CN101551287A - 散热器注氦检测真空度方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及到一种散热器的检测真空度方法，尤其涉及到一种散热器的注氦检测真空度方法。该方法包括：1)外观检验；2)载入工件；3)工件抽真空；4)工件内真空保压；5)抽真空室内真空；6)注氦；7)注氦保压；8)质谱仪检测；9)真空室泄压和抽工件内的氦气；10)取工件，将散热器取下。本发明的有益效果是：为了检测散热器内腔的真空度，预先将需要注水的散热器内腔毛细管内抽真空，然后注入氦气，通过检测氦气的泄漏量来准确地确认内腔的真空度，我们装置的真空度可以高达10Pa以下。

Description

散热器注氦检测真空度方法

技术领域

本发明涉及到一种散热器的检测真空度方法，尤其涉及到一种散热器的注氦检测真空度方法。

背景技术

现有散热器是采用正压注水方式，不需要检测内腔真空度，其散热器内腔毛细管很难注满水，一般都会有20～30％的空气含量，空气含量越高散热性能越差！因此，我们之前发明了散热器真空注水装置。该装置是采用负压注水方式，其核心就是要保证散热器内腔的真空度足够高，不过现有的散热器真空注水装置不能检测到其真空度。

基于散热器一般的检测真空度方法的不足之处，本发明人设计了本发明“散热器注氦检测真空度方法”。

发明内容

本发明针对上述现有技术的不足所要解决的技术问题是：提供一种用于检测散热器真空度的散热器注氦检测真空度方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种散热器注氦检测真空度方法，该方法包括：

1)、外观检验，对散热器的毛细管进行外观检验，将外观有破损的散热器选出；

2)、载入工件，将外观合格的散热器载入至工作位置；

3)工件抽真空，利用抽真空装置对散热器的毛细管进行抽真空处理，使其内腔的真空度达到3000Pa以下；

4)、工件内真空保压，抽完真空后先进行一段时间的保压，确定没有漏气，工件的真空度达到合格值；

5)、抽真空室内真空，在工件外还有一个大的真空室，在工件内真空保压后再对真空室进行抽真空处理；

6)、注氦，将氦气注入散热器的毛细管内；

7)、注氦保压，在注完氦后再进行一小段时间保压；

8)、质谱仪检测，检测工件里的氦气体是否有泄露；

9)、真空室泄压和抽工件内的氦气；

10)、取工件，将散热器取下。

本发明的工作原理是：为了检测工件内腔的真空度，注入氦气，通过检测工件内氦气的泄露量来准确地测出工件内腔的真空度。为了防止氦气泄露到空气中影响检测结果，将需要抽真空的工件放置在一个真空室内，而且设计这个真空室内的真空度(100Pa以下)大于需要抽真空的工件内的真空度(1000~3000Pa)。当工件和真空室完成抽真空后，开始向工件内注入氦气，在一定的时间内(3~6秒)达到规定的氦气压力(1.0~1.65kgf/cm²)且保压10秒钟。此时用质谱仪检测氦气的泄露量(即真空室内的氦气量)，当氦气的泄漏量小于1.0*10^-10mPa.L/S时工件的真空度为合格！然后真空室泄压，抽出工件内的氦气，取工件，完成。进入下一个工件的检测。

本发明的主要实现装置如下：

(1)、真空注氦机：

由架体及内外包装、真空室部分、自动门机构、真空注氦及检测系统和电器控制五部分组成。

(2)、真空注氦系统及检测系统的组成：

真空注氦系统由进口真空泵、真空气控阀、数字式真空表、不锈钢真空罐(35L)、不锈钢电磁阀、不锈钢单向阀、不锈钢无缝管、氦气罐和液位检测等组成。真空注氦系统最高真空度：100Pa以下

采用质谱仪自动检测控制系统，所有的技术参数都选用数显示仪表显示。触摸屏选用10寸彩色屏幕，可监视每个工位的运行情况。真空泵内不充许有大于2％的氦气，否则会导致真空泵失效。真空泵内不充许有非真空专用油以外的其它液体，否则会导致真空泵失效

本发明一种散热器注氦检测真空度方法的有益效果是：

本发明为了检测散热器内腔的真空度，预先将需要注水的散热器内腔毛细管内抽真空，然后注入氦气，通过检测氦气的泄露量来准确地确认内腔的真空度，我们装置的真空度可以高达10Pa以下。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的方框流程图。

具体实施方式

参照图1，本发明是这样实施的：

一种散热器注氦检测真空度方法，该方法包括：

1)、外观检验，对散热器的毛细管进行外观检验，将外观有破损的散热器选出；

2)、载入工件，将外观合格的散热器载入至工作位置；

3)工件抽真空，利用抽真空装置对散热器的毛细管进行抽真空处理，使其内腔的真空度达到3000Pa以下；

4)、工件内真空保压，抽完真空后先进行一段时间的保压，确定没有漏气，工件的真空度达到合格值；

5)、抽真空室内真空，在工件外还有一个大的真空室，在工件内真空保压后再对真空室进行抽真空处理；

6)、注氦，将氦气注入散热器的毛细管内；

7)、注氦保压，在注完氦后再进行一小段时间保压；

8)、质谱仪检测，检测工件里的氦气体是否有泄露；

9)、真空室泄压和抽工件内的氦气；

10)、取工件，将散热器取下。

本发明为了检测散热器内腔的真空度，预先将需要注水的散热器内腔毛细管内抽真空，然后注入氦气，通过检测氦气的泄露量来准确地确认内腔的真空度，我们装置的真空度可以高达10Pa以下。

以上所述，仅是本发明一种散热器的注氦检测真空度方法较佳实施例而已，并非对本发明的技术范围作任何限制，凡是依据本发明的技术实质对上面实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术的范围内。

Claims (1)

1、一种散热器注氦检测真空度方法，该方法包括：

1)、外观检验，对散热器的毛细管进行外观检验，将外观有破损的散热器选出；

2)、载入工件，将外观合格的散热器载入至工作位置；

3)工件抽真空，利用抽真空装置对散热器的毛细管进行抽真空处理，使其内腔的真空度达到3000Pa以下；

4)、工件内真空保压，抽完真空后先进行一段时间的保压，确定没有漏气，工件的真空度达到合格值；

5)、抽真空室内真空，在工件外还有一个大的真空室，在工件内真空保压后再对真空室进行抽真空处理；

6)、注氦，将氦气注入散热器的毛细管内；

7)、注氦保压，在注完氦后再进行一小段时间保压；

8)、质谱仪检测，检测工件里的氦气体是否有泄露；

9)、真空室泄压和抽工件内的氦气；

10)、取工件，将散热器取下。

Images