JP2014075316A - ランプ及び光源装置 - Google Patents

Abstract

【課題】煩雑な操作を一切不要とし、ランプの点灯時間及び点灯回数を正確に管理することができ、ランプ寿命を超えて点灯させた場合の破裂又は光量低下を確実に防止することが可能なランプ及び光源装置を提供する。
【解決手段】あらかじめ定められた一機種又は複数機種の光源装置と接触又は非接触により通信可能なＩＣカード２を別体の形態で備えたランプ１であり、ＩＣカード２は、あらかじめ定められたランプ１の点灯制限時間情報と、ランプの累積点灯時間情報と、ランプの使用可否情報とを記憶するＩＣチップ２１を含み、光源装置３からの信号に基づいて、累積点灯時間情報の更新し、使用可否情報を書き換える構成としてある。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、メタルハライドランプや超高圧水銀ランプなどの高輝度放電ランプ、及びこれらランプを点灯させる光源装置に関し、特に、ランプ寿命を超えて点灯させた場合の破裂又は光量低下を防止することが可能なランプ及び光源装置に関する。

従来からフォトリソグラフィを実施するための露光装置の光源には、メタルハライドランプや超高圧水銀ランプなどの高輝度放電ランプが用いられている。これら高輝度放電ランプは、硬質ガラス管の中に金属原子を含む高圧蒸気を封入し、この高圧蒸気中でアーク放電することにより発光する構成となっている。

このような高輝度放電ランプは、その寿命を超える使用が破裂又は光量低下を招くため、あらかじめ点灯制限時間が決められていた。一方、ランプを点灯させる光源装置には、点灯時間を累積する時間カウンターと、点灯回数を累積する点灯回数カウンターとが備えられていた。フォトリソグラフィを実施するオペレータは、各カウンターの表示に基づいてランプ寿命を管理していた。また、寿命に達したランプを交換する際に、オペレータは、時間カウンター及び点灯回数カウンターをそれぞれリセットしていた。

特開２００８−２６９９７７号公報

しかし、上述した従来のランプ及び光源装置では、オペレータが時間カウンター及び点灯回数カウンターをリセットしなければならず、操作が煩雑であり、また、人為的なミスによりランプ寿命を正確に管理できないという問題があった。

すなわち、オペレータは、ランプを点灯させる度に各カウンターを確認しなければならず、ランプ交換時には各カウンターをリセットする手間が掛かる。また、オペレータが各カウンターのリセットを失念してしまった場合には、新しいランプの交換後も、古いランプの点灯時間及び点灯回数が累積されてしまい、ランプの残り寿命が全く不明になってしまうことがある。

さらに、ランプの点灯制限時間は、破裂防止の観点から実際の寿命よりも短い時間に定められている場合がある。これを見越したオペレータが、ランプ破裂のリスクを負いながら、故意に点灯制限時間を超えてランプを点灯させてしまうケースもあり得る。

ここで、特開２００８−２６９９７７号公報（特許文献１）の［図１］及び［図２］には、ランプ情報、輸送情報、開封履歴情報、点灯履歴情報を記録したＩＣタグと、その読取装置とを給電線上に保持した構成の放電ランプが提案されている。しかし、特許文献１には、ＩＣタグの情報に基づいて、どのように放電ランプの使用を禁止するのか、具体的な制御処理が記載されていない（特許文献１の平成２３年１２月１３日起案日の拒絶理由通知書）。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、煩雑な操作を一切不要とし、ランプの点灯時間及び点灯回数を正確に管理することができ、ランプ寿命を超えて点灯させた場合の破裂又は光量低下を確実に防止することが可能なランプ及び光源装置の提供を目的とする。

上記目的を達成するために、本発明のランプは、あらかじめ定められた一機種又は複数機種の光源装置と接触又は非接触により通信可能な集積回路を一体又は別体の形態で備えたランプであり、前記集積回路は、あらかじめ定められた前記ランプの点灯制限時間情報と、前記ランプの累積点灯時間情報と、前記ランプの使用可否情報とを記憶する記憶手段を含み、前記光源装置からの信号に基づいて、前記累積点灯時間情報の更新し、前記使用可否情報を書き換える構成としてある。

好ましくは、前記集積回路が、前記ランプと別体のカードに内蔵されたＩＣチップである構成、又は前記集積回路が、前記ランプに一体に取り付けられたＩＣチップである構成にするとよい。より好ましくは、前記点灯制限時間情報が、前記ランプの破裂又は光量低下を想定した寿命よりも短い時間に設定してある構成にするとよい。

好ましくは、前記記憶手段が、前記ランプの累積点灯回数情報を記憶し、前記集積回路が、前記光源装置からの信号に基づいて、前記累積点灯回数情報を更新する構成にするとよい。

上記構成からなる本発明のランプによれば、特定のランプに一対一で対応する集積回路に、このランプに定められた点灯制限時間情報、点灯制限回数情報、及び実際の点灯に伴って更新される累積点灯時間情報、累積点灯回数情報及び使用可否情報を記憶させることができる。これら情報に基づいて、次に述べる本発明の光源装置が、ランプの点灯時間及び点灯回数を正確に管理し、ランプ寿命を超えて点灯させた場合の破裂又は光量低下を確実に防止することが可能となる。

上記目的を達成するために、本発明の光源装置は、上述した本発明のランプに適合した光源装置であって、前記集積回路と接触又は非接触により通信し、前記記憶手段に記憶された情報の読み出し及び書き込みが可能なＩＣリーダライタと、前記ＩＣリーダライタが読み出した情報に基づいて、前記ランプの点灯を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
（１）前記使用可否情報に基づいて、前記ランプの使用可否を判断し、前記使用可否情報が使用不可であると判別した場合は、前記ランプを点灯させず、
（２）前記使用可否情報が使用可であると判別した場合は、前記ランプを点灯させ、
（３）前記ランプの点灯後に、前記ランプの点灯時間を計測するとともに、前記ＩＣリーダライタに信号を送信して前記累積点灯時間情報を更新させ、
（４）前記ランプの点灯中に、前記点灯制限時間情報と前記累積点灯時間情報とを比較して、前記ランプの累積点灯時間が点灯制限時間以上であると判別した場合は、前記ランプを消灯させ、前記ＩＣリーダライタに信号を送信して前記使用可否情報を使用不可に書き換えさせる、制御処理を行うようにしてある。

上記構成からなる本発明の光源装置では、特定のランプに一対一で対応する集積回路がＩＣリーダライタにより検出されない場合、光源装置の制御手段は、そのランプを点灯させない。この制御処理により、特定のランプを点灯させたときには、その累積点灯時間及び／又は累積点灯回数を、集積回路の記憶手段に記憶させて正確に管理することが可能となる。

一方、集積回路がＩＣリーダライタにより検出された場合は、ＩＣリーダライタが、集積回路の記憶手段に記憶された各種情報を読み出す。まず、制御手段は、ランプの使用可否情報に基づいて、そのランプの使用可否を判断する。使用可否情報が使用不可の場合、制御手段は、そのランプを点灯させない。この制御処理により、既に寿命の尽きたランプの再使用を禁止することができる。

一方、使用可否情報が使用可の場合、制御手段は、ランプを点灯させて、点灯時間の計測を開始するとともに、ＩＣリーダライタに信号を送信して累積点灯時間情報を更新させる。この制御処理により、ランプの累積点灯時間を正確に記憶することができる。

ランプの点灯中に、制御手段は、点灯制限時間情報と累積点灯時間情報とを比較し、ランプの累積点灯時間が点灯制限時間以上であると判別した場合は、その時点でランプを消灯させる。この制御処理により、寿命を超えたランプの点灯を制限することができ、ランプの破裂又は光量低下を確実に防止することが可能となる。

さらに、制御手段は、ランプの累積点灯時間が点灯制限時間以上であると判別した場合は、ＩＣリーダライタに信号を送信して使用可否情報を使用不可に書き換えさせる。この制御処理により、寿命の尽きたランプの再使用が禁止され、その破裂又は光量低下を確実に防止することができる。

好ましくは、前記制御手段が、分単位又は時間単位で前記ＩＣリーダライタに信号を送信し、前記集積回路に前記累積点灯時間情報を更新させるようにするとよい。

このような制御処理によれば、ランプの累積点灯時間を分単位又は時間単位で詳細に管理することができ、ランプ寿命までの時間を具体的に把握し、ランプの破裂又は光量低下を未然防止することが可能となる。

好ましくは、前記制御手段が、前記ランプの点灯後に、前記ＩＣリーダライタに信号を送信して前記累積点灯回数情報を更新させるとともに、前記点灯制限回数情報と前記累積点灯回数情報とを比較し、前記ランプの累積点灯回数が点灯制限回数以上であると判別した場合は、前記ＩＣリーダライタに信号を送信して前記使用可否情報を使用不可に書き換えさせるようにするとよい。

このような制御処理によれば、ランプの累積点灯時間に加えて、累積点灯回数を管理することができる。すなわち、ランプの累積点灯時間が点灯制限時間に達していない場合でも、そのランプに定められた点灯制限回数に達している場合には、制御手段が、集積回路に使用可否情報を使用不可に書き換えさせる。この制御処理により、点灯制限回数に達したランプの再使用が確実に禁止され、その破裂又は光量低下を確実に防止することができる。

好ましくは、前記累積点灯時間情報、及び／又は前記累積点灯回数情報を表示するための表示手段を備えた構成にするとよい。このような構成とした場合は、光源装置を駆動させる際に、オペレータがランプの累積点灯時間及び累積点灯回数を目視で確認することができ、ランプ寿命に到達したか否か、ランプ寿命までの点灯時間又は点灯回数を予測することが可能となる。

好ましくは、前記ランプの累積点灯時間が点灯制限時間に達する前、及び又は前記ランプの累積点灯回数が点灯制限回数に達する前のタイミングで、前記制御手段が、前記表示手段に警告を表示させるようにするとよい。

このような制御処理によれば、ランプの累積点灯時間が点灯制限時間に近づいた場合、及び又はランプの累積点灯回数が点灯制限回数に近づいた場合に、表示手段を用いてオペレータに警告を与えることができ、新しいランプへの交換を促すことが可能となる。

本発明のランプ及び光源装置によれば、煩雑な操作を一切不要とし、ランプの点灯時間及び点灯回数を正確に管理することができ、ランプ寿命を超えて点灯させた場合の破裂又は光量低下を確実に防止することが可能となる。

同図（ａ）は本発明の一実施形態に係るランプを示す概略図であり、同図（ｂ）は本発明の一実施形態に係る光源装置を示す概略図である。 上記光源装置の制御手段の制御処理前半を示すフローチャートである。 上記光源装置の制御手段の制御処理後半を示すフローチャートである。

以下、本発明の一実施形態に係るランプ及び光源装置について、図面を参照しつつ説明する。

＜ランプ及びＩＣカード＞
図１（ａ）において、本実施形態に係るランプ１は、メタルハライドランプや超高圧水銀ランプなどの高輝度放電ランプである。１つのランプ１には、１枚のＩＣカード２が付属しており、ランプ１及びＩＣカード２を１セットにして出荷、流通、使用及び廃棄がなされる。

ＩＣカード２は、プラスチック製のカード本体にＩＣチップ（集積回路及び記憶手段）２１を搭載した構成となっている。このＩＣチップ２１には、あらかじめ定められたランプ１の点灯制限時間情報及び点灯制限回数情報が記憶してあり、また、ランプ１のランプの使用可否情報の書き換え、累積点灯時間情報及び累積点灯回数情報の更新が可能となっている。

ＩＣチップ２１に記憶した点灯制限時間情報及び点灯制限回数情報は、いずれもランプ１の破裂又は光量低下を想定した寿命に基づいて設定してあり、好ましくは、ランプ１の寿命と同じ又は寿命よりも短い時間又は少ない回数に設定するとよい。

ＩＣチップ２１は、以下に説明する光源装置３のＩＣリーダライタ３１で情報の読み出し及び書き込みが可能であれば、接触型又は非接触型のいずれでもよい。接触型とする場合は、ＩＣチップ２１をカード本体の表面から露出させてＩＣリーダライタ３１と接触通信可能な構成にする。一方、非接触型とする場合は、カード本体内にＩＣチップ２１に接続したアンテナを埋設し、ＩＣリーダライタ３１と非接触通信可能な構成にする。

＜光源装置＞
図１（ｂ）において、本実施形態に係る光源装置３は、ＩＣリーダライタ３１、制御手段３２、駆動手段３３、ランプハウス３４及び表示手段３５を備えている。

ＩＣカードリーダ３１は、上述したＩＣカード２が挿通可能となっており、ＩＣチップ２１と接触又は非接触により通信し、これに記憶された各種情報の読み出し及び書き込みを行う。制御手段３２は、ＩＣリーダライタ３１が読み出した情報に基づいて、ランプ１の点灯を制御する。制御手段３２の具体的な制御処理については、後に図２及び３を参照しつつ説明する。

駆動手段３３は、制御手段３２からの信号に基づいて、ランプハウス３４に装着したランプ１を点灯又は消灯させる。表示手段３５としては、例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）又はＣＲＴ（Cathode Ray Tube）等の画像表示装置、又は７セグメントＬＥＤ（Light Emitting Diode）を用いた表示装置を用いることができる。表示手段３５は、制御手段３２からの信号に基づいて、ランプ１の累積点灯時間、累積点灯回数、警告、エラーなどの情報を表示する。

＜制御手段の制御処理＞
次に、上述した光源装置３の制御手段３２の制御処理について、図１〜３を参照しつつ説明する。

＜＜ＩＣカードの検出・情報の読み出し＞＞
図１において、光源装置３のランプハウス３４にランプ１を装着し、このランプ１に付属するＩＣカード２をＩＣリーダライタ３１に挿入する。すると、ＩＣリーダライタ３１が、ＩＣカード２のＩＣチップ２１に記憶された点灯制限時間情報、点灯制限回数情報、使用可否情報、累積点灯時間情報及び累積点灯回数情報を読み出す。

一方、ＩＣリーダライタ３１がＩＣカード２を検出すると、図２のステップＳ１に示すように、制御手段３２は、各種情報の読み出しが完了したか否かを判断する。各種情報の読み出しが完了するまでは（ＮＯ）、このステップＳ１の判断を繰り返す。

＜＜ランプの使用可否判断・エラー表示・ランプの点灯＞＞
このステップＳ１において、制御手段３２が、各種情報の読み出しが完了したと判別した場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ２に進み、ＩＣチップ２１の使用可否情報に基づいて、ランプ１が使用可能か否かを判断する。使用可否情報が使用不可であると判別した場合（ＮＯ）はステップＳ３に進み、制御手段３２は、表示手段３５にエラーを表示させる。

ここで、ＩＣチップ２１の使用可否情報が使用不可である場合とは、ランプ１の累積点灯時間Ｔが点灯制限時間を超えている場合、又はランプ１の累積点灯回数Ｎが点灯制限回数を超えている場合が該当する。この場合のエラー表示としては、例えば、ランプ１の累積点灯時間Ｔや累積点灯回数Ｎを赤色で点滅表示させ、又は「ランプが点灯制限時間を超えています」、「ランプが制限点灯回数に達しました」などのメッセージを表示する。単にエラー番号を表示するだけでもよい。制御手段３２は、ステップＳ３のエラーを表示させた場合には、ランプ１を点灯させることなく本制御処理を終了する。

一方、上述したステップＳ２において、制御手段３２が、使用可否情報が使用可であると判別した場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ４に進み、表示手段３５に累積点灯時間Ｔ及び累積点灯回数Ｎを表示させるとともに、駆動装置３３に信号を出力して、ランプ１を点灯させる（ステップＳ５）。その後、ステップＳ６に進み、制御手段３２は、累積点灯時間Ｔの計測を開始する。

＜＜累積点灯回数の書き換え・警告表示＞＞
次いで、ステップＳ７に進み、制御手段３２は、ＩＣリーダライタ３１に信号を出力して、ＩＣチップ２１の累積点灯回数Ｎに１回を加算させる。その後、ステップＳ８に進み、制御手段３２は、加算後の累積点灯回数Ｎ＋１が、あらかじめ定められた警告回数に達したか否かを判断する。ここで、警告回数とは、ランプ１の点灯制限回数よりも少なく、点灯制限回数に近い回数とする。このような警告回数を設定することにより、ランプ１の累積点灯回数Ｎが点灯制限回数に近づいていることを、事前にオペレータに警告することが可能となる。

ステップＳ８において、制御手段３２が、累積点灯回数Ｎ＋１＝警告回数であると判別した場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ９に進み、表示手段３５に警告を表示させる。この場合の警告表示としては、例えば、ランプ１の累積点灯回数Ｎを黄色で点灯表示させ、又は「ランプが点灯制限回数に近づきました」、「あと○回でランプが点灯制限回数になります」などのメッセージを表示する。

＜＜点灯制限回数の判断＞＞
一方、ステップＳ８において、制御手段３２が、累積点灯回数Ｎ＋１＝警告回数でないと判別した場合（ＮＯ）は、ステップＳ１０に進み、累積点灯回数Ｎ＋１が、あらかじめ定められた点灯制限回数に達したか否かを判断する。ここで、累積点灯回数Ｎ＋１が警告回数でない場合には、累積点灯回数Ｎ＋１が警告回数に達していない場合と、警告回数を超えた場合とが含まれる。このステップＳ１０では、累積点灯回数Ｎ＋１が警告回数を超えたランプ１のうち、点灯制限回数に達したものを選別している。

ステップＳ１０において、制御手段３２が、累積点灯回数Ｎ＋１＝点灯制限回数であると判別した場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ１１に進み、ＩＣリーダライタ３１に信号を送信して、ＩＣチップ２１の使用可否情報を使用不可に書き換えさせる。これにより、ランプ１を再使用しようとして、ＩＣカード２をＩＣリーダライタ３１に挿入すると、上述したステップＳ２において、制御手段３２が、使用可否情報が使用不可であると判別し（ＮＯ）、その後、ランプ１を点灯させることなく、表示手段３５にエラーを表示させる（ステップＳ３）。このような制御処理により、本実施形態の光源装置３では、点灯制限回数に達したランプ１を再使用できないようになっている。

＜＜累積点灯時間の書き換え・警告表示＞＞
一方、ステップＳ１０において、制御手段３２が、累積点灯回数Ｎ＋１＝点灯制限回数でないと判別した場合（ＮＯ）は、図３のステップＳ１２に進み、累積点灯時間Ｔの計測時間が開始から３０分経過したか否かを判断する。ここでいう３０分は、累積点灯時間Ｔの書き換え時間を規定したものであり、本実施形態の光源装置３では、３０分単位でＩＣチップ２１に記憶された累積点灯時間Ｔを書き換えている。なお、累積点灯時間Ｔの書き換え時間は３０分に限定されるものではなく、数分〜数時間の任意の書き換え時間を規定することが可能である。

ステップＳ１２において、制御手段３２が、累積点灯時間Ｔの計測時間が開始から３０分経過していないと判別した場合（ＮＯ）は、このステップＳ１２の判断を繰り返す。一方、累積点灯時間Ｔの計測時間が開始から３０分経過したと判別した場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ１３に進み、制御手段３２は、ＩＣリーダライタ３１に信号を送信して、ＩＣチップ２１の累積点灯時間Ｔに３０分を加算させる。

その後、ステップＳ１４に進み、制御手段３２は、加算後の累積点灯時間Ｔ＋３０が、あらかじめ定められた警告時間に達したか否かを判断する。ここで、警告時間とは、ランプ１の点灯制限時間よりも短く、点灯制限時間に近い時間とする。このような警告時間を設定することにより、ランプ１の累積点灯時間Ｔが点灯制限時間に近づいていることを、事前にオペレータに警告することが可能となる。

ステップＳ１４において、制御手段３２が、累積点灯時間Ｔ＋３０≧警告時間でないと判別した場合（ＮＯ）は、ステップＳ１２及びＳ１３の制御処理を繰り返し、３０分毎に累積点灯時間Ｔを書き換えさせる。一方、累積点灯時間Ｔ＋３０≧警告時間であると判別した場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ１５に進み、制御手段３２は、累積点灯時間Ｔ＋３０があらかじめ定められた点灯制限時間以上となったか否かを判断する。

ステップＳ１５において、制御手段３２が、累積点灯時間Ｔ＋３０≧点灯制限時間でないと判別した場合（ＮＯ）は、ステップＳ１６に進み、表示手段３５に警告を表示させる。この場合の警告表示としては、例えば、ランプ１の累積点灯時間Ｔを黄色で点灯表示させ、又は「ランプが点灯制限時間に近づきました」、「あと○○分でランプが点灯制限時間になります」などのメッセージを表示する。その後、制御手段３２は、累積点灯時間Ｔ＋３０≧点灯制限時間となるまで、ステップＳ１２〜Ｓ１６の制御処理を繰り返す。

＜＜点灯制限時間の判断・ランプの消灯＞＞
一方、ステップＳ１５において、制御手段３２が、累積点灯時間Ｔ＋３０≧点灯制限時間であると判別した場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ１７に進み、駆動手段３３に信号を送信してランプ１を消灯させる。この制御処理により、点灯制限時間に達した時点でランプ１を消灯させることができ、ランプ１の破裂又は光量低下をより確実に防止することが可能となる。

次いで、ステップＳ１８に進み、制御手段３２は、ＩＣリーダライタ３１に信号を送信して、ＩＣチップ２１の使用可否情報を使用不可に書き換えさせる。これにより、ランプ１を再使用しようとして、ＩＣカード２をＩＣリーダライタ３１に挿入すると、上述したステップＳ２において、制御手段３２が、使用可否情報が使用不可であると判別し（ＮＯ）、その後、ランプ１を点灯させることなく、表示手段３５にエラーを表示させる（ステップＳ３）。このような制御処理により、本実施形態の光源装置３では、点灯制限時間に達したランプ１を再使用できないようになっている。ステップＳ１８の使用可否情報の書き換え後、制御手段３２は、本制御処理を終了する。

＜作用効果＞
上述した本実施形態に係るＩＣカード２付きのランプ１、及びこれらに適合した光源装置３によれば、特定のランプ１に一対一で対応するＩＣカード２に、このランプ１に定められた点灯制限時間情報、点灯制限回数情報、及び実際の点灯に伴って更新される累積点灯時間情報、累積点灯回数情報及び使用可否情報を記憶させることができる。これら情報に基づいて、光源装置３の制御手段３２が、ランプ１の累積点灯回数Ｎ及び累積点灯時間Ｔを正確に管理し、ランプ寿命を超えて点灯させた場合の破裂又は光量低下を確実に防止することが可能となる。

なお、本発明のランプ及び光源装置は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、ランプ１と別体のＩＣカード２にＩＣチップ２１を内蔵した構成としたが、このＩＣチップ２１をランプ１と一体に設けた構成としてもよい。例えば、ＩＣチップ２１をセラミックや耐熱ガラス中に封入するなどの耐熱対策を適用し、ＩＣチップ２１をランプ１に付属させてもよい。

また、制御手段３２の制御処理は、図２及び３に示す順序に限定されるものではない。例えば、ランプ１の点灯制限回数に関する制御処理を、点灯制限時間に関する制御処理の後に行うなど、制御処理の各工程の順序を前後に入れ替えてもよい。

１ ランプ
２ ＩＣカード
２１ ＩＣチップ（集積回路及び記憶手段）
３ 光源装置
３１ ＩＣリーダライタ
３２ 制御手段
３３ 駆動手段
３４ ランプハウス
３５ 表示手段

Claims (10)

1. あらかじめ定められた一機種又は複数機種の光源装置と接触又は非接触により通信可能な集積回路を一体又は別体の形態で備えたランプであり、
   前記集積回路は、あらかじめ定められた前記ランプの点灯制限時間情報と、前記ランプの累積点灯時間情報と、前記ランプの使用可否情報とを記憶する記憶手段を含み、前記光源装置からの信号に基づいて、前記累積点灯時間情報の更新し、前記使用可否情報を書き換える、ことを特徴とするランプ。
2. 前記集積回路が、前記ランプと別体のカードに内蔵されたＩＣチップである請求項１に記載したランプ。
3. 前記集積回路が、前記ランプに一体に取り付けられたＩＣチップである請求項１に記載したランプ。
4. 前記点灯制限時間情報が、前記ランプの破裂又は光量低下を想定した寿命よりも短い時間に設定してある請求項１〜３のいずれか１項に記載したランプ。
5. 前記記憶手段が、あらかじめ定められた前記ランプの点灯制限回数情報と、前記ランプの累積点灯回数情報とを記憶し、前記集積回路が、前記光源装置からの信号に基づいて、前記累積点灯回数情報を更新する請求項１〜４のいずれか１項に記載したランプ。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載したランプに適合した光源装置であって、
   前記集積回路と接触又は非接触により通信し、前記記憶手段に記憶された情報の読み出し及び書き込みが可能なＩＣリーダライタと、前記ＩＣリーダライタが読み出した情報に基づいて、前記ランプの点灯を制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、
   （１）前記使用可否情報に基づいて、前記ランプの使用可否を判断し、前記使用可否情報が使用不可であると判別した場合は、前記ランプを点灯させず、
   （２）前記使用可否情報が使用可であると判別した場合は、前記ランプを点灯させ、
   （３）前記ランプの点灯後に、前記ランプの点灯時間を計測するとともに、前記ＩＣリーダライタに信号を送信して前記累積点灯時間情報を更新させ、
   （４）前記ランプの点灯中に、前記点灯制限時間情報と前記累積点灯時間情報とを比較して、前記ランプの累積点灯時間が点灯制限時間以上であると判別した場合は、前記ランプを消灯させ、前記ＩＣリーダライタに信号を送信して前記使用可否情報を使用不可に書き換えさせる、制御処理を行うことを特徴とする光源装置。
7. 前記制御手段が、分単位又は時間単位で前記ＩＣリーダライタに信号を送信し、前記集積回路に前記累積点灯時間情報を更新させる請求項６に記載の光源装置。
8. 前記制御手段が、前記ランプの点灯後に、前記ＩＣリーダライタに信号を送信して前記累積点灯回数情報を更新させるとともに、前記点灯制限回数情報と前記累積点灯回数情報とを比較し、前記ランプの累積点灯回数が点灯制限回数以上であると判別した場合は、前記ＩＣリーダライタに信号を送信して前記使用可否情報を使用不可に書き換えさせる、制御処理を行う請求項６又は７に記載の光源装置。
9. 前記累積点灯時間情報、及び／又は前記累積点灯回数情報を表示するための表示手段を備えた請求項６〜８のいずれか１項に記載の光源装置。
10. 前記ランプの累積点灯時間が点灯制限時間に達する前、及び又は前記ランプの累積点灯回数が点灯制限回数に達する前のタイミングで、前記制御手段が、前記表示手段に警告を表示させる請求項９記載の光源装置。

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