CN101723598B - 具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备 - Google Patents

具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备 Download PDF

Info

Publication number
CN101723598B
CN101723598B CN2008101711819A CN200810171181A CN101723598B CN 101723598 B CN101723598 B CN 101723598B CN 2008101711819 A CN2008101711819 A CN 2008101711819A CN 200810171181 A CN200810171181 A CN 200810171181A CN 101723598 B CN101723598 B CN 101723598B
Authority
CN
China
Prior art keywords
tube
inner tube
glass
double
exterior
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2008101711819A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101723598A (zh
Inventor
余永珉
俞炳宽
崔荣善
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HAIZEN IMP CO Ltd
Original Assignee
HAIZEN IMP CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HAIZEN IMP CO Ltd filed Critical HAIZEN IMP CO Ltd
Priority to CN2008101711819A priority Critical patent/CN101723598B/zh
Publication of CN101723598A publication Critical patent/CN101723598A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101723598B publication Critical patent/CN101723598B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

本发明公开了一种具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,包括内部管、外部管、喷嘴环叶片和供液管;内部管的外壁上设置多个蚀刻液流出孔,内部管的两端连接供液管;内部管外设置同轴外部管,内部管与外部管相对应的两端固定在一起,所述外部管的外壁上沿轴向开有与外部管的内腔相通狭长孔,与狭长孔相对一侧的外部管的外壁上连接喷嘴环叶片。蚀刻液可以均匀的从外部管的狭长孔内溢出,再沿喷嘴环叶片下流至玻璃的两表面上,因此可以同时对玻璃两表面均匀蚀刻。另外在蚀刻的同时,由于玻璃竖直置于本发明设备下,因此不需要移动玻璃,不会造成玻璃表面的损伤,从而提高了加工完的玻璃的品质和产率。

Description

具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备
技术领域
本发明涉及一种玻璃蚀刻设备,特别涉及一种具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备。
背景技术
通常,平面显示器FPD(flat panel display)分为液晶显示器和等离子显示器PDP(Plasma Display)。液晶显示器的下板是TFT/Pattern(薄膜晶体管/格局)、上板是彩色滤光片CF(color filter),TFT/Pattern和彩色滤光片之间是液体。等离子显示器的上板和下板之间是非活性气体,从而制造成单元格的形式。
为了制造上述下板,在TFT/PDP Pattern工程进行中,需要把多余的玻璃层面薄薄的蚀刻处理。即,在TFT/PDP工程进行中需要把多余的领域(Pattern)进行蚀刻。但现有的玻璃蚀刻方法和所使用的设备存在以下问题:
首先,TFT LCD、PDP玻璃蚀刻的情况下,要对玻璃表面进行均匀的蚀刻处理,以前的玻璃蚀刻处理设备是在玻璃上面把蚀刻液用喷雾的方式涂抹,若玻璃的倾斜度不一致蚀刻液会积在特定部位,这时由于蚀刻液的量不一致而出现蚀刻处理不均匀的情况。
为了克服这样的问题,防止玻璃中间低垂,在玻璃中间安装固定滚柱,这种情况下就会出现玻璃表面因设置固定滚柱而产生损伤玻璃表面的问题。
另外,为了解决上述问题,如图1所示,可以看到是在倾斜状态下移送玻璃20,蚀刻液是通过喷嘴21喷射到玻璃20表面上。为了防止因固定滚柱而损伤玻璃20表面的问题,专利号码为10-0565724的韩国专利提供了一种通过非接触支架31支撑玻璃的蚀刻设备。虽然该设备是根据玻璃20的倾斜度而调整蚀刻液的流出量,为了在玻璃表面进行均匀的涂抹,位于倾斜的上部的喷嘴21和位于下部的喷嘴21的喷射量需逐个进行调整,然后再进行喷射,这也存在工作强度大、准确度不高等问题。同时,因设置每个喷嘴位置的不同,使喷嘴的喷射方向和向周围喷出的蚀刻液的流量存在差异。为了防止把多数喷嘴21相互稠密的布置,只能把装备的复杂度和成本价提高。现有的蚀刻设备仅能对玻璃表面的一面进行蚀刻处理,这样蚀刻处理的速度和效率降低。为了解决上述一次仅能对玻璃一面进行蚀刻处理的问题,现有技术中是在玻璃上部的侧面安装多个喷嘴,因安装的喷嘴数量增加设备会很复杂,调整喷嘴的流量在制造和运行上也存在很复杂的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种蚀刻液流出均匀、不会损伤玻璃表面、能对玻璃两表面同时进行蚀刻的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:一种具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,包括内部管、外部管、喷嘴环叶片和供液管;
所述内部管的外壁上设置多个蚀刻液流出孔,所述内部管的两端分别与所述供液管连接;
所述外部管设置于内部管的外部并与内部管同轴,所述内部管与外部管相对应的两端通过固定盘固定在一起,所述外部管的外壁上沿轴向开有狭长孔,所述狭长孔与外部管的内腔相通,与狭长孔相对一侧的外部管的外壁下部连接有喷嘴环叶片。
作为优选,为了控制蚀刻液的流动,使蚀刻液通过玻璃时更加均匀,所述狭长孔沿轴向的两侧面为锯齿形状。
作为优选,所述内部管与所述外部管之间设置两个以上相间隔的起支撑固定作用的定位架,所述定位架为圆环形片状结构,所述定位架通过中部的圆形孔套设于所述内部管上,所述圆形孔的内径与内部管的外径相适应,所述定位架的外径与所述外部管的内径相同。
作为进一步优选,所述定位架与所述外部管的狭长孔相对应处设置有可以使蚀刻液自然流出的流出槽,在流出槽的两侧分别设置有结合槽A。
作为更进一步优选,所述结合槽A与流出槽之间、两结合槽A之间分别形成开口部。
作为优选,本发明还包含一分离盘,所述分离盘上设置有多个流通孔和结合槽B,所述分离盘设置于内部管与外部管之间,且所述结合槽B插接到多个定位架的位于同一条直线上的多个结合槽A内。
作为优选,为了加快蚀刻液的流速,所述喷嘴环叶片的外侧向内凹形成弯曲部。
作为优选,所述供液管连接于一三通的一端,三通的另外两端分别通过供液管与内部管的两端连接。
作为优选,为了防止蚀刻液从外部管的狭长孔内流出的蚀刻液在向下流动的过程中发生飞溅的问题和阻挡外部干扰,所述外部管的外部套设有下端开口的导向物。
作为优选,所述导向物的下端为锥形。
与现有技术相比,本发明的有益效果在于:
1、本发明可以对玻璃的两侧表面同时进行蚀刻,由于在蚀刻过程中不需要移动玻璃,因此不会造成玻璃表面的损伤,从而提高了加工完的玻璃的品质和收率。
2、本发明的内部管上具有多个蚀刻液流出孔,使内部管内的蚀刻液从内部管内均匀的流出到内部管与外部管的间隙里,然后从外部管的狭长孔内溢出,再沿喷嘴环叶片下流至玻璃的两表面上,因此可以使玻璃两表面蚀刻均匀。
附图说明
图1为现有玻璃蚀刻设备的结构示意图。
图2为本发明实施例一结构示意图。
图3为本发明实施例二的结构示意图。
图4为本发明具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备的定位架的结构示意图。
图5为本发明实施例三的结构示意图。
图6为本发明具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备的外部管的结构示意图。
图7为本发明具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备的外部管的侧视图。
图8为本发明具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备的径向剖视图。
图9为本发明具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备分离盘的结构示意
图。
图10为本发明具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备的侧视图。
图11为本发明具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备进行玻璃蚀刻的操作示意图。
图12为本发明具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备的内部管的结构示意图。
标记说明
100:双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备      110:供液管
200:内部管                        211:蚀刻液流出孔
300:外部管                        310:狭长孔
320:锯齿形状                      400:喷嘴环叶片
401:弯曲部                        410:定位架
411:流出槽                        412:结合槽A
413:圆形孔
420:开口部                        430:分离盘
431:结合槽B                       432:流通孔
500:导向物                        510:固定盘
600:玻璃                          610:固定玻璃夹具
700:三通
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细描述,但不作为对本发明的限定。
实施例一:
如图2所示,本发明具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,包括内部管200、外部管300、喷嘴环叶片400和供液管110;如图4所示,所述内部管200的外壁上设置多个蚀刻液流出孔211。作为优选,为了使内部管200内的蚀刻液达到100%均匀流出的程度,蚀刻液流出孔211孔径为5mm,相邻蚀刻液流出孔211的孔距为50mm。所述内部管200的两端分别与所述供液管110连接,外部管300设置于内部管200的外部,外部管300与内部管200同轴,外部管300的内径大于内部管200的外径,内部管200与外部管300相对应的两端通过固定盘510固定在一起,水平放置的外部管300的正上方外壁上沿轴向开有狭长孔310,狭长孔310与外部管300的内腔相通,与开有狭长孔310相对一侧的外部管300的外壁下部连接喷嘴环叶片400。
实施例二:
如图3所示,该实施例与实施例一的区别仅在于:在内部管200与外部管300之间设置两个以上相间隔的起支撑固定作用的定位架410,所述定位架410为圆环形片状结构,所述定位架410中部的圆形孔413穿套于所述内部管200上,所述圆形孔413的内径与内部管200的外径相适应,所述定位架410的外径与所述外部管300的内径相同。
如图4所示,所述定位架410与所述外部管300的狭长孔310相对应处设置有可以使蚀刻液自然流出的流出槽411,在流出槽411的两侧各设置有结合槽A412。所述结合槽A412与流出槽411之间、两结合槽A412之间分别形成开口部420,使蚀刻液自然的经开口部420而流通。
实施例三:
如图5、图6、图7所示,该实施例与实施例二的区别仅在于:所述狭长孔310沿轴向的两侧面为锯齿形状320。所述狭长孔310的两侧面在蚀刻液为层流的情况下,从流出口流动一定距离时会出现无法控制的不规则的乱流的情况,所述狭长孔310沿轴向的两侧面锯齿形状320控制蚀刻液的这种流动,使蚀刻液流动的距离不会对蚀刻处理产生影响,使蚀刻液通过玻璃时更加10均匀。
实施例四:
如图8、图9所示,本发明还包含一分离盘430,其余结构与实施例三相同,所述分离盘430上设置有多个通透的流通孔432和结合槽B431,所述流通孔432可以使蚀刻液自然均匀的流出。所述分离盘430设置于内部管200与外部管300之间的间隙内,且所述结合槽B431插接到多个定位架410的位于同一条直线上的多个结合槽A412内。为了加快蚀刻液的流速,连接于外部管300下部的喷嘴环叶片400的外侧向内凹形成弯曲部401。
实施例五:
如图10所示,为了防止从外部管300的狭长孔310内流出的蚀刻液在向下流动的过程中发生飞溅的问题和阻挡外部干扰,所述外部管300的外部套设有下端开口的导向物500。所述导向物500的下端为锥形。其余结构与实施例三相同。
实施例六:
如图11所示,本实施例的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备包括内部管200、外部管300、喷嘴环叶片400和供液管110;所述内部管200的外壁上均匀设置多个蚀刻液流出孔211,以使内部管200内的蚀刻液均匀而流畅的流出到内部管与外部管之间,所述内部管200的两端分别与所述供液管110连接,外部管300设置于内部管200的外部,外部管300与内部管200同轴,外部管300的内径大于内部管200的外径,内部管200与外部管300相对应的两端通过固定盘510固定在一起,水平放置的外部管300的正上方外壁上沿轴向开有狭长孔310,狭长孔310与外部管300的内腔相通,狭长孔310的两侧面为锯齿形状320。与开有狭长孔310相对一侧的外部管300的外壁下部连接喷嘴环叶片400。喷嘴环叶片400的外侧向内凹形成弯曲部401。
在内部管200与外部管300之间设置两个以上相间隔的起支撑固定作用的定位架410,所述定位架410为圆环形片状结构,所述定位架410的中部开有圆形孔413,所述内部管200插入到定位架410的圆形孔413内,所述圆形孔413的内径与内部管200的外径相适应,所述定位架410的外径与所述外部管300的内径相同。所述定位架410与所述外部管300的狭长孔310相对应处设置有可以使蚀刻液自然流出的流出槽411,在流出槽411的两侧各设置有结合槽A412。所述结合槽A412与流出槽411之间、两结合槽A412之间分别形成开口部420,使蚀刻液刻液自然的经开口部420而流通。
内部管200与外部管300之间的间隙内设置所述分离盘430,所述分离盘430上设置有多个通透的流通孔432和结合槽B431,所述流通孔432可以使蚀刻液自然均匀的流出。且所述结合槽B431插接到多个定位架410的位于同一条直线上的多个结合槽A412内。所述外部管300的外部套设有下端开口的导向物500。所述导向物500的下端为锥形。
下面结合图11和图12对本发明的工作过程及原理进行简单说明:
所述供液管110连接于一三通700的一端,三通700的另外两端分别通过供液管110与内部管200的两端连接,蚀刻液通过供液管110进入到内部管200内,由于内部管200上设置多个蚀刻液流出孔211,蚀刻液将从蚀刻液流出孔211均匀的流出进入到内部管200与外部管300之间,蚀刻液经过定位架410上的开口部420和分离盘430上的流通孔432可以在内部管200与外部管300之间的间隙内自然的流通,间隙内的蚀刻液通过外部管300上部的狭长孔310流出外部管300外,流出的蚀刻液沿喷嘴环叶片400向下流,将要蚀刻的玻璃600通过固定玻璃夹具610竖直设置于本发明设备的正下方,从喷嘴环叶片400流下来的蚀刻液均匀的流到玻璃600上。

Claims (9)

1.一种具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,其特征在于,包括内部管、外部管、喷嘴环叶片和供液管;
所述内部管的外壁上设置多个蚀刻液流出孔,所述内部管的两端分别与所述供液管连接;
所述外部管设置于内部管的外部并与内部管同轴,所述内部管与外部管相对应的两端通过固定盘固定在一起,所述外部管的外壁上沿轴向开有狭长孔,所述狭长孔与外部管的内腔相通,与狭长孔相对一侧的外部管的外壁下部连接有喷嘴环叶片,所述狭长孔沿轴向的两侧面为锯齿形状。
2.根据权利要求1所述的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,其特征在于,所述内部管与所述外部管之间设置两个以上相间隔的起支撑固定作用的定位架,所述定位架为圆环形片状结构,所述定位架通过其中部圆形孔套于所述内部管上,所述圆形孔的内径与内部管的外径相适应,所述定位架的外径与所述外部管的内径相同。
3.根据权利要求2所述的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,其特征在于,所述定位架与所述外部管的狭长孔相对应处设置有使蚀刻液自然流出的流出槽,在流出槽的两侧分别设置有结合槽A。
4.根据权利要求3所述的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,其特征在于,所述结合槽A与流出槽之间、两结合槽A之间分别形成开口部。
5.根据权利要求4所述的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,其特征在于,还包含一分离盘,所述分离盘上设置有多个流通孔和多个结合槽B,所述分离盘设置于内部管与外部管之间,且多个所述结合槽B插接到多个定位架的位于同一条直线上的多个结合槽A内。
6.根据权利要求1所述的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,其特征在于,所述喷嘴环叶片的外侧向内凹形成弯曲部。
7.根据权利要求1所述的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,其特征在于,所述供液管连接于一三通的一端,三通的另外两端分别通过供液管与内部管的两端连接。
8.根据权利要求1所述的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,其特征在于,所述外部管的外部套设有下端开口的导向物。
9.根据权利要求8所述的具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备,其特征在于,所述导向物的下端为锥形。
CN2008101711819A 2008-10-22 2008-10-22 具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备 Expired - Fee Related CN101723598B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008101711819A CN101723598B (zh) 2008-10-22 2008-10-22 具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008101711819A CN101723598B (zh) 2008-10-22 2008-10-22 具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101723598A CN101723598A (zh) 2010-06-09
CN101723598B true CN101723598B (zh) 2012-05-30

Family

ID=42445246

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008101711819A Expired - Fee Related CN101723598B (zh) 2008-10-22 2008-10-22 具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101723598B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101338849B1 (ko) * 2012-08-09 2013-12-06 노바테크 (주) 유리기판 식각용 블레이드
CN106249552B (zh) * 2016-08-08 2018-01-30 武汉华星光电技术有限公司 一种喷淋设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN101723598A (zh) 2010-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100908884B1 (ko) 이중관 노즐을 가지는 글라스 식각 장치
CN101723598B (zh) 具有双层管喷嘴的玻璃蚀刻设备
CN204948517U (zh) 印刷电路板的蚀刻装置
US20160115595A1 (en) Gas supply apparatus
CN202705232U (zh) 一种空气刀装置
CN100517560C (zh) 气体注射装置
CN210117422U (zh) 一种用于基板处理的喷淋装置以及一种基板处理设备
CN115317947B (zh) 一种丙烯生产用高效精馏塔
CN105448775A (zh) 双面气相刻蚀装置
CN212907669U (zh) 一种用于基板单面刻蚀的传动辊及单面刻蚀设备
CN209885533U (zh) 一种喷射塔盘
CN101717935B (zh) 基板的金属层的蚀刻方法
CN103240017A (zh) 多线切割机砂浆搅拌系统
CN111190330B (zh) 一种des线显影装置及显影方法
KR102260571B1 (ko) 회전형 수직 습식에칭장치
KR101170596B1 (ko) 가스분사장치
CN108405266B (zh) 狭缝涂布装置
CN102950267A (zh) 一种连铸用喷淋装置
KR100887344B1 (ko) 디스플레이 유리기판의 식각장치
KR20120035607A (ko) 반도체 소자의 제조 장치
CN215611389U (zh) 一种槽式气体分布装置
KR100876987B1 (ko) 이중관 노즐을 가지는 글라스 식각 장치
CN105195381A (zh) 喷淋装置及方法
CN102701597B (zh) 一种快速的玻璃薄化设备
CN108445680A (zh) 一种液晶滴注装置及液晶显示面板

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120530

Termination date: 20141022

EXPY Termination of patent right or utility model