CN101654171B - 十字吹扫阀和容器组件 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种十字吹扫阀和容器组件，更具体地为一种具有十字吹扫能力的石英吹泡容器。所述十字吹扫允许用户容易地从所述阀进口和出口通过简单的惰性气体流动来吹扫空气和化学制剂，并且避免了对于更复杂的真空吹扫装置的需求。所述设计结合了两个设置在所述吹泡容器进口和出口连接器上的小印迹三路阀。每个阀的第三阀口在所述阀之间以管道连接到一起从而具有十字吹扫线路。所述阀耐腐蚀、防漏、免维修、无杂质侵入，并且可以容纳任选的破坏式密封破碎器，其将会贯穿(在所述安瓿的进口和出口上的)石英破坏式密封。本发明也预期了不同的结构材料的液体用容器。

Description

十字吹扫阀和容器组件
相关申请的交叉引用
本专利申请要求2008年8月22日提交的美国临时专利申请No.61/091,155的权益。
技术领域
本发明涉及一种用于存储和分配高纯度工艺化学制剂的容器和阀-十字吹扫组件。
发明背景
半导体制造工业中在标准温度和压力，例如环境条件下的存储和分配中使用一系列在固相、液相和气相中的化学制剂。基于它们的化学结构，以及它们是否为其纯净的形式或者被包含在溶剂中，这些化学制剂可以具有在很大程度上变化的蒸气压和粘度。
半导体制造工业典型地通过将化学制剂从不同尺寸和容量的容器分配到反应室之中来使用所述化学制剂，其中所述化学制剂被用于制造半导体装置例如集成电路、存储装置以及光电装置。
无论所述化学制剂容器的尺寸，在一些时间点所述半导体制造者会替换化学制剂耗尽的化学制剂容器，或者移除化学制剂容器用于其它的操作要求。
在半导体制造中化学制剂容器的移除或替换并不是不重要的动作。这些化学制剂典型地要求在极高纯度下并且通常不能曝露在空气或不受控制的外部条件中，这样的外部条件可能会在所述化学制剂容器的移除或替换过程中影响所述化学制剂的纯度。
此外，这些化学制剂常常可能会不利地与空气中的水分和/或氧气发生反应。这样的反应可能会导致副产品杂质的污染，其可能堵塞所述容器或输送管线并且引起锈蚀或污染或两者。
半导体制造工业一直在寻找满足上面所述需要的容器和输送设备，同时其要在结构上紧凑简单并且在使用所述容器的反应器附近具有小的印迹。如将在后面更充分描述的，本发明满足了这些长久以来的需求。
发明内容
本发明是一种用于存储和分配高纯度工艺化学制剂的容器和阀-十字吹扫组件(container and valve-crosspurge assembly)，包含；
(A)用于容纳高纯度工艺化学制剂的容器，其具有用于分配高纯度工艺化学制剂和引入载气以辅助分配所述高纯度工艺化学制剂的进口和出口；
(B)阀-十字吹扫配件，其包含；
(i)第一阀；和
(ii)第二阀，
上述阀中的一个连接到所述容器的进口，且上述阀中的另一个连接到上述容器的出口；并且
(iii)在所述第一和第二阀之间的十字吹扫连接(crosspurg econnection)，其提供了在所述两阀之间与所述容器相独立的流体流动连接；
其中，每个阀具有；
(a)到所述容器的第一孔；
(b)到用于所述组件外部的流体流动连接的导管的第二孔；以及，
(c)到所述十字吹扫连接的第三孔，其在所述阀中与所述第二孔在轴向间隔第一距离；
(d)阀罩；以及
(e)阀杆，其能够在所述阀罩中向以下两个位置之一移动：(1)容器打开以及(2)十字吹扫打开-容器关闭；其中，所述阀杆具有三个阀密封表面：
(I)第一阀密封表面，其被配置以相对第一阀座密封，来关闭到所述容器的第一孔；
(II)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的第二阀密封表面，其被配置以相对阀罩的内壁密封，从而使所述第二孔对第一孔关闭；以及，
(III)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的第三阀密封表面，其被配置以相对所述阀罩的内壁密封，从而与所述第二阀密封表面在所述十字吹扫连接的第三孔和所述第二孔之间形成流道，其中在所述阀杆上所述第二阀密封表面与所述第三阀密封表面的轴向间距至少与所述第一距离(如在(c)中所述的)一样大，以便形成所述流道(如在(III)中所述的)。
在一个替代实施方案中，所述阀杆仅仅具有两个密封表面，排除了所述第一密封表面。
附图说明
图1A和1B是本发明实施方案的透视图，其说明了一种具有阀-十字吹扫配件的高纯度化学制剂容器，所述阀-十字吹扫配件是沿直线定位或″U″形定位的，其中阀的出口分别为彼此面向相反的方向或面向相同的方向。
图2是图1所述容器和配件的剖视图。
图3A和3B是所述阀-十字吹扫配件的一个阀在(A)十字吹扫位置和(B)产品分配位置的横剖面图。
图4是构成所述阀-十字吹扫配件的部件的分解图。
图5是所述阀-十字吹扫配件的阀的阀杆的分离平面图。
图6是只具有两个密封面的阀-十字吹扫配件的阀的阀杆的替代分离平面图。
具体实施方式
本发明涉及一种用于高纯度工艺化学制剂的容器，其具有改进的阀并在所述容器的非分配模式中具有改进的吹扫净化。
此类容器常常用于半导体制造工业、光电工业和其它工业，其中装置的精确控制和高度清洁以及所述工艺化学制剂的纯度是非常重要的。
在半导体制造工业中，这些容器典型地由玻璃，特别地为石英或金属，例如不锈钢所构成。钢容器典型地被电抛光或表面处理以除去颗粒并产生光滑表面，其容易清洁并且可以防止所述工艺化学制剂不希望的表面吸附。
在半导体制造工业中高纯度工艺化学制剂典型地具有优选地不大于十亿分之几(ppb)水平的金属杂质规范并且优选地，其所具有的其它污染物，例如有机物，等于或低于在所述工业中使用的分析仪器的探测范围。
高纯度工艺化学制剂可以包括三氯氧化磷(POCl3)、四乙基原硅酸酯、磷酸三甲酯、磷酸三乙酯、亚磷酸三甲酯、硼酸三甲酯、硼酸三乙酯、1，2-二(甲基甲硅烷基)乙烷、二乙基硅烷、四甲氧基锗烷、四甲基环四硅氧烷、四-二乙基氨基铪、四-二甲基氨基硅烷、四(二乙基氨基)钛、四(二甲基氨基)钛、四氯化钛、二甲基氢化铝、二乙基氢化铝·DMEA、二甲基氢化铝·TMA、二甲基乙基胺铝烷、稳定化的二甲基乙基胺铝烷、三乙氧基氟硅烷、1，2-二(甲基二氟甲硅烷基)乙烷，1，2-二(三氟甲硅烷基)乙烷、聚(亚芳基醚)聚合物、五乙氧基钽、异丙氧基钛、四乙氧基二甲基氨基乙氧基钽、钛酸锶钡、叔丁基亚酰胺基三(二乙基酰胺基)钽、反1，2-二氯乙烯、1，1，1-三氯乙烷、二氯甲烷、三氟乙酸酐、三乙基砷酸酯、三溴化硼、三氧化锑、三溴化磷、三氯化磷、红磷、砷、三氧化锑、四(二甲基氨基)钛、四(二乙基氨基)钛、四(乙基甲基氨基)钛、四(二甲基氨基)锆、四(二乙基氨基)锆、四(乙基甲基氨基)锆、四(二甲基氨基)铪、四(二乙基氨基)铪、四(乙基甲基氨基)铪、叔丁基亚酰胺基三(二乙基氨基)钽、叔丁基亚酰胺基三(二甲基氨基)钽、叔丁基亚酰胺基三(乙基甲基氨基)钽、乙基亚氨基三(二甲基氨基)钽、乙基亚胺基三(乙基甲基氨基)钽、乙基亚酰胺基三(乙基甲基氨基)钽、叔戊基亚氨基三(二甲基氨基)钽、叔戊基亚胺基三(二乙基氨基)钽、五(二甲基氨基)钽、叔戊基亚胺基三(乙基甲基氨基)钽、二(叔丁基亚氨基)二(二甲基氨基)钨、二(叔丁基亚氨基)二(二乙基氨基)钨、二(叔丁基亚氨基)二(乙基甲基氨基)钨、三(叔戊氧基)硅烷醇、2，5-降冰片二烯、和二环-2，2，1-七-2，5-二烯。
重要的是，至少一些如上面列举的高纯度工艺化学制剂和其它用于半导体制造工业的高纯度工艺化学制剂能够使充有所述高纯度工艺化学制剂的容器被安装、分离、调换或者代替，并且当所述高纯度工艺化学制剂对潮湿敏感、对氧气敏感、要求极高纯度水平和/或没有杂质时，这构成了一种技术挑战。在与上述的容器分离时，留存所述阀或管路中的任何高纯度工艺化学制剂在分离期间可能会接触到不希望的大气并产生污染、产生固体副产物或产生腐蚀性的和/或危险的副产物。
本发明的好处在于所述阀-十字吹扫配件的构造容许一种紧凑设计的简单阀门，其能够在分配功能和十字吹扫功能之间进行操作，以容许载气或推进气体从已经暴露于工艺化学制剂的阀内表面除去高纯度工艺化学制剂，并在可能将阀内表面暴露到外部大气的所述容器或阀的任何分离之前吹扫上述的剩余化学制剂。在再连接之后并在高纯度工艺化学制剂的流通过所述阀内部之前，从所述阀内部对上述的大气气氛的类似吹扫是可能的，其中上述的大气气氛可能会在再连接时被捕获。
下面将结合附图用特别的实施方案来对本发明进行说明。
在图1A和1B中，所述容器和阀-十字吹扫组件1包含石英容器10和阀-十字吹扫配件3。应当理解的是所述组件可能包括其它对于本发明的描述并不重要的一般特征，例如水平(液面)传感器(levelsensor)、连接到上游和下游的管路、重量度量和电子传感器。在图1A中，所述阀-十字吹扫配件3具有直的连接并且所述阀的出口彼此面对；同时在图1B中所述阀-十字吹扫配件3具有“U”形的连接并且所述阀的出口面向相同的方向，以便操作者联结和分离。
在图2中，显示了图1的容器和阀-十字吹扫组件的横截面，其中容器10安装有阀-十字吹扫配件3，其包含阀7和阀11。阀7具有连接到所述容器10的第一孔27，其容许在所述阀7和所述容器10的内部之间通过连接到汲取管(diptube)23的容器进口19的流体流动连接，所述汲取管的末端邻近所述容器10的底部25。在这些构造中，容许载气或推进气体进入阀7的第二孔5，所述第二孔能够连接到加压载气或推进气体的源，以使所述气体从汲取管23的末端鼓出并优选地将液体高纯度工艺化学制剂夹带到所述气体之中，从而通过容器出口21进行分配。阀7还在其阀罩17上具有第三孔13a，其形成了在所述两个阀7和11之间的十字吹扫连接13c的一部分。
阀11具有类似的镜象特征，其包括外壳15，连接到容器出口21的第一孔29，第二孔9，其典型地连接到在所述半导体装置(例如集成电路或太阳能电池结构)制造中消耗所述高纯度工艺化学制剂的反应器的下游，在阀罩15中的第三孔13b，其形成了在所述两个阀7和11之间的十字吹扫连接13c的一部分。
图3A和3B独立显示了阀11的横截面，但应当注意在结构上阀11是阀7的镜象，除了其连接到容器10和外部管路源(未显示)以外。阀11具有阀体15和阀杆31。阀11具有能够连接到容器出口21的第一孔29、能够连接到用于流体流动连接至外部组件进而连接到用于消费所述高纯度工艺化学制剂的反应器的第二孔9、以及能够连接到图2中所示的十字吹扫连接13c的第三孔13b。第二孔9沿所述阀罩距所述第三孔13b的轴向距离为“第一距离”，从而使两者在所述阀罩中不是互相面对的或互相并列的关系。所述阀杆31具有第一阀密封表面33，其被配置以相对所述阀罩15的第一阀座35密封，从而能够密封或关闭来自所述容器出口21通过所述阀到第二孔9的流体流动。
阀杆31具有第二阀密封表面37，其横截面相对于所述最初的阀杆的横截面31有所放大，其被调整尺寸且被配置以相对所述阀罩15的内壁38密封以使所述第二孔9对所述第一孔29关闭，如图3A所述位置，以及使所述第二孔9对所述第三孔13b关闭，如图3B所述位置。
阀杆31具有第三阀密封表面39，其横截面相对于所述主阀杆横截面31有所放大，其被调整尺寸且被配置以相对所述阀罩15的内壁38密封来将所述阀密封在接近螺纹段43的密封39之上。
所述第二阀密封表面37与第三阀密封表面39的轴向间距至少与如上所述的第二孔9和第三孔13b的轴向间距“第一距离”相同。这样，所述第二孔9的开口6和第三孔13b的开口14的轴心所具有的沿所述阀罩15轴向长度的间距优选地与在所述阀杆31上第二阀密封表面37以及第三阀密封表面39彼此最接近的边缘的距离相等，以便在所述十字吹扫连接13c的第三孔13b和所述第二孔9之间形成流体流动通道40。其它的轴向间距也是可以预料的，只要其仍然容许所述阀在其阀表面以及阀密封表面的若干位置的功能，从而比所述第一距离更大的或更小的轴向间距是可以想象的，例如如图3A所示的。
该流体流动通道40容许载气或推进气体从所述第一阀7的第二孔5分别通过每个阀的第三孔13a和13b以及十字吹扫连接13c，来流过阀11，从而在所述容器和阀-十字吹扫组件分离或调换之前促进了对来自两个阀的高纯度工艺化学制剂的冲洗，并且同样促进了在再连接和高纯度工艺化学制剂分配开始之后在高纯度工艺化学制剂流之前除去环境大气。优选第二阀密封表面37的轴向尺寸使得当第一阀密封表面33接触第一阀座35时，第二密封表面37容许开口6与开口14经由流体流动通道40具有流动连通。可以想象第二阀密封表面37可以具有足够完全清洁开口6的轴向尺寸，或者任何更大的或更小的尺寸，其能够容许开口6和14当在图3A所述的位置时有足够的流动连通。对于给出的第二阀密封表面37相对于阀罩15尺寸的轴向长度来说，阀杆31的螺纹部分43的移动优选足够容许第二阀密封表面37从图3B显示的位置轴向地移动到图3A显示的位置。
图4是阀11的部件分解图(阀7是阀11的镜象)，其显示了具有第一孔29、第二孔9和第三孔13b的阀罩15，所述第二孔9具有压紧螺帽8以与用于流体流动到反应器的管道或者管路可密封地连接，且所述第三孔13b具有压紧螺帽16以与十字吹扫连接13c可密封地连接，阀杆31具有螺纹段43，其与阀罩15的类似的螺纹段相啮合，以容许阀杆31相对于阀罩15的轴向运动，清楚地显示了第一阀密封表面33、第二阀密封表面37的横截面相对于所述主阀杆横截面31有所放大，并且清楚地显示了第三阀密封表面39的横截面相对于所述主阀杆横截面31有所放大。第二阀密封表面37和第三阀密封表面39一起限定了阀杆31的区域53，其与阀罩15共同形成了流体流动通道40。区域53可以具有与阀杆31同样或者类似的横截面尺寸，或者区域53可以具有比阀杆31更少地横截面尺寸以产生更大的总流体流动通道40。
可以预期区域53具有比阀杆31更大的横截面尺寸，只要区域53的横截面尺寸小于第二阀密封表面37和第三阀密封表面39，以形成具有能起到相关作用的足够尺寸的流体流动通道40。
阀杆31通过开缝垫圈49和压紧螺帽47可密封地被置于于阀罩15的腔内。阀杆31通过手柄45绕其轴旋转，手柄45穿过阀杆31中的孔51并且在其内居中，如图5和6所示。
阀7或者11的阀杆31可以装配有破坏式密封穿刺锥41，当所述阀杆起先向在其进口和/或出口具有破坏式密封的容器10下降时，其将会冲破所述易碎的密封并暂时阻塞所述进口和/或出口，从而存储在所述容器中的高纯度工艺化学制剂可以经过阀7和11的结构而被分配。破坏式密封典型地是工厂安装的易碎玻璃或石英膜，其穿过所述被装填的容器的进口和/或出口，当阀必须要周期性地在所述容器和阀-十字吹扫组件的分配、吹扫和关闭状态间切换时向用户提供额外的安全和纯度措施
在图5中显示了孔51，其说明了所述阀杆31的平面图，单独显示了与阀罩15类似部分啮合的螺纹段43、区域53和密封表面33、37和39。
图6说明了阀杆31的另一实施方案的平面图，其单独显示了与阀罩15中类似部分啮合的螺纹段43、区域53并且只具有密封表面37(对于该实施方案为下阀密封表面)和39(对于该实施方案为上阀密封表面)。该替代实施方案没有使用密封表面33，并且所述容器的密封依赖密封表面37。
如前面所述的，特别参照阀11对所述阀-十字吹扫配件进行描述，但很明显阀7具有类似的特征，其只不过是以阀11的镜象来布置，因此不必对其中起到类似或同样功能的特征进行单独描述。
尽管已经描述和说明了该容器和阀十字吹扫组件是用于液体高纯度工艺化学制剂的存储和分配，其中阀7经过汲取管23引入载气到容器10以鼓入所述液体高纯度工艺化学制剂，并在所述气体通过阀11排出之前将化学制剂夹带到所述气体之中来用于蒸气分配；还可预期到所述容器和阀-十字吹扫组件可以被操作以使用推进气体通过阀11引入到容器10在液体高纯度工艺化学制剂上面的顶部空间中，来推动液体化学制剂从汲取管23向上以从阀7外进行液体分配。这可以仅仅通过切换阀7和11的第二孔在彼此之间的的连接而实现。
所述载体或推动气体典型地是惰性气体例如氮气、氦气、氩气或其混合物，具有足够的高压以从容器移除所述高纯度工艺化学制剂。反应性的气体也是可以预期的例如氢气。
在一个实施方案中，本发明由1.5L石英吹泡容器(bubblercontainer)组成，在所述吹泡容器的进口和出口管茎上设置有相同的三向阀(彼此为镜象)。每个三向阀具有与相对的阀经由十字吹扫连接器管道连接的十字吹扫孔。
当两个阀都在其完全闭合的位置时，所述十字吹扫连接器与所述阀的第二孔相连通，其构成了所述吹泡容器和阀-十字吹扫组件的进口和出口。这构成了用于惰性气体流动的路径，所述流动是从所述组件的进口或附着于所述吹泡容器进口的阀的第二孔开始，穿过所述十字吹扫连接器，并排出到所述组件的出口或附着于所述吹泡容器出口的阀的第二孔的外面。
当所述进口阀手柄向打开位置(反时针)旋转时，所述阀杆的移动将首先充分地阻塞与所述十字吹扫连接相连的第三孔，并且其进一步移动到所述打开位置，然后充分地打开穿过阀从所述吹泡容器进口到所述汲取管的路径。当所述连接到所述吹泡容器出口的阀手柄向打开位置(反时针)旋转时，所述阀杆的移动将首先充分地阻塞与所述十字吹扫连接相连的第三孔，然后其进一步移动到完全打开的位置，然后从所述吹泡容器出口的通道，从而提供所述吹泡容器的顶部空间(蒸气空间)出口的完全流通。
在所述阀杆从完全闭合到完全打开的位置的过程中，不存在所有的三个阀孔同时流体流动连通的情况。这种不希望的所有三个孔同时流体流动连通的情况将会容许一个以上的穿过所述阀的路径，其可以容许液体化学制剂从所述汲取管被推动到所述进口或十字吹扫连接。在所述阀杆或十字吹扫连接中的液体将难以移除，并且可以在吹泡容器分离时产生化学制剂的危险的释放。这个问题为现有技术容器和阀组件所固有，如上所述，已经被本发明克服。
本发明组件的部件可以可替换地用Moneltm、Incoloytm、Hastelloytm金属合金来制造，如下面表1所示。
Figure GSB00000561807900101
Figure GSB00000561807900111
Figure GSB00000561807900121
此外，在表1中没有列出的一种Hastelloy合金是HastelloyB3，其组成为：Ni-65％；Mo-28.5％；Cr-1.5％；Fe-1.5％；Co-3％；W-3％；Mn-3％；Al-0.5％；Ti-0.2％；Si-0.1％以及C-0.01％(wt％)
本发明所述的组件还可以被完全地制造或以多种组分制造，例如密封表面，其可以为包含聚偏二氟乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮、聚酰亚胺、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基树脂的共聚物的聚合物/塑料。
其它的可能的结构材料包括不锈钢、黄铜、镍、铜、玻璃、石英和其组合。

Claims (12)

1.一种用于存储和分配高纯度工艺化学制剂的容器和阀-十字吹扫组件，包含；
(A)用于容纳所述高纯度工艺化学制剂的容器，其具有用于分配所述高纯度工艺化学制剂以及引入载气以辅助分配所述高纯度工艺化学制剂的进口和出口；
(B)阀-十字吹扫配件，其包含；
(i)第一阀；和
(ii)第二阀，
上述阀中的一个连接到所述容器的进口，并且上述阀的另一个连接到上述容器的出口；以及，
(iii)在所述第一和第二阀之间的十字吹扫连接，其在所述两阀之间提供了与所述容器独立的流体流动连接；
其中，每个阀具有；
(a)到所述容器的第一孔；
(b)到用于所述组件外部的流体流动连接的导管的第二孔；和，
(c)到所述十字吹扫连接的第三孔，其在所述阀中与所述第二孔在轴向间隔第一距离；
(d)阀罩；和
(e)阀杆，其能够在所述阀罩中向如下两个位置之一移动：(1)容器打开和(2)十字吹扫打开-容器关闭；其中，所述阀杆具有三个阀密封表面：
(I)第一阀密封表面，其被配置来相对第一阀座密封以关闭到所述容器的第一孔；
(II)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的第二阀密封表面，其被配置以相对阀罩的内壁密封，而使所述第二孔对第一孔关闭；和，
(III)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的第三阀密封表面，其被配置以相对所述阀罩的内壁密封，从而与所述第二阀密封表面在所述十字吹扫连接的第三孔和所述第二孔之间形成流道，其中所述第二阀密封表面在所述阀杆上与所述第三阀密封表面的轴向距离至少与在(c)中所述的第一距离一样大，形成(III)中所述的流道。
2.权利要求1所述的组件，其中所述阀杆在所述阀杆邻近所述第一孔的端部上具有破坏式密封穿刺锥。
3.权利要求1所述的组件，其中所述阀杆螺纹啮合到所述阀罩，以通过所述阀杆在所述阀罩中的旋转而在所述阀罩内轴向地移动到(1)容器打开和(2)十字吹扫打开-容器关闭的位置。
4.权利要求1所述的组件，其中所述阀罩结构材料选自不锈钢、塑料、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基树脂的共聚物、聚偏二氟乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮或者聚酰亚胺、Moneltm金属合金、Hastelloytm金属合金、Incoloytm金属合金；黄铜、镍、铜、玻璃、石英及其组合。
5.权利要求1所述的组件，其中所述阀杆结构材料选自不锈钢、塑料、聚四氟乙烯、四氟乙烯和全氟烷氧基树脂的共聚物、聚偏二氟乙烯、聚氯三氟乙烯、聚醚-醚酮或者聚酰亚胺、Moneltm金属合金、Hastelloytm金属合金、Incoloytm金属合金；黄铜、镍、铜、玻璃、石英及其组合。
6.权利要求1所述的组件，其中所述容器结构材料选自不锈钢、塑料、聚四氟乙烯、Moneltm金属合金、Hastelloytm金属合金、Incoloytm金属合金；黄铜、镍、铜、玻璃、石英和其组合。
7.权利要求1所述的组件，其中所述容器进口具有汲取管，其伸入到所述容器之中并且其末端接近所述容器的底部。
8.权利要求1所述的组件，其具有水平传感机构，所述机构能够指示在所述容器中高纯度工艺化学制剂的水平。
9.权利要求1所述的组件，其中所述第二孔(9)的开口和第三孔的开口的轴向中心沿所述阀罩的轴向长度的间距与所述第二阀密封表面与第三阀密封表面在所述阀杆上彼此最接近的边缘的距离相等。
10.权利要求7所述的组件，其中所述第一阀在所述第一阀的第一孔处与所述容器进口相连，并且所述第一阀的第二孔与载气源相连。
11.权利要求10所述的组件，其中所述第二阀在所述第二阀的第一孔处与所述容器的出口相连，并且所述第二阀的第二孔与能够消耗所述高纯度化学制剂的反应器相连。
12.一种用于存储和分配高纯度工艺化学制剂的容器和阀-十字吹扫组件，包含；
(A)用于容纳高纯度工艺化学制剂的容器，其具有用于分配高纯度工艺化学制剂以及引入载气以辅助分配所述高纯度工艺化学制剂的进口和出口；
(B)阀-十字吹扫配件，其包含；
(i)第一阀；和
(ii)第二阀，
上述阀中的一个连接到所述容器的进口，并且上述阀的另一个连接到上述容器的出口；以及，
(iii)在所述第一和第二阀之间的十字吹扫连接，其在所述两阀之间提供了与所述容器独立的流体流动连接；
其中，每个阀具有；
(a)到所述容器的第一孔；
(b)到用于所述组件外部的流体流动连接的导管的第二孔；和，
(c)到所述十字吹扫连接的第三孔，其在所述阀中与所述第二孔在轴向间隔第一距离；
(d)阀罩；和
(e)阀杆，其能够在所述阀罩中向如下两个位置之一移动：(1)容器打开和(2)十字吹扫打开-容器关闭；其中，所述阀杆具有两个阀密封表面：
(I)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的下阀密封表面，其被配置以相对阀罩的内壁密封，来使所述第二孔对第一孔关闭；和，
(II)其横截面相对于所述主阀杆横截面有所放大的上阀密封表面，其被配置以相对所述阀罩的内壁密封，从而与所述下阀密封表面在所述十字吹扫连接的第三孔和所述第二孔之间形成流道，其中所述下阀密封表面在所述阀杆上与所述上阀密封表面的轴向距离至少与在(c)中所述的第一距离一样大，形成(III)中所述的流道。
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