CN101671814A

CN101671814A - 传动机构的表面镀膜方法

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Publication number: CN101671814A
Application number: CN200810211839A
Authority: CN
Inventors: 林玉雪
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2008-09-09
Filing date: 2008-09-09
Publication date: 2010-03-17
Anticipated expiration: 2028-09-09
Also published as: CN101671814B

Abstract

一种传动机构的表面镀膜方法，包括以下步骤：提供一传动机构；清洁该传动机构的表面；将该传动机构设置于一工作环境，在该工作环境中导入一氢气与一四甲基硅烷(Tetra－methylsilane；TMS；Si(CH₃)₄)气体，施加一功率为800～1500瓦的外加电力而在该工作环境中产生一偏压电场，以便在该传动机构的表面形成一附着膜；在附着膜的表面形成一混合膜；以及在混合膜的表面形成一非晶质类钻石(diamond－like carbon；DLC)膜，以便制成一镀膜传动机构。在混合膜中，越远离传动机构处，非晶质DLC材料的含量越高。通过本发明方法可以有效确保镀膜传动机构具备较高的表面硬度，进而提升镀膜传动机构的抗磨损能力与使用寿命。

Description

传动机构的表面镀膜方法

技术领域

本发明关于一种传动机构的制作技术，特别是指一种在一传动机构表面镀膜而制成一镀膜传动机构的技术。

背景技术

在一般的动力装置中，在进行动力传输时，都免不了会使用到传动机构。由于传动机构必须传输动力，在传输动力的过程中，在传动机构的动力传输接触面上，会产生各种程度的磨损。譬如：在轮、传动轴、轴承、齿条、螺杆与(或)齿轮间的接触面上，就会产生上述各种程度的磨损。一旦当这些传动机构的动力传输接触面磨损到特定的程度，轻者会造成动力传输的不稳定，重者甚至会使整个传动机构无法发挥既有的功能。

在现有技术中，为了延长传动机构的使用寿命，通常会在传动机构的表面镀上由非晶质类钻石(Dimond-Like Carbon，DLC)材料所组成的非晶质DLC膜，借以形成一镀膜传动机构。非晶质DLC材料的结构由碳及氢紧密堆积而成，含有部份以sp2混成轨域(hybirdized orbital)与较多以sp3混成轨域的价电子。在整体性质上，非晶质DLC材料与天然钻石十分相近，同样具有硬度高、耐热性佳与防腐蚀的优点。因此，若在传动机构的表面上镀上非晶质DLC膜后所形成的镀膜动机构就能具备较佳的硬度、耐磨度及耐热度。

然而，由于一般的传动机构多半由经过表面热处理的金属材料(特别是钢材)所组成，其表面硬度甚高，再加上非晶质DLC材料也具备相当高的硬度；因此，会存在着彼此附着力不佳的问题。此外，当非晶质DLC膜的厚度增加时，内应力也会随之增加，当内应力过大时，非晶质DLC膜将会破裂并由传动机构的表面剥落。有鉴于以上原因，在现有技术中，在对传动机构表面进行非晶质DLC膜的镀膜作业时，为了防止非晶质DLC膜自传动机构的表面剥落，通常非晶质DLC膜的厚度都相当薄，造成非晶质DLC膜对提高耐磨度及耐热度的功效上大打折扣。

在以上前提下，一种新的镀膜技术便孕育而生，以下将列举一传动机构的制作方法来对此镀膜技术加以说明。请参阅图1，其显示一种现有传动组件的立体外观示意图。如图所示，一传动组件1包含一镀膜轴承11与一镀膜传动轴12，且镀膜轴承11与镀膜传动轴12都可视为一种镀膜传动机构。

镀膜轴承11包含一固定外轴111、一可转动内轴112与多个位于固定外轴111与可转动内轴112之间的滚子113。固定外轴111的延伸板件上开设二连结孔1111与1112，以便将该固定外轴111予以固定。可转动内轴112套接于镀膜传动轴12或与镀膜传动轴12一体成型。一带状动力传输件2(可为皮带或链条)局部环绕于镀膜传动轴12，借以带动镀膜传动轴12旋转而传输动力至镀膜传动轴12。

在传输动力的过程中，在镀膜传动轴12与带状动力传输件2之间，可转动内轴112与滚子113之间，以及滚子113与固定外轴111之间都会产生不同程度的磨损。随着传动组件1运作时间的增加，上述相关组件之间的磨损也会随之增加。随着磨损程度的增加，轻者，会造成镀膜传动轴12无法稳定地传输动力；重者，甚至会使整个传动组件1无法发挥既有的功能。

为了使上述的镀膜传动机构(即镀膜轴承11与镀膜传动轴12)能够具备较高的耐磨性，并使非晶质DLC膜与传动机构之间具备较佳的附着性，借以制作质量较佳的镀膜轴承11与镀膜传动轴12，上述的现有技术提供了一种镀膜技术，以下仅列举上述镀膜技术在制作镀膜传动轴方面的应用来加以说明。

请参阅图2，其显示图1中镀膜传动轴沿A-A方向的断面图。如图所示，镀膜传动轴12由一传动轴121、一附着膜122与一非晶质DLC膜123所组成，并利用一电浆辅助化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition；PECVD)镀膜设备在一工作环境下所制作而成。

在制作附着膜122时，必须先传动轴121设置于上述的工作环境中，并对工作环境抽气，使工作环境的压力大约维持在0.1～0.5torr。同时，必需先对工作环境加热，使工作环境的温度维持在200℃(含)以上。接着，必须施加一功率为100瓦(Watt；W)的外加电场，并导入氩气，使氩气被解离成电浆状的氩离子。然后，必须分别导入甲烷(Methane；CH₄)和硅烷(Silane；SiH₄)。其中，导入氩气的流率约为80毫升/分钟(ml/min)；导入甲烷的流率自0ml/min逐渐提升至大约60ml/min，导入硅烷的流率自3ml/min逐渐降至0ml/min。在此环境下维持约36分钟，会有硅(Si)、碳化硅(SiC)、含氩化合物与极少量的碳氢化合物沉积在传动轴121的表面而形成附着膜122。

在制作非晶质DLC膜123时，通常可采用两种方法，第一种方法使非晶质DLC膜123含有纯度较高的非晶质DLC，第二种方法使非晶质DLC膜123的硅含量较前者多。

在利用第一种方法制作非晶质DLC膜123时，也需先对工作环境加热，使工作环境的温度大于200℃，然后导入氩气与甲烷。此时，工作环境的压力大约维持在0.3torr，外加电场的功率为100W，导入氩气的流率约为80ml/min，导入甲烷的流率约为60ml/min。在此环境下维持60分钟，会形成非晶质DLC含量较高的非晶质DLC膜123。

在利用第二种方法制作非晶质DLC膜123时，也需先对工作环境加热，使工作环境的温度维持在200℃(含)以上，然后导入氩气、甲烷与硅烷。此时，工作环境的压力大约维持在0.3torr，外加电场的功率为100W，导入氩气的流率约为80ml/min，导入甲烷的流率约为60ml/min，导入硅烷(Silane；SiH₄)的流率约为2ml/min。在此环境下维持60分钟，会形成硅含量较前者(利用第一种方法所制作者)高的非晶质DLC膜123。

然而，凡在所属技术领域中具有通常知识者都能轻易理解，在以上所揭露的现有技术中，不论采用何种方式制作非晶质DLC膜123，都普遍存在以下两个相当严重的问题。

其一，由于在制作附着膜122与非晶质DLC膜123时，都必须将工作环境的温度提升至200℃(含)以上，在此温度下，由金属材料(特别是钢材)制成的传动轴121会产生回火效应，使传动轴121的表面硬度下降。当附着膜122与非晶质DLC膜123依序附着而制成镀膜传动轴12后，会使镀膜传动轴12的整体硬度下降，因而造成镀膜传动轴12的抗磨损能力下降。

其二，由于在制作附着膜122与非晶质DLC膜123时，仍需导入氩气；因此，在附着膜122与非晶质DLC膜123中都会含有一些含氩化合物。在非晶质DLC中，主要是利用共价键的方式键结，但是，含氩化合物并非利用共价键的方式键结。显而易见地，由于含氩化合物的存在，会破坏非晶质DLC膜123共价键的键结能力，使非晶质DLC膜123的表面硬度下降，同样会造成镀膜传动轴12的抗磨损能力下降。

基于以上前提，发明人认为实有必要研发出一种新的镀膜技术来有效改善上述两项问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种传动机构的镀膜技术，在该镀膜技术中，一方面要使被镀膜的传动机构本身仍保有较高的表面硬度，另一方面要在传动机构依序镀上附着膜与非晶质DLC膜而形成镀膜传动机构后，使非晶质DLC膜的表面不会残留上述的含氩化合物。

本发明解决问题的技术手段：提供一传动机构的表面镀膜方法。该镀膜方法包括以下步骤：提供一传动机构；清洁该传动机构的表面；将该传动机构设置于一工作环境，在该工作环境中导入一氢气与一四甲基硅烷(Tetra-methylsilane；TMS；Si(CH₃)₄)气体，施加一外加电力而在工作环境中产生一偏压电场，借以在该传动机构的表面形成一附着膜；在附着膜的表面形成一混合膜；以及在混合膜的表面形成一非晶质DLC膜，借以制成一镀膜传动机构。在混合膜中，越远离传动机构处，非晶质DLC材料的含量越高。

在本发明中，将工作环境的温度维持在100℃以下，且在制作附着膜、混合膜与非晶质DLC膜时，将外加电力的功率调高至800～1500W；因此，不再需要导入氩气来辅助维持电浆状态。

本发明的有益效果在于：相对于现有的镀膜技术，在本发明所提供传动机构的表面镀膜方法中，因为工作环境的温度维持在100℃以下；因此，可有效避免上述回火效应的产生，进而使传动机构本身仍保有较高的表面硬度。此外，由于在制作附着膜、混合膜与非晶质DLC膜时，不再需要导入氩气；因此，不论在附着膜、混合膜或非晶质DLC膜中，并不会残留上述的含氩化合物。

综上所述，在利用本发明所揭露的技术制作上述的镀膜传动机构，并不会存在上述的回火效应以及含氩化合物破坏非晶质DLC键结能力等问题。显而易见地，本发明确实可以有效确保镀膜传动机构具备较高的表面硬度，进而提升镀膜传动轴的抗磨损能力与使用寿命。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为一种常用传动组件的立体外观示意图；

图2为图1中镀膜传动轴沿A-A方向的断面图；

图3为本发明较佳实施例可应用的一传动组件；

图4为图3中镀膜传动轴沿B-B方向的断面图；

图5为一电浆辅助化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition；PECVD)镀膜设备用以对传动轴进行表面镀膜的示意图；

图6为将传动轴固定于导电架，并以一外加电力而在工作环境中产生一偏压电场；

图7为将气体导入至工作环境中，并使所导入气体在偏压电场的作用下，被解离为一电浆状物质；

图8为在传动轴表面形成附着膜的工艺；

图9为图8中圈X所示区域的剖面图；

图10为在附着膜的表面形成混合膜的工艺；

图11为图10中圈Y所示区域的剖面图；

图12为在混合膜的表面形成非晶质类钻石膜的工艺。

其中，附图标记

100 PECVD镀膜设备

1 传动组件

11 镀膜轴承

111 固定外轴

1111、1112 连结孔

112 可转动内轴

113 滚子

12 镀膜传动轴

121 传动轴

122 附着膜

123 非晶质DLC膜

2 带状动力传输件

3 传动组件

31 镀膜轴承

311 固定外轴

3111、3112 连结孔

312 可转动内轴

313 滚子

32 镀膜传动轴

321 传动轴

322 附着膜

323 混合膜

324 非晶质DLC膜

G 传动导槽

5 镀膜室

51、52、53、54 通气口

6 真空泵

7 电力控制装置

71 可调式电源供应器

72 导电架

E 偏压电场

H 氢气

H’ 氢离子

A 氩气

A’ 氩离子

S 四甲基硅烷(TMS)气体

C 乙炔气体

具体实施方式

由于发明所提供的表面镀膜方法，可广泛对各种传动机构(如：轴承、传动轴、链条、正齿轮、斜齿轮、伞型齿轮、凸轮、齿条与传动螺杆等等)进行镀膜作业而制成各种镀膜传动机构，其组合实施方式更是不胜枚举，故在此不再一一赘述，仅列举一个较佳实施例来加以具体说明。

请参阅图3，其显示本发明较佳实施例可应用在一传动组件的示意图。如图所示，一传动组件3包含一镀膜轴承31与一镀膜传动轴32，且镀膜轴承31与镀膜传动轴32都可视为一种镀膜传动机构。

镀膜轴承31包含一固定外轴311、一可转动内轴312与多个位于固定外轴311与可转动内轴312之间的滚子313。固定外轴311的延伸板件上开设二连结孔3111与3112，以便将该固定外轴311予以固定。可转动内轴312套接于镀膜传动轴32或与镀膜传动轴32一体成型。镀膜传动轴32具有一传动导槽G，一带状动力传输件4(可为皮带或炼条)局部环绕于镀膜传动轴32的传动导槽G，借以带动镀膜传动轴32旋转而传输动力至镀膜传动轴32。其中，镀膜传动轴32的其中一端也可利用马达或其它动力装置加以驱动；镀膜传动轴32的另一端也可结合风扇或其它需要被驱动的组件。

在传输动力的过程中，在镀膜传动轴32与带状动力传输件4之间，可转动内轴312与滚子313之间，以及滚子313与固定外轴311之间都会产生不同程度的磨损。随着传动组件3运作时间的增加，上述相关组件之间的磨损也会随之增加。随着磨损程度的增加，轻者，会造成镀膜传动轴32无法稳定地传输动力；重者，甚至会使整个传动组件3无法发挥既有的功能。

为了有效验证本发明所揭露的上述功效，以下将列举本发明所提供的镀膜技术在制作传动轴方面的应用来加以说明。请参阅图4，其显示图3中镀膜传动轴沿B-B方向的断面图。如图所示，镀膜传动轴32由一传动轴321、一附着膜322、一混合膜323与一非晶质DLC膜324所组成。

请参阅图5，其显示一电浆辅助化学气相沉积(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition；PECVD)镀膜设备用以对传动轴进行表面镀膜的示意图。如图所示，一PECVD镀膜设备100用以对上述的传动轴321进行表面镀膜，借以将传动轴321制成上述的镀膜传动轴32(标示于第四图)。PECVD镀膜设备100包含一镀膜室5、一真空泵6与一电力控制装置7，其中，镀膜室5具有四个通气口51、52、53与54；真空泵6连通镀膜室5；电力控制装置7包含一可调式电源供应器71与一导电架72，可调式电源供应器71位于镀膜室5外，导电架72自可调式电源供应器71延伸至镀膜室5内。

接着，请参阅图6至图12，其说明在本发明较佳实施中，对传动轴进行表面镀膜的一系列工艺示意图。首先，请参阅图6，其显示将传动轴固定于导电架，并以一外加电力而在工作环境中产生一偏压电场。如图所示，在对传动轴321进行表面镀膜之前，必须先将传动轴321架设于导电架72上，使传动轴321电性连接于可调式电源供应器71。

接着，利用真空泵6对镀膜室5抽气，使镀膜室5内形成一趋近真空的环境，以调整与控制工作环境内的压力。同时，利用可调式电源供应器71施加一外加电力，使导电架72形成一高电位点，镀膜室5内的工作环境形成一低电位点，据以产生一偏压电场E。

请继续参阅图7，其显示将气体导入至工作环境中，并使所导入气体在偏压电场的作用下，被解离为一电浆状物质。如图所示，在本实施例中，对传动轴321进行表面镀膜时，要打开通气口51与52以分别导入一氢气H与一氩气A等气体，并且关闭通气口53与54。所导入的氢气H与氩气A在镀膜室5内的工作环境中，受到工作环境内偏压电场E的作用，会被解离为二电浆状物质，即电浆状的氢离子H’与氩离子A’。在偏压电场E的作用下，电浆状的氢离子H’与氩离子A’会轰击传动轴321的表面，借以清洗传动轴321。

在此步骤中，共分为一第一清洗阶段与一第二清洗阶段。第一清洗阶段共历时10～25分钟，且在第一清洗阶段时，将工作环境的压力控制在4～15微巴(μbar)，偏压电场的偏压值控制在300～700伏特(Voltage；V)，外加电力的功率控制在600～1400瓦(Watt；W)。同时，在第一清洗阶段时，导入氢气H的流量为50～200标准立方公分/分钟(standard cc/min；sccm)，导入氩气A的流量也为50～200sccm。

第二清洗阶段共历时10～30分钟，且在第二清洗阶段时，将工作环境的压力控制在2～15μbar，偏压电场的偏压值控制在500～700V，外加电力的功率控制在1200～1400W。同时，在第二清洗阶段时，导入氢气H的流量为50～400sccm，导入氩气A的流量为200～400sccm。

请继续参阅图8与图9，图8显示在传动轴表面形成附着膜的工艺；图9显示图8中圈X所示区域的剖面图。如图所示，在传动传321的表面形成一附着膜322(标示于图9)时，必须关闭通气口51与54，并打开通气口52与53以将氢气H与一四甲基硅烷(Tetra-methylsilane；TMS；Si(CH₃)₄)气体S导入镀膜室5内的工作环境中，利用偏压电场E予以解离，借以在传动轴321表面上沉积形成附着膜322，并使附着膜322与传动轴321之间具备良好接合效果。

在形成附着膜322的阶段，共历时1～10分钟，其中，氢气H的流率可控制在50～100sccm之间；TMS气体S的流率可控制在50～250sccm，而使附着膜322具有硅(Si)、碳化硅(SiC)与极少量的碳氢化合物，附着膜322含硅比例甚高于非晶质类钻(diamond like carbon；DLC)材料，并紧密附着于传动轴321。此时，可调式电源供应器71所提供的外加电力的功率控制在800～1500W，偏压电场E的偏压值控制在400～700V，而工作环境中的压力则控制在2～4ubar之间。

请参阅图10与图11，图10显示在附着膜的表面形成混合膜的工艺；图11显示图10中圈Y所示区域的剖面图。如图所示，在附着膜的表面形成一混合膜323(标示于图7)时，必须关闭通气口51，并打开通气口52、53与54，将氢气H、TMS气体S与一烃类(hydrocarbon)气体导入镀膜室5内的工作环境中，利用偏压电场E予以解离，借以在附着膜322的表面沉积以形成混合膜323。其中，烃类(hydrocarbon)气体可为一乙炔气体C。

在形成混合膜323的阶段，共历时1～10分钟，其中，氢气H的流率可控制在50～800sccm之间；TMS气体S的流率可控制在50～250sccm，乙炔气体C的流率可控制在50～800sccm。此时，可调式电源供应器71所提供的外加电力的功率控制在800～1500W，偏压电场E的偏压值控制在400～700V，而工作环境中的压力则控制在4～15ubar之间。在此环境下，所形成的混合膜323的成分至少包括有碳化硅、非晶质DLC材料与少量的硅。由于混合膜323也具有附着膜322的成分(如硅与碳化硅等)，且在形成混合膜323的初始状态时，混合膜323的材质与附着膜322的材质相近，因此混合膜323可紧密接合于附着膜322上。

同时，在形成混合膜323的过程中，由乙炔气体C、TMS气体S与氢气H的流率消长，可使因沉积而形成的混合膜323具备以下特征：在越接近传动轴321处，混合膜323中的组成成分越接近于附着膜322；在越远离传动轴321处，混合膜323中的非晶质DLC材料的含量越高。

请参阅图12，其显示在混合膜的表面形成非晶质类钻石膜的工艺。同时，请一并参阅图4。如图所示，在混合膜323的表面形成非晶质DLC膜324(标示于图4)时，必须立即关闭通气口51，缓缓关闭通气口53，并打开通气口52与54，将氢气H与乙炔气体C导入镀膜室5内的工作环境中，利用偏压电场E予以解离，借以在混合膜323的表面沉积以形成非晶质类钻石膜324。至此，已完成镀膜传动轴32的制作。

形成非晶质类钻石膜324的阶段，共历时1～10分钟，其中，氢气H的流率可控制在50～800sccm之间；TMS气体S的流率逐渐降至0sccm，乙炔气体C的流率可控制在50～800sccm。此时，可调式电源供应器71所提供的外加电力的功率控制在800～1500W，偏压电场E的偏压值控制在400～700V，而工作环境中的压力则控制在10～20ubar之间。

由于混合膜323的最外围的成分已十分接近纯非晶质DLC材料，因此，非晶质DLC膜324可紧密地接合于混合膜323的表面。同时，由于混合膜323可紧密接合于附着膜322的表面，以及附着膜322可紧密附着于传动轴321的表面，因此，使镀膜传动轴32具有一紧密接合的非晶质DLC膜324。

在阅读以上所揭露的技术后，相信凡在所属技术领域中具有通常知识者都能够轻易理解，相比于已知镀有非晶质DLC材料的传动机构，在本发明中，镀膜传动机构(如镀膜传动轴32)具有结合性较强而不易脱落的非晶质DLC膜。

此外，相比于现有的镀膜技术，在本发明的镀膜技术中，只需在上述的第一清洗阶段与第二清洗阶段稍微加热而小幅升温至80℃左右即可，在此温度下，传动轴321几乎完全不会发生上述的回火现象。

由以上叙述可以发现，在制作附着膜322、混合膜323与非晶质DLC膜324的过程中，通气口51始终保持在关闭状态。其主因在制作附着膜322、混合膜323与非晶质DLC膜324的过程中，可调式电源供应器71所提供的外加电力的功率始终控制在800～1500W的高功率状态；完全不再需要导入氩气来辅助维持电浆状态，当然也不存在先前技术中所述的含氩化合物破坏非晶质DLC膜键结能力的问题。

由以上叙述可知，在本发明所提供的镀膜技术中，由于工艺与相关控制参数的改变，致使先前技术中因为回火效应与含氩化合物破坏非晶质DLC键结能力不再存在；因此，本发明所提供的镀膜方法，除了可以增加非晶质DLC膜的附着性之外，更能有效提升镀膜传动机构的表面硬度。在非晶质DLC膜的附着性较佳，以及镀膜传动机构的表面硬度较高的双重有利的影响下，本发明所提供之传动机构的表面镀膜方法确实可以有效提升镀膜传动机构的耐磨性，进而提升镀膜传动机构的使用寿命。

最后，必需再次强调的是，虽然在本发明较佳实施例，只针对镀膜传动轴的制作技术加以详述。在实际运用层面上，本发明所提供的传动机构的表面镀膜方法更可用在其它传动机构的镀膜作业。换句话说，本发明所述的传动机构，泛指轴承、传动轴、链条、正齿轮、斜齿轮、伞型齿轮、凸轮、齿条与传动螺杆等组件中的至少一者或其任意组合。

借助上述的本发明实施例可知，本发明确实具有产业上的利用价值。以上的实施例，仅为本发明的较佳实施例，所属技术领域的技术人员可依据本发明的上述实施例说明而作相应的改变和变化，但这些相应的改变和变化都应属于本发明所述的权利要求的保护范围。

Claims

1、一种传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：

(a)提供一传动机构；

(b)清洁该传动机构的表面；

(c)将该传动机构设置于一工作环境中，导入一氢气与一四甲基硅烷(Tetra-methylsilane；TMS；Si(CH₃)₄)气体至该工作环境中，施加一外加电力而在该工作环境中产生一偏压电场，将该偏压电场的一偏压值控制在400～700伏特(V)，并将该外加电力的功率控制在800～1500瓦(W)，借以在该传动机构的表面形成一附着膜；

(d)导入该氢气、该TMS气体与一烃类(hydrocarbon)气体至该工作环境中，将该偏压值控制在400～700V，并将该外加电力的功率控制在800～1500W，借以在该附着膜的表面形成一混合膜，使该混合膜含有一非晶质类钻石材料与该附着膜所含的成分，且在该混合膜中，越远离该传动机构处，该非晶质类钻石材料的含量越高；以及

(e)导入该氢气、该TMS气体与该烃类气体至该工作环境中，将该偏压值控制在400～700V，并将该外加电力的功率控制在800～1500W，借以在该混合膜的表面形成一非晶质类钻石膜，进而制成一镀膜传动机构。

2、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，该步骤(b)更包含以下步骤：

(b1)将该传动机构设置于该工作环境中；

(b2)提供该外加电力而在该工作环境中产生该偏压电场；

(b3)将至少一气体导入该工作环境；以及

(b4)利用该偏压电场将该气体解离为一电浆状物质，以清洁该传动机构的表面。

3、根据权利要求2所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在该步骤(b)中，包含一历时10～25分钟的第一清洗阶段，且在该第一清洗阶段将该工作环境的压力控制在4～15μbar，该偏压电场的该偏压值控制在300～700V，该外加电力的功率控制在600～1400W。

4、根据权利要求3所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在该第一清洗阶段，上述的至少一气体包含一氩气与上述的氢气，该氩气的流量为50～200标准立方公分/分钟(standard cc/min；sccm)，该氢气的流量为50～200sccm，且该气体被解离后所形成的电浆状物质为电浆状的氩离子与氢离子。

5、根据权利要求2所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在该步骤(b)中，包含一历时10～30分钟的第二清洗阶段，且在该第二清洗阶段将该工作环境的压力控制在2～15μbar，该偏压电场的该偏压值控制在500～700V，该外加电力的功率控制在1200～1400W。

6、根据权利要求5所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在该第二清洗阶段，上述的至少一气体包含一氩气与上述的氢气，该氩气的流量为200～400sccm，该氢气的流量为50～400sccm，且该气体被解离后所形成的电浆状物质为电浆状的氩离子与氢离子。

7、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，该外加电力由一可调式电源供应器所提供。

8、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(c)时，历时1～10分钟，该氢气的流率控制在50～100sccm，且该TMS气体的流率控制在50～250sccm。

9、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(c)时，将该工作环境的压力控制在2～4μbar。

10、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(d)时，历时1～10分钟，该氢气的流率控制在50～800sccm，该TMS控制在50～250sccm，该烃类气体为一乙炔(acetylene)气体，且该乙炔气体的流量控制在50～800sccm。

11、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(d)时，将该工作环境的压力控制在4～15μbar。

12、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(e)时，历时1～10分钟，该氢气的流率控制在50～800sccm，该TMS气体的流率逐渐降至0sccm，该烃类气体为一乙炔(acetylene)气体，且该乙炔气体的流量控制在50～800sccm。

13、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，在进行该步骤(e)时，将该工作环境的压力控制在10～20μbar。

14、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，该附着膜含有碳化硅(carborundum；SiC)，且该混合膜含有该非晶质类钻石材料与碳化硅。

15、根据权利要求1所述的传动机构的表面镀膜方法，其特征在于，该传动机构为一轴承、一传动轴、一链条、一齿轮、一齿条、一凸轮与一传动螺杆中的至少一者。