (zh) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | 一种检测光滑导体表面缺陷的方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101762587A true CN101762587A (zh) | 2010-06-30 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200810207909A Pending CN101762587A (zh) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | 一种检测光滑导体表面缺陷的方法 |
Country Status (1)
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|---|---|---|---|---|
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| TWI678526B (zh) * | 2018-06-04 | 2019-12-01 | 南韓商Ｃｏ Ｍｓ股份有限公司 | 半導體基板用保護膜剝離與否監視裝置及方法 |
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2008
- 2008-12-26 CN CN200810207909A patent/CN101762587A/zh active Pending
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