CN101559669A - 薄膜图案层制造方法及制造装置 - Google Patents

Abstract

一种薄膜图案层制造方法，其包括以下步骤：提供一表面具有多个分隔墙的基板；提供一喷墨装置，该喷墨装置包括至少一喷头，该喷头具有多个喷嘴；利用随机数方式产生各个喷嘴的随机喷墨信息，该喷墨信息包括对各个收容空间的喷墨量信息，满足以下条件：多个收容空间所得的墨水量之间的差异在正负百分之七点五以内；将该喷墨量信息传送至一喷墨控制装置，该喷墨控制装置根据该喷墨信息控制该喷墨装置按照该喷墨信息进行喷墨，使墨水填充至该多个收容空间内；固化墨水以形成多个薄膜图案层。本发明涉及一种薄膜图案层制造装置。

Description

薄膜图案层制造方法及制造装置

技术领域

本发明涉及一种薄膜图案层制造方法及制造装置。

背景技术

目前制造薄膜图案层的方法主要包括：光微影法及喷墨法(请参见“TheFluid Property Dependency on Ink Jetting Characteristics”，proceedings of the2005 IEEE，pp.258-260，2005.11)。

光微影法：通过在预备涂敷所需薄膜的基板结构上，涂敷光阻材料，将具有预定图案的光罩设于光阻材料上，进行曝光及显影，或加上蚀刻制程，而形成具有预设图案的薄膜图案层。该光微影法需要复杂的制程，并且，材料的使用效率较低，而造成制造成本较高。

喷墨法：提供一具有由多个分隔墙限定的多个收容空间的基板结构，使用一喷墨装置，该喷墨装置包括一个或多个喷头，该喷头具有多个喷嘴，将形成薄膜材料的墨水喷入该多个收容空间内，墨水被固化后于该基板结构上形成预定的薄膜图案层。由于提供的该基板结构往往大于该多个喷嘴所直接涵盖的面积，因此，尚须提供该喷墨装置的该多个喷头与该基板结构的行列相对运动，然后该喷墨法就能够一次形成薄膜图案层。由于制程大量简化，材料使用经济，因此成本大幅降低。

现有技术中，由喷墨法形成的薄膜图案层中，包括多个薄膜图案层，由于利用一个或多个喷头与基板结构行列相对运动完成，同列中相同材料的薄膜图案层使用同一喷嘴制作，且每一收容空间是由该相同的喷嘴一次填充完成，同列中相同材料的薄膜图案层的厚度基本相同。因此，该行中同种材料的薄膜图案层均匀性很高。但是，不同列相同材料的薄膜图案层，由于使用不同喷嘴制作，故其厚度不易相同。因此，当同种材料不同列之间的薄膜图案层具有不同厚度时，光透过其后，该不同列间的不同厚度易被人眼分辨出来，因此形成线性条纹缺陷(Line Mura Defects)。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种可减少或消除条纹缺陷的薄膜图案层的制造方法。

一种薄膜图案层制造方法，包括以下步骤：提供一基板，其表面具有多个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间，该收容空间呈行列状排列于基板上；提供一喷墨装置，该喷墨装置包括至少一喷头，该喷头具有多个喷嘴；利用一随机数方式产生各个喷嘴的随机喷墨信息，该喷墨信息包括对各个收容空间的喷墨量信息，该喷墨信息满足以下条件：该多个收容空间所得到的墨水量之间的差异在正负百分之七点五以内；将该随机数方式产生的喷墨信息传送至一喷墨控制装置，该喷墨控制装置根据该喷墨信息控制该喷墨装置按照该喷墨信息进行喷墨，使墨水填充至该多个收容空间内；固化墨水以形成多个薄膜图案层。

本发明又提供一应用于前述薄膜图案层制造方法的一种薄膜图案层制造装置，其包括：一喷墨装置，其中包含至少一喷头，该喷头具有多个喷嘴；一基板放置平台，用以放置需制造具有多个分隔墙的基板，一控制装置，可依据所收到的喷墨信息，使该喷墨装置与该基板放置平台产生相对运动，同时输出电子驱动信号驱动该喷头喷墨；一电子处理器，可以一随机数方式产生各个喷嘴的随机喷墨信息，该喷墨信息包括对需制造具有多个分隔墙的基板上各个收容空间的喷墨量信息，该喷墨信息满足以下条件：该多个收容空间所得到的墨水量之间的差异在正负百分之七点五以内；该电子处理器将该随机数方式产生的喷墨信息传送至该控制装置，该控制装置根据该喷墨信息控制该喷墨装置按照该喷墨信息进行喷墨，使墨水填充至该多个收容空间内。

所述的薄膜图案层制造方法及制造装置通过随机数方式确定对各个收容空间喷墨的喷嘴及喷墨量，即各个收容空间是由哪个或哪些喷嘴来填充，每个喷嘴每一次喷出的滴数均由随机数方式随机确定，由于不同喷嘴喷出的墨滴体积大小存在差异，使墨水填充完毕后该多个收容空间内的墨水量差异在正负百分之七点五以内，虽然该多个收容空间的墨水量有差异，但并没有行列规律性，故在人眼视觉上，体积总体上呈现均匀的状态。此外，以随机数方式决定的喷墨顺序，也没有行列规律性，所以也打乱因行列打印时，因干燥顺序差所产生的行列型的干燥纹路，因此整体完成的薄膜图案层，就能大幅改善光透过该薄膜图案层后所产生的条纹缺陷。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的一种薄膜图案层的截面示意图。

图2为图1的薄膜图案层的另一视角的截面示意图。

图3为本发明第二实施例提供的一种薄膜图案层制造方法的流程示意图。

图4为具有多个分隔墙的基板的第一种形成方法的截面示意图。

图5为具有多个分隔墙的基板的第二种形成方法的截面示意图。

图6为具有多个分隔墙的基板的第三种形成方法的截面示意图。

图7为在基板表面形成薄膜图案层的过程示意图。

图8为在基板表面形成薄膜图案层的喷墨装置的另一实施方式的示意图。

图9为第三实施例提供的一种薄膜图案层制造装置的截面示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明实施例作进一步的详细说明。

请一并参阅图1与图2，本发明第一实施例提供一种薄膜图案层100。该薄膜图案层100包括一基板102、形成于基板102上的多个分隔墙104及多个薄膜图案层106。

优选地，该基板102的材料选自玻璃、石英玻璃、硅晶圆(Wafer)、金属及塑料。该多个分隔墙104限定多个收容空间107，该多个收容空间107呈行列排列于基板102上。

该多个薄膜图案层106包括第一薄膜图案层106R、第二薄膜图案层106G及第三薄膜图案层160B，每相邻三行中不同材料的薄膜图案层是以一定顺序重复排列，如以第一薄膜图案层、第二薄膜图案层、第三薄膜图案层的顺序排列。

请参阅图3，本发明第二实施例提供的一种薄膜图案层的制造方法的流程示意图。该方法主要包括以下步骤：提供一基板，其表面具有多个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间，该收容空间呈行列状排列于基板上(步骤10a)；提供一喷墨装置，该喷墨装置包括至少一喷头，该喷头具有多个喷嘴，利用该多个喷嘴向该多个收容空间填充墨水，其中每一收容空间内的墨水是通过该多个喷嘴中的至少两个喷嘴喷墨填充完成，填充每一收容空间所需的喷嘴的选择及该各喷嘴对应于各个收容空间的喷墨量是由一随机数方式确定(步骤20a)；以及固化墨水以形成多个薄膜图案层(步骤30a)。

请参阅图4至图7及表1，在步骤10a中，薄膜图案层的制造方法具体表述如下：

请参阅图4(a)至4(c)，本实施例提供该具有多个分隔墙104的基板102的第一种制造方法，其具体包括以下步骤：

(1)如图4(a)所示，提供一基板102，该基板102的材料选自玻璃、石英玻璃、硅晶片、金属及塑料。本实施例中，该基板102是一玻璃基板。利用干膜法(Dry Film Lamination)、湿式旋转法(Wet Spin Coating)或湿式裂缝式涂布法(Wet Slit Coating)在该基板102表面涂布一正型光阻材料层103。

(2)如图4(b)所示，将具有预设分隔墙图案的光罩200设于该光阻材料层103与一曝光机光源(图未示)间，并利用该曝光机光源发出的光线105曝光该光阻材料层103。一般地，所述光线105为紫外光线。

(3)如图4(c)所示，利用显影方式，将曝光处的正型光阻材料层去除，形成设于基板102上表面的多个分隔墙104，该多个分隔墙104限定多个收容空间，该多个收容空间通常成阵列式排列。可以理解，该多个收容空间还可以马赛克方式或不规则方式排列等，并不限于本实施例。本实施例中，该多个收容空间成阵列式排列，每一列收容空间定义为一收容空间组107，每一收容空间组107包括依次排列的四个收容空间107a、107b、107c及107d。

如图5(a)、图5(b)所示，本发明还提供在基板102表面形成分隔墙的第二种制造方法，其步骤与图4(b)、图4(c)的所对应的步骤(即步骤(2)、(3))基本相同，不同之处在于图5(a)中的光罩201图案的透光区与光罩200的遮光区相同，图5(a)中基板102表面的光阻材料层203为负型光阻材料，图5(b)中形成的分隔墙206是显影并去除光阻材料层203的未曝光部分所留下的。

请参阅图6，本实施例还提供第三种具有多个分隔墙104’的基板102’的制造方法。该方法具体包括以下步骤：

提供一射出成型机及一具有预定分隔墙图案的模具；

利用射出成型机将基板材料射出至该模具中；

脱模，得到该表面具有多个分隔墙104’的基板102’，如图6所示。

该模具具有预定的分隔墙图案。该基板102’的材料选自玻璃、石英玻璃、金属及塑料。该方法是利用射出成型的技术，一次形成具有多个分隔墙104’的基板102’。

本实施例的步骤10a的目的是为了得到一具有多个分隔墙的基板，而达到该目的不必以上述具体实施例为限。此外，基板上多个分隔墙所形成的图案，可以是单独一区块(Chip)，称其为面板区块，也可以几个不相连的区块，若此薄膜图案层用于显示器用途，各个面板区块，将与其它组件一起组装形成显示面板(Panel)。

请参阅图7及下附表一的随机数表，在步骤20a中，提供一种喷墨装置300及一喷墨控制装置400，该喷墨装置300包括至少一喷头302，该喷头302具有至少两个喷嘴，本实施例的喷头302具有三个依次排列的喷嘴304a、304b及304c。该喷墨控制装置400用于控制选择喷嘴304a、304b及304c中的一个或多个喷墨，并控制各个喷嘴的喷墨量。在步骤20a中，采用该喷墨装置300对其中一列的收容空间107a、107b、107c及107d填充墨水的过程如下：

首先，利用一随机数方式产生一随机数表，本实施例中的随机数表如表一，该随机数表是该随机数方式产生的满足一定条件的随机数据，本实施例所满足的条件如下：1)各个收容空间分别由三个喷嘴304a、304b及304c中的至少两个喷墨填充；2)各个收容空间分别接收到的墨滴量之间的差异在正负百分之七点五以内(本实施例以墨滴总数皆为20滴为例)。该随机数据包括以下内容：1)对应于各个收容空间被选择的喷嘴；2)该被选择的喷嘴分别对应喷出的墨滴量(本实施例以喷墨滴数为例)。该随机数方式的随机数据可由一随机数方式的计算机程序产生，该计算机程序可存储于一计算机内。本实施例的随机数据如表一所示：

表一随机数表一

其次，将该随机数表信息传送至该喷墨控制装置400，喷墨控制装置400可根据随机数表的信息控制304a、304b及304c进行喷墨。

再次，请参阅图7，该喷墨装置300的三个喷嘴304a、304b及304c的排列顺序方向与该收容空间107a、107b、107c及107d的排列顺序方向相同，三个喷嘴304a、304b及304c依序经过该收容空间组107的各个收容空间107a、107b、107c及107d的上方，喷墨控制装置400根据表一所对应的滴数控制喷嘴304a、304b及304c对应填充墨水108至收容空间107a、107b、107c及107d内，具体如下：

如图7(a)，喷嘴304a移动至收容空间107a上方，此时，喷嘴304b及304c均位于收容空间组107的一侧，根据表一，喷嘴304a向收容空间107a内填充5滴墨水108。

如图7(b)，使喷墨装置300沿平行于收容空间107a指向收容空间107b的方向移动，喷嘴304a移动至收容空间107b上方，此时喷嘴304b移动至收容空间107a上方，根据表一，喷嘴304a向收容空间107b填充7滴墨水108，由于喷嘴304b向收容空间107a填充的墨水108的滴数为0，故喷嘴304b并不向收容空间107a喷墨。

如图7(c)，继续移动喷墨装置300，直至喷嘴304a、304b及304c分别位于收容空间107c、107b及107a上方，根据表一，喷嘴304a、304b及304c分别向收容空间107c、107b及107a填充5、13及15滴墨水108。

如图7(d)，继续移动喷墨装置300，直至喷嘴304a、304b及304c分别位于收容空间107d、107c及107b上方，根据表一，喷嘴304b向收容空间107c内填充8滴墨水108，喷嘴304a及304c并不向收容空间107d及107b滴入墨水108。

如图7(e)，继续移动喷墨装置300，直至喷嘴304a移动至收容空间组107的外侧，喷嘴304b及304c分别移动至收容空间107d及107c的上方，根据表一，喷嘴304b及304c分别向收容空间107d及107c填充入9滴及7滴墨水108。

如图7(f)，继续移动喷墨装置300，直至喷嘴304a与304b均移动至收容空间组107的外侧，喷嘴304c移动至收容空间107d上方，根据表一，喷嘴304c向收容空间107d填充11滴墨水108。

如图7(g)，经过上述的喷墨过程，收容空间107a、107b、107c及107d分别被填充二十滴墨水108。

利用与上述图7(a)至图7(g)相同的方法，在其它列的收容空间内填充墨水。

在本例图示中，喷嘴304a、304b及304c的排列与收容空间107a、107b、107c及107d恰一致；若不一致，那喷嘴移动方式，也可首先使用喷嘴304a，将收容空间107a、107b、107c及107d的那一列填充完，然后移动喷嘴304b至该列，将该列再填充完，再接着移动喷嘴304c至该列，完成该列全部的填充。

可以理解，该喷墨装置300也可以包括多个喷头同时喷墨，相应的随机数表也可为多个。详细说明如图8，喷嘴314a、314b及314c分别位于喷头310a、310b、310c，使用的随机数表同前，将所需的墨水喷入收容空间117a、117b、117c及117d。在本实施方式中，喷头310a、310b、310c，是为同一型号的喷头，设置在同一机台，且彼此相对位置保持固定，故可视作一个整体，该整体的运动轨迹与前述实施方式中喷头300的运动轨迹相同，在此不再一一赘述。

当然，喷头310a、310b、310c也可以为不同型号的喷头。同样，喷头310a、310b、310c也可以单独运动而互不相干；或者，喷头310a、310b、310c也可以是分别设置在不同的机台上，但此时同一个随机数表将由几个单独运动喷头或机台串连制作来完成。

此外，随机数表一是假设同一喷头的不同喷嘴来共同喷墨于一收容空间，由于是同一喷头，单一喷嘴单次喷墨的墨水体积相近，其误差在于喷嘴的加工误差，又加上同一收容空间是由两个以上的喷嘴来完成，喷嘴的喷墨的误差又被平均掉，故在同一收容空间的总墨滴数相同的情况下，喷墨量差异在正负百分之七点五以内，虽然该多个收容空间的墨水量有些微差异，但并没有行列规律性，故在人眼视觉上，体积总体上呈现均匀的状态。若超过此一变异量，薄膜图案层在光学穿透时，人眼会发现有不均匀的现象发生，进而影响产品质量。此外，同一行多个收容空间，是分别在不同时刻，在随机数方式决定下，填入不同墨水量，故墨水干燥没有行列规律性，所以也打乱因行列喷墨填充时，因干燥顺序的差异所产生的行列型的干燥纹路，因此整体完成的薄膜图案层，就能大幅改善光透过该薄膜图案层后所产生的条纹缺陷。

当然，喷嘴单次喷墨的体积可以互不相同，这可以通过不同的喷头，或同一喷头但输入不同的电子驱动信号来达成，但每个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之七点五以内。

在步骤30a中，如图7(g)所示，收容空间107a、107b、107c及107d及其它收容空间内的墨水层被一固化装置(图未示)所固化，以形成位于透明基板102上的多个薄膜图案层106，每相邻三行不同材料的薄膜图案层106是以一定顺序重复排列，如以第一薄膜图案层、第二薄膜图案层、第三薄膜图案层顺序排列。该固化装置可为一加热装置或一抽真空装置或一紫外线曝光装置，或上述两种或两种以上的装置组合完成。在干燥固化过程后，便可形成一如图1所示的薄膜图案层100。

可以理解，本实施例中每一喷墨装置的喷嘴个数及每列收容空间的个数仅为说明的便分别选择三个与四个，当然亦可根据实际情况变更，只需将随机数方式中的喷嘴个数及收容空间的设定个数与喷嘴及收容空间的实际个数相对应即可，并不限于本实施例。

同样可以理解，对应于各个收容空间的随机数信息也可在喷嘴经过该每个收容空间上方的同时产生，如图7(a)及图7(b)所示，具体说明如下：

如图7(a)，当喷嘴304a经过收容空间107a上方时，对应于收容空间107a的喷墨信息产生，该喷墨信息包括选择哪些喷嘴以及被选中的喷嘴各填充多少滴墨水至该收容空间107a内，该喷墨信息传送至喷墨控制装置400，该喷墨控制装置400控制喷嘴304a是否喷墨以及应该喷出多少滴墨水至收容空间107a内。

如图7(b)，喷嘴304a移动至收容空间107b时，对应于收容空间107b的喷墨信息同时产生，该喷墨信息与收容空间107a的喷墨信息类似，该喷墨信息传送至喷墨控制装置400，该喷墨控制装置400控制喷嘴304a是否喷墨以及应该喷出多少滴墨水至收容空间107b内；同时，喷嘴304b已移动至收容空间107a上方，喷墨控制装置400根据上述已产生的收容空间107a的喷墨信息控制喷嘴304b是否喷墨以及应该喷出多少滴墨水至收容空间107a内。依此类推，直至多个收容空间107a、107b、107c及107d被填充完毕。

另，每个收容空间107a、107b、107c及107d还可以选择该多个喷嘴304a、304b及304c中其中一个一次填充完成，而不采用至少两个喷嘴填充的方式，喷嘴的选择仍以随机数方式随机确定，如表二，为随机数方式随机产生的另一随机数表，此时随机数表满足如下条件：1)每一收容空间均为一个喷嘴喷墨填充完成；2)每一收容空间所填充的墨水滴数相等。在此实施例中，为使各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之七点五以内，驱动每一个喷嘴的电子驱动信号，可能有所不同，以微调每一个喷嘴的墨量至达成每个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之七点五以内。优选地，该随机数表还满足如下条件：避免出现该多个喷嘴304a、304b及304c同时喷墨的情况。对于此优选条件，作如下举例进行解释：当喷嘴304a、304b及304c分别位于107c、107b及107a上方时(如图7(c)所示的位置)，应避免单一喷嘴304a或304b或304c完成该列全部收容空间107a、107b、107c及107d的喷墨。

表二随机数表二

进一步地，每个收容空间107a、107b、107c及107d中墨水的填充还可以采用表一与表二相结合的方式，即各个收容空间的墨水填充既有由同一喷嘴填充的情况，亦有由两个或两个以上的喷嘴填充完成的情况，此由随机数方式所产生的随机数表随机确定，如表三，上述两种情况兼有，此时随机数表满足以下条件：每一收容空间所填充的墨水滴数相等。

表三随机数表三

相对于现有技术，本实施例中采用随机数方式产生一随机喷墨信息，喷头的喷嘴根据该随机喷墨信息向各个收容空间内喷墨，滴入各个收容空间的墨水的时间点可以有效错开，如前所述，由于墨水干燥没有行列规律性，所以也打乱因行列喷墨时，因干燥顺序差所产生的行列型的干燥纹路，从而使光透过形成的薄膜图案层后所产生的条纹缺陷减少或消除。另，本实施例中采用不同喷嘴对同一收容空间填充墨水，由于不同喷嘴喷出的墨滴大小略有差异，经过将喷嘴随机组合，使不同喷嘴在不同时间点对收容空间进行喷墨填充，因此墨水填充完毕后该多个收容空间内的墨水体积总体呈现均匀的状态，从而使光透过形成的薄膜图案层后所产生的条纹缺陷减少或消除。

本发明中各个收容空间分别接收到的墨滴量差异需在正负百分之七点五以内才有效果，不过若能达到正负百分之五结果为更佳，而最优选为正负百分之三。为达到最优选的状况，会需要微调驱动每一个喷嘴的电子驱动信号，以缩小每一个喷嘴的墨量差异，且每一收容空间的总墨滴数须超过十二滴，更好是超过十五滴。

在实际生产的运用上，喷墨的随机数表会在生产前即完成，再以同一随机数表完成全部的生产品。而产生随机数表的方式，可以以数学上的随机数表或杂凑表(Hash Table)，或计算机的随机数函数，如RND()、RAND()、Randomize等等，或一非周期性函数，或周期性函数但其周期超过喷头上总喷嘴数量对应的列数的所有收容空间数量或超过基板结构上所有收容空间的数量或超过单一面板区块上所有收容空间的数量。

请参阅图9，本发明第三实施例提供一种薄膜图案层制造装置800，用于第二实施例的薄膜图案层的制造方法中。该薄膜图案层制造装置800包括一基座802，一基板放置平台804，一喷墨装置806，一支架808，一导轨810，一喷墨控制装置812，一马达装置814，一电子处理器816。其中该喷墨装置806固定于支架808上，该支架808可沿导轨810移动。该喷墨装置806包含至少一喷头824，该喷头具有多个喷嘴826，用于喷出墨水818。该基板放置平台804用以承载一具有多个分隔墙的基板820于其表面。该喷墨控制装置812接收该电子处理器816所传递的喷墨信息，以决定喷墨方式，一方面使该喷墨装置806与该基板放置平台804产生相对运动，另一方面同时输出电子驱动信号驱动该喷墨装置806上的该喷头824喷墨，使墨水填充至基板820的多个收容空间822内，在本实施例中，是该喷墨装置804移动，故该马达装置814连结于该支架808上，在该控制装置806驱动下，利用马达装置814的带动，会使得该一支架808沿着该导轨810移动，使喷墨装置806能在具有多个分隔墙的基板820的上方移动以完成薄膜图案层的制造。该电子处理器816可以一随机数方式产生一各个喷嘴的随机喷墨信息，该喷墨信息包括对需制造具有多个分隔墙的基板上各个收容空间的喷墨量信息，该喷墨信息满足以下条件：各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之七点五以内。

该薄膜图案层制程及该薄膜图案层制造装置可适用于彩色滤光片的制造及有机发光装置的制造。在彩色滤光片的制程中，多个分隔墙即可作为黑矩阵结构，多个收容空间可用为红绿蓝三色层的制造，本方式提供的制造方式，即可形成没有线性条纹缺陷的良好滤光片产品。而在有机发光装置的制造中，可用此制程完成有机发光装置的导线层，发光层及电子电洞传输层等的制造。但是，所形成的薄膜图案及所需的墨水会有所不同。

另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化。当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围的内。

Claims (26)

1.一种薄膜图案层制造方法，其包括以下步骤：

提供一基板，其表面具有多个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间；

提供一喷墨装置，该喷墨装置包括至少一喷头，该喷头具有多个喷嘴；

利用一随机数方式产生一各个喷嘴的随机喷墨信息，该喷墨信息包括对各个收容空间的喷墨量信息，该喷墨信息满足以下条件：各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之七点五以内；

将该随机数方式产生的喷墨信息传送至一喷墨控制装置，该喷墨控制装置根据该喷墨信息控制该喷墨装置按照该喷墨信息进行喷墨，使墨水填充至该多个收容空间内；

固化墨水以形成多个薄膜图案层。

2.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该多个分隔墙通过以下分步骤形成：

在该基板上表面涂布一光阻材料层；

将具有预定分隔墙图案的光罩设于该光阻材料层与一曝光机光源间，并曝光该光阻材料层；

利用显影方式将非分隔墙图案部分的光阻材料层去除，形成设于基板上表面的多个分隔墙。

3.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，多个分隔墙通过以下分步骤形成：

提供一射出成型机及一具有预定分隔墙图案的模具；

利用射出成型机将基板材料射出至该模具中；

脱模，得到该表面具有多个分隔墙的基板。

4.如权利要求3所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该基板材料选自玻璃、石英玻璃、金属和塑料。

5.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该喷墨装置是热泡式喷墨装置和压电式喷墨装置的一种。

6.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该固化步骤是利用一抽真空装置或一加热装置或一曝光装置固化墨水或上述两种或两种以上的装置组合完成。

7.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该喷墨信息进一步满足如下条件：该多个收容空间中每一收容空间是由至少两个喷嘴喷墨填充完成。

8.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该喷墨信息进一步满足如下条件：该多个收容空间中至少一收容空间是由至少两个喷嘴喷墨填充完成。

9.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该喷墨信息进一步满足如下条件：该多个喷嘴的数量小于该多个收容空间的数量，该多个收容空间每一收容空间是由该多个喷嘴中其中之一填充完成，且在喷墨过程中，每次喷墨时同时喷墨的喷嘴数量小于该多个喷嘴的总数。

10.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该随机数方式所产生的喷墨信息是在该多个喷嘴喷墨之前传送至该喷墨控制装置。

11.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该喷墨装置的多个喷嘴在喷墨过程中依次经过同一列的多个收容空间并根据该喷墨信息喷墨填充该多个收容空间。

12.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，利用一随机数方式产生一随机的喷墨信息的方法，包括数学上的随机数表或杂凑表，或计算机的随机数函数，或一非周期性函数，或周期性函数但其周期超过喷头上总喷嘴数量对应的列数的所有收容空间数量或超过基板结构上所有收容空间的数量或超过单一面板区块上所有收容空间的数量。

13.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之五以内。

14.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之三以内。

15.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，每一收容空间的总墨滴数须超过十二滴。

16.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，每一收容空间的总墨滴数须超过十五滴。

17.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，至少有一个喷嘴的电子驱动信号与其它喷嘴不同。

18.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，至少有一个喷嘴的随机的喷墨信息与其它喷嘴不同。

19.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，随机数方式产生一各个喷嘴的随机喷墨信息，仅包含喷头上总喷嘴数量对应的列数。

20.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，随机数方式产生一各个喷嘴的随机喷墨信息，包含基板结构上所有收容空间的数量。

21.一种薄膜图案层制造方法，其包括以下步骤：

提供一基板，其表面具有黑色多个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间；

提供一喷墨装置，该喷墨装置包括至少三个喷头，该喷头具有多个喷嘴，三喷头分别装置红、蓝、绿三种墨水；

利用一随机数方式产生一随机的喷墨信息，该喷墨信息包括各个喷嘴对各个收容空间的喷墨量信息，该喷墨信息满足以下条件：各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之七点五以内及同色不同喷嘴的喷墨信息各不相同；

将该随机数方式产生的喷墨信息传送至一喷墨控制装置，该喷墨控制装置根据该喷墨信息控制该喷墨装置按照该喷墨信息进行喷墨，使墨水填充至该多个收容空间内；

固化墨水以形成多个薄膜图案层。

22.如权利要求21所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，利用随机数方式产生一随机的喷墨信息的方法，包括数学上的随机数表或杂凑表，或计算机的随机数函数，或一非周期性函数，或周期性函数但其周期超过喷头上总喷嘴数量对应的列数的所有收容空间数量或超过基板结构上所有收容空间的数量或超过单一面板区块上所有收容空间的数量。

23.如权利要求21所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，每一收容空间的总墨滴数须超过十五滴。

24.如权利要求21所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，至少有一个喷嘴的电子驱动信号与其它喷嘴不同。

25.如权利要求21所述的薄膜图案层的制造方法，其特征在于，该基板上该多个收容空间呈行列状排列于基板上。

26.一种薄膜图案层制造装置，其包括：

一喷墨装置，其中包含至少一喷头，该喷头具有多个喷嘴；

一基板放置平台，用以放置需制造具有多个分隔墙的基板；

一喷墨控制装置，可依据所收到的喷墨信息，使该喷头装置与该基板放置平台产生相对运动，同时输出电子驱动信号驱动该喷头喷墨；

一电子处理器，可以一随机数方式产生一各个喷嘴的随机喷墨信息，该喷墨信息包括对需制造具有多个分隔墙的基板上各个收容空间的喷墨量信息，该喷墨信息满足以下条件：各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之七点五以内；

该电子处理器将该随机数方式产生的喷墨信息传送至该喷墨控制装置，该喷墨控制装置根据该喷墨信息控制该喷墨装置按照该喷墨信息进行喷墨，使墨水填充至该多个收容空间内。

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