CN101498895A - 光阻液供应回收系统及光阻液回收方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种与以往相比可大幅提高光阻液的回收效率，可降低回收成本并且提高光阻液的再利用率的系统及方法。光阻液供应回收系统包括：旋转涂布机250等光阻液涂布装置；作为规定容量的供应兼回收容器的专用容器1，其兼用于向光阻液涂布装置供应光阻液的目的、以及从光阻液涂布装置回收已用过的光阻液的目的；供应配管，其在供应光阻液时使用，可与专用容器1以气密状态连接；以及回收配管253，其在回收已用过的光阻液时使用，可与专用容器1以气密状态连接。由此，可省去使用者方面进行回收或再利用的设备负担，从而可大幅削减回收费用与劳力。

Description

光阻液供应回收系统及光阻液回收方法

技术领域

本发明涉及一种已用过的光阻液的供应回收系统及回收方法，具体涉及一种将光阻液供应到包括光阻液涂布装置的使用设施，并回收涂布后的已用过的光阻液而用于再利用等的系统及方法。

背景技术

在半导体或液晶面板等的制造步骤中，会施行在基板上涂布光阻液而曝光显影的光刻技术。伴随着近年来液晶面板等的大型化，所使用的基板也在朝大型化方向发展，因此光阻液的使用量也在增大。代表性的涂布方式有旋涂(spin coat)方式及模涂(die coat)(狭缝涂布(slit coat))方式。

在向基板涂布光阻液时，需要不少于实际涂布量的过量的光阻液，因此经常会产生剩余的已用过的光阻液。特别是使用旋涂方式时，已用过的光阻液达不可忽视的量，所以就经济方面、环境方面考虑，均期望对其有效利用而予以回收再利用。

关于上述光阻液的回收及再利用，众所周知的有如下述专利文献1、2的回收装置。所述系统是在光阻液涂布装置自身中附设回收、再生装置，通过调节粘度和过滤进行光阻液的再利用。

并且，除此以外，在包括多个光阻液涂布装置的设施内，设置共用的大规模回收生产线，以将来自多个涂布装置的已用过的光阻液统一回收到贮槽等之中，并将其送回给光阻液生产商，在光阻液生产商方面也进行再利用。

另一方面，向半导体生产商或液晶面板生产商等使用者供应光阻液通常是从光阻液生产商开始进行。这时，是使用例如专利文献3所记载的规定容量的小型专用容器。所述专用容器为双重构造，包括小型刚性容器、以及在所述刚性容器内部可装卸的由可挠性材料形成的内袋。所述专用容器可直接连接于使用者的生产线，而且操作简单，异物混入到光阻液中的危险性又小，所以已经成为主流。所述专用容器作为如下所谓可回收利用容器而使用，即，以内袋中填充着光阻液的状态而交纳给使用者，由使用者直接连接于涂布装置等的生产线而使用，当已用过(内袋为空袋)后，直接加以回收而送回给光阻液生产商等，在进行清扫等之后，再次填充光阻液。

专利文献1：日本专利特开平9-34121号公报

专利文献2：日本专利特开平11-245226号公报

专利文献3：日本专利特开平6-100087号公报

发明内容

如专利文献1或2的光阻液回收系统是基本上考虑在使用者方面的再利用。这时，再利用的光阻液的质量管理必须在使用者方面进行，所以不熟悉光阻液的使用者方面将难以稳定地进行所述质量管理。

并且，将来自多个涂布装置的已用过的光阻液统一回收到贮槽等之中，并将其送回给光阻液生产商的方法，必须在使用者方面设置回收设备，因而存在新的产生设备上的负担及管理上的负担的问题。

并且，专利文献3的专用容器说到底是光阻液的供应专用容器，完全没有设想在汲出结束后再填充已用过的光阻液等的情况，因而无法直接用作回收容器。

本发明者们为了解决所述问题而进行潜心研究，结果发现，通过将以往用作光阻液的供应专用容器的可回收利用容器也用作光阻液的回收容器，而用作供应兼回收容器，可以解决所述问题，从而完成本发明。

即，本发明的光阻液供应回收系统包括：光阻液涂布装置；规定容量的供应兼回收容器，其兼用于向所述光阻液涂布装置供应光阻液的目的、以及从所述光阻液涂布装置回收已用过的光阻液的目的；供应配管，其在供应所述光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接；以及回收配管，其在回收所述已用过的光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接。

并且，本发明的光阻液回收方法是使用规定容量的专用容器，从光阻液供应设施向光阻液使用设施供应光阻液，同时将所述专用容器用作光阻液回收容器，用来回收所述光阻液使用设施中已用过的光阻液。

本发明的特征在于，将以往用作光阻液的供应专用容器的容器用作供应兼回收容器。就该方面考虑，也可以说，本发明提供了一种新的光阻液回收方法，并且发现了以往的供应专用容器的新的用于回收的用途。

根据本发明，可以直接利用使用了可回收利用容器的现有的光阻液供应系统。所以，在使用者方面无需设置特别的回收设备或再利用设备。因此，在使用者方面的设备方面的自由度较高。具体而言，当因为现有的光阻液涂布装置的生产线配置而在空间上无法设置光阻液回收设备的情况等时，可有效利用本发明。

并且，因为可以直接使用现有的光阻液供应系统来进行回收，所以与将来自多个涂布装置的已用过的光阻液统一回收到贮槽等之中，并将其送回给光阻液生产商的现有方法相比，可以大幅削减回收费用与劳力。

再者，本发明中，将专用容器“还用作光阻液回收容器”的意思是指，只要专用容器是能够兼用于供应与回收的容器即可。因此，并未要求供应操作与回收操作在时间上相近。即，只要是将用于供应的专用容器之后用作回收容器，便在本发明的范围内。并且，以光阻液涂布装置单位来看，即便在供应容器是使用种类或容量与回收容器不同的容器的情况，只要所述供应容器之后最终在光阻液使用设施的某处用作回收容器，便仍在本发明的范围内。

根据本发明，与以往相比，可大幅提高光阻液的回收效率，可低成本地回收光阻液，并且可提高再利用率。

附图说明

图1是表示本发明的一示例的步骤图。

图2是表示专用容器(供应兼回收容器)的一实施方式的纵剖面图。

图3是将图2的开口部分加以放大表示的放大剖面图。

图4是图2的开口部分的剖面分解组装图。

图5是表示附注入排出口包装袋收容于外部容器的收容状态的图，图5(a)是表示将附注入排出口包装袋插入到外部容器的状态的局部立体图，图5(b)是表示在外部容器中收容附注入排出口包装袋后的状态的局部立体图。

图6是表示光阻液回收系统的一示例的概略图。

附图标记

1       专用容器

10      附注入排出口包装袋

11      注入排出口

12      包装袋主体

20      外部容器

21      底板

22      侧壁

23      顶板

24      开口部

24a     外螺纹

25      把手部

30      接头托架

31      管座部

32      筒部

33      第二贯通孔

34      法兰

35      第一开口

40      出液管

41      凸缘部

42      流体通道

43      第二开口

44      管子

50      第一盖

51      盖主体

52      第四开口

60      第二盖

61      封盖主体

62      衬套

63      O形环

64      通气孔

100     光阻液供应设施

111     注入排出口安装部

111a    第一贯通孔

112     注入排出口扣合部

112a    筒状部

112b    法兰部

200     光阻液使用设施

250     旋转涂布机

251     回收用槽

252     已用过的光阻液

253     回收配管

254     回收泵

255     配管

256     清洗液回收槽

257     基板

258     涂布部

259     切换阀

311     顶面

S10     光阻液填充步骤

S20     光阻液供应步骤

S30     光阻液回收步骤

S40     组成确认步骤

S50     再利用步骤

具体实施方式

以下，使用附图，对本发明的一较佳实施方式加以详细说明。图1是表示本发明的一示例的步骤图，图2是表示专用容器(供应兼回收容器)的一实施方式的纵剖面图，图3是将图2的开口部分加以放大表示的放大剖面图，图4是图2的开口部分的剖面分解组装图，图5是表示附注入排出口包装袋收容于外部容器的收容状态的图，图5(a)是表示将附注入排出口包装袋插入到外部容器的状态的局部立体图，图5(b)是表示将附注入排出口包装袋收容于外部容器后的状态的局部立体图，图6是表示光阻液回收系统的一示例的概略图。

专用容器

首先，对本发明中作为供应兼回收容器的专用容器1加以说明。如图2至图4所示，专用容器1包括：附注入排出口包装袋10，其具有可挠性；外部容器20，其具有开口部24；圆筒状的接头托架30，其保持在开口部24；出液管40，其插入到所述接头托架30的筒部32；圆环状的第一盖50，其拧接于开口部24，以将注入排出口11以及接头托架30保持在开口部24；以及第二盖60，其具有向内部凸出的衬套62。

附注入排出口包装袋10具有形成了可注入液体的开口的注入排出口11、以及用于填充光阻液的包装袋主体12。注入排出口11包括注入排出口安装部111、以及连接于所述注入排出口安装部111的一端的注入排出口扣合部112，如图4所示，所述注入排出口11通过注入排出口安装部111而热封在包装袋主体12。

外部容器20利用开口部24来支撑注入排出口11，可收纳附注入排出口包装袋10。然后，如图5所示，将附注入排出口包装袋10作为内袋而收纳于外部容器20内。如上所述，专用容器1为双重容器，外部容器20可反复使用，并且每次可使用新的附注入排出口包装袋10。

如图2所示，外部容器20优选的是使用包括底板21、侧壁22以及中央隆起的顶板23，并且在顶板23的大致中央部分形成了开口部24的钢制容器。在开口部24的外周面形成了外螺纹24a(参照图3)。并且，还可通过在侧壁22的顶板23的上方位置设置一对把手部25(参照图5)，来使搬运变得容易。作为外部容器20，可例示例如金属制、合成树脂制、瓦楞纸板等纸制的刚性容器，但并不特别限定于这些。

如图4所示，一方面在附注入排出口包装袋10的注入排出口11的开口侧形成法兰部112b，另一方面在开口部24的内壁设置阶差，通过所述法兰部112b卡止在阶差，而将注入排出口11支撑在开口部24。

下述光阻液供应步骤S20中所使用的接头包括圆筒状的接头托架30与出液管40(参照图3或图4)。在图3或图4中，接头托架30保持在开口部24。并且，接头托架30在一端侧具有大致筒状的管座部31，在另一端侧具有筒部32。此外，接头托架30具有从一端侧贯通到另一端侧的第二贯通孔33。管座部31从接头托架30的圆筒状底面内隆起。筒部32嵌合于注入排出口11的第一贯通孔111a(参照图3及图4)。

图3或图4中，出液管40的一端侧具有密接在接头托架30的管座部31的顶面311的凸缘部41。并且，出液管40的另一端侧插入接头托架30的第二贯通孔33。出液管40具有从一端延伸到另一端为止的流体通道42，并且构成为附注入排出口包装袋10内的液体能够通过流体通道42而排出(参照图2)。

接头托架30的外径稍微小于注入排出口11的内径，接头托架30嵌合于支撑在开口部24的注入排出口11(参照图3)。在接头托架30的一端侧设置着外径稍微小于开口部24的内径的法兰34，所述法兰34支承O形环，将开口部24密封(参照图3或图4)。

将第一盖50紧固在开口部24，以此将接头托架30与注入排出口11一起保持在开口部24(参照图3)。在接头托架30的底部外壁与注入排出口11的筒状部112a的底部内壁之间设置有规定间隙(参照图3及图4)。

图4中，筒部32设置成从接头托架30的底部凸出，以将筒部32嵌合于注入排出口11的第一贯通孔111a。在注入排出口11的第一贯通孔111a内部支承着O形环，通过将所述O形环密接在筒部32的外周，可以密封附注入排出口包装袋10内的气体(未图示)。第二贯通孔33从管座部31的上端贯通到筒部32的下端，将出液管40插入第二贯通孔33(参照图3及图4)。在第二贯通孔33的内壁与出液管40的外壁之间设置间隙，以能够使附注入排出口包装袋10内的气体通入到多个第二开口43(参照图3及图4)。

接头包括：第一通气单元，其可使气体从外部容器20的内部通入到开口部24；第二通气单元，其可使气体从附注入排出口包装袋10的内部通入到开口部24；以及密封开口部24的第二盖60。第一通气单元具有接头托架30的多个第一开口35。多个第一开口35从筒部32的周围连通到管座部31的顶面311。第二通气单元具有多个第二开口43。多个第二开口43设置在出液管40的凸缘部41，使开口部24与接头托架30的第二贯通孔33内部连通(参照图3及图4)。

而且，当安装第二盖60时，接头会防止液体与气体中的任一者从开口部24流出。并且，当卸除第二盖60时，在出液管40内的液体排出到开口部24之前，外部容器20内的气体以及附注入排出口包装袋10内的气体会分别通过第一通气单元以及第二通气单元而漏出到开口部24外。

第一开口35可以是从筒部32的周围贯通到管座部31的顶面311的狭缝，设置在筒部32与管座部31之间。第一开口35使设置在接头托架30与注入排出口11之间的间隙与大气实质上连通(参照图3及图4)。

如图3所示，第二开口43是形成在出液管40的凸缘部41的贯通孔，从凸缘部41的上表面贯通到出液管40的周围。图3中，在凸缘部41的下表面支承着O形环，通过使所述O形环密接在管座部31的顶面311，来密封第二贯通孔33。并且，第二开口43使设置在第二贯通孔33的内壁与出液管40的外壁之间的间隙与大气实质上连通(参照图3及图4)。如上所述，所述间隙可使气体通入到附注入排出口包装袋10的内部空间。

如图3或图4所示，接头包括与外部容器20的开口部24拧接的第一盖50、以及拧接在所述第一盖50的第二盖60。第一盖50在金属制或合成树脂制的盖主体51，呈同心圆状而形成了尺寸与接头托架30的外部尺寸大致相同的第四开口52，所述盖主体51在内侧面形成了与外部容器20的开口部24的外表面拧接的内螺纹，在外侧面形成了外螺纹。通过将第一盖50拧接并紧固在开口部24，来保持接头托架30。

第二盖60包括封盖主体61与衬套62，所述封盖主体61拧接在设置于开口部24的第一盖50，具有遮光性，所述衬套62朝封盖主体61的内部凸出，具有耐蚀性。衬套62包括O形环63，所述O形环63密接在凸缘部41的表面，而密封从流体通道42通入的气体。

封盖主体61是金属制或者合成树脂制，在封盖主体61的内周，设置着拧接于第一盖50的内螺纹。当已紧固第二盖60时，封盖主体61的内壁抵接于接头托架30的顶面311。封盖主体61具有遮光性，以使收纳于附注入排出口包装袋10内的药品不会发生化学变化。因为衬套62接触到收纳于附注入排出口包装袋10内的药品的可能性较大，所以所述衬套62优选的是由具有耐蚀性的合成树脂构成。将衬套62的一端侧压入到封盖主体61中，使衬套62与封盖主体61一体化(参照图3及图4)。衬套62的另一端侧朝封盖主体61的内部凸出，并在前端面支承O形环63。O形环63密接于凸缘部41的表面，也可以防止来自流体通道42的液体与气体中的任一者流出。

并且，在封盖主体61的侧周设置着不少于一个的通气孔64，如果解除与第一盖50的拧接，那么在出液管40内的液体排出开口部24之前，外部容器20内的气体以及附注入排出口包装袋10内的气体会分别通过第一通气单元以及第二通气单元漏出到开口部24外(参照图3或图4)。如上所述，在封盖主体61的侧周设置通气孔64，由此当松开第二盖60时，O形环63与凸缘部41的表面的密接得到解除，使得至少多个第二开口43内的气体从通气孔64排出到外部。并且，可以防止出液管40内的液体喷出。

光阻液填充步骤S10

以下，按照图1所示的步骤图，来对使用了所述专用容器1的本发明的一示例加以说明。首先，在光阻液生产商等所具有的光阻液供应设施100内所制造的光阻液是通过光阻液填充步骤S10而填充到专用容器1。再者，光阻液供应设施100只要能够向专用容器进行填充即可，不一定需要光阻液制造设备。即，光阻液供应设施100的概念也包含用来向使用者供应光阻液的中转基地。

在光阻液填充步骤S10中，专用容器1如图5(a)所示，附注入排出口包装袋10从外部容器20的开口部24插入外部容器20的内部，并且如图5(b)所示，注入排出口11安装在外部容器20的开口部24。这时，外部容器20的开口部24呈短于注入排出口扣合部112的高度方向的尺寸的大致圆筒的凸出形状，图4的法兰部112b抵接于形成在开口部24的内侧面的阶差的上周端，由此将附注入排出口包装袋10支撑在外部容器20内。

在所述状态下，首先，附注入排出口包装袋10通过从第一贯通孔111a优选导入氮气或压缩空气而膨胀。其次，在第一贯通孔111a中插入用来填充光阻液的填充用管(未图示)，通过所述填充用管来填充规定量的光阻液。由此，可以利用无污染密封系统来填充光阻液。

然后，将接头托架30插入到注入排出口11，接着，将第一盖50拧接在开口部24来固定注入排出口11以及接头托架30，而支撑附注入排出口包装袋10。然后，将出液管40的管子44插入到接头托架30的第二贯通孔33而安装出液管40，接着，将第二盖60拧接在第一盖50而密封出液管40的顶部面，以包覆开口部24。由此，专用容器1密封开口部24以及注入排出口11而形成为可以移送的状态。

光阻液供应步骤S20

其次，将专用容器1从光阻液供应设施100搬运到使用者方面的光阻液使用设施200。所述光阻液使用设施200中，具有旋转涂布机或狭缝式涂布机等一个或多个光阻液涂布装置，对于每个光阻液涂布装置，均利用实质密闭系统将专用容器1通过供应接头等而连接于供应配管，以进行光阻液的供应操作。供应接头只要能维持密闭系统即无特别限定，可使用以往众所周知的接头。

再者，进行连接时，在图2或图3中，当卸除第二盖60时，在出液管40内的液体排出到开口部24之前，外部容器20内的气体以及附注入排出口包装袋10内的气体分别通过第一通气单元以及第二通气单元而漏出到开口部24外，因此可防止出液管40内的液体排出到开口部24外。即，在所述接头中，利用第二盖60对出液管40内的液体、外部容器20内的气体以及附注入排出口包装袋10内的气体个别地加以密封。当卸除第二盖60时，出液管40内的压力、外部容器20内的压力以及附注入排出口包装袋10内的压力立即与大气压一致，因此可防止出液管40内的液体排出到开口部24外。

如上所述，当使用光阻液时，即，当汲出光阻液时，可以通过出液管40而从注入排出口11汲出光阻液。由此，汲出附注入排出口包装袋10内的光阻液，而使所述附注入排出口包装袋10成为几乎空的状态的已用过容器。当光阻液的汲出结束后，拆下供应接头并将出液管40拔出，利用第二盖60来密封开口部24。再者，这时的附注入排出口包装袋10在汲出光阻液后，最终呈收缩状态。

光阻液回收步骤S30

本发明的特征在于，将汲出所述光阻液后的专用容器1(已用过的容器)并不直接送回给光阻液生产商，而是再次在光阻液回收步骤中使用。即，将已用过容器在之后的光阻液回收步骤S30中用作回收容器。之后的间隔是根据已用过容器的数量及光阻液涂布装置的运转状况来适当设定。即，在图1中为了方便说明，是在光阻液供应步骤S20之后接着说明光阻液回收步骤S30，但是在实际的光阻液涂布装置中，S20与S30是同时并列进行，之前的光阻液供应步骤S20中所产生的已用过容器在当前的光阻液回收步骤S30中使用。以下，对回收操作加以说明。

图6所示的光阻液回收系统的一示例包括：作为光阻液涂布装置的一例的旋转涂布机250；回收配管253，其用来回收设置在旋转涂布机250的旋转部周围的回收用槽251中所产生的已用过光阻液252；回收泵254，其设置在回收配管253中；作为所述已用过容器的专用容器1，其连接于回收配管253的前端；切换阀259，其相当于本发明的切换单元，从回收配管253的中途分支；配管255，其从所述切换阀259开始与回收配管253分支而延伸；以及清洗液回收槽256，其连接于所述配管255的前端。

首先，卸除作为已用过容器的专用容器1的第二盖60之后，安装用来回收光阻液的回收用管(未图示)。构成回收接头的回收用管的结构与所述出液管40同样，可以密接插入到接头托架30的第二贯通孔33中。利用密闭系统，通过所述回收用管连接回收配管253。

当使旋转涂布机250运转时，利用基板257上的涂布部258来涂布光阻液。所述光阻液因离心力而向周围扩散，从而在回收用槽251内存积着剩余的已用过的光阻液252。在此，使回收泵254运行，以此来通过回收配管253将已用过的光阻液252回收到专用容器1。即，在专用容器1的附注入排出口包装袋10内再次填充已用过的光阻液252。

再者，如上所述，回收操作开始时的附注入排出口包装袋10通过在光阻液供应步骤S20中经过汲出步骤而呈收缩状态，仅通过再次填充并不能使袋子的容量充分恢复。因此，这时的可填充容量(可回收容量)少于预先利用氮气或空气而使附注入排出口包装袋10膨胀的光阻液供应步骤S20中的容量。然而，因为光阻液实际涂布的分量以及可回收的已用过的光阻液的量已变少，所以利用相同容量的专用容器可以足够回收与供应到涂布装置的光阻液量相当分量的已用过的光阻液。

再者，切换阀259与清洗液回收槽256用来利用稀释剂等来清洗回收配管253，在进行规定清洗操作期问，向清洗液回收槽256侧输送回收液。由此，可有效防止除了光阻液以外的污染进入到专用容器1。

结束规定量的回收之后，从专用容器1拆下回收用管，再次插入出液管40并且安装第二盖60来加以密封。将其送回给光阻液生产商等的光阻液供应设施100。由此，专用容器1发挥作为供应兼回收容器的作用而帮助提高回收效率。再者，所述光阻液回收步骤S30优选的是，与光阻液供应步骤S20同样地以光阻液涂布装置单位来进行。

组成确认步骤S40

将再次填充的专用容器1送回给光阻液供应设施100，在接收阶段进行组成确认步骤S40。所述步骤是对每个专用容器确认光阻液的组成、种类等，以避免从多个不同的光阻液使用设施200输送而来的各种光阻液的污染的步骤。对于确认方法(组成确认单元)并无特别限定，例如，可列举使用红外线或近红外线光谱法来测定浓度或种类的方法。

再利用步骤S50

然后，通过使用与光阻液供应步骤S20相同的方法，来汲出已用过的光阻液，并在再利用步骤S50中将光阻液加以再利用。对于再利用的方法、单元并无特别限定，可使用以往众所周知的方法、单元。再者，从汲出结束后的专用容器1，拆下附注入排出口包装袋10加以废弃。清洗外部容器20之后，安装新的附注入排出口包装袋10，而用于光阻液填充步骤S10。

如以上所述，根据本发明，与以往相比，可大幅提高光阻液的回收效率，可降低回收成本并且可提高光阻液的再利用率。

Claims (11)

1.一种光阻液供应回收系统，其包括：

光阻液涂布装置；

规定容量的供应兼回收容器，其兼用于向所述光阻液涂布装置供应光阻液的目的、以及从所述光阻液涂布装置回收已用过的光阻液的目的；

供应配管，其在供应所述光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接；以及

回收配管，其在回收所述已用过的光阻液时使用，可与所述供应兼回收容器以气密状态连接。

2.根据权利要求1所述的光阻液供应回收系统，其中

在所述回收配管，连接用来回收所述已用过的光阻液及/或配管清洗液的回收泵。

3.根据权利要求1或2所述的光阻液供应回收系统，其中

在所述回收配管，连接着用来回收含有配管清洗液的溶液的清洗液回收槽，并且包括用于所述供应兼回收容器与所述清洗液回收槽的切换的切换单元。

4.根据权利要求1所述的光阻液供应回收系统，其中

包括在所述回收后，分析所述已用过的光阻液的组成的组成确认单元。

5.根据权利要求1所述的光阻液供应回收系统，其中

包括在所述回收后，进行所述已用过的光阻液的再利用的再利用单元。

6.根据权利要求1所述的光阻液供应回收系统，其中

所述供应兼回收容器是包括外部容器与附注入排出口包装袋的双重容器，所述外部容器具有开口部，所述附注入排出口包装袋用作所述外部容器的内袋，是将注入排出口接合于包装袋主体而形成，

所述包装袋主体可收纳于所述外部容器内，并且所述注入排出口可装卸于所述外部容器的开口部，

于所述注入排出口，在所述供应时安装用来连接所述供应配管的供应接头，在所述回收时安装用来连接所述回收配管的回收接头。

7.一种光阻液回收方法，其使用规定容量的专用容器，从光阻液供应设施向光阻液使用设施供应光阻液，并且

还将所述专用容器用作光阻液回收容器，用来回收所述光阻液使用设施中已用过的光阻液。

8.根据权利要求7所述的光阻液回收方法，其中

在所述回收后对所述已用过的光阻液加以再利用。

9.根据权利要求7所述的光阻液回收方法，其中

所述光阻液使用设施是包括光阻液涂布装置的设施，其利用实质上的密封系统，来进行向所述光阻液涂布装置供应所述光阻液的供应操作、以及回收来自所述光阻液涂布装置的所述已用过的光阻液的回收操作。

10.根据权利要求9所述的光阻液回收方法，其中

以所述光阻液涂布装置单位来进行所述供应操作及回收操作。

11.根据权利要求9所述的光阻液回收方法，其中

所述专用容器是包括具有开口部的外部容器以及所述外部容器的内袋的双重容器，

在所述供应操作中，从填充着所述光阻液的内袋向所述光阻液涂布装置供应所述光阻液，

在所述回收操作中，向实质上为空袋的所述供应操作后的内袋中，再次填充所述已用过的光阻液。

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