CN101551236A - 气流测量设备 - Google Patents

气流测量设备 Download PDF

Info

Publication number
CN101551236A
CN101551236A CNA2009101329212A CN200910132921A CN101551236A CN 101551236 A CN101551236 A CN 101551236A CN A2009101329212 A CNA2009101329212 A CN A2009101329212A CN 200910132921 A CN200910132921 A CN 200910132921A CN 101551236 A CN101551236 A CN 101551236A
Authority
CN
China
Prior art keywords
air
flow
yarn
automated warehouse
basket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2009101329212A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101551236B (zh
Inventor
松叶克己
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of CN101551236A publication Critical patent/CN101551236A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101551236B publication Critical patent/CN101551236B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
    • G01P5/02—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring forces exerted by the fluid on solid bodies, e.g. anemometer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
    • G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F2110/00—Control inputs relating to air properties
    • F24F2110/30—Velocity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

一种气流测量设备，设置用自动仓库内的输送装置自由输送、并且能够自由地载置在搁板上的筐体。在筐体内悬吊多个纱线，测量在筐体内流动的气流使纱线产生的位移，根据测量到的位移求出上述气流的状态。

Description

气流测量设备
技术领域
本发明涉及用于测量自动仓库内的气流的测量设备。
背景技术
本发明者提出过设置搭载了净化等级的测量装置的设备、用仓库内的输送装置放置到自动仓库的搁板上来测量搁板内的环境的发明(专利文献1：日本特开2007-297196)。在专利文献1中，设置水蒸气雾气发生器和缝隙状激光源，拍摄被雾气反射的反射光来测量气流。并且，用粒子计数器计数污染粒子的数量等。由此能够测量各搁板的环境和用输送装置输送过程中的物品所放置的环境。但是，雾气产生源、激光源和相机的组合规模庞大。
发明内容
本发明的课题就是要简便地测量自动仓库内的气流。
本发明为一种气流测量设备，具有能用自动仓库内的输送装置自由输送、并且能自由地载置在自动仓库的搁板上的筐体，其特征在于，设置了悬吊在上述筐体内的多个纱线、用来测量在筐体内流动的气流使上述纱线产生的位移的测量单元、以及根据测量到的纱线的位移求出上述气流的状态的运算单元。
并且本发明为一种测量自动仓库内的气流的方法，其特征在于，设置了以下步骤：在自动仓库内设置测量设备的步骤，所述测量设备在能用自动仓库的输送装置自由输送、并且能自由地载置在自动仓库的搁板上的筐体的内部悬吊有多个纱线；测量在筐体内流动的气流使上述纱线产生的位移的步骤；根据测量到的纱线的位移求出上述气流的状态的步骤。
优选根据其高度等将上述筐体分割成上下至少2层，在每层中设置上述纱线和测量单元，利用运算单元求出每层的气流状态。
并且优选测量单元具备从上方或者从下方拍摄上述纱线的相机。
发明效果
本发明由于根据悬吊在筐体内的纱线的位移测量气流，因此不需要雾气发生器或激光光源，能够更简便地测量筐体内的气流。
其中，如果将筐体分割成上下至少2层、在每层设置上述纱线和测量单元、用运算单元求出每层的气流状态的话，就能够分别独立测量筐体各层的气流状态。
由于自动仓库内的气流一般不强，因此即使气流使纱线位移，排列多个纱线的位置关系也不被破坏。因此如果用相机从上方或下方拍摄纱线的话，不仅能够确定每根纱线，而且能够容易地求出纱线从没有气流时的位置怎样位移。
附图说明
图1为实施例的自动仓库的俯视图。
图2为实施例的正视图。
图3为实施例所使用的测量设备的侧视图。
图4为实施例的示踪器的侧视图。
图5为变形例的示踪器的铅垂方向的剖视图。
图6为示意地表示实施例中从上下方向观察的反射体的分布的图。
图7为表示有关反射体的摄像的变形例的图。
附图标记
2.自动仓库；4、5.架；6.堆装起重机；8.行走轨道；10.行走空间；12.台车；14.升降台；15.立柱；16.移载装置；18.风扇过滤设备(FFU)；19.充电站；20.地面上的控制器；22.搁板；24.测量设备；26.排气阀；28.回流流路；29.筐体；29b.间壁；30.示踪器；32.纱线；34.进气部；35.开口；36.反射体；38.带闪光灯的相机；40.粒子计数器；42.距离传感器；44.振动传感器；46.静电传感器；48.电源设备；50.控制部；60.示踪器；61.进气部；62.开口；70.气流测量设备；72.相机；74.缝隙光源；76.图像识别部
具体实施方式
图1～图7表示实施例及其变形例。2为自动仓库，设置在清洁室内，4、5为架，6为作为仓库内的输送装置的堆装起重机，也可以是传送带等其他的输送装置。8为堆装起重机6的行走轨道，10为堆装起重机6的行走空间。另外，既可以在行走空间10的一边仅设置架，也可以将架4、5的一部分换成半导体或平板显示器等处理装置。
如图2等所示，堆装起重机6具有台车12和沿立柱15升降的升降台14，升降台14具有滑动叉或SCARA臂(スカラア一ム)等移载装置16。并且，在升降台14和移载装置16之间还可以设置使移载装置16与物品一起旋转的转台等。在自动仓库2的顶棚部和自动仓库2的侧面、例如最下层搁板的背面侧设置风扇过滤设备(FFU)18，提供清洁空气。虽然图1中表示的是以与搁板22相等的间隔设置FFU18，但实际上FFU18的配置是任意的。并且，将FFU18设置在最下层搁板的背面侧是因为从顶棚部的FFU来的清洁空气的气流不容易到达架4、5的下部和防止堆装起重机6行走的风进入。
在架4、5的例如一个地方设置有充电站19，能够给测量设备24充电。除此之外，还可以在充电站19上设置与测量设备之间的通信接口，从测量设备获取数据。20为地面上的控制器，控制FFU18以及后述的排气阀的开度、堆装起重机6等。22为搁板，保管例如半导体箱或平板显示器等的箱，保管物品的种类是任意的。实施例中作为保管平板显示器的箱的装置，该箱具备上下多层的支承玻璃基板的搁板，并且在正面设置移载装置出入的开口，呈骨架形状。26为设置在自动仓库2的地板面附近的排气阀，可自由调整开度；28为回流流路，将从排气阀26回流来的空气提供给FFU18。
图3表示测量设备24的结构。29为由骨架形状的框构成的筐体，例如测量设备24用不透明的间壁29b分隔成上下2层。另外，也可以取消测量设备24的上下间壁，或者分隔成3层以上。能够检测离间壁的各高度位置上的气流的变化，并且能够抑制沿高度方向的气流，将气流调整成水平。测量设备24的上下各层呈例如矩阵形状地排列有多个示踪器(tracer)30，从上部垂吊。示踪器30由纱线32、设置在其下端的进气部34以及反射体36构成。纱线并不局限于捻纱等，也可以是单根纤维构成的纱线等，材质和形状是任意的，只要是重量轻、弯曲自由，并且没有带子等那样的宽度方向的异方向性的纱线就可以。反射体36优选在发泡苯乙烯球等重量轻的球体上通过蒸镀等设置了反射膜的物体。
如图4所示，进气部34用纸或布、塑料等构成，采用例如在气流的上游侧的面上设置了开口35的圆锥状的形状，或者采用例如设置了开口35的圆锥形状。进气部34承受清洁空气的气流与反射体36一起移动。示踪器30用进气部34承受搁板内和升降台上弱的气流产生大的位移，准确地求出气流的方向和风速。进气部34的形状并不局限于圆锥形状，也可以是圆筒状等，纱线32也可以延伸到进气部34或反射体36的下方。并且也可以不设置反射体36而拍摄进气部34自身的位置，还可以作为其他单元用超声波传感器等测量进气部34的位置。
图5的60表示示踪器的变形例，使用在顶端设置了开口62的进气部61，其他的地方与示踪器30相同。进气部的形状并不局限于圆锥形状，也可以是圆筒形状等，但在承受自动仓库内弱的气流上圆锥形状的进气部34、61有利。并且，纱线32也可以延伸到进气部34、61或反射体36的下方。
下面回到图3，38为带闪光灯的相机，由于自动仓库2内的空间一般较暗，所以设置闪光灯。另外，闪光灯也可以与相机38分开设置。并且，用带闪光灯的相机38例如从下向上或者从上向下拍摄反射体36。即使通过调整纱线32的长度和配置等，清洁空气使反射体36移动，也使反射体36不离开同一台相机38的视野而从相机的图像区分出各个反射体36。并且例如利用一台相机38拍摄多个反射体36。
40为粒子计数器，测量例如在测量设备24上下各层中流过的粒子的数量及其大小。42为距离传感器，测量与配置了设备24的搁板的支柱等之间的距离，检测设备24交接的位置精度。44为振动传感器，设置在设备24的例如下层的中央，也可以设置在各层。
振动传感器44由例如加速度传感器构成，最好是分别针对x方向、y方向和z方向测量设备24受到的振动。46为静电传感器，也可以不设置。静电传感器46检测作为保管物品的平板显示器的玻璃基板的带电状况等。玻璃基板因与含离子的清洁空气接触以及在输送过程中与图中没有表示的箱的玻璃支持部件摩擦而带电。如果玻璃基板带电的话，则玻璃基板上的电路和晶体管等有受损的危险。并且，玻璃基板带电使周围产生电场，用静电传感器46检测该电场。振动传感器44和静电传感器46与测量气流没有直接关系，粒子计数器40在测量空气污染程度方面与清洁空气的气流的测量有关。
48为电源设备，为相机38和粒子计数器40、振动传感器44、静电传感器46等的电源，由例如上述充电站19充电。50为控制部，处理来自相机38和粒子计数器40、振动传感器44、静电传感器46的数据，尤其是图像识别来自相机38的图像，求出气流的朝向与风速的分布。并且，控制部50与例如设置在自动仓库中的图中没有表示的无线LAN之间进行通信，或者当设置在堆装起重机的升降台上时与堆装起重机之间进行通信。或者，也可以取而代之，与设置在充电站中的通信接口之间进行通信。通信过程为从设备24输出测量结果，从对方接收与测量有关的指示。
图6中示意地表示了从上或从下观察反射体36的状态。另外，由于筐体29的间壁29b不透明，所以不能同时看到上下的反射体36。反射体36在气流的作用下近似水平地位移，由于位移小，因此能够确定每个反射体36。位移的朝向表示水平面内的风向，位移的大小表示水平面内的风速，测量风向和风速中的至少一个量。另外，在上方安装相机的情况下，将反射体36安装在进气部34的上侧。
筐体29的大小与收容玻璃基板的实际的箱的大小大致相等，实际的箱中气流在玻璃基板之间水平地流动，上下分开的筐体29内的气流为遵照了实际的箱内的气流的气流。并且，由于实际的箱内气流是水平的，因此只要判明水平面内的风速和风向就足够了。
图7表示变形例的气流的测量设备70，在反射性的纱线71的下端安装进气部34，用相机72拍摄纱线71自身。并且，用图像识别装置76控制缝隙光源74，边改变缝隙光源的朝向边用相机72拍摄纱线71。这样也能够边区分每根纱线71边测量其位移。但是，用图像识别从缝隙光的朝向和相机72拍摄的亮点状的纱线的位置求出图7中的左右方向上纱线的位移并不容易。并且，由于缝隙光源74并不便宜，要准确拍摄还需要离开纱线71配置相机72，因此设备变得规模庞大。
实施例能够获得以下效果。
1)能够用一台气流测量设备24测量自动仓库内各搁板和堆装起重机的升降台上的气流状态。如果将测量结果反馈给风扇过滤设备18和排气阀26的开度等的话，能够保证保管物品的环境清洁。
2)如果用进气部34承受气流获得大的位移、拍摄小的反射体36的话，能够准确地测量风向和风速。
3)通过悬吊多个示踪器30，能够求出风向和风速在水平面内的分布。
4)如果在测量设备中设置间壁29b，能够分别测量设备中上下气流的状态，并且能够与实际的箱一样将气流调整成水平方向。
5)如果用相机38从上方或下方拍摄反射体36，能够容易地拍摄在水平面内的反射体36的位移。

Claims (4)

1.一种气流测量设备，具有能用自动仓库内的输送装置自由输送、并且能自由地载置在自动仓库的搁板上的筐体，其特征在于，设置了：悬吊在上述筐体内的多个纱线，用来测量在筐体内流动的气流使上述纱线产生的位移的测量单元，以及根据测量到的纱线的位移求出上述气流的状态的运算单元。
2.如权利要求1所述的气流测量设备，其特征在于，将上述筐体分割成上下至少2层，在每层中设置上述纱线和测量单元，利用运算单元求出每层的气流状态。
3.如权利要求1所述的气流测量设备，其特征在于，测量单元具备从上方或者从下方拍摄上述纱线的相机。
4.一种气流的测量方法，用于测量自动仓库内的气流，其特征在于，设置了以下步骤：在自动仓库内设置测量设备的步骤，所述测量设备在能用自动仓库的输送装置自由输送、并且能自由地载置在自动仓库的搁板上的筐体的内部悬吊有多个纱线；测量在筐体内流动的气流使上述纱线产生的位移的步骤；根据测量到的纱线的位移求出上述气流的状态的步骤。
CN2009101329212A 2008-04-01 2009-03-31 气流测量设备 Expired - Fee Related CN101551236B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP094989/2008 2008-04-01
JP2008094989A JP4437561B2 (ja) 2008-04-01 2008-04-01 気流の測定ユニット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101551236A true CN101551236A (zh) 2009-10-07
CN101551236B CN101551236B (zh) 2012-10-03

Family

ID=41115134

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009101329212A Expired - Fee Related CN101551236B (zh) 2008-04-01 2009-03-31 气流测量设备

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7902492B2 (zh)
JP (1) JP4437561B2 (zh)
CN (1) CN101551236B (zh)
DE (1) DE102009012953A1 (zh)
TW (1) TWI442040B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106483330A (zh) * 2016-12-07 2017-03-08 中南大学 一种基于反光丝线姿态角视觉识别二维风速风向测试方法
CN113503146A (zh) * 2021-08-06 2021-10-15 新疆大学 一种深部煤层气开采气压测量装置
CN114894428A (zh) * 2022-04-15 2022-08-12 西华大学 基于荧光微丝偏转角度的流体流动测量方法

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009249053A (ja) * 2008-04-01 2009-10-29 Murata Mach Ltd 自動倉庫
JP4743454B2 (ja) * 2009-04-24 2011-08-10 村田機械株式会社 搬送システム
GB201016222D0 (en) * 2010-09-27 2010-11-10 Natural Enviromental Res Council Aerosol detection
WO2013111429A1 (ja) * 2012-01-24 2013-08-01 村田機械株式会社 風向風速測定装置
DE102015000064B3 (de) 2015-01-12 2016-03-31 Carl Von Ossietzky Universität Oldenburg Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen mindestens eines Parameters einer Strömung eines Fluids und deren Verwendung
US9851275B2 (en) * 2015-03-27 2017-12-26 Clifford A. Cooper Systems and methods for tracing air
CN108226385B (zh) 2016-12-14 2020-09-08 盟立自动化股份有限公司 环境侦测系统
CN108226386B (zh) * 2016-12-14 2020-11-10 盟立自动化股份有限公司 环境侦测系统
JP6487499B2 (ja) * 2016-12-14 2019-03-20 盟立自動化股▲フン▼有限公司 検出機器及び揮発性有機化合物検出器
WO2018146986A1 (ja) * 2017-02-07 2018-08-16 村田機械株式会社 ストッカ
JP6803036B1 (ja) * 2020-08-26 2020-12-23 株式会社エクサウィザーズ 情報処理方法、情報処理装置、情報処理システム、及びプログラム

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4763411A (en) * 1987-02-27 1988-08-16 Yazaki Corporation Process for producing a wire strand with a terminal
JPH0599945A (ja) 1991-10-09 1993-04-23 Hitachi Constr Mach Co Ltd 気流可視化装置
JP3145581B2 (ja) 1994-10-14 2001-03-12 三菱重工業株式会社 風洞実験可視化方法及び装置
JP3558012B2 (ja) * 2000-07-04 2004-08-25 村田機械株式会社 搬送システム
JP4186123B2 (ja) 2006-05-02 2008-11-26 村田機械株式会社 測定ユニットを備えた搬送システム

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106483330A (zh) * 2016-12-07 2017-03-08 中南大学 一种基于反光丝线姿态角视觉识别二维风速风向测试方法
CN113503146A (zh) * 2021-08-06 2021-10-15 新疆大学 一种深部煤层气开采气压测量装置
CN113503146B (zh) * 2021-08-06 2022-09-23 新疆大学 一种深部煤层气开采气压测量装置
CN114894428A (zh) * 2022-04-15 2022-08-12 西华大学 基于荧光微丝偏转角度的流体流动测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4437561B2 (ja) 2010-03-24
JP2009249052A (ja) 2009-10-29
US7902492B2 (en) 2011-03-08
TW200951047A (en) 2009-12-16
CN101551236B (zh) 2012-10-03
DE102009012953A1 (de) 2009-11-26
US20090241684A1 (en) 2009-10-01
TWI442040B (zh) 2014-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101551236B (zh) 气流测量设备
TWI429863B (zh) Automatic warehouse and automatic warehouse control of the clean environment
TW200806550A (en) Measuring unit and conveying system having the measuring unit
JP6907350B2 (ja) ３次元物体を付加製造するためのシステム
CN104170755A (zh) 动物饲养系统和动物饲养方法
JP6369398B2 (ja) 流量測定装置、及び処理装置
CN107209097B (zh) 洁净室的表面粒子检测用测试膜
TWI713779B (zh) 容器收納設備
CN106338105A (zh) 吸气装置以及吸气方法
CN104145182A (zh) 湿度检测装置及包括该湿度检测装置的环境试验装置
CN110352003A (zh) 吸嘴检查装置及吸嘴收纳库
US8869594B2 (en) Particle detecting device evaluating system and particle detecting device evaluating method
CN108292621A (zh) 装载端口
TW200902414A (en) Stocker for semiconductor substrate
CN104907283A (zh) 一种晶片清洁室
CN107697604A (zh) 一种自动组装玻璃片后盖装置
CN108029235A (zh) 控制装置
KR20070066706A (ko) 기류 제어 장치 및 이를 설치한 크린룸
KR20090105812A (ko) 기류 측정 유닛
CN210293987U (zh) 粉尘环境模拟设备和粉尘传输装置
CN108525942A (zh) 上浮量计算装置、涂覆装置以及涂覆方法
US20220370272A1 (en) Modular patient lift system
CN108583619A (zh) 一种钢轨超声波探伤设备
KR20240043357A (ko) 액 공급 유닛 및 기판 처리 장치
JP2016223901A (ja) 降塵異物測定システムおよび降塵異物測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20121003

Termination date: 20160331