CN101576693B - 液晶显示面板及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液晶显示面板及其制造方法。该液晶显示面板包括一薄膜晶体管基板。该薄膜晶体管基板包括一显示区和一与该显示区相邻的非显示区。该显示区包括多条驱动线，每一驱动线延伸至该非显示区并形成一末端。该非显示区包括一设置在该末端表面的保护层、一设置在该保护层表面的连接垫和一包括一引脚的信号驱动器。该连接垫通过一贯穿该保护层的接触孔与该末端电连接，该引脚通过多个导电粒子与该连接垫电连接，该接触孔的宽度小于该导电粒子的直径。该液晶显示面板的信号衰减较小，非显示区的面积较小。

Description

液晶显示面板及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种液晶显示面板及其制造方法。

背景技术

液晶显示面板因具有重量轻、体积小、耗电低等优点，已广泛应用于各种信息、通讯和消费性电子产品中。

请参阅图1，其是一种现有技术液晶显示面板的平面结构示意图。该液晶显示面板10包括一薄膜晶体管基板101、一彩色滤光片基板102和一液晶层(图未示)。该薄膜晶体管基板101与该彩色滤光片基板102相对设置，该液晶层设置在该薄膜晶体管基板101与该彩色滤光片基板102之间。该彩色滤光片基板102具有的面积小于该薄膜晶体管基板101具有的面积。该薄膜晶体管基板101的与该彩色滤光片基板102重叠的部分界定一显示区110，该薄膜晶体管基板101的未与该彩色滤光片基板102重叠的部分界定一非显示区120。

该非显示区120设置有一扫描驱动器130和两个数据驱动器140。该扫描驱动器130和该数据驱动器140用于为该显示区110提供驱动信号，以驱动该显示区110显示画面。

请参阅图2，其是图1所示液晶显示面板10沿II-II方向的剖面示意图。该非显示区120还包括一从该显示区110延伸出来的扫描线121、一连接垫122和一绝缘层126。该绝缘层126设置在该薄膜晶体管基板101临近该扫描驱动器130一侧的表面上，并包括一位于该扫描驱动器130下方的开孔(未标示)。该扫描线121设置在该薄膜晶体管基板101与该绝缘层126之间。该连接垫122的一部分设置在该绝缘层126的与该扫描线121相对的另一表面，形成一呈平面状的第一连接部123。该连接垫122的另一部分穿过该开孔并与该扫描线121连接，并界定一第二连接部124，该第二连接部124呈盆地形状，附着于该开孔的内侧。

请参阅图3，其是图2所示扫描线121和连接垫122的平面结构示意图。该第二连接部124位于该连接垫122的中部，该第一连接部123位于该第二连接部124的四周边缘处。该连接垫122的表面贴附有一层异方性导电膜150，该异方性导电膜150包括多个导电粒子151。该扫描驱动器130包括多个引脚131。该引脚131用于输出该扫描驱动器130的扫描信号，其通过压合粘附于该异方性导电膜150上，且其面积与该连接垫122的面积相当。该导电粒子151夹持在该引脚131和该第一连接部123之间。该引脚150通过该导电粒子151与该第一连接部123电连接，进而通过该第二连接部124与该扫描线121电连接，从而使该扫描驱动器130的扫描信号传输至该扫描线121。

由上述信息可知，为实现由该引脚131向该连接垫122和该扫描线121传输扫描信号，首先需要将该引脚131与该连接垫122电连接。而为实现上述电连接，需在该连接垫122表面贴附一层异方性导电膜150，通过夹持在该引脚131和该连接垫122之间的导电粒子151实现。而因为该开孔的内径远大于该导电粒子151的直径，使附着于该开孔内侧的第二连接部124的内径远大于该导电粒子151的直径，从而该第二连接部124无法与该引脚131夹持导电粒子151。所以，上述电连接实际上是通过夹持在该引脚131和该连接垫122的第一连接部123之间的导电粒子151实现。

然而，通常该连接垫122的第二连接部124占据该连接垫122面积的较大比例，该第一连接部123仅具有较小面积比例，使夹持在该第一连接部123与该引脚131之间的导电粒子151数目较少，该引脚131与该连接垫122之间的连接阻抗较大，从而使该扫描信号的传输衰减较大。而且，在将该扫描驱动器150压合于该异方性导电膜150上时，通常需要将该引脚131与该连接垫122准确对位，一旦未能对位准确，该引脚131相对于该连接垫122产生微量偏移，将使部分该第一连接部123不能与该引脚131夹持该导电粒子151。这将减少夹持在该引脚131与该第一连接部123之间的导电粒子151数目，所以而进一步加大该引脚131与该连接垫122之间的连接阻抗，使该扫描信号的传输衰减进一步加大。该数据驱动器140将其数据信号传输到数据线(图未示)时也存在上述连接阻抗大信号衰减大的问题。

为解决上述问题，以扫描信号的传输为例，目前采用增大该第一连接部123的方法来实现。请参阅图4，其是另一种现有技术液晶显示面板的局部剖面示意图。该液晶显示面板20与该液晶显示面板10大体相同，其主要区别在于：连接垫222的第二连接部224与该第一连接部223并列设置。异方性导电膜250贴附在该第一连接部223的表面。扫描驱动器230的引脚231面积与该第一连接部223面积相当，并对应该第一连接部223压合粘附于该异方性导电膜250上。该引脚231与该第一连接部223夹持导电粒子251，以实现该引脚231与该第一连接部223的电连接，进而通过该第二连接部224与扫描线221电连接，从而实现扫描信号由该扫描驱动器230向该扫描线221的传输。

请参阅图5，其是图4所示的扫描线221和连接垫222的平面结构示意图。该第二连接部224设置在该第一连接部223的一边缘处，其面积略小于该扫描线221的末端。

相较于该液晶显示面板10，由于液晶显示面板20的第一连接部223面积较大，与该引脚231面积相当，在该引脚231对准该第一连接部223压合粘附于该异方性导电膜250时，夹持在该引脚231与该第一连接部223之间的导电粒子251数目较多。所以，该引脚231与该连接垫222之间的连接阻抗较小，扫描信号从该扫描驱动器230向该扫描线221传输的信号衰减较小。

同该引脚131可能未准确对准该第一连接部123而压合粘附于该异方性导电膜150一样，该引脚231也可能未对准该第一连接部223而压合粘附于该异方性导电膜250，即该引脚231相对于该第一连接部223具有微量偏移。当该引脚231相对于该第一连接部223具有偏移时，夹持在该引脚231与该第一连接部223之间的导电粒子251数目仍将多于夹持在该引脚131与该第一连接部123之间的导电粒子151数目。在此种情况下，相较于该液晶显示面板10，该液晶显示面板20的引脚231与连接垫222之间的连接阻抗较小，扫描信号从该扫描驱动器230向该扫描线221传输的信号衰减较小。

然而，由于增大该第一连接部223的面积，使其面积与该引脚231相当，导致该连接垫222的面积较大，从而在具有固定尺寸的显示区的情况下将使该液晶显示面板20的非显示区面积较大。

发明内容

为解决现有技术中液晶显示面板信号衰减大和非显示区面积较大的问题，有必要提供一种信号衰减小且非显示区面积较小的液晶显示面板。

同时，也有必要提供一种信号衰减小且非显示区面积较小的液晶显示面板制造方法。

一种液晶显示面板，其包括一薄膜晶体管基板。该薄膜晶体管基板包括一显示区和一与该显示区相邻的非显示区。该显示区包括多条驱动线，每一驱动线延伸至该非显示区并形成一末端。该非显示区包括一设置在该末端表面的保护层、一设置在该保护层表面的连接垫和一包括一引脚的信号驱动器。该连接垫通过一贯穿该保护层的接触孔与该末端电连接，该引脚通过多个导电粒子与该连接垫电连接，该接触孔的宽度小于该导电粒子的直径。

一种液晶显示面板制造方法，其步骤包括：a.提供一绝缘基底，并在该基底上沉积一第一金属层；在一道掩膜工艺中形成一扫描线于该绝缘基底上，该扫描线包括一扫描末端；b.在该扫描线和该绝缘基底上依序沉积一绝缘层和一半导体层；在一道掩膜工艺中形成至少一第二半导体图案，该至少一第二半导体图案与该扫描末端相对应；c.在该至少一第二半导体图案和该绝缘层上依序形成一钝化层和一光致抗蚀剂层并形成预定的光致抗蚀剂图案；d.以该光致抗蚀剂图案为遮罩对该钝化层刻蚀，暴露出该至少一第二半导体图案，再以该光致抗蚀剂图案和该至少一第二半导体图案为遮罩对该绝缘层刻蚀，形成至少一第二接触孔；该至少一第二接触孔与该扫描末端对应；e.在该钝化层和该至少一第二接触孔上形成一透明导电层，并于一道掩膜工艺中形成一扫描连接垫，该扫描连接垫与该第二接触孔对应；f.提供一驱动器，该驱动器通过多个导电粒子与该扫描连接垫电连接，该至少一第二接触孔的宽度小于该导电粒子的直径。

一种液晶显示面板制造方法，其步骤包括：a.提供一绝缘基底，在该绝缘基底上形成一讯号线，该讯号线包括一讯号线末端；b.在该讯号线和该绝缘基底上依序沉积一绝缘层及一半导体层；在一道掩膜工艺中形成至少一第二半导体图案，该至少一第二半导体图案与该讯号线末端相对应；c.在该至少一第二半导体图案和该绝缘层上依序形成一钝化层和一光致抗蚀剂层并形成预定的光致抗蚀剂图案；d.以该光阻图案为遮罩对该钝化层刻蚀，暴露出该至少一第二半导体图案，再以该光致抗蚀剂图案和该至少一第二半导体图案为遮罩对该绝缘层刻蚀，形成至少一第二接触孔；该至少一第二接触孔与该讯号线末端对应；e.在该钝化层和该至少一第二接触孔上形成一透明导电层，并在一道掩膜工艺中形成一连接垫，该连接垫与该第二接触孔对应；f.提供一驱动器，该驱动器通过多个导电粒子与该连接垫电连接，该至少一第二接触孔的宽度小于该导电粒子的直径。

相较于现有技术，本发明液晶显示面板及其方法由于其接触孔的宽度小于导电粒子的直径，使位于该引脚和该连接垫之间的导电粒子均能被该引脚和该连接垫夹持，增加可以用来导通该引脚和该连接垫的导电粒子的数目，减小该引脚与该连接垫之间的连接阻抗，使驱动信号由该引脚向该连接垫传输时衰减较小。而且，该液晶显示面板未增大该连接垫的面积，从而未增大非显示区的面积，所以，对具有固定尺寸的显示区的情况下，该液晶显示面板的非显示区面积较小。

附图说明

图1是一种现有技术液晶显示面板的平面结构示意图。

图2是图1所示液晶显示面板沿II-II方向的剖面示意图。

图3是图2所示扫描线和连接垫的平面结构示意图。

图4是另一种现有技术液晶显示面板的局部剖面示意图。

图5是图4所示的扫描线和连接垫的平面结构示意图。

图6是本发明液晶显示面板第一实施方式的平面结构示意图。

图7是图6所示液晶显示面板沿VII-VII方向的剖面示意图。

图8是图7所示扫描线和连接垫的平面结构示意图。

图9是图7所示的薄膜晶体管基板的制造方法流程图。

图10至图15是图7所示的薄膜薄膜晶体管基板制造方法各主要步骤示意图。

图16是本发明液晶显示面板第二实施方式的局部平面结构示意图。

具体实施方式

请参阅图6和图7，图6是本发明液晶显示面板第一实施方式的平面结构示意图，图7是图6所示液晶显示面板沿VII-VII方向的剖面示意图。该液晶显示面板30包括一薄膜晶体管基板301、一彩色滤光片基板302。该彩色滤光片基板302相对该薄膜晶体管基板301设置且其面积小于该薄膜晶体管基板301的面积。该薄膜晶体管基板301与该彩色滤光片基板302重叠的部分界定一显示区310，该薄膜晶体管基板301未与该彩色滤光片基板320重叠的部分界定一非显示区320。一液晶层303对应该显示区310设置在该薄膜晶体管基板301与该彩色滤光片基板302之间。

该非显示区320包括一扫描驱动器330、两个数据驱动器340、多条从该显示区310延伸出的扫描线321和数据线(图未示)，该扫描驱动器330与延伸至该非显示区320的扫描线321电连接，用于向该扫描线321提供扫描信号。该数据驱动器340与延伸至该非显示区320的数据线电连接，用于向该数据线提供数据信号。

该薄膜晶体管基板301还包括一绝缘基底360、一栅极361、一栅极绝缘层362、一第一半导体图案363、两个第二半导体图案364、一源极365、一漏极366、一像素电极367、一连接垫322和一钝化层368。

在该显示区310，该栅极361设置在该绝缘基底360表面，该栅极绝缘层362覆盖该栅极361和该绝缘基底360；该第一半导体图案363设置在该栅极绝缘层362的表面，且与该栅极361相对应；该源极365和该漏极366相对设置在该栅极绝缘层362的表面上且分别与该第一半导体图案363部分交叠；该钝化层368覆盖该源极365、漏极366、第一半导体图案363与栅极绝缘层362，并于该漏极366处形成一第一接触孔381；该像素电极367设置在该钝化层368表面，并通过该第一接触孔381与该漏极366电连接。

在该非显示区320，该扫描线321设置在该绝缘基底360表面，该栅极绝缘层362覆盖该扫描线321和该绝缘基底360；该两个第二半导体图案364间隔设置在该栅极绝缘层362表面；该钝化层368覆盖该栅极绝缘层362，其厚度与该第二半导体图案364厚度相同，且在该第二半导体图案364边缘处形成多个第二接触孔382，该第二接触孔382贯穿该钝化层368和该栅极绝缘层362，从而暴露出部分扫描线321；该第二接触孔382在平行于该绝缘基底360的平面上的截面图案为一矩形；该连接垫322包括一呈平面状的第一连接部323和多个第二连接部324；该第一连接部323完全覆盖该第二半导体图案364，部分覆盖该钝化层368；该第二连接部324附着该第二接触孔382内侧，并且覆盖该扫描线321的暴露部分，呈一盆地状。

请参阅图8，其是图7所示扫描线321和连接垫322的平面结构示意图。该扫描线321包括一末端325，该末端325与该连接垫322相对。该连接垫322、该第二连接部324和该末端325均呈矩形，其中，该连接垫322的面积略大于该末端325的面积，该多个第二连接部324呈矩阵排列分布于该连接垫322上。该连接垫322通过该第二连接部324与该扫描线321的末端325相连，以实现该连接垫322与该扫描线321的电连接。

该扫描驱动器330通过一异方性导电膜350粘附于该非显示区320。该扫描驱动器330具有多个用于输出信号的引脚331，该引脚331与该连接垫322相对应，且其面积与该连接垫322的面积相当。该异方性导电膜350内具有多个导电粒子351。该引脚331与该连接垫322夹持该导电粒子351，以实现该引脚331与该连接垫322的电连接。该导电粒子351直径大于该第二接触孔382的宽度。

综上所述，该扫描驱动器330的扫描信号依次经由该扫描驱动器330、该引脚331、该导电粒子351、连接垫322和该第二连接部324传输至该扫描线321的末端325，最终传输至该扫描线321。

在目前制造工艺中，广泛使用的光刻机的曝光光源为高压汞灯，该曝光光源工作波长为436纳米，所采用的掩膜为狭缝掩膜，由于光通过狭缝时会发生衍射等，导致在采用掩膜对光致抗蚀剂曝光时具有一分辨率。一般光刻机的分辨率为4微米左右，也就是说，在光刻机对光致抗蚀剂曝光显影后所能得到的最小特征图案的尺寸约为4微米，其曝光极限为4微米。在本发明液晶显示面板30中，该第二接触孔382和该第二连接部324的宽度小于该导电粒子351的直径，然而目前导电粒子351的直径均为3微米左右，所以需要增大光刻机的分辨率。这就需要采用分辨率较高的光刻机，采用工作波长较短的曝光光源和精度更高的掩膜等。对于生产厂家而言，作上述设备变更将大大增加生产成本。

为克服上述工艺困难，本发明还提供一种液晶显示面板制造方法，其可利用目前广泛使用的光刻机生产制作出本发明所述的液晶显示面板30的第二接触孔382和连接垫322。

请参阅图9至图15，图9是图7所示的薄膜晶体管基板301的制造方法流程图，图10至图15是图7所示的薄膜薄膜晶体管基板301的制造方法各主要步骤示意图。

步骤S1，形成栅极361和扫描线321；

请参阅图10，提供一绝缘基底360，该绝缘基底360包括一显示区310和一非显示区320，其可以是玻璃、石英或者陶瓷等绝缘材料；在该绝缘基底360上沉积一第一金属层(图未示)，该第一金属层可以为一单层结构，也可以为一多层结构；在第一道掩膜工艺中形成一栅极361和一扫描线321，该栅极361位于该显示区310，该扫描线321从该显示区310延伸至该非显示区320。

步骤S2，形成第一半导体图案363和第二半导体图案364；

请参阅图11，于该栅极361、该扫描线321和该绝缘基底360上用化学气相沉积(Chemical Phase Deposition，CVD)方法沉积氮化硅(SiNx)而形成一栅极绝缘层362；再用化学气相沉积方法在该栅极绝缘层362上形成一半导体层(图未示)。在第二道掩膜工艺中形成一第一半导体图案363和两个第二半导体图案364，该第一半导体图案363与该显示区310的栅极361相对应，该两个第二半导体图案364对应该非显示区320的扫描线321间隔设置在该栅极绝缘层362上。定义该绝缘基底360所在的平面为水平平面，并假设本发明所采用的光刻机的分辨率为4微米，即本发明的掩膜工艺的曝光极限为4微米。该两个第二半导体图案364的水平间距大于该曝光极限，例如该两个第二半导体图案364的水平间距为10微米。

步骤S3，形成源极365、漏极366和数据线；

请参阅图12，在该第一半导体图案363、该第二半导体图案364和该栅极绝缘层362形成一第二金属层(图未示)；在第三道掩膜工艺中形成一源极365、一漏极366和一数据线(图未示)，该源极365和该漏极366分别覆盖在该第一半导体图案363的相对两侧，并延伸至该栅极绝缘层362表面。

步骤S4，形成钝化层368和光致抗蚀剂图案；

请参阅图13，在该源极365、该漏极366、该第二半导体图案364和该栅极绝缘层362上依序沉积一钝化层368和一光致抗蚀剂层(图未示)，该钝化层368的厚度与该第二半导体图案364的厚度相同；提供一第四掩膜对准该光致抗蚀剂层进行曝光，形成预定的光致抗蚀剂图案370。其中，在水平方向上与该两个第二半导体图案364相邻的光致抗蚀剂图案370一侧距任意一第二半导体图案364的水平距离d小于该导电粒子351的直径，例如为2微米，则位于该两个第二半导体图案364之间的部分光致抗蚀剂图案370的宽度L为6微米。

步骤S5，形成第一接触孔381和第二接触孔382；

请参阅图14，以该光致抗蚀剂图案370为遮罩，对钝化层368进行刻蚀，在该显示区310的漏极366处形成一第一接触孔381，同时在该非显示区320使该第二半导体图案364暴露；再以该光致抗蚀剂图案370和该第二半导体图案364为遮罩，对该栅极绝缘层362进行刻蚀，在该非显示区320形成多个第二接触孔382；然后剥除该光致抗蚀剂图案370。由于该第二半导体图案364与其相邻的光致抗蚀剂图案370的水平距离d小于该导电粒子351的直径，从而使该第二接触孔382的宽度小于该导电粒子351的直径。

步骤S6，形成像素电极367和连接垫322。

请参阅图15，在该钝化层368、该第一接触孔381和该第二接触孔382上沉积一透明导电材料层(图未示)；在第五道掩膜工艺中形成该像素电极367和该连接垫322。该像素电极367穿过该第一接触孔381与该漏极366电连接，该连接垫322穿过该多个第二接触孔382与该扫描线321电连接，并在该第二接触孔382处形成该第二连接部324，该第二连接部324的宽度小于该导电粒子351的直径。

在形成该连接垫322后，该液晶显示面板30的扫描驱动器330通过该异方性导电膜350粘附于该连接垫322，该扫描驱动器330的引脚331通过该多个导电粒子351与该连接垫322电连接。

相较于现有技术，由于本发明液晶显示面板30的第二连接部324的宽度小于该导电粒子351的直径，使位于该引脚331和该连接垫322之间的导电粒子351均能被该引脚331和该连接垫322夹持，增加可以导通该引脚331和该连接垫322的导电粒子351的数目，减小该引脚331与该连接垫322之间的连接阻抗，使驱动信号由该引脚331向该连接垫322传输时衰减较小。且，相较于现有技术液晶显示面板20，该液晶显示面板30减小该连接垫322的面积，从而对具有固定尺寸的显示区310的情况下，减小该非显示区320的面积。

另外，本发明液晶显示面板制造方法利用该第二半导体图案364和该光致抗蚀剂图案370配合作为遮罩以刻蚀出该第二接触孔382，使该第二接触孔382的宽度小于该导电粒子351的直径，进而使该第二连接部324的宽度小于该导电粒子351的直径，所以，在制造该薄膜晶体管基板301时不必采用分辨率较高的光刻机，不必采用工作波长较短的曝光光源和更高精度的掩膜等，从而节省生产成本。

请参阅图16，其是本发明液晶显示面板第二实施方式的局部平面结构示意图。该液晶显示面板40与该液晶显示面板30大体相同，其主要区别在于：该液晶显示面板40的连接垫422包括两个第二连接部424，该第二连接部424和该液晶显示面板40的两个第二接触孔(图未示)均呈圆环形状。每一第二接触孔的宽度即为该第二接触孔外侧圆的半径与其内圆的半径之间的差值，同理每一第二连接部424的宽度为该第二连接部424外侧圆的半径与其内圆的半径之间的差值。该第二接触孔的宽度小于导电粒子(图未示)的直径，例如该第二接触孔的宽度为2微米，则该第二连接部424的宽度小于该导电粒子的直径宽度。

相较于该液晶显示面板30，该液晶显示面板40的连接垫422具有圆环形的第二连接部424，在将扫描驱动器(图未示)压合粘附与一方性导电膜(图未示)时，该连接垫422更容易与引脚(图未示)配合以捕捉该导电粒子，使夹持在该引脚与该连接垫422之间的导电粒子较多，该引脚与该连接垫422之间的连接阻抗进一步减小。

然而，本发明液晶显示面板及其制造方法并不限于以上实施方式，也可以做以下变更：如本发明第一实施方式中，该第二接触孔382为圆形孔，则该第二连接部324可为圆形，该第二接触孔382的宽度为该第二接触孔382的直径。如本发明第二实施方式中，该第二接触孔也可以为矩形环状的孔，则该第二连接部424为矩形环，该第二接触孔的宽度则为该第二接触孔382内侧矩形与外侧矩形之间距；该第二连接部424可以设置多个，也可以仅设置一个。

另外，本发明第二实施方式液晶显示面板40的关于该扫描线421与该连接垫422的设计也可以应用于该液晶显示面板40的数据线和与该数据线相连的连接垫上，在制造与该数据线电连接的连接垫时，需在该数据线上形成一第三半导体图案，并刻蚀形成至少一第三接触孔，该第三接触孔的宽度小于该导电粒子的直径，该连接垫通过多个导电粒子与数据驱动器电连接。

Claims (9)

1.一种液晶显示面板，其包括一薄膜晶体管基板；该薄膜晶体管基板包括一显示区和一与该显示区相邻的非显示区；该显示区包括多条驱动线，每一驱动线延伸至该非显示区并形成一末端；该非显示区包括一设置在该末端表面的保护层、一设置在该保护层表面的连接垫和一包括一引脚的信号驱动器，该连接垫通过一贯穿该保护层的接触孔与该末端电连接，该信号驱动器通过多个导电粒子与该连接垫电连接，其特征在于：该接触孔的宽度小于该导电粒子的直径，定义与该薄膜晶体管基板所处平面平行的平面为水平平面；在水平方向上，该保护层包括一钝化层图案和一半导体层图案，该钝化层图案与该半导体层图案的厚度相同；该接触孔由该钝化层图案和该半导体层图案围成。

2.如权利要求1所述的液晶显示面板，其特征在于：该非显示区进一步包括一绝缘层，该绝缘层设置在该保护层和该末端之间，贯穿该保护层的接触孔同时贯穿该绝缘层与该末端电连接。

3.如权利要求2所述的液晶显示面板，其特征在于：该信号驱动器为扫描驱动器，该引脚的面积与该连接垫的面积相同。

4.如权利要求2所述的液晶显示面板，其特征在于：该接触孔在水平平面上的截面图案呈矩形，该宽度是该矩形的宽度；或者该接触孔在水平平面上的截面图案呈圆形，该宽度是该圆形的直径；或者该接触孔在水平平面上的截面图案为矩形环，该宽度是该矩形环的内侧矩形与其外侧矩形之间距；或者该接触孔在水平平面上的截面图案为圆环，该宽度是该圆环的外圆半径与其内圆半径的差值。

5.一种液晶显示面板制造方法，其步骤包括：

a.提供一绝缘基底，并在该基底上沉积一第一金属层；在一道掩膜工艺中形成一扫描线于该绝缘基底上，该扫描线包括一扫描末端；

b.在该扫描线和该绝缘基底上依序沉积一绝缘层和一半导体层；在一道掩膜工艺中形成至少一第二半导体图案，该至少一第二半导体图案与该扫描末端相对应；

c.在该至少一第二半导体图案和该绝缘层上依序形成一钝化层和一光致抗蚀剂层并形成预定的光致抗蚀剂图案；

d.以该光致抗蚀剂图案为遮罩对该钝化层刻蚀，暴露出该至少一第二半导体图案，再以该光致抗蚀剂图案和该至少一第二半导体图案为遮罩对该绝缘层刻蚀，形成至少一第二接触孔；该至少一第二接触孔与该扫描末端对应；

e.在该钝化层和该至少一第二接触孔上形成一透明导电层，并于一道掩膜工艺中形成一扫描连接垫，该扫描连接垫与该第二接触孔对应；

f.提供一驱动器，该驱动器通过多个导电粒子与该扫描连接垫电连接，该至少一第二接触孔的宽度小于该导电粒子的直径。

6.如权利要求5所述的液晶显示面板制造方法，其特征在于：该扫描连接垫贯穿该至少一第二接触孔形成一扫描连接部，并通过该扫描连接部与该扫描末端电连接。

7.如权利要求6所述的液晶显示面板制造方法，其特征在于：在形成该扫描线的同时形成一栅极于该绝缘基底上，该绝缘层覆盖该栅极；在形成该至少一第二半导体图案的同时形成一第一半导体图案，该第一半导体图案与该栅极对应；在该步骤c之前该液晶显示面板制造方法还包括：形成一源极和一漏极，该源极和漏极分别位于该栅极绝缘层表面且部分覆盖该第一半导体图案；该钝化层也覆盖该源极、该漏极和该第一半导体图案；该步骤d还包括：以该光致抗蚀剂图案为遮罩对对应该漏极的钝化层刻蚀，形成一第一接触孔；该步骤e还包括：在形成该扫描连接垫的同时形成一像素电极，该像素电极覆盖该第一接触孔并通过该第一接触孔与该漏极电连接。

8.如权利要求7所述的液晶显示面板制造方法，其特征在于：在步骤c之前该液晶显示面板制造方法进一步包括：形成一数据线在该绝缘层上，该数据线具有一数据末端；在该数据末端上形成一第三半导体图案；以该光致抗蚀剂图案为遮罩对该钝化层进行刻蚀形成至少一第三接触孔，该至少一第三接触孔的宽度小于该导电粒子的直径；形成一数据连接垫，该数据连接垫贯穿该至少一第三接触孔形成一数据连接部，并通过该数据连接部与该数据末端电连接。

9.一种液晶显示面板制造方法，其步骤包括：a.提供一绝缘基底，在该绝缘基底上形成一讯号线，该讯号线包括一讯号线末端；b.在该讯号线和该绝缘基底上依序沉积一绝缘层及一半导体层；在一道掩膜工艺中形成至少一第二半导体图案，该至少一第二半导体图案与该讯号线末端相对应；c.在该至少一第二半导体图案和该绝缘层上依序形成一钝化层和一光致抗蚀剂层并形成预定的光致抗蚀剂图案；d.以该光阻图案为遮罩对该钝化层刻蚀，暴露出该至少一第二半导体图案，再以该光致抗蚀剂图案和该至少一第二半导体图案为遮罩对该绝缘层刻蚀，形成至少一第二接触孔；该至少一第二接触孔与该讯号线末端对应；e.在该钝化层和该至少一第二接触孔上形成一透明导电层，并在一道掩膜工艺中形成一连接垫，该连接垫与该第二接触孔对应；f.提供一驱动器，该驱动器通过多个导电粒子与该连接垫电连接，该至少一第二接触孔的宽度小于该导电粒子的直径。

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