CN114196939B - 一种石墨烯薄膜连续生长系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种石墨烯薄膜连续生长系统，包括机体和反应框，机体的进料口固定连接有进料架，机体的出料口固定连接有出料架，机体的一侧设置有用于将反应框从出料架内取出或将反应框装入进料架的辅助装置，反应框包括位于反应框底部的底板、固定于底板上的架体以及固定于支架上的反应盒，出料架和进料架均包括支撑板，两个支撑板上均固定连接有垫块，垫块的顶面用于与底板的底面相抵触，辅助装置包括底座板，底座板的顶面上固定有支柱，支柱顶部固定连接有安装板，安装板的顶面上滑动设置支撑杆，支撑杆上设置有阻碍底板脱离支撑杆的第一卡接机构。本申请具有减少工作人员对反应框的搬移工作，降低工作人员的劳动强度的效果。

Description

一种石墨烯薄膜连续生长系统

技术领域

本发明涉及石墨烯制系统造的领域，尤其是涉及一种石墨烯薄膜连续生长系统。

背景技术

目前，我国在石墨烯的产业化应用领域正在加快步伐，石墨烯具有超强的热稳定性、化学稳定性、机械稳定性以及高透光性，因此被人们认为是制造膜材料的极佳材料。石墨烯薄膜在电子、光子及光电设备领域的应用范围十分广泛，极具发展前景。

在相关技术中公告号为CN105624640A的中国实用新型专利，其公开了一种卷对卷连续石墨烯薄膜生长设备，包括有机体,所述的机体上设有工作台,工作台两端分别设有真空腔室a与真空腔室b,所述的真空腔室a与真空腔室b上连通有真空机组,所述的真空腔室a设有进气口,且另一端的真空腔室b设有出气口,所述的真空腔室a与真空腔室b内均设有放卷滚筒,同时放卷滚筒上设有旋转电机,所述的真空腔室a与真空腔室b之间连接有真空管,所述的真空腔室a一侧依次设有射频等离子发生器、加热炉、液氮冷阱。

针对上述的相关技术，发明人认为：在反应原料通过石墨烯薄膜生长设备的一系列反应得到石墨烯薄膜后，需要工作人员手动将反应框从设备中的出料口取出，将成品从反应框中取下并重新添加反应原料后，将反应框搬移到进料口处，人工搬移反应框的过程，提高了工作人员的劳动强度。

发明内容

为了减少工作人员对反应框的搬移工作，降低工作人员的劳动强度，本申请提供一种石墨烯薄膜连续生长系统。

本申请提供的一种石墨烯薄膜连续生长系统采用如下的技术方案：

一种石墨烯薄膜连续生长系统，包括机体和反应框，所述机体的进料口固定连接有进料架，所述机体的出料口固定连接有出料架，所述机体的一侧设置有用于将所述反应框从所述出料架内取出或将所述反应框装入所述进料架的辅助装置，所述反应框包括位于所述反应框底部的底板、固定于所述底板上的架体以及固定于支架上的反应盒，所述出料架和所述进料架均包括用于支撑所述反应框的支撑板，两个所述支撑板上均固定连接有垫块，所述垫块的顶面用于与所述底板的底面相抵触，所述辅助装置包括滑动设置于地面上的底座板，所述底座板的顶面上固定有支柱，所述支柱顶部固定连接有安装板，所述安装板的顶面上滑动设置有可插入所述底板和所述支撑板之间的支撑杆，所述支撑杆上设置有阻碍所述底板脱离所述支撑杆的第一卡接机构。

通过采用上述技术方案，支撑杆滑动设置于安装板上，工作人员控制支撑杆的滑动，使支撑杆插入底板和支撑板之间，当工作人员反向滑移支撑杆，在第一卡接机构的卡接作用下，阻碍反应框的底板脱离支撑杆，使支撑杆将反应框从出料架中移出，因为底座板滑动设置于地面上，因此在将反应框中的成品取出并重新加入反应原料后，工作人员将辅助装置滑动至进料口处，通过滑动支撑杆，将反应框装入进料架中，在将第一卡接机构解锁后，支撑杆能够从底板的底部抽出，然后将辅助装置重新移动到出料口处，如此循环工作，减少了工作人员对反应框的搬移工作，降低了工作人员的劳动强度。

优选的，所述第一卡接机构包括第一卡接块、固定连接于所述第一卡接块侧面的第一限位块和第一复位弹簧，所述支撑杆的顶面上开设有第一卡块槽，所述第一卡块槽的内侧壁上开设有第一限位槽，所述第一复位弹簧设置于所述第一卡块槽内，所述第一卡接块插设于所述第一卡块槽内，所述第一限位块插设于所述第一限位槽内，所述第一复位弹簧的一端抵触于所述第一卡块槽的底壁上，所述第一复位弹簧的另一端抵触于所述第一限位块的底面上。

通过采用上述技术方案，在第一复位弹簧的弹力作用下，第一卡接块能够在第一卡块槽内上下滑移，从而使第一卡接块能够在支撑杆插入底板和支撑板之间的过程中收缩进入第一卡块槽内，并当第一卡接块位于底板的另一侧时，第一卡接块从卡块槽内弹出，当支撑杆向远离出料架的方向运动时，第一卡接块能够阻碍反应框脱离支撑杆，使反应框能够跟随支撑杆的运动从出料口中被取出。

优选的，两个所述支撑板靠近所述辅助装置的一侧均设置有阻碍所述反应框脱离所述进料架和所述出料架的第二卡接机构，所述第二卡接机构包括第二卡接块、固定连接于所述第二卡接块侧面的第二限位块和第二复位弹簧，所述支撑板的顶面上开设有第二卡块槽，所述第二卡块槽的内侧壁上开设有第二限位槽，所述第二复位弹簧设置于所述第二卡块槽内，所述第二卡接块插设于所述第二卡块槽内，所述第二限位块插设于所述第二限位槽内，所述第二复位弹簧的一端抵触于所述第二卡块槽的底壁上，所述第二复位弹簧的另一端抵触于所述第二限位块的底面上。

通过采用上述技术方案，第二卡接机构设置于支撑板靠近辅助装置的一侧，在无外力作用下，第二复位弹簧的弹力作用使第二卡接块的顶部始终位于支撑板的上方，使第二卡接块的侧面与底板的侧面相抵触，从而阻碍反应框从进料架或出料架的侧边掉落，提高了反应框位于石墨烯薄膜连续生长系统中的稳固性。

优选的，所述第二卡接块的顶部设置有第二斜面，所述第二斜面位于所述第二卡接块靠近所述辅助装置的一侧，所述支撑杆的端面上设置有用于与所述第二斜面相抵触的第三斜面，所述第一卡接块的顶部设置有第一斜面，所述第一斜面位于所述卡接块靠近所述支撑板的一侧。

通过采用上述技术方案，当工作人员需要将反应框从出料架上取下时，工作人员控制支撑杆向靠近反应框的方向运动，当第三斜面与第二斜面相抵触时，随着支撑杆的继续移动使支撑杆能够将第二卡接块推入第二卡块槽内。此外，当底板的侧面抵触到第一斜面的时，随着支撑杆的继续移动使底板能够将第一卡接块推入第一卡块槽内，从而使工作人员只需控制支撑杆向靠近反应框的方向运动，即可使支撑杆将第二卡接机构解锁，并使第一卡接机构自动与反应框的底板卡接。

优选的，所述进料架的所述支撑板上还固定连接有解锁件，所述解锁件的纵向截面为框形，所述支撑杆可插设于所述解锁件内，所述第二卡接机构位于所述解锁件靠近所述辅助装置的一侧，所述支撑杆的顶面上还设置有弹力支撑机构，所述弹力支撑机构包括支撑块、支撑弹簧以及固定连接于所述支撑块侧面上的挡块，所述支撑杆的顶面上还开设有凹槽，所述凹槽的内侧壁上开设有档槽，所述支撑弹簧设置于所述凹槽内，所述支撑块插设于所述凹槽内，所述挡块插设于所述档槽内，所述支撑弹簧的一端抵触于所述凹槽的底壁上，所述支撑弹簧的另一端抵触于所述支撑块的底面上，所述支撑块的顶面抵触于所述底板的底面上，所述支撑块的顶部设置有第四斜面，所述第四斜面位于所述支撑块靠近所述支撑板的一侧，所述支撑块远离所述第一卡接块的一侧设置有挡板，所述挡板固定连接于所述支撑杆的顶面上，所述底板位于所述第一卡接块和所述挡板之间。

通过采用上述技术方案，当需要将反应框放入进料架时，工作人员控制支撑杆向靠近进料架的方向运动，当第三斜面与第二斜面相抵触时，随着支撑杆的继续移动使支撑杆能够将第二卡接块推入第二卡块槽内，从而使支撑杆能够插入解锁件内。当第一卡接块的第一斜面抵触到解锁件的上部时，随着支撑杆的继续移动，解锁件能够将第一卡接块推进第一卡块槽内，从而将第一卡接机构解锁，使当支撑杆反向运动时，反应框能够脱离支撑杆。弹力支撑机构使底板与支撑杆之间存在间距，使解锁件的顶部能够在支撑杆靠近进料架的移动过程中插入底板与支撑板之间，并且当第四斜面抵触到解锁件时，随着支撑杆的继续移动，解锁件的顶部能够将支撑块推入凹槽内，使反应框在挡板的推力作用下向进料架内移动，直至将反应框装入进料架内。在将反应框装入进料架内后，第二卡接块从第二卡块槽内弹出，使第二卡接块的侧面与底板的侧面相抵触，阻碍反应框从进料架的一侧掉落，由于解锁件已经将第一卡接块推入第一卡块槽内，因此支撑杆在将反应框装入进料架后能够与反应框脱离，使支撑杆能够从解锁件内拔出，从而使工作人员只需控制支撑杆移动，即可自动使第二卡接机构的解锁、第一卡夹机构的解锁、反应框的装入和第二卡接机构的锁定，提高了工作效率。

优选的，所述底座板的底面上固定设置有四个滚轮，四个所述滚轮分别位于所述底座板的四个拐角处，所述机体一侧的地面上平行固定有两条滑动轨道，所述底座板两侧的所述滚轮分别位于两条所述滑动轨道上。

通过采用上述技术方案，滑动轨道固定于机体一侧的底面上，滚轮位于滑动轨道上，从而使工作人员在转移反应框的过程中更加高效和便捷，提高了工作效率。

优选的，所述支撑杆位于所述安装板的顶面上滑动设置有两个，两个所述支撑杆之间固定有连接杆，所述连接杆的两端分别固定连接于两个所述支撑杆相互靠近的侧面上，所述安装板的顶面上固定连接有气缸，所述气缸的活塞杆的端部固定连接于所述连接杆上。

通过采用上述技术方案，气缸能够推动连接杆移动，从而使支撑杆能够在安装板上滑移，进而使工作人员只需控制气缸的活塞杆的收缩，即可将反应框装入进料架或将反应框从出料架上取下，降低了工作人员的劳动强度。

优选的，所述安装板的顶面上开设有燕尾槽，所述燕尾槽的长度方向与所述支撑杆的长度方向一致，所述支撑杆的底面上固定连接有燕尾块，所述燕尾块插设于所述燕尾槽内，所述燕尾块滑动设置于所述燕尾槽的内壁上。

通过采用上述技术方案，燕尾块插设于燕尾槽内，并且燕尾块滑动设置于燕尾槽的内壁上，使支撑杆能够在安装板上滑动的同时，阻碍支撑杆脱离安装板，使辅助装置的结构更加稳固。

综上所述，支撑杆滑动设置于安装板上，工作人员控制支撑杆的滑动，使支撑杆插入底板和支撑板之间，当工作人员反向滑移支撑杆，在第一卡接机构的卡接作用下，阻碍反应框的底板脱离支撑杆，使支撑杆将反应框从出料架中移出，因为底座板滑动设置于地面上，因此在将反应框中的成品取出并重新加入反应原料后，工作人员将辅助装置滑动至进料口处，通过滑动支撑杆，将反应框装入进料架中，在将第一卡接机构解锁后，支撑杆能够从底板的底部抽出，然后将辅助装置移动到出料口处，如此循环工作，减少了工作人员对反应框的搬移工作，降低了工作人员的劳动强度。

附图说明

图1是本申请实施例石墨烯薄膜连续生长系统的整体结构示意图。

图2是本申请实施例中进料架与反应框的爆炸图。

图3是本申请实施例中出料架的结构示意图。

图4是图2中A-A线的剖视图。

图5是图4中B处的局部放大图。

图6是图4中C处的局部放大图。

附图标记说明：

1、辅助装置；11、底座板；12、支柱；13、滚轮；14、安装板；141、燕尾槽；15、支撑杆；151、第一卡块槽；1511、第一限位槽；152、凹槽；1521、档槽；153、第三斜面；154、燕尾块；155、挡板；16、连接杆；17、气缸；18、第一卡接机构；181、第一卡接块；1811、第一斜面；182、第一限位块；183、第一复位弹簧；19、弹力支撑机构；191、支撑块；1911、第四斜面；192、支撑弹簧；193、挡块；2、机体；3、进料架；4、出料架；31、支撑板；311、第二卡块槽；312、第二限位槽；32、垫块；33、解锁件；34、第二卡接机构；341、第二卡接块；3411、第二斜面；342、第二限位块；343、第二复位弹簧；5、支撑架；6、反应框；61、底板；62、架体；63、反应盒；7、滑动轨道。

具体实施方式

以下结合附图1-6对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种石墨烯薄膜连续生长系统。参照图1和图2所示，石墨烯薄膜连续生长系统包括机体2、进料架3、出料架4、支撑架5、反应框6、辅助装置1以及滑动轨道7。进料架3水平固定连接于机体2的进料口，出料架4水平固定连接于机体2远离进料口一侧的出料口，支撑架5设置有两个，两个支撑架5分别固定连接于进料架3和出料架4远离机体2的一端，两个支撑架5分别位于进料架3和出料架4的下方。

参照图2和图3所示，进料架3和出料架4均包括支撑板31和垫块32，垫块32设置有两个，两个垫块32分别固定连接于两个支撑板31的顶面上，两个垫块32分别位于两个支撑板31顶面的中部。

参照图2所示，反应框6包括底板61、架体62和反应盒63，底板61位于反应框6的底部，架体62固定于底板61的顶面上，反应盒63固定于支架上。当反应框6位于进料架3或出料架4内时，垫块32的顶面与底板61的底面相抵触。

参照图2和图4所示，机体2一侧的地面上平行固定有两条滑动轨道7，滑动轨道7上设置有辅助装置1，辅助装置1包括底座板11、支柱12、滚轮13、安装板14、支撑杆15、连接杆16、气缸17、第一卡接机构18和弹力支撑机构19。底座板11水平设置，滚轮13位于底座板11的顶面上设置有四个，四个滚轮13分别位于底座板11的四个拐角处，底座板11两侧的滚轮13分别位于两条滑动轨道7上。

参照图2和图4所示，支柱12固定连接于底座板11顶面的中部，安装板14水平固定连接于支柱12顶面上，支柱12位于安装板14底面的中部，支撑杆15的靠近进料架3设置有第三斜面153，第三斜面153位于支撑杆15的底部，支撑杆15滑动设置于安装板14的顶面上，支撑杆15位于安装板14的顶面上平行设置有两根，连接杆16的两端分别固定连接于两根支撑杆15相互靠近的侧面上，气缸17固定连接于安装板14的顶面上，气缸17的活塞杆的端部固定连接于连接杆16中部。

参照图4所示，安装板14的顶面上开设有两个燕尾槽141，两个燕尾槽141的长度方向均与支撑杆15的长度方向一致，所述支撑杆15的底面上固定连接有燕尾块154，燕尾块154插设于燕尾槽141内，燕尾块154滑动设置于燕尾槽141的内壁上。

参照图4和图5所示，第一卡接机构18和弹力支撑机构19均设置于支撑杆15的顶面上，弹力支撑机构19位于第一卡接机构18远离支撑板31的一侧。第一卡接机构18包括第一卡接块181、第一限位块182和第一复位弹簧183。第一限位块182固定连接于第一卡接块181的侧面上，支撑杆15的顶面上开设有第一卡块槽151，第一卡块槽151开设于支撑杆15的端部，第一卡块槽151的内侧壁上开设有第一限位槽1511，第一复位弹簧183设置于第一卡块槽151内，第一卡接块181插设于第一卡块槽151内，第一限位块182插设于第一限位槽1511内，第一复位弹簧183的一端抵触于第一卡块槽151的底壁上，第一复位弹簧183的另一端抵触于第一限位块182的底面上，第一卡接块181的顶部设置有第一斜面1811，第一斜面1811位于卡接块靠近支撑板31的一侧。

参照图4和图6所示，弹力支撑机构19包括支撑块191、支撑弹簧192以及挡块193，挡块193固定连接于支撑块191侧面上，支撑杆15的顶面上还开设有凹槽152，凹槽152的内侧壁上开设有档槽1521，支撑弹簧192设置于凹槽152内，支撑块191插设于凹槽152内，挡块193插设于档槽1521内，支撑弹簧192的一端抵触于凹槽152的底壁上，支撑弹簧192的另一端抵触于支撑块191的底面上，当反应框6位于支撑杆15上时，支撑块191的顶面抵触于底板61的底面上，支撑块191的顶部设置有第四斜面1911，第四斜面1911位于支撑块191靠近支撑板31的一侧，支撑块191远离第一卡接块181的一侧设置有挡板155，挡板155固定连接于支撑杆15的顶面上，当支撑杆15将反应框6从出料架4上取出时，第一卡接块181的侧面与底板61的侧面相抵触，挡块193的侧面与底板61的另一侧侧面相抵触。

参照图2和图4所示，两个支撑板31靠近辅助装置1的一侧均设置有第二卡接机构34，第二卡接机构34包括第二卡接块341、第二限位块342和第二复位弹簧343。第二限位块342固定连接于第二卡接块341侧面上块，支撑板31的顶面上开设有第二卡块槽311，第二卡块槽311的内侧壁上开设有第二限位槽312，第二复位弹簧343设置于第二卡块槽311内，第二卡接块341插设于第二卡块槽311内，第二限位块342插设于第二限位槽312内，第二复位弹簧343的一端抵触于第二卡块槽311的底壁上，第二复位弹簧343的另一端抵触于第二限位块342的底面上，第二卡接块341的顶部设置有第二斜面3411，第二斜面3411位于第二卡接块341靠近辅助装置1的一侧。

参照图2所示，进料架3的支撑板31上还固定连接有两个解锁件33，两个解锁件33对称设置于垫块32的两侧，解锁件33的纵向截面为框形，当辅助装置1将反应框6装入进料架3时，支撑杆15插设于解锁件33内。

本申请实施例一种石墨烯薄膜连续生长系统的实施原理为：当需要将反应框6从出料架4上取出时，工作人员控制气缸17使支撑杆15向靠近反应框6的方向运动，当第三斜面153与第二斜面3411相抵触时，随着支撑杆15的继续移动使支撑杆15能够将第二卡接块341推入第二卡块槽311内。此外，当底板61的侧面抵触到第一斜面1811的时，随着支撑杆15的继续移动使底板61能够将第一卡接块181推入第一卡块槽151内，从而使工作人员只需控制支撑杆15向靠近反应框6的方向运动，即可使支撑杆15将第二卡接机构34解锁，并使第一卡接机构18自动与反应框6的底板61卡接。

当需要将反应框6装入进料架3时，工作人员通过滑轨将辅助装置1滑移至进料架3处，工作人员控制气缸17使支撑杆15向靠近进料架3的方向运动，当第三斜面153与第二斜面3411相抵触时，随着支撑杆15的继续移动使支撑杆15能够将第二卡接块341推入第二卡块槽311内，从而使支撑杆15能够插入解锁件33内。当第一卡接块181的第一斜面1811抵触到解锁件33的上部时，随着支撑杆15的继续移动，解锁件33能够将第一卡接块181推进第一卡块槽151内，从而将第一卡接机构18解锁，使当支撑杆15反向运动时，反应框6能够脱离支撑杆15。弹力支撑机构19使底板61与支撑杆15之间存在间距，使解锁件33的顶部能够在支撑杆15靠近进料架3的移动过程中插入底板61与支撑板31之间，并且当第四斜面1911抵触到解锁件33时，随着支撑杆15的继续移动，解锁件33的顶部能够将支撑块191推入凹槽152内，使反应框6在挡板155的推力作用下向进料架3内移动，直至将反应框6装入进料架3内。在将反应框6装入进料架3内后，第二卡接块341从第二卡块槽311内弹出，使第二卡接块341的侧面与底板61的侧面相抵触，阻碍反应框6从进料架3的一侧掉落，由于解锁件33已经将第一卡接块181推入第一卡块槽151内，因此支撑杆15在将反应框6装入进料架3后能够与反应框6脱离，使支撑杆15能够从解锁件33内拔出，减少了工作人员对反应框6的搬移工作，降低了工作人员的劳动强度。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种石墨烯薄膜连续生长系统，包括机体(2)和反应框(6)，其特征在于：所述机体(2)的进料口固定连接有进料架(3)，所述机体(2)的出料口固定连接有出料架(4)，所述机体(2)的一侧设置有用于将所述反应框(6)从所述出料架(4)内取出或将所述反应框(6)装入所述进料架(3)的辅助装置(1)，所述反应框(6)包括位于所述反应框(6)底部的底板(61)、固定于所述底板(61)上的架体(62)以及固定于支架上的反应盒(63)，所述出料架(4)和所述进料架(3)均包括用于支撑所述反应框(6)的支撑板(31)，两个所述支撑板(31)上均固定连接有垫块(32)，所述垫块(32)的顶面用于与所述底板(61)的底面相抵触，所述辅助装置(1)包括滑动设置于地面上的底座板(11)，所述底座板(11)的顶面上固定有支柱(12)，所述支柱(12)顶部固定连接有安装板(14)，所述安装板(14)的顶面上滑动设置有可插入所述底板(61)和所述支撑板(31)之间的支撑杆(15)，所述支撑杆(15)上设置有阻碍所述底板(61)脱离所述支撑杆(15)的第一卡接机构(18)；所述第一卡接机构(18)包括第一卡接块(181)、固定连接于所述第一卡接块(181)侧面的第一限位块(182)和第一复位弹簧(183)，所述支撑杆(15)的顶面上开设有第一卡块槽(151)，所述第一卡块槽(151)的内侧壁上开设有第一限位槽(1511)，所述第一复位弹簧(183)设置于所述第一卡块槽(151)内，所述第一卡接块(181)插设于所述第一卡块槽(151)内，所述第一限位块(182)插设于所述第一限位槽(1511)内，所述第一复位弹簧(183)的一端抵触于所述第一卡块槽(151)的底壁上，所述第一复位弹簧(183)的另一端抵触于所述第一限位块(182)的底面上。

2.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜连续生长系统，其特征在于：两个所述支撑板(31)靠近所述辅助装置(1)的一侧均设置有阻碍所述反应框(6)脱离所述进料架(3)和所述出料架(4)的第二卡接机构(34)，所述第二卡接机构(34)包括第二卡接块(341)、固定连接于所述第二卡接块(341)侧面的第二限位块(342)和第二复位弹簧(343)，所述支撑板(31)的顶面上开设有第二卡块槽(311)，所述第二卡块槽(311)的内侧壁上开设有第二限位槽(312)，所述第二复位弹簧(343)设置于所述第二卡块槽(311)内，所述第二卡接块(341)插设于所述第二卡块槽(311)内，所述第二限位块(342)插设于所述第二限位槽(312)内，所述第二复位弹簧(343)的一端抵触于所述第二卡块槽(311)的底壁上，所述第二复位弹簧(343)的另一端抵触于所述第二限位块(342)的底面上。

3.根据权利要求2所述的一种石墨烯薄膜连续生长系统，其特征在于：所述第二卡接块(341)的顶部设置有第二斜面(3411)，所述第二斜面(3411)位于所述第二卡接块(341)靠近所述辅助装置(1)的一侧，所述支撑杆(15)的端面上设置有用于与所述第二斜面(3411)相抵触的第三斜面(153)，所述第一卡接块(181)的顶部设置有第一斜面(1811)，所述第一斜面(1811)位于所述卡接块靠近所述支撑板(31)的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种石墨烯薄膜连续生长系统，其特征在于：所述进料架(3)的所述支撑板(31)上还固定连接有解锁件(33)，所述解锁件(33)的纵向截面为框形，所述支撑杆(15)可插设于所述解锁件(33)内，所述第二卡接机构(34)位于所述解锁件(33)靠近所述辅助装置(1)的一侧，所述支撑杆(15)的顶面上还设置有弹力支撑机构(19)，所述弹力支撑机构(19)包括支撑块(191)、支撑弹簧(192)以及固定连接于所述支撑块(191)侧面上的挡块(193)，所述支撑杆(15)的顶面上还开设有凹槽(152)，所述凹槽(152)的内侧壁上开设有档槽(1521)，所述支撑弹簧(192)设置于所述凹槽(152)内，所述支撑块(191)插设于所述凹槽(152)内，所述挡块(193)插设于所述档槽(1521)内，所述支撑弹簧(192)的一端抵触于所述凹槽(152)的底壁上，所述支撑弹簧(192)的另一端抵触于所述支撑块(191)的底面上，所述支撑块(191)的顶面抵触于所述底板(61)的底面上，所述支撑块(191)的顶部设置有第四斜面(1911)，所述第四斜面(1911)位于所述支撑块(191)靠近所述支撑板(31)的一侧，所述支撑块(191)远离所述第一卡接块(181)的一侧设置有挡板(155)，所述挡板(155)固定连接于所述支撑杆(15)的顶面上，所述底板(61)位于所述第一卡接块(181)和所述挡板(155)之间。

5.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜连续生长系统，其特征在于：所述底座板(11)的底面上固定设置有四个滚轮(13)，四个所述滚轮(13)分别位于所述底座板(11)的四个拐角处，所述机体(2)一侧的地面上平行固定有两条滑动轨道(7)，所述底座板(11)两侧的所述滚轮(13)分别位于两条所述滑动轨道(7)上。

6.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜连续生长系统，其特征在于：所述支撑杆(15)位于所述安装板(14)的顶面上滑动设置有两个，两个所述支撑杆(15)之间固定有连接杆(16)，所述连接杆(16)的两端分别固定连接于两个所述支撑杆(15)相互靠近的侧面上，所述安装板(14)的顶面上固定连接有气缸(17)，所述气缸(17)的活塞杆的端部固定连接于所述连接杆(16)上。

7.根据权利要求1所述的一种石墨烯薄膜连续生长系统，其特征在于：所述安装板(14)的顶面上开设有燕尾槽(141)，所述燕尾槽(141)的长度方向与所述支撑杆(15)的长度方向一致，所述支撑杆(15)的底面上固定连接有燕尾块(154)，所述燕尾块(154)插设于所述燕尾槽(141)内，所述燕尾块(154)滑动设置于所述燕尾槽(141)的内壁上。

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