CN101662876B - 放电灯的应变量监视系统及放电灯 - Google Patents
放电灯的应变量监视系统及放电灯 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101662876B CN101662876B CN200910164137.XA CN200910164137A CN101662876B CN 101662876 B CN101662876 B CN 101662876B CN 200910164137 A CN200910164137 A CN 200910164137A CN 101662876 B CN101662876 B CN 101662876B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- dependent variable
- discharge lamp
- lamp
- luminous tube
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/56—One or more circuit elements structurally associated with the lamp
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/305—Flat vessels or containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/36—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
- H01J61/366—Seals for leading-in conductors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/84—Lamps with discharge constricted by high pressure
- H01J61/86—Lamps with discharge constricted by high pressure with discharge additionally constricted by close spacing of electrodes, e.g. for optical projection
Landscapes
- Circuit Arrangement For Electric Light Sources In General (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
提供一种放电灯的应变量监视系统及放电灯,即使电力值变更,放电灯也能够使用与本来的使用寿命相应的时间,能够避免发光管在放电灯的点灯过程中破裂,从而能够安全地使用放电灯。上述放电灯的应变量监视系统具备:放电灯(10);向放电灯供电的供电装置(20);以及计算放电灯的发光管(11)的蓄积应变量的运算装置(30),按照从供电装置向放电灯供给的各电力值,由运算装置分别设定计算点灯时间的函数即蓄积应变量的运算式,根据该运算式,将向放电灯供给的电力值下电力供给开始时发光管的蓄积应变量设为初始值,与该电力值下的点灯时间对应地确定该放电灯的发光管的总蓄积应变量。
Description
技术领域
本发明涉及一种放电灯的应变量监视系统及适用于该系统的放电灯,上述放电灯的应变量监视系统用于监视平版印刷用曝光装置中使用的超高压短弧水银灯、电影投影机中使用的短弧氙灯等放电灯中的发光管的蓄积应变量。
背景技术
在超高压水银灯、卤素灯、激光管等灯中,在其作动时,由于发光管内压上升,或电极与发光管玻璃的密封部热膨胀,从而发光管的应变量增大。所以,灯动作时若发光管的应变量超过界限,则存在发光管破裂的可能性。
例如短弧型水银灯在半导体元件及液晶显示元件等的制造工艺的各种曝光工序中使用于电路图案在半导体基板上的烘焙曝光等。
此外,近年来由于曝光面积的大型化或工序的高生产能力化,采用大型的短弧型水银灯,在上述灯中,点灯时的发光管内压力达到20个大气压至40个大气压。因此,施加于发光管的应力变大,发光管破裂的危险性变高,而且破裂时的破坏力也变大。万一发光管破裂时,对周围的影响大,对光学设备及灯具等带来重大的损伤。
尤其是,在各种制造工艺中,当发光管在曝光工序中破裂时,生产线会停止,对生产带来重大影响,因此为重要的问题。
为了解决上述问题,提出了如下的光源装置:在灯动作的过程中,对该灯的发光管照射激光而检测其透射光,从而测定透光性构件的应变量,当该应变量达到预定值以上时,停止电力供应或使警报设备动作(参照专利文献1)。
然而,光源装置内组装使用激光的复杂的检测功能在现实中难以实现,此外有如何设定发光管的测定应变量的部位与激光器的位置等问题,因此难以广泛适用。
由于上述原因,作为防止灯的发光管破裂的方法,实际上采用以下方式。
超高压短弧放电灯在其点灯过程中发光管内部维持高压,而且来自电弧的热使得构成发光管的玻璃(主要为石英玻璃)被加热升温而带有粘性,从而应力(内部应力)蓄积于该发光管。此外,在发光管上施加有蓄积的应力与点灯时所施加的外部压力的合应力,当该应力达到构成发光管的玻璃的临界应力时,会提高发光管破裂的可能性。
因此,为了在蓄积在发光管上的应变量达到预定值之前停止使用该灯,对各放电灯分别设定点灯保证时间。该点灯保证时间是例如以某点灯电力点灯放电灯时所蓄积的应变量达到临界的应变量(临界应变量)为止的时间。此外,该临界应变量是考虑构成发光管的玻璃的临界应力及点灯中施加于发光管的压力等而靠经验得到。
专利文献1:日本特公平6-005639号公报
发明内容
然而,仅由放电灯的点灯保证时间来规定该放电灯的使用寿命有以下问题。
蓄积在发光管上的应变量根据供应于放电灯的电力值而不同。也就是说,即使点灯时间相同,供应于放电灯的电力值愈高,蓄积在发光管的应变量也变大。此外,实际使用放电灯时,变更所供应的电力值的情形也不少。例举具体例子,则有如下情况:(1)为了周期时间的稳定化,采用从放电灯点灯开始逐渐提高所供应的电力值以使该放电灯的照度达到恒定的所谓恒定照度点灯方式;(2)在同一生产线上,使用共同的放电灯来进行多个保护层处理工序时,根据各保护层处理工序中使用的保护层的灵敏度,变更供应于放电灯的电力值,从而调整对保护层的照度。
这样,在未以恒定电力值使用放电灯,即变更所供应的电力值而使用放电灯时,以供应于放电灯的电力值为最大的使用条件为基准,即以应力的蓄积最大的使用条件为基准来设定点灯保证时间。
从而,将放电灯使用到达到点灯保证时间为止时,更换、废弃该放电灯。然而,被废弃的放电灯在其发光管的蓄积应变量的观点上看处于仍可使用的状态,因此有经济、环境方面不合理的问题。
此外,为了避免上述不合理,根据使用者自己的判断,会在超过点灯保证时间后继续使用,此时发光管破裂的危险性提高,灯万一破裂时,不仅需要维修昂贵的光学系统,而且需要暂时停止生产,因此有大幅度降低生产效率的问题。
本发明是鉴于上述情况而作出,其目的在于提供一种放电灯的应变量监视系统及适用于该系统的放电灯,即使向放电灯供给的电力值发生变化,放电灯也能够使用与本来的使用寿命相应的时间,并且能够避免发光管在放电灯的点灯过程中破裂,从而能够安全地使用该放电灯。
本发明的一种放电灯的应变量监视系统,具备:放电灯;向该放电灯供电的供电装置;以及计算该放电灯的发光管的蓄积应变量的运算装置,上述放电灯的应变量监视系统的特征在于,按照从上述供电装置向上述放电灯供给的各电力值,由上述运算装置分别设定计算点灯时间的函数即蓄积应变量的运算式,根据该运算式,将向上述放电灯供给的电力值下电力供给开始时发光管的蓄积应变量设为初始值,与该电力值下的点灯时间对应地确定该放电灯的发光管的总蓄积应变量。
在本发明的放电灯的应变量监视系统中,优选的是,具备警报装置,该警报装置比较预先设定的发光管的临界应变量与由运算式确定的总蓄积应变量,当该总蓄积应变量达到该临界应变量时发出警报。
此外,优选的是,具备显示装置,该显示装置显示包含放电灯的总蓄积应变量、点灯时间及达到临界应变量为止的时间在内的信息。
此外,在本发明的放电灯的应变量监视系统中,优选的是,在放电灯上设置有灯信息记录介质,该灯信息记录介质记录包含用于设定运算式的参数、总蓄积应变量及累积点灯时间在内的信息。
优选的是,由运算装置在上述灯信息记录介质中写入放电灯的总蓄积应变量及累积点灯时间。
此外,作为灯信息记录介质可使用IC标签。
本发明的一种放电灯,适用于上述的放电灯的应变量监视系统,其特征在于,具备灯信息记录介质,该灯信息记录介质记录包含用于设定运算式的参数、总蓄积应变量及累积点灯时间在内的信息。
根据本发明的放电灯的应变量监视系统,根据按供应于放电灯的电力值分别设定的运算式,将电力供应开始时发光管的蓄积应变量作为初始值,确定该放电灯的发光管的总蓄积应变量,因此即使变更所供应的电力值而使用放电灯时,该放电灯也能够使用与本来的使用寿命相应的时间。而且,在发光管的总蓄积应变量达到临界应变量时,使用者能够认识到这一点,因此通过中止使用放电灯,能够避免放电灯点灯过程中发光管破裂,因此能够安全地使用该放电灯。
此外,因设有警报装置,因此发光管的总蓄积应变量达到临界应变量时,能够切实地通知给使用者。
此外,因设有显示装置,因此在放电灯的点灯过程中,始终能够监视发光管的蓄积应变量。
此外,因在放电灯本身上设有灯信息记录介质,因此即使因改良设计等原因而使用与该放电灯的规格不相同的其他放电灯,由于由运算装置读取记录于该其他放电灯的灯信息记录介质中的用于设定运算式的参数、总蓄积应变量等信息而自动变更运算装置的设定,在该运算装置上设定与该其他放电灯相关的运算式,因此也不需要进行每当更换放电灯时作业人员对照放电灯的规格而变更运算装置的设定的复杂操作,而且能够避免作业人员忘记变更运算装置的设定,或进行错误的设定,从而能够防止根据错误的运算式算出蓄积应变量,因此始终能够根据与应点灯的放电灯相关的固有运算式确定发光管的总蓄积应变量。
此外,熄灯放电灯时,熄灯时的发光管的总蓄积应变量的信息写入到灯信息记录介质中,从而在再点灯放电灯时,由运算装置读取上一次熄灯时的总蓄积应变量的信息,以该熄灯时的总蓄积应变量为初始值,因此能够在再点灯放电灯时切实地根据最新信息确定发光管的总蓄积应变量。
附图说明
图1是表示本发明的应变量监视系统的一例的概略构成的说明图。
图2是截断一部分而表示放电灯的一例的构成的说明图。
图3是表示本发明的应变量监视系统的动作的框图。
图4是表示由运算式提供的蓄积应变量的增加曲线的图。
图5是表示由本发明的应变量监视系统测定的蓄积应变量的增加曲线的图。
图6是表示实验例1中所测定的蓄积应变量及由运算式提供的蓄积应变量的增加曲线的图。
图7是表示实验例2中所测定的蓄积应变量及由运算式提供的蓄积应变量的增加曲线的图。
图8是表示实验例3中由应变量监视系统测定的蓄积应变量的增加曲线的图。
具体实施方式
以下,针对本发明的实施方式加以详细地说明。
图1是表示本发明的放电灯的应变量监视系统(以下,称为“应变量监视系统”)的一例的概略构成的说明图。
该应变量监视系统包括:放电灯10、将电力供应于该放电灯10的供电装置20、控制该供电装置20的电力控制装置21、计算放电灯10的发光管11的蓄积应变量的运算装置30、显示放电灯10的发光管11的总蓄积应变量等信息的显示装置40、放电灯10的发光管11的总蓄积应变量达到临界应变量时产生警报的警报装置50。
放电灯10具有例如由石英玻璃构成的发光管11,在该发光管11的内部封入有水银,构成为短弧型高压水银灯。在图2中放大而进行表示,发光管11在椭圆球管状的发光部12的两端形成有直管状的密封部13,在该发光管11内,阳极14及阴极15沿着管轴方向配置成彼此相对。此外,在发光管11的密封部13分别配置有灯头16,在该灯头16分别设有引线W。
此外,在放电灯10的一方的引线W,安装有IC标签C1。在该IC标签C1上记录有:用于设定与放电灯10的发光管11的应变量相关的运算式的参数、发光管11的临界应变量及蓄积应变量、放电灯10的累积点灯时间、放电灯10的序号等灯信息。
在供电装置20上设有输出部(省略图示),将从该供电装置20向放电灯10供给的电力值及供应时间(点灯时间)等信息传送至运算装置30。
此外,在电力控制装置21上连接有检测来自放电灯10的放射光的照度的光检测单元S,根据由光检测单元S所检测出的照度,由电力控制装置21反馈控制从供电装置20向放电灯10供给的电力值。
运算装置30包括:读取记录在放电灯10的IC标签C1中的信息的信息读取部31;根据来自IC标签C1的信息来设定运算式,通过该运算式来确定发光管11的总蓄积应变量的运算部32;暂时存储来自运算部32的信息的存储部33;将存储在存储部33的信息写入在IC标签C1上的信息写入部34;控制电力控制装置21与警报装置50的控制部35。
对于上述应变量监视系统的动作,参照图1及图3加以说明。
首先,放电灯10被设置在预定的安装部(省略图示)(步骤1),由运算装置30的信息读取部31读取记录在该放电灯10的IC标签C1中的灯信息(步骤2)。该灯信息从信息读取部31被传送至运算部32,进而被存储在存储部33。此外,从供电装置20向放电灯10供给电力,从而若放电灯10被点灯(步骤3),则例如每经过1秒钟~数分钟,从供电装置20向运算装置30的运算部32发送电力值及点灯时间的信息(步骤4)。
在运算装置30的运算部32中,根据从供电装置20向放电灯10供给的电力值,确定用于设定运算式的参数值,从而设定计算点灯时间的函数即蓄积应变量ε的运算式ε=f(t)。
在设定该运算式时,以固定的电力值使与所使用的放电灯相同规格的放电灯点灯,测量发光管的蓄积应变量的经时变化,根据该实测值的数据导出的近似式用作对每种同一规格的放电灯定义的固有的基础运算式。
作为该基础运算式,可以根据构成发光管的玻璃(粘弹性体)的物理特性,即根据粘弹性体的从外部施加的应力与因该应力而蓄积于内部的应变量的经时变化的关系,适当地使用下述式(1)所表示的指数函数或下述式(2)所表示的函数。上述基础运算式是根据放电灯10的发光管11的蓄积应变量的经时变化的实测值而适当选择。此外,粘弹性体的外部应力与蓄积应变量的经时变化的关系,例如被记载于“非牛顿流体力学”(中村喜代次著,コロナ公司发行)等。
[数1]
式(1):f(t)=an×[1-exp(-αnt)]
式(2):f(t)=bntβn
在上述式(1)及式(2)中,an、αn、bn及βn是所使用的放电灯10的规格及供应的电力值所确定的参数。设定上述参数的电力值的范围及电力值的间隔根据放电灯10的规格有所不同,例如对于额定功率为12kW的放电灯10,例如在10~12kW(额定功率的80~100%)的范围,以0.1~1kw的间隔设定参数。
此外,参数是根据发光管11的蓄积应变量的经时变化的实测值而设定,根据3个以上的电力值下发光管11的蓄积应变量的经时变化的实测值求出各电力值的参数,从上述参数值,对参数[an、αn或bn、βn]与电力值[P]的关系导入近似式[an=f1(P)、αn=f2(P)或bn=f1(P)、βn=f2(P)],从而由该近似式求出所设定的电力值范围的所有参数的值。
如上所述,通过根据被供应于放电灯10的电力值来确定参数的值,设定该电力值的运算式。
在如此设定的运算式中,确定存储在存储部33中的发光管11的总蓄积应变量,即以供应于放电灯10的电力值下电力供应开始时发光管11的蓄积应变量为初始值,与该电力值下的点灯时间对应地确定该放电灯10点灯时发光管11的总蓄积应变量。该确定的总蓄积应变量、累积点灯时间及下述的蓄积应变量的增加曲线等信息暂时被存储在运算装置30的存储部33,而被显示在显示装置40的显示部41。
此外,若供应于放电灯10的电力值变更,则根据该电力值重新设定运算式,在该运算式中,将该电力值下电力供应开始时发光管11的蓄积应变量作为初始值,确定该放电灯10点灯过程中发光管11的总蓄积应变量(步骤5)。
另一方面,暂时存储在运算装置30的存储部33中的总蓄积应变量、累积点灯时间及蓄积应变量的增加曲线等信息是以适当的时机被信息写入部34写入至放电灯10的IC标签C1(步骤6)。在此,关于IC标签C1的信息写入,可以在存储在存储部33中的信息被更新时实行,也可以仅在放电灯10熄灯时实行。
以下,以如下情况为例对总蓄积应变量的确定进行更详细的说明:例如发光管11的初始的蓄积应变量为0、以上述式(1)为用于计算蓄积应变量的基础运算式的放电灯10以10kW的电力点灯400小时,以11kW的电力点灯400小时(合计800小时)。
若供应10kW的电力来点灯放电灯10,则根据该电力值(10kW),上述式(1)的参数an及αn分别被确定成[an=a1]及[αn=α1],设定为运算式ε=f(t)=a1×[1-exp(-α1t)。然后,如图4所示,得到10kW的电力下的蓄积应变量的增加曲线A(以下称为“曲线A”),而在10kW的电力供应于放电灯10的期间,在图4中如粗线(ア)所示,发光管11的总蓄积应变量沿着曲线A增加。在此,在图4中,横纵是表示放电灯的点灯时间,纵轴表示发光管的蓄积应变量,表示初始应变量为0、临界应变量为100时的相对值。
然后,在自供应10kW电力开始经过400小时之后,将供应的电力变更成11kW,此时根据该电力值(11kW),上述式(1)的参数An及α0分别被确定成“An=A2”及“αn=α2”,重新设定为运算式ε=f(t)=a2×[1-exp(-α2t)。如此,通过该运算式得到11kW电力下的蓄积应变量的增加曲线B(以下称为“曲线B”),在11kW的电力供应于放电灯10的期间,以供应于放电灯10的电力值变更时即11kW的电力供应开始时的发光管11的蓄积应变量(在图示例为约30)为初始值,如图4中粗线(イ)所示,发光管的总蓄积应变量沿着曲线B增加。
如此地,由按每个电力值分别设定的运算式,确定放电灯10点灯中的发光管11的总蓄积应变量,如图5所示,实际的总蓄积应变量沿着曲线A的粗线(ア)及曲线B’的粗线(イ)’增加。在此,在图5中,横轴表示放电灯的累积点灯时间,纵轴表示发光管的蓄积应变量,表示将初始应变量设为0、将临界应变量设为100时的相对值。并且,从开始供应11kW的电力经过400小时(累积点灯时间为800小时)之后,发光管11的总蓄积应变量(图示例子为66)表示比供应10kW的电力800小时进行点灯时的总蓄积应变量高、比供应11kW的电力800小时进行点灯时的总蓄积应变量低的值。
以上,在运算装置30的控制部35中,始终比较由运算式确定的总蓄积应变量与从放电灯10的IC标签C1读取的发光管11的临界应变量(步骤7)。并且,在总蓄积应变量未达到临界应变量时,该信息被传送至电力控制装置21,继续进行对放电灯10的电力供应(至步骤4)。另一方面,在总累计应变量达到临界应变量时,该信息被传送至警报装置50,警报部51发出警报(步骤8)。
此外,在放电灯10的发光管11的总蓄积应变量达到临界应变量之前熄灯该放电灯10的情况下,熄灯时的蓄积应变量的信息被写入在IC标签C1中,在再点灯放电灯10时,将该蓄积应变量作为初始值,确定放电灯10点灯时的发光管11的总蓄积应变量。
根据上述应变量监视系统,根据按供应于放电灯10的电力值分别设定的运算式,将电力供应开始时发光管11的蓄积应变量作为初始值,确定放电灯10点灯过程中发光管11的总蓄积应变量,因此即使变更所供应的电力值而使用放电灯10时,也可在该发光管11的蓄积应变量达到临界应变量为止的期间即与放电灯10本来的使用寿命相应的期间内使用放电灯10。而且,在发光管11的总蓄积应变量达到临界应变量时,使用者能够认识到该临界应变量,因此通过中止使用放电灯10,能够避免放电灯10点灯过程中发光管11破裂,因此能够安全地使用放电灯10。
此外,因设有警报装置50,因此发光管11的总蓄积应变量达到临界应变量时,可切实地通知给使用者。
此外,因设有显示装置40,因此在放电灯10的点灯过程中,始终能够监视发光管11的蓄积应变量。
此外,因在放电灯10设有IC标签C1,因此即使因改良设计等原因而使用与该放电灯10的规格不相同的其他放电灯10,由于由运算装置30读取记录于该其他放电灯10的IC标签C1中的设定运算式所用的参数、总蓄积应变量等信息而自动变更运算装置30的设定,在该运算装置30上设定与该其他放电灯10相关的运算式,因此也不需要进行每当更换放电灯10时作业人员对照放电灯10的规格而变更运算装置30的设定的烦杂作业,而且可避免作业人员忘记变更运算装置30的设定,或进行错误的设定,从而可防止根据错误的运算式算出蓄积应变量,因此能够始终根据与应点灯的放电灯10相关的固有运算式确定发光管11的总蓄积应变量。
此外,熄灯放电灯10时,因熄灯时的发光管11的总蓄积应变量的信息被写入在IC标签C1,因此在再点灯放电灯10时,由运算装置30读取记录在IC标签C1中的上一次熄灯时的总蓄积应变量的信息,以该熄灯时的总蓄积应变量为初始值,因此能够在再点灯放电灯10时切实地根据最新信息而确定发光管11的总蓄积应变量。
本发明的应变量监视系统并不限定于上述实施方式,可实施各种变更。
例如设于放电灯的灯信息记录介质并不限定于IC标签,可利用各种电子信息记录介质。
此外,可以进行如下控制:在从警报装置发出警报时开始经过适当的时间(例如24小时)之后,停止对放电灯的电力供应而熄灯该放电灯。
此外,放电灯不限定于短弧型高压水银灯,可以适用各种放电灯。
[实施例]
(实验例1)
根据图2的构成制作下述规格的放电灯(10)。
发光管(11):石英玻璃制,全长185mm,发光部(12):长度160mm,最大内径110mm,最大外径120mm,发光部(12)内的容积1000cm3,密封部(13):外径34mm
阳极(14):钨制,阴极(15):镀钍钨(Thoriated Tungsten)制,电极间距离:13mm
封入物(量):水银(30mg/cm3)
额定功率:12kW,额定电压:115V,额定电流:104A
将上述规格的放电灯作为“放电灯A”。
此外,以10kW,11kW及12kW的电力值点灯放电灯A,对于各电力值,每当点灯时间经过100小时测定发光管(11)的蓄积应变量。
作为基础运算式使用上述式(1),从上述的蓄积应变量的实测值求出各电力值的参数[an、αn]的值,设定各电力值的运算式。将参数[an、αn]的值表示于下述表1。此外,图6表示所测定的蓄积应变量及由运算式提供的蓄积应变量的增加曲线。在图6中,横轴表示放电灯的累积点灯时间,纵轴表示发光管的蓄积应变量,表示将初始应变量设为0、将临界应变量设为100时的相对值。
由图6可知,发光管的蓄积应变量沿着以上述式(1)为基础运算式的运算式所提供的蓄积应变量的增加曲线增加。
[表1]
(实验例2)
根据图2的构成制作下述规格的放电灯(10)。
发光管(11):石英玻璃制,全长170mm,发光部(12):长度145mm,最大内径92mm,最大外径100mm,发光部(12)内的容积600cm3,密封部(13):外径30mm
阳极(14):钨制,阴极(15):镀钍钨制,电极间距离:11mm
封入物(量):水银(25mg/cm3)
额定功率:10kW,额定电压:95V,额定电流:105A
将上述规格的放电灯作为“放电灯B”。
此外,以8kW,9kW及10kW的电力值点灯放电灯B,对于各电力值,每当点灯时间经过100小时测定发光管(11)的蓄积应变量。
作为基础运算式使用上述式(2),从上述的蓄积应变量的实测值求出各电力值的参数[bn,βn]的值,设定各电力值的运算式。将参数[bn,βn]的值表示于下述表2。此外,图7表示所测定的应变量及由运算式提供的蓄积应变量的增加曲线。在图7中,横轴表示放电灯的累积点灯时间,纵轴表示发光管的蓄积应变量,表示将初始应变量设为0、将临界应变量设为100时的相对值。
由图7可知,发光管的蓄积应变量沿着以上述式(2)为基础运算式的运算式所提供的蓄积应变量的增加曲线增加。
[表2]
(实验例3)
关于放电灯A,根据实验例1所求出的参数[an、αn]的值,对参数[an、αn]与电力值[P]的关系导入近似式[an=f1(P)、αn=f2(P)],由该近似式在10~12kW的电力范围以0.1kW的刻度求出各电力值的参数[bn,βn]的值。
此外,根据图1的构成的应变量监视系统,在以10kW且290小时、12kW且160小时、11kW且130小时、10.5kW且290小时、11.5kW且250小时、11kW且310小时的条件点灯放电灯A,然后熄灯放电灯A。图8表示利用应变量监视系统测定的蓄积应变量的增加曲线。在图8中,横轴表示放电灯的累积点灯时间,纵轴表示发光管的蓄积应变量,表示将初始应变量设为0、将临界应变量设为100时的相对值。此外,粗线所示的曲线表示由应变量监视系统所测定的蓄积应变量的增加曲线,其他虚线所示的曲线表示由运算式所提供的、10kW、10.5kW、11kW、11.5kW及12kW的各电极值下的蓄积应变量的增加曲线。
由图8可知,在以上述条件点灯放电灯A时,发光管(11)的蓄积应变量达到临界应变量为止的时间为以额定功率12kW点灯时的时间(点灯保证时间)的约1.7倍。
此外,在熄灯放电灯A之后测定发光管(11)的蓄积应变量的情况下,确认了与由应变量监视系统所测定的蓄积应变量大致一致。
Claims (6)
1.一种放电灯的应变量监视系统,具备:
放电灯;
向该放电灯供电的供电装置;以及
计算该放电灯的发光管的蓄积应变量的运算装置,
上述放电灯的应变量监视系统的特征在于,
按照从上述供电装置向上述放电灯供给的各电力值,由上述运算装置分别设定计算点灯时间的函数即蓄积应变量的运算式,
根据该运算式,将向上述放电灯供给的电力值下的电力供给开始时发光管的蓄积应变量设为初始值,与该电力值下的点灯时间对应地确定该放电灯的发光管的总蓄积应变量。
2.如权利要求1所述的放电灯的应变量监视系统,其特征在于,
具备警报装置,该警报装置比较预先设定的发光管的临界应变量与由运算式所确定的总蓄积应变量,当该总蓄积应变量达到该临界应变量时发出警报。
3.如权利要求1或2所述的放电灯的应变量监视系统,其特征在于,
具备显示装置,该显示装置显示包含放电灯的总蓄积应变量、点灯时间及达到临界应变量为止的时间在内的信息。
4.如权利要求1所述的放电灯的应变量监视系统,其特征在于,
在放电灯上设置有灯信息记录介质,该灯信息记录介质记录包含用于设定运算式的参数、总蓄积应变量及累积点灯时间在内的信息。
5.如权利要求4所述的放电灯的应变量监视系统,其特征在于,
由运算装置在灯信息记录介质中写入放电灯的总蓄积应变量及累积点灯时间。
6.如权利要求4所述的放电灯的应变量监视系统,其特征在于,
灯信息记录介质是IC标签。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008-216058 | 2008-08-26 | ||
JP2008216058 | 2008-08-26 | ||
JP2008216058A JP4548530B2 (ja) | 2008-08-26 | 2008-08-26 | 放電ランプの歪量監視システムおよび放電ランプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101662876A CN101662876A (zh) | 2010-03-03 |
CN101662876B true CN101662876B (zh) | 2014-07-30 |
Family
ID=41790544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN200910164137.XA Expired - Fee Related CN101662876B (zh) | 2008-08-26 | 2009-08-06 | 放电灯的应变量监视系统及放电灯 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4548530B2 (zh) |
KR (1) | KR100989770B1 (zh) |
CN (1) | CN101662876B (zh) |
TW (1) | TWI458392B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5454168B2 (ja) * | 2010-01-27 | 2014-03-26 | ウシオ電機株式会社 | 放電ランプ用給電装置 |
JP2014075316A (ja) * | 2012-10-05 | 2014-04-24 | Cerma Precision Inc | ランプ及び光源装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1882209A (zh) * | 2005-05-13 | 2006-12-20 | 电灯专利信托有限公司 | 电灯和照明系统以及电灯或照明系统的运行方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1395092B1 (en) * | 1996-04-10 | 2006-05-31 | Seiko Epson Corporation | Light-source lamp unit, light-source device and projection-type display apparatus |
JP3933724B2 (ja) * | 1996-05-30 | 2007-06-20 | ハリソン東芝ライティング株式会社 | 高圧放電灯点灯装置および画像表示装置 |
JPH11121339A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-04-30 | Nikon Corp | 露光装置及び露光方法 |
JP2002122940A (ja) | 2000-10-12 | 2002-04-26 | Nikon Corp | 投射型表示装置 |
JP2002287243A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Seiko Epson Corp | ランプ寿命表示 |
JP2005243381A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Hitachi Ltd | 放電ランプ点灯装置 |
JP2006201645A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Plus Vision Corp | カートリッジ式ランプユニット |
-
2008
- 2008-08-26 JP JP2008216058A patent/JP4548530B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-06-02 TW TW098118206A patent/TWI458392B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-06-26 KR KR1020090057773A patent/KR100989770B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2009-08-06 CN CN200910164137.XA patent/CN101662876B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1882209A (zh) * | 2005-05-13 | 2006-12-20 | 电灯专利信托有限公司 | 电灯和照明系统以及电灯或照明系统的运行方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP特开平11-121339A 1999.04.30 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI458392B (zh) | 2014-10-21 |
CN101662876A (zh) | 2010-03-03 |
TW201010508A (en) | 2010-03-01 |
JP2010055754A (ja) | 2010-03-11 |
KR100989770B1 (ko) | 2010-10-26 |
KR20100024887A (ko) | 2010-03-08 |
JP4548530B2 (ja) | 2010-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW200710499A (en) | Backlight unit and method for uniforming brightness thereof | |
CN106061077B (zh) | 曝光装置及其检查方法 | |
DE59409443D1 (de) | Vorschaltgerät mit Lampenwechselerkennung für Entladungslampen | |
CN101662876B (zh) | 放电灯的应变量监视系统及放电灯 | |
CN100466877C (zh) | 用于高压放电灯的发光方法和装置以及高压放电灯装置 | |
JP3423227B2 (ja) | 寿命計 | |
CN101989530B (zh) | 超高压水银灯及超高压水银灯点灯装置 | |
CN103430628B (zh) | 一种驱动气体放电灯的方法 | |
CN105280471A (zh) | 放电灯、具有该放电灯的光源装置以及放电灯用发送器 | |
JP2010113986A (ja) | Led照明装置 | |
NO20090429L (no) | Apparat og fremgangsmate for a overvake i det minste en fluoriserende lampe | |
JP2009283226A (ja) | メタルハライドランプ | |
JP2015088422A (ja) | 高圧放電ランプの点灯方法、および点灯回路 | |
JP2006196370A (ja) | 紫外光源点灯装置および紫外線照射装置 | |
CN101730359B (zh) | 高强度气体放电灯的镇流器驱动控制方法及其系统 | |
US7701139B2 (en) | Electric discharge lamp | |
JP2005268028A (ja) | 照明装置 | |
CN103906966A (zh) | 使用两个热敏开关控制混合式灯 | |
JP4249740B2 (ja) | 冷陰極管の輝度回復方法及び装置 | |
TW200733814A (en) | Method of controlling preheat temperature of gas discharge lamp and the device thereof | |
JP2011054459A (ja) | 高輝度放電灯を主光源とする照明装置、主光源の交換時期報知方法 | |
KR20010010746A (ko) | 조명기구의 보호장치 | |
JP2003059680A (ja) | 冷陰極放電管の点灯装置 | |
CN116669249A (zh) | 基于温度值控制点火方式的智能型高压气体放电灯 | |
JP2003059683A (ja) | 冷陰極放電管の点灯装置及びそれを使用した液晶表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140730 Termination date: 20180806 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |