CN101692420B - 一种工作台倾角调整结构 - Google Patents

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Abstract

本发明为一种工作台倾角调整结构。其调整简单、方便，且调整的分辨率高。其包括工作台、吸盘、床身、三个支脚，所述吸盘紧固于所述工作台上端面，所述工作台通过均布于其工作台法兰圆周的所述三个支脚连接所述床身，其特征在于：所述三个支脚中其中一个为可调支脚、其余两个为固定支脚，所述可调支脚的螺母座下部螺纹连接有传动螺杆，所述传动螺杆连接有外部驱动装置。

Description

一种工作台倾角调整结构
(一)技术领域
本发明涉及半导体晶片加工设备技术领域，具体为一种工作台倾角调整结构。
(二)背景技术
现有的工作台倾角调整结构采用三点式，即分别调整三点高度后定工作台与水平面的夹角，调节时由于要分别调整三点的高度，调整比较复杂，且由于现有调整通过手动调整，其调整的分辨率低，又由于该调整结构一般位于机床内部，手动调整不方便。
(三)发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种工作台倾角调整结构，其调整简单、方便，且调整的分辨率高。
其技术方案是这样的：其包括工作台、吸盘、床身、三个支脚，所述吸盘紧固于所述工作台上端面，所述工作台通过均布于其工作台法兰圆周的所述三个支脚连接所述床身，其特征在于：所述三个支脚中其中一个为可调支脚、其余两个为固定支脚，所述可调支脚的螺母座下部螺纹连接有传动螺杆，所述传动螺杆连接有外部驱动装置。
其进一步特征在于：所述固定支脚包括固定柱、螺套、轴套，所述工作台法兰、床身上均开有支脚的安装孔，所述固定柱压装于所述工作台法兰下端面、所述床身上端面间，所述轴套塞装于所述工作台法兰的安装孔内，所述轴套下端与所述固定柱的上端面嵌套连接，装于所述工作台法兰安装孔内的螺钉紧固连接所述轴套、所述固定柱，所述螺套安装于所述床身的安装孔内，所述螺套的上端面与所述固定柱的下端面嵌套连接，装于所述床身安装孔内的螺钉紧固连接所述螺套、所述固定柱，螺钉紧固连接所述固定柱的下部和所述床身；
所述可调支脚包括传动螺杆、螺母座、外部驱动装置，所述工作台法兰、床身上均开有可调支脚的安装孔，所述螺母座上部装于所述工作台法兰的安装孔内，其外露于所述工作台法兰部分通过双螺母与所述工作台法兰并紧，所述螺母座下部外露于所述工作台法兰部分的上端面与所述工作台法兰的下端面平面连接，所述传动螺杆的上端外螺纹与螺母座下端内螺纹螺纹连接，所述传动螺杆的下端连接所述外部驱动装置，所述传动螺杆的贯穿所述床身的安装孔；
所述外部驱动装置具体为减速机、微型驱动电机，所述传动螺杆的下端通过联轴器连接所述减速机的输出端，所述微型驱动电机的输出端连接所述减速机的输入端，所述微型驱动电机连接控制系统；
所述传动螺杆的中部贯穿轴座，所述轴座安装于所述床身的安装孔，螺钉紧固连接所述轴座、所述床身，所述轴座下部外露于所述床身下端面，支座紧固连接于所述轴座下部，所述传动螺杆的下端位于所述支座内部，所述传动螺杆与所述支座内壁所形成的间隙内安装有碟形弹簧，所述碟形弹簧支承于双螺母，所述双螺母于所述传动螺杆螺纹连接，所述联轴器位于所述支座内部，所述减速机通过螺钉紧固连接于所述支座底部；
螺钉装于所述螺母座顶部孔槽内，其与所述螺母座内壁所形成的间隙内安装有蝶形弹簧。
采用本发明的上述结构后，通过外部驱动装置驱动所述传动螺杆，所述传动螺杆带动所述螺母座上下调整，进而所述螺母座带动所述工作台上下调整，达到调整工作台倾角的目的，由于实际调整量一般为0～500μm，调整量非常小，所述两个固定支脚处的弹性变形量足以使所述工作台平面和水平面产生一定的倾角。综上所述，由于本发明的结构只需调整一个可调支脚，且采用外部驱动装置进行驱动调整，其调整简单、方便，且调整的分辨率高。
(四)附图说明
图1是本发明的结构主视图旋转剖示意图；
图2是本发明的立体图示意图。
(五)具体实施方式
见图1、图2，本发明包括工作台1、吸盘2、床身25、三个支脚，吸盘2紧固于工作台1上端面，工作台1通过均布于其工作台法兰26圆周的三个支脚连接床身，三个支脚中其中一个为可调支脚4、其余两个为固定支脚3，可调支脚4的螺母座8下部螺纹连接有传动螺杆9，传动螺杆9连接有外部驱动装置。固定支脚3包括固定柱21、轴套20、螺套23，工作台法兰26、床身25上均开有支脚的安装孔，固定柱21压装于工作台法兰26下端面和床身25上端面间，轴套20塞装于工作台法兰26的安装孔内，轴套20下端与固定柱21的上端面嵌套连接，装于工作台法兰26安装孔内的螺钉19紧固连接轴套20、固定柱21，螺套23安装于床身25的安装孔内，螺套23的上端面与固定柱21的下端面嵌套连接，装于床身25安装孔内的螺钉24紧固连接螺套23、固定柱21，螺钉22紧固连接固定柱21的下部和床身25；可调支脚4包括传动螺杆9、螺母座8、外部驱动装置，工作台法兰26、床身25上均开有可调支脚的安装孔，螺母座8上部装于工作台法兰26的安装孔内，其外露于工作台法兰26部分通过双螺母7与工作台法兰26并紧，螺母座8下部外露于工作台法兰26部分的上端面与工作台法兰26的下端面平面连接，传动螺杆9的上端外螺纹与螺母座8下端内螺纹螺纹连接，连接处的螺距为1mm，传动螺杆9的下端连接外部驱动装置，传动螺杆8贯穿床身25的安装孔；外部驱动装置具体为减速机17、微型驱动电机18，其中减速机17的减速比取1∶100，传动螺杆9的下端通过联轴器16连接减速机17的输出端，微型驱动电机18的输出端连接减速机17的输入端，微型驱动电机18连接控制系统；传动螺杆9的中部贯穿轴座10，轴座10安装于床身25的安装孔，螺钉14紧固连接轴座10、床身25，轴座10下部外露于床身25下端面，支座15紧固连接于轴座10下部，传动螺杆9的下端位于支座15内部，传动螺杆9与支座15内壁所形成的间隙内安装有碟形弹簧11，碟形弹簧11支承于双螺母12，双螺母12与传动螺杆9螺纹连接，联轴器16位于支座15内部，减速机17通过螺钉13紧固连接于支座15底部；螺钉5装于螺母座8顶部孔槽内，其与螺母座8内壁所形成的间隙内安装有蝶形弹簧6。
其工作原理如下：微型驱动电机18旋转带动减速机17的输入轴转动，经减速机17减速后从输出轴输出，进而带动传动螺杆9旋转，传动螺杆9通过螺纹连接带动螺母座8上升或下降，带动工作台1上身或下降，即传动螺杆9旋转一周，螺母座8上升或下降一个螺距，进而完成调整工作台1的倾角。举其中一个应用案例为例说明调整的调整量：若微型驱动电机18旋转36°，减速机17的减速比取1∶100，则减速机17输出角度为0.36°，即传动螺杆9旋转了0.001周。传动螺杆9的上端外螺纹与螺母座8下端内螺纹螺纹连接处的螺距为1mm，螺母座8上升或下降0.001个螺距，即为1μm，则轻易实现了微米级的角度调整。

Claims (6)

1.一种工作台倾角调整结构，其包括工作台、吸盘、床身、三个支脚，所述吸盘紧固于所述工作台上端面，所述工作台通过均布于其工作台法兰圆周的所述三个支脚连接所述床身，其特征在于：所述三个支脚中其中一个为可调支脚、其余两个为固定支脚，所述可调支脚的螺母座下部螺纹连接有传动螺杆，所述传动螺杆连接有外部驱动装置。
2.根据权利要求1所述一种工作台倾角调整结构，其特征在于：所述固定支脚包括固定柱、螺套、轴套，所述工作台法兰、床身上均开有支脚的安装孔，所述固定柱压装于所述工作台法兰下端面、所述床身上端面间，所述轴套塞装于所述工作台法兰的安装孔内，所述轴套下端与所述固定柱的上端面嵌套连接，装于所述工作台法兰安装孔内的螺钉紧固连接所述轴套、所述固定柱，所述螺套安装于所述床身的安装孔内，所述螺套的上端面与所述固定柱的下端面嵌套连接，装于所述床身安装孔内的螺钉紧固连接所述螺套、所述固定柱，螺钉紧固连接所述固定柱的下部和所述床身。
3.根据权利要求2所述一种工作台倾角调整结构，其特征在于：所述可调支脚包括传动螺杆、螺母座、外部驱动装置，所述工作台法兰、床身上均开有可调支脚的安装孔，所述螺母座上部装于所述工作台法兰的安装孔内，其外露于所述工作台法兰部分通过双螺母与所述工作台法兰并紧，所述螺母座下部外露于所述工作台法兰部分的上端面与所述工作台法兰的下端面平面连接，所述传动螺杆的上端外螺纹与螺母座下端内螺纹螺纹连接，所述传动螺杆的下端连接所述外部驱动装置，所述传动螺杆的贯穿所述床身的安装孔。
4.根据权利要求3所述一种工作台倾角调整结构，其特征在于：所述外部驱动装置具体为减速机、微型驱动电机，所述传动螺杆的下端通过联轴器连接所述减速机的输出端，所述微型驱动电机的输出端连接所述减速机的输入端，所述微型驱动电机连接控制系统。
5.根据权利要求4所述一种工作台倾角调整结构，其特征在于：所述传动螺杆的中部贯穿轴座，所述轴座安装于所述床身的安装孔，螺钉紧固连接所述轴座、所述床身，所述轴座下部外露于所述床身下端面，支座紧固连接于所述轴座下部，所述传动螺杆的下端位于所述支座内部，所述传动螺杆与所述支座内壁所形成的间隙内安装有碟形弹簧，所述碟形弹簧支承于双螺母，所述双螺母于所述传动螺杆螺纹连接，所述联轴器位于所述支座内部，所述减速机通过螺钉紧固连接于所述支座底部。
6.根据权利要求5所述一种工作台倾角调整结构，其特征在于：螺钉装于所述螺母座顶部孔槽内，其与所述螺母座内壁所形成的间隙内安装有蝶形弹簧。
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