CN101565184A - 一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置 - Google Patents
一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101565184A CN101565184A CNA200910062209XA CN200910062209A CN101565184A CN 101565184 A CN101565184 A CN 101565184A CN A200910062209X A CNA200910062209X A CN A200910062209XA CN 200910062209 A CN200910062209 A CN 200910062209A CN 101565184 A CN101565184 A CN 101565184A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electrode
- sealing
- hydrogen furnace
- runddichtringo
- cooling water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200910062209XA CN101565184B (zh) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | 一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200910062209XA CN101565184B (zh) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | 一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101565184A true CN101565184A (zh) | 2009-10-28 |
CN101565184B CN101565184B (zh) | 2011-12-07 |
Family
ID=41281586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN200910062209XA Active CN101565184B (zh) | 2009-05-22 | 2009-05-22 | 一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101565184B (zh) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102421210A (zh) * | 2011-10-21 | 2012-04-18 | 无锡博睿奥克电气有限公司 | 冷却式电极装置 |
CN102548061A (zh) * | 2011-11-14 | 2012-07-04 | 新余市长城铜产品开发有限公司 | 一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极 |
CN102616783A (zh) * | 2011-10-27 | 2012-08-01 | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 | 多晶硅氢化炉电极密封结构 |
CN102625493A (zh) * | 2012-03-22 | 2012-08-01 | 新余市长城铜产品开发有限公司 | 一种多晶硅真空炉用摩擦焊铜电极及其制造工艺 |
CN103363808A (zh) * | 2013-07-24 | 2013-10-23 | 江苏能华微电子科技发展有限公司 | 一种扩散炉的炉门密封装置 |
CN103764560A (zh) * | 2011-07-20 | 2014-04-30 | 赫姆洛克半导体公司 | 用于将材料沉积到承载体上的制备装置 |
CN103821938A (zh) * | 2013-09-30 | 2014-05-28 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种舵轴热密封结构 |
DE102013214800A1 (de) | 2013-07-29 | 2015-01-29 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung zur Isolierung und Abdichtung von Elektrodenhalterungen in CVD Reaktoren |
DE102014223415A1 (de) | 2014-11-17 | 2016-05-19 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung zur Isolierung und Abdichtung von Elektrodenhalterungen in CVD Reaktoren |
CN106099526A (zh) * | 2016-08-18 | 2016-11-09 | 华能无锡电热器材有限公司 | 一种耐高温、承高压的绝缘导电装置 |
WO2017064011A1 (de) | 2015-10-15 | 2017-04-20 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung zur isolierung und abdichtung von elektrodenhalterungen in cvd reaktoren |
CN109340375A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-15 | 云南北方昆物光电科技发展有限公司 | 一种电路馈通及其安装密封结构 |
CN109626378A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-04-16 | 厦门佰事兴新材料科技有限公司 | 一种多晶硅还原炉电极 |
CN111591998A (zh) * | 2019-02-20 | 2020-08-28 | 信越化学工业株式会社 | 多晶硅制造装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4342511C2 (de) * | 1993-12-08 | 1996-02-08 | Mannesmann Ag | Elektroinduktionsofen mit vertikal bewegbarem Rahmen |
EP0796820B1 (en) * | 1996-03-19 | 2000-07-19 | Kawasaki Steel Corporation | Process and apparatus for refining silicon |
CN1884068A (zh) * | 2005-06-24 | 2006-12-27 | 刘雅銘 | 一种生产多晶硅用的还原炉 |
-
2009
- 2009-05-22 CN CN200910062209XA patent/CN101565184B/zh active Active
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103764560A (zh) * | 2011-07-20 | 2014-04-30 | 赫姆洛克半导体公司 | 用于将材料沉积到承载体上的制备装置 |
CN102421210A (zh) * | 2011-10-21 | 2012-04-18 | 无锡博睿奥克电气有限公司 | 冷却式电极装置 |
CN102616783A (zh) * | 2011-10-27 | 2012-08-01 | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 | 多晶硅氢化炉电极密封结构 |
CN102548061A (zh) * | 2011-11-14 | 2012-07-04 | 新余市长城铜产品开发有限公司 | 一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极 |
CN102548061B (zh) * | 2011-11-14 | 2014-01-15 | 新余市长城铜产品开发有限公司 | 一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极 |
CN102625493A (zh) * | 2012-03-22 | 2012-08-01 | 新余市长城铜产品开发有限公司 | 一种多晶硅真空炉用摩擦焊铜电极及其制造工艺 |
CN103363808A (zh) * | 2013-07-24 | 2013-10-23 | 江苏能华微电子科技发展有限公司 | 一种扩散炉的炉门密封装置 |
CN103363808B (zh) * | 2013-07-24 | 2015-07-01 | 江苏能华微电子科技发展有限公司 | 一种扩散炉的炉门密封装置 |
DE102013214800A1 (de) | 2013-07-29 | 2015-01-29 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung zur Isolierung und Abdichtung von Elektrodenhalterungen in CVD Reaktoren |
CN103821938A (zh) * | 2013-09-30 | 2014-05-28 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种舵轴热密封结构 |
KR102018965B1 (ko) | 2014-11-17 | 2019-09-05 | 와커 헤미 아게 | Cvd 반응기에서의 전극 홀더를 절연하고 밀봉하기 위한 장치 |
JP2018502031A (ja) * | 2014-11-17 | 2018-01-25 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフトWacker Chemie AG | Cvdリアクタ内の電極ホルダーを絶縁およびシールするための装置 |
WO2016078938A1 (de) | 2014-11-17 | 2016-05-26 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung zur isolierung und abdichtung von elektrodenhalterungen in cvd reaktoren |
TWI577828B (zh) * | 2014-11-17 | 2017-04-11 | 瓦克化學公司 | 用於絕緣和密封化學氣相沉積反應器中的電極夾持器的設備 |
US10550466B2 (en) | 2014-11-17 | 2020-02-04 | Wacker Chemie Ag | Device for insulating and sealing electrode holders in CVD reactors |
DE102014223415A1 (de) | 2014-11-17 | 2016-05-19 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung zur Isolierung und Abdichtung von Elektrodenhalterungen in CVD Reaktoren |
KR20170084316A (ko) * | 2014-11-17 | 2017-07-19 | 와커 헤미 아게 | Cvd 반응기에서의 전극 홀더를 절연하고 밀봉하기 위한 장치 |
CN107148399A (zh) * | 2014-11-17 | 2017-09-08 | 瓦克化学股份公司 | 绝缘和密封cvd反应器中的电极夹持机构的设备 |
US10562778B2 (en) | 2015-10-15 | 2020-02-18 | Wacker Chemie Ag | Device for insulating and sealing electrode holders in CVD reactors |
DE102015220127A1 (de) | 2015-10-15 | 2017-04-20 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung zur Isolierung und Abdichtung von Elektrodenhalterungen in CVD Reaktoren |
WO2017064011A1 (de) | 2015-10-15 | 2017-04-20 | Wacker Chemie Ag | Vorrichtung zur isolierung und abdichtung von elektrodenhalterungen in cvd reaktoren |
CN106099526A (zh) * | 2016-08-18 | 2016-11-09 | 华能无锡电热器材有限公司 | 一种耐高温、承高压的绝缘导电装置 |
CN109340375A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-15 | 云南北方昆物光电科技发展有限公司 | 一种电路馈通及其安装密封结构 |
CN111591998A (zh) * | 2019-02-20 | 2020-08-28 | 信越化学工业株式会社 | 多晶硅制造装置 |
JP2020132472A (ja) * | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 信越化学工業株式会社 | 多結晶シリコン製造装置 |
US11326257B2 (en) | 2019-02-20 | 2022-05-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Polycrystalline silicon manufacturing apparatus |
CN109626378A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-04-16 | 厦门佰事兴新材料科技有限公司 | 一种多晶硅还原炉电极 |
CN109626378B (zh) * | 2019-02-28 | 2024-02-20 | 厦门佰事兴新材料科技有限公司 | 一种多晶硅还原炉电极 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101565184B (zh) | 2011-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101565184B (zh) | 一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置 | |
CN101451279B (zh) | 一种新型复合高温碳化炉 | |
CN201965064U (zh) | 高温硬度计 | |
CN103045990B (zh) | 一种具有双压平衡结构的增压高温氮化装置 | |
CN103088195B (zh) | 井式液压盖真空电阻炉 | |
CN203474925U (zh) | 一种具有良好密封结构的高温连续电解实验炉 | |
CN208816674U (zh) | 一种适用于真空炉反应管的密封装置 | |
CN101537327B (zh) | 一种固定床反应器 | |
CN201463606U (zh) | 一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的装置 | |
CN103031416A (zh) | 真空双室高压气淬炉 | |
CN107868924B (zh) | 一种热障涂层及包含其的超高温悬浮床加氢冷壁反应器 | |
CN103062896A (zh) | 电加热装置 | |
CN112304095A (zh) | 一种超高温烧结炉 | |
CN105246178A (zh) | 电加热器专用电气引接装置及其加工工艺 | |
CN108239751B (zh) | 高温真空集热管内壁阻氢涂层制备装置 | |
CN202792554U (zh) | 辐射加热式流体介质电加热器 | |
CN205529005U (zh) | 一种有机材料蒸发装置 | |
CN205666971U (zh) | 氮化硅陶瓷浸入式加热管 | |
CN205482318U (zh) | 氢气烧结炉热能循环利用装置 | |
CN203642666U (zh) | 高温氢气烧结炉 | |
CN106643182A (zh) | 一种高温真空炉水冷电极 | |
CN101165006A (zh) | 固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法 | |
CN201626839U (zh) | 氧化锆电弧炉电极耐火密封圈 | |
CN201561660U (zh) | 热能回收换热器 | |
CN219776303U (zh) | 双管立式炉炉体加热系统的结构 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Free format text: FORMER OWNER: DONGGUAN CSG CERAMICS TECHNOLOGY CO., LTD. |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20110920 Address after: 443000 Hubei city in Yichang Province Southern Bolu Xiaoting District Industrial Park, CSG Applicant after: Yichang Nanbo Silicon Materials Co., Ltd. Address before: 443000 Hubei city in Yichang Province Southern Bolu Xiaoting District Industrial Park, CSG Applicant before: Yichang Nanbo Silicon Materials Co., Ltd. Co-applicant before: CSG Holding Co., Ltd. |
|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |