CN101473192A - 度量装置 - Google Patents

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Abstract

描述了一种位置测量装置，例如六脚坐标测量机器，其包括推力框架和度量框架。所述推力框架包括通过多个动力驱动的可延伸腿部(8)与一可动平台(6)连接的载荷承载基部(10)。所述度量框架包括一度量基部(14)，其中，所述度量基部(14)通过基部安装装置例如运动学支座(16)连接到所述载荷承载基部(10)上。所述基部安装装置被布置成防止所述载荷承载基部(10)的扭曲传递到所述度量基部(14)。

Description

度量装置
技术领域
本发明涉及度量装置，具体而言，涉及具有单独的推力和度量框架的坐标测量机器，例如非笛卡尔CMM。
背景技术
各种非笛卡尔机器是已知的。例如，在专利文献US 5028180、US 5604593和US6226884中描述了六脚布置。
US 5028180描述了一种六脚机床，其包括上部可移动的平台，其通过六个液压式可延伸的腿部连接到基部上。每个动力驱动的腿部可包括一体的长度测量装置，或者可以将单独的测量腿部设置在平台和基部之间。
US 5604593描述了各种六脚坐标测量机器。在一个例子中，六脚布置包括三角形基部结构，其具有三个刚性撑杆，每个撑杆连接到角支撑元件。六个动力驱动的腿部的第一端部连接到角落支撑元件，而六个动力驱动的腿部的第二端部连接到平台。因此可以通过动力驱动的腿部的延伸或者回缩来使得平台相对于基部结构运动。使用激光干涉测量装置测量腿部的长度，该测量装置可以在基部附近或者在基部的角落支撑元件上直接安装到动力驱动的腿部上。
US6226884描述了另一种六脚布置结构，其包括六个预校准的测量杆。该结构可以放置在坐标测量机器上，以便其校准。
发明内容
根据本发明的第一方面，提供一种位置测量装置，其包括推力框架和度量框架，所述推力框架包括通过多个动力驱动的可延伸腿部与一可动平台连接的载荷承载基部，所述度量框架包括一度量基部，其中，所述度量基部通过基部安装装置连接到所述载荷承载基部上，所述基部安装装置被布置成防止所述载荷承载基部的扭曲传递到所述度量基部。
本发明因此提供具有推力框架和单独的度量框架的位置测量装置。所述推力框架包括多个动力驱动的腿部，以便提供所述可动平台相对于载荷承载基部的受控的运动。度量框架的基部通过基部安装装置与推力框架的基部连接。基部安装装置防止载荷承载基部的扭曲力传递到度量基部。
本发明因此提供位置测量装置，其中可在载荷承载结构中发生的任何载荷力不会传递到度量结构。例如，当可动平台被重新定向或者当重的物体防止在载荷承载基部上时，会在推力框架上存在作用力。本发明确保了导致推力框架的膨胀或者收缩的任何热膨胀影响不会导致度量框架扭曲。通过这种方式使得度量框架和推力框架分离，防止了度量框架的扭曲，由此确保可不会降低测量精度。
本发明可因此与上述类型的现有技术的装置相比提供精度更好的度量测量。特别的是，这种测量基本上不受在度量装置的推力框架中存在的不可避免的扭曲的影响。
有利的是，所述基部安装装置在所述载荷承载基部和所述度量基部之间提供至少三个接触点。方便的是，所述基部安装装置包括运动学支座。动力支座是优选的，尽管不是必须的，因为其限制了度量基部和载荷承载基部之间的六个自由度，而不提供任何多余的限制。
运动学支座可例如包括锥体、v形沟槽和平板布置。这种类型的运动学支座允许度量基部固定到载荷承载基部上，而载荷承载基部的任何扭曲不会传递到度量基部上。此外，这种运动学支座可允许度量基部相对于载荷承载基部精确的可重复定位。有利的是，基部安装装置保持度量基部基本上平行于载荷承载基部。
度量基部可方便地安装到载荷承载基部的底侧上。这防止了度量基部干扰对于装置的通路。为了保持度量基部和载荷承载基部接触，基部安装装置可方便地包括至少一个磁体。一个或者多个磁体可以适当地固定到度量基部和/或载荷承载基部上，使得这些基部通过磁力吸引的作用而推到一起。在这种布置中，度量基部和载荷承载基部的至少一个有利地包括适当的磁性材料。可选择的，基部安装装置可包括柔性粘接剂或者柔性机械部件，用于保持度量基部和载荷承载基部接触。有利的是，沿着一个轴是柔性的并且沿着两个轴是刚性的柔性安装部件可以被采用，其形成度量框架和推力框架之间的运动学连接。
有利的是，所述度量基部包括多个互连的撑杆。例如，可以提供这种撑杆的三角形布置。
有利的是，度量框架与推力框架的热膨胀系数不同。优选的是，所述度量框架的热膨胀系数比所述推力框架的热膨胀系数低。该度量框架有利地具有低的热膨胀系数。有利的是，度量框架的热膨胀系数低于15ppm/℃，优选低于10ppm/℃，更优选低于5ppm/℃，更优选低于3ppm/℃，更优选低于2ppm/℃，或者更优选低于1ppm/℃。
该度量框架方便地由由INVAR(TM)制成，其是镍铁合金，具有低的热膨胀系数，根据其精确组分，大约为0.5-1.5ppm/℃。可选择的是，所述度量框架可以由玻璃陶瓷材料例如ZETODUR(TM)制成。ZETODUR根据其精确组分具有大约0.02ppm/℃或者更低的热膨胀系数。这种低热膨胀系数材料可以看成比传统材料例如铝(23ppm/℃)或者黄铜(19ppm/℃)的热膨胀系数低多于一个数量级，铝或者黄铜可以用来形成推力框架。
提供由热膨胀系数低的材料(例如INVAR)制成的度量框架防止了由于温度变化而产生的明显度量误差。但是，这种材料通常难以机加工，并且通常明显比标准的车间材料例如铝贵。本发明因此结合了例如INVAR的材料的度量优点以及铝的易于制造的优点。例如，由INVAR材料制成的度量框架可以结合由传统材料例如铝制成的推力框架。
方便的是，所述度量基部通过多个可延伸的测量腿部与一可动度量平台连接。所述度量平台通过平台安装装置方便地与所述可动平台连接。所述平台安装装置优选被布置成防止所述可动平台的扭曲传递到所述度量平台。这防止了任何扭曲力从推力框架的可动平台传递到度量框架的度量平台。该平台安装装置方便地在所述载荷承载平台和所述度量平台之间提供至少三个接触点。有利的是，所述平台安装装置包括运动学支座。
通过这种方式，度量品提供被布置成与推力框架的可动平台一起运动。可以与基部安装装置类似类型的平台安装装置防止了在可动平台中的扭曲或者作用力传递到度量平台。通过这种方式，度量平台与载荷承载平台的任何扭曲隔离。该度量平台和推力框架的可动(载荷承载)平台可以通过平台安装装置而保持基本上平行。
有利的是，所述测量腿部的端部通过多个度量接头连接到所述度量基部和所述度量平台上。优选的是，所述度量接头包括球接头。球接头提供优选用于度量目的的高精度定位。
优选的是，所述动力驱动的可延伸腿部的端部通过多个载荷承载接头连接到所述载荷承载基部和所述可动平台上。所述载荷承载接头方便的是多轴旋转接头，例如胡克式(Hooke’s)接头。胡克式接头提供高载荷承载、低摩擦能力。
方便的是，一组合式枢转接头组件提供度量接头和载荷承载接头。该枢转接头组件有利地包括：多轴旋转接头部分，其提供围绕两个或者更多旋转轴的旋转运动，所述两个或者更多旋转轴基本上在一相交点相交；以及球接头部分，其包括位于所述相交点附近的球。有利的是，该组合枢转接头组件被布置成使得球接头的旋转中心与多轴旋转接头部分的旋转中心基本上一致。这种组合枢转接头组件在申请人的待审国际专利申请(PCT)(代理号：731)中进行了更详细的描述，该申请与本申请要求了共同的优先权。如果采用这种组合接头，该装置可以包括多个组合腿部，每个组合腿部包括度量结构和机械分离的载荷承载结构。这种可延伸的腿部组件在申请人的待审国际专利申请(PCT)中进行了更详细的描述，该申请要求了英国专利申请0611985.3(代理号：693)的优先权。
优选的是，所述装置包括与所述载荷承载基部连接的校准装置。优选的是，所述校准装置可相对于所述载荷承载基部可重复地定位。该校准装置可包括至少一个突出的校准构件，例如远端具有球的轴。校准装置和度量基部均可重复地(例如运动学上)连接到载荷承载基部上，提供了相对于度量基部具有已知位置的校准装置。这使得能够对使用度量框架进行的测量进行校准。
有利的是，提供用于控制所述可延伸的腿部的延伸的控制器。所述控制器可以是可适当编程的计算机。
有利的是，所述可动平台具有刚性固定到其上的轴。一测量探头可连接到所述轴上。该测量探头可以是任何已知的类型。有利的是，该测量探头包括铰接头部，以便提供触针运动的至少一个额外的旋转轴。
有利的是，所述载荷承载基部包括工件台面(花岗石板)，用于支撑待测量的物体。所述载荷承载基部可方便地包括支撑框架，例如工件台面可安装到该支撑框架上。
载荷承载基部可以直接或者通过适当的腿部放置在地板上，并且载荷车工女子平台可以位于其上方。可选择的是，载荷承载基部可以通过另一支撑结构(例如，刚性框架)支撑，在这种情况下，品改可以位于载荷承载基部下方。
优选的是，所述装置包括三个或者更多动力驱动的可延伸腿部。例如，六脚布置可以设置包括六个动力驱动的可延伸腿部。这些腿部可以包括如上所述的一体的长度测量装置，或者可以设置多个单独的测量腿部。
根据本发明的另一方面，提供一种位置测量装置，其包括推力框架和度量框架，所述推力框架包括通过多个动力驱动的可延伸腿部与一可动平台连接的载荷承载基部，所述度量框架包括一度量基部，其中，提供一安装装置，用于将所述度量基部连接到所述载荷承载基部上，所述安装装置被布置成防止所述载荷承载基部的扭曲传递到所述度量基部。
根据本发明的又一方面，提供一种位置测量装置，其包括推力框架和度量框架，其中，所述度量框架的热膨胀系数比所述推力框架的热膨胀系数低。
根据本发明的再一方面，提供一种位置测量装置，其包括推力框架和度量框架，其中，所述推力框架通过一个或者多个支撑腿部接地，其特征在于，所述度量框架直接连接到所述一个或者多个支撑腿部上。度量框架因此没有连接到推力框架上，而是连接到支撑腿部上，这些支撑腿部保持度量框架与地(例如地板)分开。这种布置防止了由于施加在推力框架上的载荷对度量框架产生任何变形。
根据本发明的另一方面，提供一种用于包括度量基部和载荷承载基部的坐标测量机器的基部部分，该度量基部可连接到多个测量腿部上，该载荷承载基部可连接到多个动力驱动的腿部上，其中，该度量基部通过基部安装装置固定到载荷承载基部上，该基部安装装置防止任何扭曲力从载荷承载基部传递到度量基部。
附图说明
现在将借助示例，参照附图来更详细描述本发明，其中：图1示出了包含本发明枢转接头的六脚CMM的侧视图；
图2示出了图1所示六脚仪的俯视图；
图3更为详细地示出了图1和图2中所示类型的动力驱动的可延伸的腿部；
图4示出了本发明具有分开的载荷承载路径和度量路径的枢转接头；
图5示出了本发明具有分开的载荷承载路径和度量路径的又一枢转接头；
图6示出了本发明的又一六脚CMM；以及
图7示出了本发明的具有分开的度量框架和载荷承载框架的六脚CMM。
具体实施方式
参照图1和图2，示出了六脚坐标测量机器2。特别是，图1和2分别示出了六脚CMM2的侧视图和俯视图。
六脚CMM2包括被6条可延伸的腿部8隔开的基部部分4和可动平台部分6。
基部部分4包括载荷承载基部10，诸如花岗石板，经由多条支撑腿部12接地。包括INVAR撑杆15的三角框架的度量基部14借助支座(mount)16安装在载荷承载基部10的下方。每个支座16包括磁体和运动学定位装置。支座16布置成确保度量基部14相对于载荷承载基部10保持在良好限定、可重复的位置，以使不会有力或载荷从载荷承载基部10传递到度量基部14。还设置有三个枢转接头18，以单独将载荷承载基部10和度量基部14连接到可延伸的腿部8。
可动平台部分6包括载荷承载平台20和度量平台22。度量平台22包括INVAR撑杆23的三角框架，并借助支座30连接到载荷承载平台20。支座30相对于度量平台22定位载荷承载平台20，但是布置成使得没有载荷从载荷承载平台20传递到度量平台22。还设置有3个枢转接头32，以单独将载荷承载平台20和度量平台22连接到可延伸的腿部8。在本例中，支座30和枢转接头32与基部部分的支座16和枢转接头18的类型相同。
轴24连接到载荷承载平台20的下方，并布置成保持带有触针28的测量探头26，触针28具有球形触针末梢。测量探头可以是接触触发式探头或者任何已知类型的探头。
连接基部部分4和可动平台部分6的六条可延伸的腿部8中的每一条均具有载荷承载结构(以虚线32表示)和度量结构(以实线34表示)。腿的度量结构34与载荷承载结构32机械隔离。可延伸的腿部8还包括驱动装置(例如，马达)以伸展/收缩所述腿。腿8的度量结构34由INVAR形成，还包括测量腿长的装置(例如，光学编码器)。可延伸的腿部8的结构以下将参照图3更为详细地描述。
基部部分4的接头18和可动平台部分6的接头32允许载荷承载基部10经由可延伸的腿部的载荷承载结构32连接到载荷承载平台20。相同的接头18还允许度量基部14经由腿的度量结构34连接到度量平台22。接头和腿的布置提供了单独的载荷承载和度量框架，从而确保了载荷承载部件的任何变形不会导致度量框架变形。此外，度量框架(即，度量基部14，度量平台22和可延伸的腿部的度量结构34)全都由INVAR(TM)形成。INVAR热膨胀系数较低，且度量框架因此基本上不会受到热学环境的任何改变的影响。度量框架和载荷承载框架之间的运动支座16和30也保证了装置载荷承载部件的热膨胀不会引发度量框架发生任何扭转变形。
使用中，待测量物体(例如，工件)置于载荷承载基部10上。每条可延伸的腿部8的长度由相关联的计算机控制器25控制。改变各条腿的长度允许可动平台部分6以及轴24相对于基座移动。这种布置允许测量物体的形状。
参照图3，示出了上述六脚仪的可延伸的腿部8。
可延伸的腿部8包括外部管状部分40和内部管状部分42。内部管状部分42可以在外部管状部分40内滑动，从而形成伸缩式可延伸的腿部。驱动装置44允许腿根据需要伸展和收缩。图3中示意性地示出了驱动装置44，该装置可以包括任何在内部管状部分和外部管状部分之间引入轴向相对运动的布置。例如，驱动装置可以是液压活塞、螺旋起重器，或者可以包括电子驱动布置。在使用中，驱动装置44导致可延伸的腿部伸展和收缩，从而根据需要促使基部部分4和可动平台部分6分开，或者将它们拉在一起。经由管状部分传递载荷通过可延伸的腿部8。
除了管状(载荷承载)部分40和42之外，可延伸的腿部8还包括单独的度量结构。度量结构包括第一度量构件46和第二度量构件48。
第一度量构件46是细长构件，其上形成光学刻度(scale)。第一度量构件46的第一端沿着腿8轴线的运动仅限制在接头32附近。第一度量构件46的第二端自由纵向运动，但是其可以受到周围内部管状部分42的支撑，从而阻止横向运动。
第二度量构件48也可以是细长构件形式。第二度量构件48的第一端沿着腿8轴线的运动仅限制在接头18附近。第二度量构件48的第二端因此纵向自由移动，但是其可以被周围外部管状部分40支撑，从而阻止径向运动。第二度量构件48的第二端携带光学读取头43，该光学读取头适合读取第一度量构件46上的光学刻度。这样，可以测量第一构件和第二构件之间的任何相对运动。虽然在图3中示出了光学刻度和读取头布置，但是应该注意，也可以替换地使用非光学式位置编码器(例如，磁性或电容式系统)。
第一度量构件46和第二度量构件48由INVAR制造，如上所述，这是一种热膨胀系数较低的材料。而且，应该记得，第一度量构件46和第二度量构件48并不受到腿的内部管状部分40和外部管状部分42的轴向约束。因此，内部管状部分40和外部管状部分42的任何热膨胀或变形都不会传递到第一度量构件46和第二度量构件48。
每条可延伸的腿部8因此具有一体的度量装置来测量长度，该装置不会受到腿的载荷承载结构的任何热膨胀或收缩的影响。因此，这种布置提供了一种不传递载荷的度量结构。换句话说，可延伸的腿部8可以说是包括了独立于度量结构(即，度量构件46和48)的载荷承载结构(即，管状部分40和42)。
现在参照图4，更为详细地示出了上述六脚仪的接头32。如上所述，接头32允许两条可延伸的腿部8a和8b的载荷承载结构和度量结构分别连接到载荷承载平台20和度量平台22。
接头32布置成接收第一载荷承载端构件60a，该构件位于可延伸的腿部8a的内部管状部分42的端部。腿8a的度量构件46a也被接头32接收。第二载荷承载端构件60b和度量构件46b也从第二可延伸的腿部8b接收。
接头32包括中央载荷承载结构64，其锚定到载荷承载平台20。第一托架66经由轴承68安装到中央载荷承载结构64，以使第一托架66可以围绕第一旋转轴线A转动。第一载荷承载端构件60a带有凸起，该凸起允许该第一载荷承载端构件经由轴承70安装到第一托架66，以使该第一载荷承载端构件可以围绕第二旋转轴线B转动。轴线A和B基本上相交于C点，接头32因此允许第一载荷承载端构件60a围绕交点或中点C以两个旋转自由度旋转。
第二托架80也经由轴承82安装到中央载荷承载结构64，以使第二托架80可以围绕基本上与第一旋转轴线A重合的轴线转动。第二载荷承载端构件60b带有凸起，以使第二载荷承载端构件60b可以经由轴承84旋转安装到第二托架80，从而使第二载荷承载端构件60b可以围绕基本上也相交于中点C的另外的旋转轴线D转动。这样，接头32允许第二载荷承载端构件基本上围绕中心C以两个旋转自由度旋转。
中央载荷承载结构64具有孔，立杆或细长构件90由该孔通过。细长构件90一端连接到度量平台22，而另一端带有球体92。球体92中心布置成基本上与中心C重合。两条可延伸的腿部的度量构件46a和46b与球体92直接接触。可以设置适当的套节(未示出)来保持度量构件46a和46b的端部与球体92接触，或者可以偏压度量构件(例如，以弹簧加载)来提供这种接触。虽然细长构件90穿过中央结构64的孔，但是应该注意，其可以穿过接头结构的任何适当的部分。
接头32允许以上参照图3所述的两条可延伸的腿部连接到载荷承载平台和度量平台。外部胡克式式接头布置提供了载荷承载连接，同时经由球接头提供了度量路径。
在本例中，基部部分4的接头18的结构类似于可动平台部分6的接头32的结构，接头18提供与载荷承载基部10和度量基部14的单独的连接。
参照图5，示出了参照图4所述的接头的变体。图5所示的接头100适合将单条可延伸的腿部连接到载荷承载平台和度量平台。在实施参照图1至4所述的六脚仪方案的变形方案时，可能需要这样做，例如，在申请人的国际(PCT)专利申请中描述的那种六脚仪中，该国际专利申请要求英国专利申请0611979.6(代理人文档691)的优先权。
接头100包括托架102，该托架经由轴承106安装到中央载荷承载结构104，以使其可以围绕第一旋转轴线A转动。载荷承载结构104安装到载荷承载平台105。可延伸的腿部的载荷承载端构件108带有凸起，以使其可以经由轴承110旋转安装到托架102，从而可以围绕第二旋转轴线B转动，轴线A和B基本上相交于C点。这样，接头100允许载荷承载端构件108围绕中心C以两个旋转自由度旋转。
中央载荷承载结构104具有孔，细长构件112穿过该孔。细长构件112一端连接到相关联的度量平台114，而另一端带有球体116。球体116中心布置成基本上与中心C重合。可延伸的腿部的度量构件46可以直接接触球体116。可以设置适当的套节(未示出)，以保持度量构件46的端部与球体116接触，或者可以将度量构件以弹簧加载，以提供这种接触。
参照图6，，其示出了本发明的一种替代的六脚结构130。该六脚结构130包括可动平台部分6和可延伸的腿部8，这些腿部与前面描述的类似。六脚结构130还包括基部134，其具有在前面描述的基础上改进的构造。
该基部134包括载荷承载基部框架136，载荷承载基部框架136具有三个突出的支撑臂138。该基部框架136通过支撑腿部142来支撑工件台面140。度量基部144通过支座146连接到工件台面140的底侧，这些支座146确保了度量基座相对于载荷承载基座的工件台面140保持在良好限定的位置，而不会对其传递任何载荷。
载荷承载基部框架136的突出的支撑臂138每个都带有接头148。该接头148是与前面参照图4描述的接头相同类型。形成为支撑撑杆的三角布置的度量基部144还包括终止于接头148的臂150。与前面描述的方式类似，载荷承载基部框架136和度量基部144因此分别连接到臂8的载荷承载和度量结构上。
也示出了校准装置152，其可以通过支座154运动学地位于工件台面140上。校准装置152包括直立的校准构件156，该构件在远端具有校准球158。校准装置152允许确定相对于度量基部144的可重复的参考位置。在使用中，从设备去除校准装置152，对象直接位于工件台面140上。
上面尽管描述了提供一体的载荷承载和支撑腿部，可以采用类似的布置，其采用空间上分开的度量和载荷承载框架。将参照图7描述这种装置。
参照图7，其示出了六脚CMM，其具有基部170和可动平台部分172。基部170包括度量基部174和载荷承载基部176。载荷承载基部176通过支撑件178接地，度量基部174通过支座180连接到载荷承载基部176上。制鞋支座包括磁体和运动学定位装置，使得度量基部174相对于载荷承载基部176保持在限定的位置，而没有载荷从载荷承载基部176传递到度量基部174。
可动平台部分172包括通过支座190与载荷承载平台188连接的度量平台186。支座190包括运动学定位装置，使得度量平台186相对于载荷承载平台188保持在限定的位置，而没有载荷从载荷承载平台188传递到度量平台186。轴192安装到载荷承载平台188底侧，并且带有测量探头194，该探头194具有触针196。
三个胡克式接头182设置在载荷承载基部176上，三个胡克式接头198设置在载荷承载平台188上。可延伸的动力驱动腿部184设置在基部的胡克式接头182和可动平台的胡克式接头198之间。每个胡克式接头被布置成接收两个动力驱动的腿部1874，以便提供六脚推力框架。动力驱动的腿部184可因此相对于基部174驱动可动平台部分172的位置。
三个球接头200设置在度量基部174上，另三个球接头202设置在度量平台186上。六个测量腿部204在度量基部174和度量平台186的接头之间延伸。每个测量腿部204包括用于测量其长度的装置。测量每个测量腿部204的长度因此允许确定度量基部174相对于度量平台186的位置。这又允许测量可动平台部分172相对于基部174的位置。

Claims (25)

1.一种位置测量装置，其包括推力框架和度量框架，所述推力框架包括通过多个动力驱动的可延伸腿部与一可动平台连接的载荷承载基部，所述度量框架包括一度量基部，其中，所述度量基部通过基部安装装置连接到所述载荷承载基部上，所述基部安装装置被布置成防止所述载荷承载基部的扭曲传递到所述度量基部。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述基部安装装置在所述载荷承载基部和所述度量基部之间提供至少三个接触点。
3.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述基部安装装置包括运动学支座。
4.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述基部安装装置包括至少一个磁体。
5.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述度量基部包括多个互连的撑杆。
6.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述度量框架的热膨胀系数比所述推力框架的热膨胀系数低。
7.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述度量基部通过多个可延伸的测量腿部与一可动度量平台连接，其中，所述度量平台通过平台安装装置与所述可动平台连接，所述平台安装装置被布置成防止所述可动平台的扭曲传递到所述度量平台。
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述平台安装装置在所述载荷承载平台和所述度量平台之间提供至少三个接触点。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述平台安装装置包括运动学支座。
10.根据权利要求7到9中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述测量腿部的端部通过多个度量接头连接到所述度量基部和所述度量平台上。
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述度量接头包括球接头。
12.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述动力驱动的可延伸腿部的端部通过多个载荷承载接头连接到所述载荷承载基部和所述可动平台上。
13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述载荷承载接头是胡克式接头。
14.根据引用权利要求10或11时的权利要求12或13所述的装置，其特征在于，一组合式接头提供度量接头和载荷承载接头。
15.根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述装置包括多个组合腿部，每个组合腿部包括度量结构和机械分离的载荷承载结构。
16.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述装置包括与所述载荷承载基部连接的校准装置，其中，所述校准装置可相对于所述载荷承载基部可重复地定位。
17.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述装置包括用于控制所述可延伸的腿部的延伸的控制器。
18.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述可动平台具有刚性固定到其上的轴，其中，一测量探头连接到所述轴上。
19.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述载荷承载基部包括工件台面。
20.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述载荷承载基部包括支撑框架。
21.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述装置包括三个或者更多动力驱动的可延伸腿部。
22.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述装置包括六个动力驱动的可延伸腿部。
23.一种位置测量装置，其包括推力框架和度量框架，所述推力框架包括通过多个动力驱动的可延伸腿部与一可动平台连接的载荷承载基部，所述度量框架包括一度量基部，其中，提供一安装装置，用于将所述度量基部连接到所述载荷承载基部上，所述安装装置被布置成防止所述载荷承载基部的扭曲传递到所述度量基部。
24.一种位置测量装置，其包括推力框架和度量框架，其中，所述度量框架的热膨胀系数比所述推力框架的热膨胀系数低。
25.一种位置测量装置，其包括推力框架和度量框架，其中，所述推力框架通过一个或者多个支撑腿部接地，其特征在于，所述度量框架直接连接到所述一个或者多个支撑腿部上。
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