CN101558466A - 放电管的充填气体压力的测定方法及放电管的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的放电管的充填气体压力的测定方法用于具有：真空管、充填在真空管内的气体及设置在真空管内的电极的放电管。真空管在长度方向延伸，并具有配置在沿长度方向相互相反一侧的第一端部和第二端部。通过在将该放电管的真空管的第一端部浸在液体中的状态下使液体从第一端部浸入到真空管内，从而在真空管内产生由气体形成的气泡。在将真空管的长度方向保持水平的同时，测定气泡在长度方向的长度。基于气泡的所测定的长度计算放电管中的气体的压力。利用该方法，可以简便而高精度地测定充填到放电管的真空管中的气体的压力。

Description

放电管的充填气体压力的测定方法及放电管的制造方法

技术领域

本发明涉及冷阴极型、介质型等的放电管的充填气体压力的测定方法。

背景技术

作为液晶电视及液晶监控器所使用的液晶显示装置的背照光，广泛地采用冷阴极放电管。近年来随着液晶电视及液晶监控器的大型化，要求加大作为背照光所使用的冷阴极放电管的总长。冷阴极放电管通过将金属电极通过玻璃珠密封在涂覆了荧光材料的玻璃真空管的两端部，并将混合了氖、氩等的气体和水银充填到玻璃真空管的内部来进行制造。

一般，所充填的气体压力越高，流经冷阴极放电管内的电流越小，冷阴极放电管的发光亮度因此而越低。另一方面，由于气体压力越低而流过的电流越大发光亮度虽增高，但发射电子的电极的劣化加快而使冷阴极放电管的寿命缩短。因此，为了得到具有所要求的亮度和寿命的冷阴极放电管，在冷阴极放电管的制造工序中需要对所充填的气体压力进行高精度的管理。

专利文献1(日本特许第3241750号公报)公开了将气体充填到玻璃真空管中的充填工序。首先，在玻璃真空管的内周面上涂覆荧光材料。然后，在玻璃真空管的两端部分别插入由镍等构成的外部引线和在焊封部设置的由钨等构成的内部引线以及由镍及铌等构成的空心电极等三部分构成的电极单元。在电极单元中分别嵌入有玻璃珠。一个玻璃珠通过从玻璃真空管的外部一边加热一边压紧而暂时焊接并安装到玻璃真空管上并使其具有通气性。其后，从具有通气性的密封了的玻璃真空管的端部排出玻璃真空管内的空气，随后，从其端部将惰性气体充填到冷阴极内。这时利用制造装置设置惰性气体的压力。再将水银充填到玻璃真空管内。这时在达到惰性气体的压力后，将暂时焊接的玻璃珠完全焊接在玻璃真空管上，结束气体的充填工序。在这种制造方法中，由于是在气密性很高的状态下将气体充填到玻璃真空管中，因而能够通过制造装置的设定对玻璃真空管内的气体压力进行管理。

但是，即使制造装置的设定是一定的，但由于材料的品质及制造场所的环境、装置的运行状态等外部的重要因素的不同，实际制造的冷阴极放电管的气体压力产生变化。为了得到具有所要求的性能的冷阴极放电管，采用的方法是，设定制造装置的气体压力制造一次冷阴极放电管，测定实际得到的放电管的充填到玻璃真空管内的气体压力，基于测定得到的压力再次设定制造装置的气体压力。

专利文献2(日本特开平8-105932号公报)公开了测定放电管的气体压力的现有的测定器。由于用这种测定器测定压力需要时间和劳力，因而，放电管的制造工序的气体压力的测定是不适宜的。

在放电管的制造工序中用以下的所述的方法测定气体压力。首先，将充填了气体并将两端部完全焊接了的玻璃真空管的一个端部浸在水中使其破坏。为了不让空气从已破坏的端部进入到玻璃真空管内而保持将其端部浸在水中的原状，并将玻璃真空管立起使水进入到玻璃真空管内。在这种状态下，所充填的气体受到水的压力的挤压，在玻璃真空管内的上部产生该气体形成的气泡。该气泡的长度随着所充填的气体的压力而变化，压力越高气泡越长，压力越低气泡越短。因此，操作者用卡尺测定该气泡的长度，根据其长度来计算充填到冷阴极放电管中的气体压力。利用这种简便的现有的方法能够以与测定器相同程度的精度测定气体的压力。

由于冷阴极放电管越长，流经冷阴极放电管内的电流越小，为了得到高亮度就必须降低所充填的气体压力。因此，为了得到具有所要求的性能的长的冷阴极放电管，需要对所充填的气体压力进行高精度的管理。

在将玻璃真空管立起的状态下测定气泡的长度的上述的现有方法中，所测定到的气体压力随玻璃真空管的长度及直径而波动，有时与实际的压力不同。因此，用这种方法不能高精度地测定气体压力。因此，考虑到所测定的压力的误差必须设定冷阴极放电管的寿命及亮度，要用这种方法制造需要对压力进行高精度管理的长的冷阴极放电管是困难的。

发明内容

本发明的放电管的充填气体压力的测定方法用于具有：真空管、充填在真空管内的气体及设置在真空管内的电极的放电管。真空管在长度方向延伸，并具有配置在沿长度方向相互相反一侧的第一端部和第二端部。通过在将该放电管的真空管的第一端部浸在液体中的状态下使液体从第一端部浸入到真空管内，从而在真空管内产生由气体形成的气泡。在将真空管的长度方向保持水平的同时，测定气泡在长度方向的长度。基于气泡的所测定的长度计算放电管中的气体的压力。

利用该方法，可以简便而高精度地测定充填到放电管的真空管中的气体的压力。

附图说明

图1是本发明的实施方式的放电管的简图。

图2是表示充填到实施方式的放电管的真空管中的气体压力测定方法的简图。

图3是表示充填到实施方式的放电管的真空管中的气体压力测定方法的简图。

图4是图3所示的真空管的放大图。

图5表示用测定器具测定图4所示的真空管内已产生的气泡长度的方法。

图6表示用另一种测定器具测定图4所示的气泡长度的方法。

图7是实施方式的放电管的制造装置的简图。

图8表示用实施方式的测定方法所测定的气体压力在测定中所使用的气体温度常数。

图9表示用实施方式的测定方法所测定的气体压力的测定结果。

图10表示用实施方式的测定方法所测定的气体压力的测定结果。图中：

1-放电管，2-真空管，2A-长度方向，3A-端部(第二端部)，3B-端部(第一端部)，4A、4B-电极，6-气体，7-液体，12-气体充填系统，15-测定器具，16A、16B-夹具，20-气泡。

具体实施方式

图1是实施方式的放电管1的简图。放电管1是例如冷阴极放电管。放电管1具有：真空管2，插入到真空管2内的电极4A、4B，将电极4A、4B分别安装到真空管2上的珠5A、5B，充填到真空管2内的气体6。真空管2由玻璃或陶瓷等透明的绝缘材料制成，具有在长度方向2A延伸的管状。真空管2具有在长度方向2A配置的相互位于相反一侧的端部3A、3B，具有沿长度方向2A的内尺寸长度L1。真空管2在内尺寸长度L1的范围内具有均匀的断面。本实施方式中，真空管2具有沿长度方向2A延伸，在长度L1的范围内内径一定的圆筒形。电极4A、4B分别借助于珠5A、5B焊接并安装在真空管2上。珠5A、5B由与真空管2相同的材料制成。气体6是氖、氩等的惰性气体。为了能在测定气体6的压力时看见内部，未在真空管2内涂覆荧光屏材料。但对于作为不测定气体6的压力的制品的放电管1，也可以在真空管2的内部涂覆荧光屏材料。电极4A、4B分别由位于真空管2外部的外部引线、封装在真空管2上的内部引线以及位于真空管2内部的空心电极构成。外部引线由镍等构成。内部引线由钨等构成。空心电极由镍和铌等构成。

下面，说明充填到放电管1中的气体6的压力的测定方法。图2和图3是表示放电管1的气体6的压力的测定方法的简图。

首先，如图2所示，在使端部3A位于比端部3B靠上方的位置的状态下，将放电管1的端部3B完全浸在容纳在槽7A中的水等液体7中。在端部3B完全浸在液体7中的状态下，使用钳子等工具在能除去电极4B和珠5B的程度的位置破坏真空管2的外周部，使液体7从端部3B浸入到真空管2内。

若液体7从端部3B浸入，则气体6通过液体7受到大气压的挤压而在端部3A附近成为气泡20。

在液体7从端部3B浸入，且真空管2内部被液体7充满之后，将真空管2从槽7A取出，在该状态下放置直到气泡20(气体6)的压力达到稳定。例如，在真空管2的长度L1为900mm，内径为2.4mm的场合放置3分钟以上。该时间随着长度L1的增大而最好加长。

充填到放电管1中的气体6的压力比真空管2的外部大气压低，并且液体7由于毛细管现象而积存在真空管2的内部。因此，即使将真空管2从槽7A取出，气泡20移动，气体6和液体7也不会从端部3B流出。因此，即使不将已破坏的端部3B浸在液体7中，仅仅通过使真空管2的长度方向2A维持水平，也能使气泡20(气体6)的压力达到稳定。

随后，如图3所示，在将真空管2水平放置的状态下，从而使空气不会从真空管2的外部通过液体7进入到气泡20中且不会让电极4A插入到气泡20中，即在以长度方向2A维持水平的方式配置真空管2的状态下，测定气泡20的长度方向2A的长度L2。操作者可以使用毛塞枪式或CN式的卡尺来测定长度L2。

气泡20的长度L2详细地按如下方式测定。图4是在真空管2中产生的气泡20的放大图。气泡20具有朝向端部3A的端面20A和在端面20A相反一侧而朝向端部3B的端面20B。气泡20的端面20A、20B排列在长度方向2A上。气泡20的端面20A是因液体7的表面张力而向真空管2的端部3A突出的凸面。作为凸面的端面20A具有顶点120A和外缘220A。气泡20的端面20B是因液体7的表面张力而向真空管2的端部3B突出的凸面。作为凸面的端面20B具有顶点120B和外缘220B。气泡20的直径从端面20A、20B的外缘220A、220B起比真空管2的内径开始缩小。气泡20的长度L2是沿着端面20A的顶点120A与端面20B的外缘220B的长度方向2A的距离。或者，气泡20的长度L2是沿着端面20B的顶点120B与端面20A的外缘220A的长度方向2A的距离。

图5表示用测定器具13测定气泡20的长度L2的方法。测定器具13是卡尺。测定器具13具有：刻有刻度并沿长度方向13E延伸的主尺13D，从主尺13D的前端13C与主尺13D成直角的延伸的尺13A以及从主尺13D与尺13A平行的延伸的尺13B。尺13A具有与尺13B相对的测定面113A。尺13B具有与尺13A相对的测定面113B。在主尺13D的长度方向13E和真空管2的长度方向2A相互平行的状态下，使尺13A的测定面113A位于气泡20的端面20A的顶点120A，并且使尺13B移动而使尺13B的测定面113B位于气泡20的端面20B的外缘220B的位置。然后，操作者读取主尺13D的刻度而测定长度L2。

当操作者保持测定器具13时，有时测定器具13相对真空管2向R1方向移位，不能维持测定器具13的主尺13D的长度方向13E与真空管2的长度方向2A相互彼此平行。由此，测定气泡20的长度L2变得困难，在所测定到的长度L2中包含误差。

图6表示用其它测定器具15测定气泡20的长度L2的方法。测定器具15是卡尺。图6中，对于与图5所示的测定器具13相同的部分标上相同的标号而省略其说明。测定器具15在图5所示的测定器具13的主尺13D和和尺13A、13B上还具有用于固定放电管1(真空管2)的夹具16A、16B。夹具16A设置在尺13A的里面。夹具16B安装在主尺13D的前端13C的相反一侧的端部15B上。夹具16A、16B具有与真空管2的外径H1基本上相同厚度T1的长方体形状。夹具16A、16B分别具有以与长度方向13E平行且与真空管2相对的方式构成的面116A、116B。

为了测定气泡20的长度L2，使夹具16A、16B的面116A、116B与水平放置的真空管2的外表面抵接。面116A、116B与测定器具15的主尺13D的长度方向13E平行，并且，面116A、116B位于同一平面上。因此，可以通过使面116A、116B与真空管2抵接而使真空管2的长度方向2A与主尺13D的长度方向13E平行。在该状态下，用与图5所示的测定器具13相同的方法测定气泡20的长度L2。由于测定器具15难以向图5所示的R1方向移位，能以更高的精度测定气泡20的长度L2。

下面，说明根据所测定的气泡20的长度L2，计算充填到放电管1的真空管2中的气体6的压力的方法。气体6的压力C1(大气压)可以利用在真空管2的长度方向2A的内尺寸长度L1和在气泡20的长度方向2A的长度L2由下式1算出。

C1＝L2/L1                (式1)

另外，由于1个大气压为760Torr，因而气体6的压力C(Torr)用下式2表示。

C＝(L2/L1)×760          (式2)

气体6的压力与体积的关系随气体温度而变化。为了以更高的精度计算气体6的压力，将依赖于气体温度的气体温度常数Y乘以用式1和式2算出的压力C、C1，便分别计算出经补偿后的高精度的压力P、P1。具体的是，用下式3和式4分别表示气体6的压力P(Torr)和压力P1(大气压)。并且，1(Torr)为133.322(Pa).

P1＝Y×C1＝Y×L2/L1            (式3)

P＝Y×C＝Y×(L2/L1)×760       (式4)

图8表示气体温度X和与其对应的气体温度常数Y。气体温度常数Y与气体温度X(℃)的关系按下式定义。

Y＝-0.003×X+1.0774

在本实施方式中，液体7虽然是水，但为了容易地测定真空管2的气泡20，液体7也可以着色。另外，在本实施方式中，作为测定器具13或测定器具15使用卡尺测定气泡20的长度L2，但为了以更高的精度得到长度L2，也可以用激光测定器等其它测定器具来测定长度L2。

这样，利用在本实施方式的测定方法，便可以不使用昂贵的气体压力测定器而考虑到气体温度的影响简便而高精度地测定气体6的压力。

下面，说明使用了本实施方式的放电管1的气体6的压力的测定方法的放电管1的制造方法。

图7是放电管1的制造装置的简图。特别表示向真空管2充填气体6的充填装置1001。首先，在真空管2的内周面涂覆荧光材料。分别将电极4A、4B插入到真空管2的端部3A、3B中。在电极44A、4B上分别嵌入有珠5A、5B。珠5B在完全焊接在真空管2上后密封端部3B。对珠5A一边从真空管2的外部进行加热一边压紧，以具有通气性的方式将其暂时焊接在端部3A。然后，在关闭电磁阀10、11的状态下将真空管2的端部3A装在充填装置1001的头8上。当打开电磁阀10时，利用真空系统9将真空管2的空气通过端部3A排出后，关闭电磁阀10。决定气体充填系统12的气体压力设定。然后，打开电磁阀11，根据所决定的气体压力设定，通过端部3A将气体6送入到真空管2中。其后，将水银充填到真空管2内，将珠5A完全与真空管2的端部3A焊接，结束向放电管1充填气体6的工序。

用上述方法测定由上述的制造方法得到的放电管1的真空管2内的气体6的压力，基于所测得的压力，调整气体充填系统12的气体压力设定。即，在所测得的压力比气体6的规定压力低的场合，则调整气体压力设定以提高气体6的压力；而在所测得的压力比气体6的规定压力高的场合，则调整气体压力设定以降低气体6的压力。然后，用上述的制造方法制造另外的放电管1。这样，通过基于所测得的压力，调整气体充填系统12的气体压力设定，便能够减小气体6的规定压力与实际上充填到真空管2内的气体6的压力的误差。由于能利用上述的测定方法以短的时间测定气体6的压力P，因而在放电管1的大量生产过程中，可以随时测定气体6的压力并调整气体压力设定，因此，能够以规定的压力将气体6充填到真空管2中。这样，用包含本实施方式的气体6的压力的测定方法的制造方法制造的放电管1，由于能高精度地以既定的压力将气体6充填到真空管2内，因而可靠地具有所要求的性能。

实施例1

用上述的制造方法在气体温度25℃制造了放电管1的式样1-3。这些式样的真空管2的长度方向2A的内尺寸长度为896mm。气体6含有10％体积的氩和90％体积的氖。气体充填系统12输入的设定的气体压力为60Torr。为了能清楚地见到真空管2的内部，在真空管2的内周面上未涂覆荧光材料。在槽7A内的液体7中将所得到的放电管1的式样1-3的端部3B破坏，而使液体7进入到真空管2内，在液体7从端部3B浸入并由液体7充满了真空管2的内部之后，将真空管2从槽7取出。然后，将气体6的气泡20放置3分钟直到气泡20稳定。其后，在下述三种状态下，如图5所示操作者用卡尺测定了气泡20的长度L2，即：(1)使真空管2的长度方向2A维持水平状态，(2)以使端部3A位于比端部3B靠上方的方式将真空管2的长度方向2A保持立起而使气泡20位于真空管2的上部的状态，(3)以使端部3A位于比端部3B靠下方的方式将真空管2的长度方向2A保持立起而使气泡20位于真空管2的下部的状态。图9表示所测得的气泡20的长度、所测得的长度的平均值、所测得的长度的最大值和最小值之差D1、由式4算出的气体6的压力P、以及算出的压力的平均值Pave1。

如图9所示，根据在(1)使真空管2的长度方向2A维持水平状态下测定的气泡20的长度L2算出的压力的平均值Pave1为61.3Torr，根据在(2)以使端部3A位于上方的方式将长度方向2A保持垂直的状态下测定的长度L2算出的压力的平均值Pave1为65.6Torr，根据在(3)以使端部3A位于下方的方式将长度方向2A保持垂直的状态下测定的长度L2算出的压力的平均值Pave1为56.1Torr。

在端部3A位于上方的状态下，气泡20的长度L2随真空管2的倾斜而变化。另外，由于重力而位于气泡20的下方的液体7的部分因重力的作用而使长度L2增大。因此，所测得的长度的最大值和最小值之差D1和在气体压力设定中所设定的压力与根据长度L2算出的压力P的误差都较大，不能高精度地测定气体6的压力。

在端部3A位于下方的状态下，由于浸入并积存在真空管2中的液体7因重力的作用而挤压气泡20，因而，所测得的长度的最大值和最小值之差D1在从状态(1)至状态(3)中为最小。但是，由于在液体7中气泡20受到挤压，因而所设定的压力与根据长度L2算出的压力P的误差最大。

在使真空管2的长度方向2A维持水平的状态下，由于加在气泡20上的液体7的压力不受重力的影响，因而在从状态(1)至状态(3)中能以最高的精度测定气体6的压力。

实施例2

用上述的制造方法在气体温度25℃制造了放电管1的式样4-8。这些式样的真空管2的长度方向2A的内尺寸长度为896mm。气体6含有10％体积的氩和90％体积的氖。气体充填系统12输入的设定的气体压力为40Torr。为了能清楚地见到真空管2的内部，在真空管2的内周面上未涂覆荧光材料。在槽7A内的液体7中将所得到的放电管1的式样4-8的端部3B破坏，而使液体7进入到真空管2内，在液体7从端部3B浸入并由液体7充满了真空管2的内部之后，将真空管2从槽7取出。然后，将气体6的气泡20放置3分钟直到气泡20稳定。其后，在下述三种状态下，如图6所示操作者用测定器具15测定了气泡20的长度L2，即：(1)使真空管2的长度方向2A维持水平状态，(2)以使端部3A位于比端部3B靠上方的方式将真空管2的长度方向2A保持垂直而使气泡20位于真空管2的上部的状态，(3)以使端部3A位于比端部3B靠下方的方式将真空管2的长度方向2A保持垂直而使气泡20位于真空管2的下部的状态。图10表示所测得的气泡20的长度、所测得的长度的平均值、所测得的长度的最大值和最小值之差D2、由式4算出的气体6的压力P、所算出的压力的平均值Pave2，所算出的压力的最大值和最小值之差D3、以及所算出的压力的平均值Pave2与在气体压力设定中所设定的压力的误差E2。

如图10所示，在(1)使真空管2的长度方向2A维持水平状态下测定的气泡20的长度的最大值和最小值之差D2为0.5mm。在(2)以使端部3A位于上方的方式将长度方向2A保持垂直的状态下测定的长度最大值和最小值之差D2为1.1mm。在(3)以使端部3A位于下方的方式将长度方向2A保持垂直的状态下测定的长度的最大值和最小值之差D2为1.3mm。这样，在使真空管2的长度方向2A维持水平状态下测定的气泡20的长度之差D2在从状态(1)至状态(3)中为最小，在以使端部3A位于上方的方式将长度方向2A保持垂直的状态下测定的长度之差D2在从状态(1)至状态(3)中为最大。

在实施例2中，使用具有固定真空管2的夹具16A、16B的测定器具15来测定气泡20的长度。在从状态(1)至状态(3)的各种状态中，在实施例2中所测得的气泡20的长度之差D2比使用实施例1的测定器具13所测得的长度之差D1小。例如，状态(1)在实施例1中之差D1为2.6mm，但状态(1)在实施例2中之差D2减少到0.42mm，测定精度提高。

根据在(1)使真空管2的长度方向2A维持水平状态下测定的长度L2算出的压力的平均值Pave2为38.47Torr，根据在(2)以使端部3A位于上方的方式将长度方向2A保持垂直的状态下测定的长度L2算出的压力的平均值Pave2为41.69Torr，根据在(3)以使端部3A位于下方的方式将长度方向2A保持垂直的状态下测定的长度L2算出的压力的平均值Pave2为36.01Torr。对于在气体压力设定中所设定的气体6的压力与平均值Pave2的误差E2，在从状态(1)至状态(3)中，状态(1)中的误差E2最小。

使用具有固定真空管2的夹具16A、16B的测定器具15，由于能使测定器具15的主尺13D的长度方向13E与真空管2的长度方向2A保持平行，因而真空管2难以在R1方向移位。因此，与测定器具13相比，使用测定器具15能高精度地测定气泡20的长度L2，能够高精度的算出气体6的压力。

采用本发明的测定方法由于能高精度地测定充填到放电管的真空管2中的气体的压力，能够得到具有所要求的亮度和寿命的长的放电管，因而，可以得到用作大型夜晶电视等的光源的冷阴极型、介质型、热阴极型等的放电管。

Claims (7)

1.一种放电管的充填气体压力的测定方法，其特征在于，包括以下步骤：

准备具有以下部件的放电管的步骤，这些部件是：

在长度方向上延伸、具有配置在沿上述长度方向相互相反一侧的第一端部和第二端部的真空管，

充填在上述真空管内的气体，

设置在上述真空管内的电极；

在准备上述放电管的步骤之后，通过在将上述放电管的上述真空管的上述第一端部浸在液体中的状态下使上述液体从上述第一端部浸入到上述真空管内，从而在上述真空管内产生由上述气体形成的气泡的步骤；

在将上述真空管的上述长度方向保持水平的同时，测定上述气泡在上述长度方向的长度的步骤；

基于上述气泡的上述所测定的长度计算上述放电管中的上述气体的压力的步骤。

2.如权利要求1所述的放电管的充填气体压力的测定方法，其特征在于，

上述玻璃真空管具有内尺寸长度L1(mm)，上述气泡的上述所测定的长度为L2(mm)，

计算上述放电管中的上述气体的上述压力的步骤包含由式

C＝(L2/L1)×760

算出上述压力C(Torr)的步骤。

3.如权利要求1所述的放电管的充填气体压力的测定方法，其特征在于，

还包含对依赖气体温度的气体温度常数Y进行定义的步骤，

上述玻璃真空管具有内尺寸长度L1(mm)，上述气泡的上述所测定的长度为L2(mm)，

计算上述放电管中的上述气体的上述压力的步骤包含由式

P＝Y×(L2/L1)×760

算出上述压力P(Torr)的步骤。

4.如权利要求3所述的放电管的充填气体压力的测定方法，其特征在于，

对依赖上述气体温度的上述气体温度常数Y进行定义的步骤包含从上述气体温度X(℃)由式

Y＝-0.003×X+1.0774

定义上述气体温度常数Y的步骤。

5.如权利要求1所述的放电管的充填气体压力的测定方法，其特征在于，

测定上述气泡在上述长度方向的上述长度的步骤包含：

准备具有固定上述真空管的夹具的测定器具的步骤，以及

将上述真空管固定在上述测定器具上并测定上述长度的步骤。

6.一种放电管的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

制作放电管的步骤，该步骤包含：

准备在长度方向上延伸、具有配置在沿长度方向相互相反一侧的第一端部和第二端部的真空管的步骤，

决定气体充填系统的气体压力设定并以规定的压力将气体充填到上述真空管内的步骤，

在上述真空管内设置电极的步骤；

通过在将上述放电管的上述第一端部浸在液体中的状态下使上述液体从上述第一端部浸入到上述真空管内，从而在上述真空管内产生由上述气体生成的气泡的步骤；

在将上述真空管的上述长度方向保持水平的同时，测定上述气泡在上述长度方向的长度的步骤；

基于上述气泡的上述所测定的长度计算上述放电管中的上述气体的压力的步骤；

基于上述算出的压力，调整上述气体充填系统的上述气体压力设定的步骤；

以上述调整后的气体压力设定制作其它的放电管的步骤；

7.一种放电管，其特征在于，用权利要求6所述的放电管的制造方法制造。

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