CN101629280B - 连续式镀膜设备的循环输送系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种连续式镀膜设备的循环输送系统，搭配于一具有进料区、镀膜区及出料区的连续式镀膜设备，还包括：两个分别设置于进料区前端与出料区后端的升降装置以及回送装置，升降装置包括：一主体框架、两个设置于该主体框架内并具有移动元件的主要升降单元、一设置该主要升降单元顶端的动力源、两个设置于该主体框架内并具有移动元件的辅助升降单元、一固接于移动元件的承载台；一设置于该承载台上的传动装置以及多组设置于该进料区、镀膜区、出料区下方的回送装置。应用本发明，不仅可节省厂房空间，更能形成一自动化生产流程以提升镀膜工艺效率。

Description

连续式镀膜设备的循环输送系统

技术领域

本发明涉及连续式镀膜技术，特别涉及一种连续式镀膜设备的循环输送系统。

背景技术

目前在电子、通讯、信息、显示器或光电等高科技产业当中，针对产品的导电性、磁性、光学特性或美观性等特性，均可由镀膜工艺来达到各项特性在产业标准上的需求，故镀膜工艺运用广泛；再者，近年来，真空镀膜工艺更是取代了传统喷涂电漆或电解电镀的方式而成为重要的镀膜技术。

由于真空镀膜技术应用的层面日渐广泛，如何降低真空镀膜工艺的成本以提升竞争力，一直是镀膜技术发展的趋势。一般而言，目前真空镀膜工艺中所使用的多为连续式的镀膜设备，由于连续式镀膜设备多采用直列式(In-Lin )设计，每一个镀膜工艺以腔体进行连接形成连续式多腔体(Multi-chamber)的作业流程，其相较于传统批次式(batch type)或晶片式(wafer type)的工艺方法相比，具有可大幅降低生产成本、提升量产效能的效果，从进而增进厂商竞争力。

在连续式真空镀膜工艺中，其腔体配置最主要分为三大区块：进料腔体、镀膜腔体及出料腔体，待镀工件由一载盘承载并通过腔体中输送机构的运送而进行镀膜程序，然而，当工件在腔体中完成镀膜程序之后，若与载盘一同离开该镀膜设备，则载盘供应数量必须搭配工件需求量，这样，在大规模量产的情形下，工艺中所必须准备的载盘数量无疑是厂商巨大的成本负担，因此必须设计一套循环输送装置，使载盘完成运送后回送至该工艺起点再度承接新的待镀工件，如此则可大幅降低生产成本。

目前采用的连续式镀膜设备的循环输送装置，通过将该循环输送装置架设于该镀膜设备外部，并且连结于该进料腔体与出料腔体以形成一输送循环；当载有工件的载盘自该循环输送装置的起点进入进料腔体，经过镀膜腔体完成镀膜程序，再从出料腔体离开后，便由该循环输送装置将该载有工件的载盘传送回到该起点，接着由一作业人员取下镀膜完成的工件并在该载盘上放置另一待镀工件，便可继续进行另一待镀工件的镀膜工艺。

然而，上述的循环输送方式是将该循环输送装置设置于该镀膜设备外部，整体的设备配置略呈“口”字型态，这样将占据大量的厂房空间，导致厂房空间利用效率低。

另外，上述的循环输送方式需要一位作业人员来取出工件与置放工件，不仅增加了人事成本的支出，而且产生了人力作业所衍生出来的缺点，举例来说，采用人工取放的方式，可能因该作业人员在搬动工件的过程中，由于不慎而造成工件碰撞或掉落，从而产生工件毁损的现象，这不但延误了镀膜生产，也导致作业效率不高，同时也增加了材料成本，此外，工件的不慎掉落更有砸伤作业人员，导致工伤意外的事情发生。

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种连续式镀膜设备的循环输送系统，节省厂房空间并提升作业效率。

为了达到上述发明目的，本发明通过采取以下技术手段予以实现，其中本发明提出的连续式镀膜设备的循环输送系统，搭配于一具有一进料区、至少一连接于该进料区的镀膜区以及一连接于该镀膜区的出料区的连续式镀膜设备，该进料区、镀膜区以及出料区均设有传动装置，该连续式镀膜设备的循环输送系统还包括有：两个升降装置以及多组回送装置，其中，

两个升降装置，分别设置于进料区的前端与出料区的后端，可使一受承载物件升降并停留于需要的高度，包括：

一主体框架，由多个框体与多个杆体组成的立体框架；

两个主要升降单元，对称设置于该主体框架内部的一侧，各具有一可往复移动的移动元件；

一动力源，设置于一主要升降单元的顶端，并通过一传动轴与另一主要升降单元的顶端相连；

两个辅助升降单元，分别设置于主体框架内部异于主要升降单元的一侧，各具有一可往复移动的移动元件；

一承载台，其一侧固接于主要升降单元的移动元件，另一侧固接于辅助升降单元的移动元件；

一传动装置，固定设置于承载台上；

多组回送装置，分别设置于进料区、镀膜区、出料区的下方并且彼此间相互接续，设置于进料区及出料区下方的回送装置分别衔接于两个升降装置的传动装置。

由上述技术方案可见，本发明提出的连续式镀膜设备的循环输送系统，由位于进料区前端的升降装置的传动装置将一载有工件的载盘传送入进料区，然后，由该连续式镀膜设备本身的传动装置将该载有工件的载盘自进料区传送，经过镀膜区及出料区而完成镀膜作业，接着，由位于出料区后端的升降装置的传动装置承接该载有工件的载盘，之后，工件便与载盘分离而进入下一阶段工况，而载盘则由出料区后端的升降装置的传动装置控制，下降至与回送装置等高的高度，由回送装置将载盘输送回到进料区前端的升降装置，此时，进料区前端的升降装置的传动装置已下降至与回送装置等高的高度以承接载盘，继而上升至导入工件的高度以承接另一工件，进而执行后续传送、镀膜的作业。

透过上述作业程序重复地进行，本发明提出的连续式镀膜设备的循环输送系统便可建立一自动化的循环输送模式，在工件导入或工件分离之后，将载盘周而复始地输送于连续式镀膜设备与两个升降装置之间，进而改善目前循环输送系统占据厂房空间以及作业效率不佳的技术问题。

附图说明

图1为本发明的作业流程示意图。

图2为本发明的升降装置动作示意图。

图3为本发明的升降装置立体结构示意图。

图4为本发明的升降装置内部组件立体结构示意图。

图5为本发明的传动装置俯视结构示意图。

图6为本发明的工件接收传动装置俯视结构示意图。

图7为本发明的工件接收传动装置侧视结构示意图。

图8为本发明的工件接收传动装置前视结构示意图。

附图中的标号说明

11进料区            12镀膜区

13出料区            14输送装置

21升降装置          211主体框架

212主要升降单元     2121移动元件

213动力源           214传动轴

215辅助升降单元     2151移动元件

216承载台           2161滚轮

217辅助支撑单元     2171上设置部

2172下设置部        2173皮带

22传动装置          221架设板

222铝挤型框条       223导轮

224时规轮           225传动皮带

226连动轴           23回送装置

24工件接收传动装置位移单元

241位移单元         2411固定平台

2412气压缸          24121活塞杆

2413直线轴承        2414支撑轴体

242传送单元         2421基础平台

2422固定板          2423传送轴

3玻璃基板

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举具体实施例，对本发明作进一步详细说明。

本发明通过将循环输送装置与镀膜设备结合，形成连续式镀膜设备的循环输送系统，并且让工件无需回流至输送起点而在离开出料腔体后随即进入下一程序，节省厂房空间以提升空间使用效能，以及形成一自动化生产流程以提升工艺效率。

请结合参考图1至图4，本发明提出的连续式镀膜设备的循环输送系统，包括连续式镀膜设备，该连续式镀膜设备具有一进料区11、至少一连接于进料区11的镀膜区12、以及一连接于镀膜区12的出料区13，进料区11、镀膜区12以及出料区13均设有输送装置14，该连续式镀膜设备的循环输送系统还包括有：两个升降装置以及多组回送装置，其中，

两个升降装置21，分别设置于进料区11的前端与出料区13的后端，用于将受承载物件进行升降并停留于所需要的高度，包括：

一主体框架211，由多个框体与多个杆体所组成的立体框架；

两个主要升降单元212，对称设置于主体框架211内部的一侧，各具有一可往复移动的移动元件2121；

一动力源213，设置于一主要升降单元212的顶端并以一传动轴214连接于另一主要升降单元212的顶端；

两个辅助升降单元215，设置于主体框架211内部异于主要升降单元212的一侧，也就是相对主要升降单元212的一侧，各具有一可往复移动的移动元件2151；

一承载台216，一侧与主要升降单元212的移动元件2121固接，另一侧与辅助升降单元215的移动元件2151固接；

一传动装置22，固定设置于承载台216上；

多组回送装置23，分别设置于进料区11、镀膜区12、出料区13的下方并且彼此间相互接续，设置于进料区11及出料区13下方的回送装置23分别衔接两个升降装置21的传动装置22。

其中，承载台216异于主要升降单元212及辅助升降单元215两侧的两端分别设有一滚轮2161；升降装置21还包括两个辅助支撑单元217，分别设置于主体框架211内部异于主要升降单元212及辅助升降单元215的两侧，辅助支撑单元217包括相互对角设置的一上设置部2171与一下设置部2172、以及一皮带2173，皮带2173的两端分别固定于上设置部2171与下设置部2172，由上设置部2171通过先绕设于一滚轮2161的下缘再绕设于另一滚轮2161的上缘，最后至下设置部2172。

当动力源213开始运转时，通过动力源213以及传动轴214将动力输出至主要升降单元212，使得移动元件2121带动承载台216进行上升与下降的直线运动，同时，辅助升降单元215受一外部气压源所提供的气压动力驱动而使移动元件2151也进行升降运动，因而，主要升降单元212的移动元件2121与辅助升降单元215的移动元件2151可同时上升或下降，从而带动承载台216的升降，并且平均分散其所承载物件的重力以维持其在升降过程中的平稳度。

辅助支撑单元217的皮带2173由于自上设置部2171延伸绕过一滚轮2161的下缘，然后再绕过另一滚轮2161的上缘至下设置部2172，所以在升降的过程中，由于皮带2173的张力及其绕设于滚轮2161的方式，可提高承载台216移动的稳定度，并且，承载台216由于受到皮带2173的支撑，不会因为承载物件的重量较重而造成移动元件2121、2151的不堪负荷，从而对承载台216升降时的平稳度产生负面影响。

另外，请结合参考图2至图5，传动装置22具有两个相互平行设置的架设板221、多个设置于两个架设板221之间的铝挤型框条222、多个对称设置于两个架设板221内侧的导轮223、多个设置于架设板221外侧并与导轮223连动的时规轮224、一环绕套设于多个时规轮224上的传动皮带225以及两个连动轴226，连动轴226分别设置于两个架设板221两端之间并连动于导轮223。

进一步地，请结合参考图2、图6至图8，本发明提出的连续式镀膜设备的循环输送系统进一步包括一工件接收传动装置24，设置于传动装置22的铝挤型框条222上并可升降穿梭于传动装置22之中，具有一位移单元241以及一设置于位移单元241上的传送单元242，其中，位移单元241具有一固接于传动装置22上的铝挤型框条222的固定平台2411、一设置于固定平台2411上并具有一活塞杆24121的气压缸2412、多个均布于固定平台2411的直线轴承2413以及多个往复移动于直线轴承2413的支撑轴体2414；传送单元242具有一固接于活塞杆24121与支撑轴体2414顶端的基础平台2421、两个平行设置于基础平台2421上的固定板2422以及多个可转动地设置于两个固定板2422之间的传送轴2423。另外，回送装置23与传送单元232的构造相同，在此不再赘述。

在本实施例中，连续式镀膜设备的循环输送系统应用于玻璃基板溅镀工艺中，两个升降装置21的承载台216的运动在镀膜工艺中由电脑程序设定，并由电脑程序控制承载台216的升降以停留于低、中、高三个位置，此低、中、高三个位置分别为载盘回传承接位置、玻璃基板接收/分离位置及镀膜工艺腔体高度位置，其作业程序说明如下：

首先，请结合参考图1、图2、图5以及图6至图8，一工件载盘(图中未示)放置于传动装置22上时，位于进料区11前端的升降装置21上的承载台216位于玻璃基板接收/分离位置，由一外部传动机构(图中未示)将一玻璃基板3传送进入进料区11前端的升降装置21，此时，工件接收传动装置24的位移单元241上的气压缸2412处于顶升状态，将传送单元242顶升并高于传动装置22，以使得传送单元242的传送轴2423受一外部动力源驱动后可接收玻璃基板3，并且当该玻璃基板被传送到达定位后，传送单元242即停止作动；接着，位移单元241上的气压缸2412驱动传送单元242下降，使玻璃基板3落于工件载盘之上。

然后，进料区11前端的升降装置21上的承载台216上升至镀膜工艺腔体高度位置，传动装置22接受一外部动力源的驱动，使得导轮223、时规轮224、传动皮带225与连动轴226产生连动，进而将载有玻璃基板3的工件载盘传动送入进料区11，并由进料区11、镀膜区12以及出料区13的输送装置14接续地输送载有玻璃基板的工件载盘以进行溅镀工艺。

当溅镀工艺完成时，位于出料区13后端的升降装置21的承载台216已处于镀膜工艺腔体高度位置待命，准备承接离开出料区13的载有玻璃基板3的工件载盘，承接之后，承载台216便下降至玻璃基板接收/分离位置，此时，工件接收传动装置24的位移单元241上的的气压缸2412即进行顶升动作，以将玻璃基板3顶升离开工件载盘，接着，传送单元242的传送轴2423受一外部动力源驱动后，将玻璃基板传送离开升降装置21，并由另一外部传动机构接收以进入下一阶段工艺。

然后，请结合参考图1、图2、图5至图8，气压缸2412驱动传送单元242下降后，承载台216即下降至载盘回传承接位置，由传动装置22将该工件载盘送入出料区13，并由出料区13、镀膜区12以及进料区11下方的回送装置23接续将该工件载盘回传至进料区11前端的升降装置21。

此时，进料区11前端的升降装置21的承载台216已位于载盘回传承接位置待命，由其传动装置22承接该工件载盘，一旦该工件载盘归至定位，传动装置22便停止运动，继而让承载台216上升至玻璃基板接收/分离位置，准备接收另一玻璃基板以进行溅镀工艺。

由上述技术方案可见，本发明提出的连续式镀膜设备的循环输送系统，通过升降装置、传动装置、工件接收传动装置以及回送装置，并搭配连续式镀膜设备本身的输送装置，形成一循环输送的模式，不仅可依照该连续式镀膜设备的镀膜区多寡配置回送装置的数量，还可在镀膜工艺中运用多个工件载盘循环重复地承载待镀工件，以自动化取代人力，从而提升整体镀膜工艺生产效率，另外，将回送装置设置于该连续式镀膜设备各区下方，节省了空间，可增加厂房的可用空间以提升利用效率。

上述实施例仅仅是为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围应以发明申请范围所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (9)

1.连续式镀膜设备的循环输送系统，其特征在于，搭配于具有一进料区、至少一连接于所述进料区的镀膜区、以及一连接于所述镀膜区的出料区的连续式镀膜设备，所述进料区、镀膜区以及出料区均设有输送装置，该循环输送系统还包括有：两个升降装置以及多组回送装置，其中，

两个升降装置，分别设置于所述进料区的前端与所述出料区的后端，用于将受承载物件进行升降并停留于所需要的高度，包括：

一主体框架，由多个框体与多个杆体所组成的立体框架；

两个主要升降单元，对称设置于所述主体框架内部一侧，各具有一可往复移动的移动元件；

一动力源，设置于一主要升降单元的顶端并以一传动轴连接于另一主要升降单元的顶端；

两个辅助升降单元，设置于所述主体框架内部异于所述主要升降单元的一侧，各具有一可往复移动的移动元件；

一承载台，一侧固接于所述主要升降单元的移动元件，另一侧固接于所述辅助升降单元的移动元件；

一传动装置，固定设置于所述承载台上；

多组回送装置，分别设置于所述进料区、镀膜区以及出料区的下方并且彼此间相互接续，设置于所述进料区及出料区下方的回送装置分别衔接于两个升降装置的传动装置。

2.如权利要求1所述的连续式镀膜设备的循环输送系统，其特征在于，所述传动装置具有两个相互平行设置的架设板、多个设置于所述两个架设板之间的铝挤型框条、多个对称设置于所述两个架设板内侧的导轮以及两个分别设置于所述两个架设板两端之间并连动于所述导轮的连动轴。

3.如权利要求2所述的连续式镀膜设备的循环输送系统，其特征在于，进一步包括一设置于所述传动装置的铝挤型框条上并可升降穿梭于所述传动装置之中的工件接收传动装置。

4.如权利要求3所述的连续式镀膜设备的循环输送系统，其特征在于，所述工件接收传动装置具有一位移单元以及一设置于所述位移单元上的传送单元。

5.如权利要求4所述的连续式镀膜设备的循环输送系统，其特征在于，所述位移单元具有一固接于所述传动装置的铝挤型框条的固定平台、一设置于所述固定平台并具有一活塞杆的气压缸、多个均布于所述固定平台的直线轴承以及多个往复移动于所述直线轴承的支撑轴体；所述传送单元具有一固接于所述活塞杆与支撑轴体顶端的基础平台、两个平行设置于所述基础平台上的固定板以及多个可转动地设置于两个所述固定板之间的传送轴。

6.如权利要求5所述的连续式镀膜设备的循环输送系统，其特征在于，所述回送装置与所述传送单元的构造相同。

7.如权利要求1或6所述的连续式镀膜设备的循环输送系统，其特征在于，所述承载台异于所述主要升降单元及辅助升降单元的两相对侧的两端分别设有一滚轮。

8.如权利要求7所述的连续式镀膜设备的循环输送系统，其特征在于，所述升降装置进一步包括两个分别设置于所述主体框架内部异于所述主要升降单元及辅助升降单元两侧的辅助支撑单元。

9.如权利要求8所述的连续式镀膜设备的循环输送系统，其特征在于，所述辅助支撑单元包括相互对角设置的一上设置部与一下设置部，以及以两端分别固定于所述上设置部与下设置部的一皮带，所述皮带由所述上设置部经绕设于一滚轮的下缘，再绕设于另一滚轮的上缘至所述下设置部。

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