JP3939935B2 - パラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置 - Google Patents

パラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リンク機構を並列に連結した、いわゆるパラレルメカニズムを用いた機械のフレームの変形挙動を計測して、工作物とツール間等の精度向上を図るパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、産業用ロボットや工作機械の分野において、リンク機構を並列に連結したパラレルメカニズムの研究が盛んに行われている。従来の積重ね構造からなる直交座標型工作機械やアーム型ロボット等のシリアルメカニズムと比較して、梁構造でなく剛性の高いトラス構造であり、各軸の質量が累積せず移動速度も高く、各軸の位置決め誤差が累積せず精度の平均化が可能で、精密機械の基本であるアッベの原理(三次元座標測定機における測定点を測長ユニット(スケール)の延長線上として、測定値を機構の姿勢変化の影響を受けにくくして測定誤差を少なくできる。)を満たすことができる、等の特長があり、剛性、精度、運動速度等の面で有利であるからである。そして、測定機器や工作機械の運動精度向上のためには、ツールと工作物の相対位置関係が安定していることが重要であり、そのために、各々の構成要素の運動精度の向上のみならず、それらを保持するベースやコラム等の静的な構造物つまり機械のフレーム側が静的にも動的にも安定していることが不可欠である。
【0003】
そのようなパラレルメカニズム型工作機械の代表的な例として図11に示したようなものがある。これは一般的な6自由度のもので、ベース1とフレーム2によって6個の球面ジョイント3が支持されているが、負荷や工作時の熱的なフレームの変形により、これら球面ジョイント3の位置は稼働中に変位する。ツール4を搭載したエンドエフェクタ5は、ユニバーサルジョイント6およびアクチュエータ8により伸縮する直動ジョイント7(パラレルメカニズムの閉リンク機構を構成する)を介して球面ジョイント3に接続される。前記ユニバーサルジョイント6、直動ジョイント7、球面ジョイント3およびアクチュエータ8はそれぞれ6組配設され、エンドエフェクタ5を中心に並列的に配置される。6個のアクチュエータ8によって6本の直動ジョイント7をそれぞれ伸縮させることによって、エンドエフェクタ5は3次元空間内を並進3方向および回転3方向に6自由度の運動を行う。また、ワーク9は定盤10を介してベース1上に固定され、一般的な6自由度のパラレルメカニズム型機械では、図示のように球面ジョイント3が2個ずつ対となり、円周上120°間隔で配置されることが多い。
【0004】
しかしながら、このようなパラレルメカニズム型機械や一般の直交座標型機械等においては、実際には、図12に示すように、基礎部側から伝わる外乱や切削抵抗等の加工負荷によりフレーム(ベース、コラムおよびビーム等)は変形し、その結果、工作物とツールとの間の相対的位置に誤差を生じる。さらには、室温変動や加工時に発生する熱等によりフレームが熱変位を引き起こして、同様に工作物とツールとの間の相対位置精度が低下する虞れがあった。従来の技術では、このような力学的変形を最小限に抑制するために、フレーム部の断面積を増大させたり、剛性を高くして対処してきた。あるいは、熱変位を抑制するために、フレームとしてコンクリートのような熱膨張率の小さな材料を用いたり、フレーム部に温度センサや室温センサ等を設置して熱変形を補償することが行われている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような従来の解決手段では、フレームの剛性を高くしようとすればする程、機械構造物が重厚長大化する傾向にあり、装置自体の質量が大きくなって、自重による基礎部の変形や部材自体の変形を招く虞れがあった。さらに慣性質量の増加によって、運動精度が低下する弊害も生じている。また、有限個の温度センサによる熱変形予測では、構造物のごく一部の局所的な温度しか計測できないため、全体の変形を高精度にて予測することは困難であった。しかも、一般的な梁構造のフレームの場合、熱変形は部材の長さ方向だけでなく、撓みとしても発生するため、梁構造が積み重なった複雑な構造物の熱変形挙動の把握はさらに複雑で、その予測は著しく困難となっている。また、熱膨張率の低い材料は一般に熱伝達率が小さいため、急激な室温変動があった際には、部材の内外および部材間での温度差が生じて熱変形の予測は困難を究めた。したがって、温度センサによる変形補償は、温度の時間的変化の勾配が比較的緩やか場合に限定されてしまっていた。
【0006】
そこで、本発明では、リンク機構を並列に連結したパラレルメカニズムでは、そのメカニズムを支持するフレーム部が、有限個(通常3〜6個)の取付部を介してメカニズムのジョイントと接続されていることに着目して、ジョイント取付部相互間と工作物を固定する定盤側間との力学的および熱的変形による相対的変位・姿勢変化を計測、補正することによって、構造物の形状、剛性に関わりなく、工作物とツールとの間の相対的位置・姿勢精度を向上させることを可能にしたパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
このため、本発明が採用した技術解決手段は、
パラレルメカニズムを支持するフレーム変形の影響を排除するためのパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法であって、前記フレーム上に前記パラレルメカニズムを支持するための少なくとも3個のジョイント取り付け部を設け、前記フレーム上にある定盤上に少なくとも3個の基準点を設け、前記取り付け部同士間の距離及び前記取り付け部と前記基準点間の距離をセンサで測定し、前記センサからの測定結果をもとにフレームの位置・姿勢の変化を求めることを特徴とするパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法である。
また、パラレルメカニズムを支持するフレーム変形の影響を排除するためのパラレルメカニズムのフレーム変形補正装置であって、前記フレーム上に前記パラレルメカニズムを支持するための少なくとも3個のジョイント取り付け部を設け、前記フレームを支持する定盤上に少なくとも3個の基準点を設け、前記取り付け部同士間の距離及び前記取り付け部と前記基準点との距離を測定するセンサを配置したことを特徴とするパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置である。
また、前記距離を測定するセンサは、前記取り付け部と前記基準点間との間に配設した熱膨張係数がほぼ0の材料からなるロッドの軸方向の変位を検出する変位センサであり、前記変位センサから得られた軸方向の変位をもとにフレームの位置・姿勢の変化を求めることを特徴とするパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置である。
また、前記ロッドは、フレームにおけるジョイント取付部と定盤側との間の最短距離を結んで配設されたことを特徴とするパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置である。 また、前記ロッドが、フレームにおけるジョイント取付部と定盤側との間を他の部材と干渉せぬように迂回形態に結んで配設されたことを特徴とするパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置である。
また、前記センサはレーザー干渉測長器であることを特徴とするパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置である。
【0008】
【実施の形態】
以下、本発明におけるパラレルメカニズムのフレーム変形補正方法およびその装置の実施の形態について詳細に説明する。図1および図2は本発明の第1実施の形態を示すもので、図1(A)は工作物を固定する定盤と球面ジョイントの位置関係図、図1(B)は本発明におけるパラレルメカニズムのフレーム変形補正装置の要部斜視図、図2は各球面ジョイント取付部の座標位置およびその位置ベクトルを説明する図である。本発明は、図1(A)(B)に示すように、有限個の取付部14を介してジョイント(対偶)3と接続されて静的なフレーム2に支持され、閉リンク機構(後述するリンク部分:直動ジョイント7)を並列に連結したパラレルメカニズムにおいて、前記ジョイント取付部14相互間と工作物を固定する定盤10間の相対的変位・姿勢変化を複数個の変位センサ17を用いてインプロセス計測するとともに、前記工作物とジョイント3間の相対位置関係を修正することによって、工作物とツール間の相対的位置・姿勢精度を向上させることを特徴とするパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法にある。
【0009】
次に、本発明の原理について説明する。図1(A)は工作物を固定する定盤10と球面ジョイント3の位置関係を示すもので、これらの球面ジョイント3の位置を3個の基準点11で代表させる。さらに、定盤の位置と姿勢を表すために定盤10上の3か所の基準点12を設置する。このようにすれば、定盤10から見た3つの球面ジョイント取付部基準点11の座標位置は、図1(A)中の3本の破線で示した各ジョント取付部基準点11間の距離、6本の一点鎖線で示したジョイント取付部基準点11と定盤10上の各基準点12との距離および3本の二点鎖線で示した定盤10上の各基準点12間の距離の合計によって一義に決定される。以上の幾何学的関係は、図2に示す8面体として表される。
【0010】
したがって、パラレルメカニズムとしての機械の稼働中の負荷変動等や温度変動に起因するフレーム2の変形による球面ジョイント取付部4の3次元的な変位は、以上の合計12本の破線、一点鎖線および二点鎖線で示した12の距離の微小な変化を、12個の変位センサ等で稼働中計測、すなわちインプロセスで計測することによって求めることができる。球面ジョイント3の正しい座標位置が求められれば、パラレルメカニズムの運動学式中の球面ジョイント3の座標位置のパラメータを修正することにより、切削等工具であるツール位置およびその姿勢の補正制御を容易に行うことが可能となる。
【0011】
以下に、球面ジョイント3の座標位置を求める数学的な式について説明する。図2(A)(B)に示すように、3つの球面ジョイント取付部基準点11を含む平面をxS −yS 面とする座標系をΣS とし、3つの定盤基準点12を含む平面をxB −yB 面とした座標系をΣB とする。座標系ΣS から見た3つの球面ジョイント取付部基準点11を位置ベクトル SSi={xSi,ySi,0}T (但しi=1、2、3)で表し、座標系ΣB から見た3つの定盤基準点12を位置ベクトル BBi={xBi,yBi,0}T (但しi=1、2、3)で表わすものとする。定盤座標系ΣB から見た座標系ΣS の位置を表す位置ベクトルと姿勢を表す回転変換行列をそれぞれ、 BS および BS とすると、定盤座標系ΣB から見た球面ジョイント取付部基準点11の座標を示すベクトル BSiは以下の式で表される。
BSi BS BS SSi
【0012】
また、3つの球面ジョイント取付部基準点11間の距離をlSi(但しi=1、2、3)、定盤基準点12間の距離をlBi(但しi=1、2、3)とし、各座標系の原点を基準点からなる三角形の重心に設定すれば、辺の長さlSiおよびlBiから各基準点の座標 SSiおよび BBiは容易に算出できる。これらの球面ジョイント取付部基準点11から定盤基準点12までの距離をli (但しi=1〜6)とすると、以下の6個の方程式が得られる。
l1=| BS1B B1|, l2=| BS1B B3|, l3=| BS2B B1|, l4=| BS2B B2|, l5=| BS3B B2|, l6=| BS3B B3
【0013】
距離li を用いて定盤座標系ΣB から見たΣS の位置 BS と姿勢 BS を求める。つまり、6個の未知数を求めるためには、以上の非線形連立方程式を数値解法で解く必要があるが、これは代表的な6自由度のパラレルメカニズムの運動学の式と同一である。あるいは、以上の球面ジョイント取付部基準点11から定盤基準点12までの距離li の変化Δli が微小であることを利用し、ヤコビ行列を用いた微小運動学を用いて、Δli が発生したときの位置と姿勢の変化ΔX={Δx,Δy,Δz,Δα,Δβ,Δγ}T を求めることも可能である。すなわち、距離の変化Δli と位置と姿勢の変化ΔXの関係は、ヤコビ行列Jを用いて以下の式で表される。
Δli =JΔX
この6×6行列であるJは容易に求めることができる。このヤコビ行列の逆行列J-1を用いれば、
ΔX=J-1Δli
となり、距離の変化Δli から位置、姿勢の変化ΔXは容易に求められる。
【0014】
以上では、球面ジョイントは6個あり、2個ずつ計3組の位置を基準点3個で近似させている。したがって、2個の球面ジョイントの位置と基準点11は互いに接近させる方が都合がよい(図1(A)参照)。あるいは、2個ずつ球面ジョイント3を取り付ける部材14を、スーパーインバーのような熱膨張係数がほぼ0の材料として、充分な剛性を持たせて製作すれば、球面ジョイント3の座標位置の移動量は基準点11の座標位置の移動量と殆ど一致させることができる。さらに、定盤基準点12間の距離は他の距離と比較して小さいため、同様に熱変形の殆どないスーパーインバー等で定盤基準点を強固に連結すれば、定盤基準点間の距離をセンサで測定する必要がなくなる。この場合、必要な変位センサの数は9となる。
【0015】
図1(B)は、本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第1実施の形態を示すもので、スーパーインバーロッド13を用いてジョイント取付部と定盤基準点間の距離li (i=1〜6)の変動を測定するものである。簡単のため、図1(A)における一点鎖線1本の場合について描いてある。2個1組の球面ジョイントはスーパーインバー製のジョイント取付部14に固定され、2個の球面ジョイント間の相対的な変位を最小にしておく。同様に、定盤側の基準点12も定盤に取り付けたスーパーインバー製の定盤基準プレート15上に設置して、基準点間の相対的な熱変位等を最小としておく。次に、スーパーインバーロッド13の一端をジョイント取付部14に固定する。端部に曲げモーメント等が作用しないように、弾性ヒンジ等の対偶を介して取り付けることが望ましい。さらに、他端がロッドホルダ16を介して定盤基準プレート15に接続される。
【0016】
スーパーインバーロッド13の定盤側の端部はロッドホルダ16内で軸方向に移動可能であるため、このロッドホルダ16に取り付けられた変位センサ17を用いてロッド13の軸方向変位を計測できる。このとき、ジョイント取付部14のロッド軸に直角方向の変位成分は変位センサ17では検出されない。また、機械稼働中において、ロッド13を変形させるような力は作用しないため、ロッドの長さは変化しない。さらに、室温や機械温度が変動した場合もロッド13は伸縮しないため、ジョイント取付部14と基準プレート15との間の直線距離の変動を正確に変位センサ17で測定することができる。本実施の形態では、変位センサ17は定盤基準プレート15側に設置したが、ジョイント取付部14側に設置した場合も、全く同一の測定が可能であることは言うまでもない。また、機械稼働中に風圧や切削液、切り屑等の付着等が予想される場合には、ロッド13に対してカバーを設置することもできる。さらに、ロッド13自体の自重によりロッドが静的に撓む場合があるが、この場合のロッドの全長の長さの変化は一般的に僅少で、その量は一定であるためこれは無視できる。
【0017】
図3は、本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第2実施の形態を示すもので、ロッドのジョイント取付部14側において、球面ジョイント3やパラレルメカニズムのリンク部分と干渉する虞れのある場合には、パラレルメカニズムのリンク機構部分を回避させる迂回形態にて、スーパーインバーロッド13を配設したものである。この場合においても、ロッド13のジョイント取付側固定部のa方向(軸方向)の変位のみがロッド下部に現れ、r方向(軸に直交)の変位は現れないため、球面ジョイント取付部14と定盤基準点12との間の直線距離の変動を変位センサ17にて正確に測定することができる。以上、第1および第2実施の形態では、スーパーインバーロッド13と変位センサ17を用いて距離の変動を測定する方法を示したが、直線距離の変動を測定する形態は種々の方法が採用され得る。
【0018】
図4は、本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第3実施の形態を示すもので、本実施の形態では、前記フレーム2における球面ジョイント取付部14と工作物を固定する定盤10側とのいずれかに、これらの間の距離を計測するレーザー干渉測長器8を設置したことを特徴とするものである。つまり、図示の例では、球面ジョイント取付部14側にレーザー干渉測長器8を設置するとともに、ベース1上における定盤10の基準プレート15上にコーナーキューブミラー19を設置し、前記レーザー干渉測長器8から照射されたレーザー光をコーナーキューブミラー19にて反射させて、再びレーザー干渉測長器8にて受光することにより、球面ジョイント取付部14と定盤10側との距離の変動を測定するものである。
【0019】
図5は、本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第4実施の形態を示すもので、本実施の形態では、球面ジョイント取付部基準点14間の距離lSi(i=1〜3)の変動を計測する。図はフレーム部分2を上方から見た平面図で、フレーム2における複数のジョイント取付部14における隣接する一対のジョイント取付部14相互間にスーパーインバーロッド13を配設するとともに、前記一対のジョイント取付部14のいずれか一方にスーパーインバーロッド13の変位を検出する変位センサ17を設置したことを特徴とする。つまり、スーパーインバー製ジョイント取付部14にスーパーインバーロッド13の一端を固定するとともに、他端をロッドホルダ16を介して他のジョイント取付部14に設置する。スーパーインバーロッド13にはフレーム2にかかる負荷等の力は加わらず、熱膨張率もほぼ0であるため、フレーム2の伸縮等によってジョイント取付部14が変位する際の変形量を変位センサ17で正確に測定できるものである。前述の定盤基準点14間の距離lBi(i=1、2、3:図1(A)の二点鎖線)の変動も図5の本実施の形態の方法によって正確に測定できることは言うまでもない。また、このような基準点間の距離lSiおよびlBiの変動の測定においても、図4に示したレーザー干渉測長器のような光学的測定機を用いることができることは言うまでもない。
【0020】
図6は、本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第5実施の形態を示すもので、前述の各実施の形態では6自由度のパラレルメカニズムに適用した例を説明してきたが、本実施の形態では、少なくとも3自由度を有するリンク機構を並列に連結したことを特徴とするものである。図6の実施の形態のものでは、球面ジョイント3は原理上3個であるため、前述の図2における8面体そのものとなり、取付部基準点1か所当たりのジョイントが1個となり、構造的に簡略化している。
【0021】
図7は、本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第6実施の形態を示すもので、リンク機構を並列に連結したパラレルメカニズムにおいて、前記パラレルメカニズムの閉リンク機構を構成するリンク部分(直動ジョイント7)の基部をワークを支持するベース1に球面ジョイント3により取着するとともに、前記リンク部分7の先端部分側に支持されたツール4を移動可能に構成し、前記ワークを支持する基準プレート15とベース1との間に変位センサ17を設置したスーパーインバーロッド13を配設したことを特徴とする。つまり、球面ジョイント3をベース1面近くに配設したもので、ジョイント取付部(3)と定盤基準点(15)間の距離li (i=1〜6)の変動を測定する。
【0022】
図8は、本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第7実施の形態を示すもので、リンク機構を並列に連結したパラレルメカニズムにおいて、前記パラレルメカニズムの閉リンク機構を構成するリンク部分(7)の基部をベース1に球面ジョイント3により取着するとともに、前記リンク部分(7)の先端部分側にワーク9を支持するエンドエフェクタ5を取着し、前記ベース1と静的なフレーム2との間に変位センサを設置したスーパーインバーロッド13を配設したことを特徴とする。つまり、ツール4を支持している主軸にスーパーインバー製基準プレート15を設置することで、球面ジョイント取付部基準点11との距離の変動を測定するものである。本実施の形態ではワーク9が移動する。
【0023】
図9は、本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第8実施の形態を示すもので、図9(A)に示したものは、球面ジョイント取付部基準点を6点とし、スーパーインバーロッド13を6本によって定盤上基準点12間を連結することによっても、同様の効果を得ることができる。つまり、定盤に設置した座標系ΣB に対するジョイント取付部の座標系ΣS の位置と姿勢の微小な変化ΔXは、6本のスーパーインバーロッドを用いて求めることができる6組の基準点間の距離li の変化Δli から求めることができるからである。図9(B)に示したものは、定盤上基準点12を6点としたもので、このように構成しても全く同様の効果が得られる。以上の実施例では、低熱膨張材料としてスーパーインバー(鉄−ニッケル系合金)を用いているが、その他の低熱膨張材料、例えば低膨張ガラス、低膨張鋳鉄等を用いても同様の効果が得られるものである。
【0024】
最後に、パラレルメカニズムの3つの形態を図10に示す。工作機械や測定機に用いられる場合、図10(a)の伸縮型が一般的であるが、図10(b)の屈曲型や図10(c)の開閉型も使用される。ベースに対して(a)の伸縮型では3自由度の球面ジョイントが、(b)の屈曲型では1自由度の回転ジョイントが、そして(c)の開閉型では1自由度の直動ジョイントが取り付けられている。したがって、(a)の伸縮型の場合には本発明の手法を用いて球面ジョイントの取付位置の補正を行うのに最も適しているが、他の(b)および(c)の場合では、負荷や熱変位によるフレームの移動に伴い、回転ジョイントや直動ジョイントの位置の移動だけではなく、姿勢変化も生じてしまい、変位と同時に姿勢も測定するためには、変位センサの数を増加させて行う必要がある。
【0025】
以上本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明の趣旨の範囲内で、パラレルメカニズムとしてのベースの形状、リンク部を構成する直動ジョイント等の形状、形式、本数およびそのベースとの位置関係、球面ジョイントの形状、形式、球面ジョイントのベースおよびフレームへの設置形態、フレームの形状、形式、球面ジョイント等取付部基準点とベース側定盤等との間の距離の計測形式(スーパーインバーロッドと変位センサによるもの、レーザー干渉測長器によるものの他に適宜のものが採用され得る)、フレームの変形測定方式(パラレルメカニズムの運動学式中の球面ジョイントの座標位置のパラメータを修正するものとして、リンク部を構成する直動ジョイント等における伸縮制御を補正する他、適宜の別途の制御手段を設置することもできる)、変位センサーの形式および設置位置および設置形態等については適宜選定できるものである。
【0026】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、有限個の取付部を介してジョイントと接続されて静的なフレームに支持され、リンク機構を並列に連結したパラレルメカニズムにおいて、前記ジョイント取付部相互間と工作物を固定する定盤間の相対的変位・姿勢変化を複数個の変位センサを用いてインプロセス計測するとともに、前記工作物とジョイント間の相対位置関係を修正することによって、工作物とツール間の相対的位置・姿勢精度を向上させるように構成したことにより、パラレルメカニズムを支持する静的なフレームがパラレルメカニズム稼働時に発生する力学的、熱的変形が生じても、工作物側から見たジョイント取付部の変形量(座標値)を、構造物の形状、剛性に関わりなく正確に把握して、フレームに対するパラレルメカニズムの取付部基準点である球面ジョイントの座標位置のパラメータを修正できるので、工作物とツール間の相対的位置・姿勢精度を向上させて、高精度にて工作物の加工が可能となる。
【0027】
また、有限個の取付部を介してジョイントと接続されて静的なフレームに支持され、リンク機構を並列に連結したパラレルメカニズムにおいて、前記フレームにおけるジョイント取付部と工作物を固定する定盤側との間にスーパーインバーロッドを配設するとともに、定盤側にスーパーインバーロッドの変位を検出する変位センサを設置した場合は、熱膨張係数がほぼ0で熱変形の殆どないスーパーインバー等で定盤基準点を強固に連結して、簡素な構造にて正確にフレームと定盤間の距離を測定できる。さらに、前記スーパーインバーロッドは、フレームにおけるジョイント取付部と定盤側との間の最短距離を結んで配設された場合は、これらの間の直線距離の変動を正確に変位センサで測定することができる。さらにまた、前記スーパーインバーロッドが、フレームにおけるジョイント取付部と定盤側との間を迂回形態にて結んで配設された場合は、ロッドのジョイント取付部側等において、球面ジョイントやパラレルメカニズムのリンク部分と干渉する虞れのある場合でも、スーパーインバーロッドが配設でき、配設設計の自由度が向上する。
【0028】
また、有限個の取付部を介してジョイントと接続されて静的なフレームに支持され、リンク機構を並列に連結したパラレルメカニズムにおいて、前記フレームにおけるジョイント取付部と工作物を固定する定盤側とのいずれかに、これらの間の距離を計測するレーザー干渉測長器を設置した場合は、機械的な測定部材自身の力学的、熱的変形の影響が皆無となり、測定精度が向上する。さらに、前記フレームにおける複数のジョイント取付部における隣接する一対のジョイント取付部相互間にスーパーインバーロッドを配設するとともに、前記一対のジョイント取付部のいずれか一方にスーパーインバーロッドの変位を検出する変位センサを設置した場合は、フレーム側における伸縮等によってジョイント取付部が変位する際の変形量を正確に測定して、これを補正することができるので、加工精度がより向上する。さらにまた、リンク機構を並列に連結したパラレルメカニズムにおいて、前記パラレルメカニズムの閉リンク機構を構成するリンク部分の基部をワークを支持するベースに球面ジョイントにより取着するとともに、前記リンク部分の先端部分側に支持されたツールを移動可能に構成し、前記ワークを支持する基準プレートとベースとの間に変位センサを設置したスーパーインバーロッドを配設した場合は、球面ジョイントをベース面近くに配設して、ベース側におけるジョイント取付部と定盤基準点間の距離の変動を測定して、加工精度をさらに向上させることが可能となる。
【0029】
また、リンク機構を並列に連結したパラレルメカニズムにおいて、前記パラレルメカニズムの閉リンク機構を構成するリンク部分の基部をベースに球面ジョイントにより取着するとともに、前記リンク部分の先端部分側にワークを支持するエンドエフェクタを取着し、前記ベースと静的なフレームとの間に変位センサを設置したスーパーインバーロッドを配設した場合は、フレームとベース間の距離の変動を測定しつつ、ワーク側をパラレルメカニズムにて移動加工させる形式に適用できる。さらに、少なくとも3自由度を有するリンク機構を並列に連結した場合は、8面体そのものとなり、取付部基準点1か所当たりのジョイントが1個となり、構造的に簡略化している。かくして、本発明によれば、ジョイント取付部相互間と工作物を固定する定盤側間との力学的および熱的変形による相対的変位・姿勢変化を計測することによって、構造物の形状、剛性に関わりなく、工作物とツールとの間の相対的位置・姿勢精度を向上させることを可能にしたパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(A)は工作物を固定する定盤と球面ジョイントの位置関係図、図1(B)は本発明におけるパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置の要部斜視図である。
【図2】同、各球面ジョイント取付部の座標位置およびその位置ベクトルを説明する図である。
【図3】本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第2実施の形態を示す図である。
【図4】本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第3実施の形態を示す図である。
【図5】本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第4実施の形態を示す図である。
【図6】本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第5実施の形態を示す図である。
【図7】本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第6実施の形態を示す図である。
【図8】本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第7実施の形態を示す図である。
【図9】本発明のパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法およびその装置の第8実施の形態を示す図である。
【図10】パラレルメカニズムの3つの形態を示す図である。
【図11】代表的なパラレルメカニズム型工作機械の構造図である。
【図12】一般的な機械の変形要因を示す図である。
【符号の説明】
1 ベース
2 フレーム
3 球面ジョイント
4 ツール
5 エンドエフェクタ
6 ユニバーサルジョイント
7 直動ジョイント
8 アクチュエータ
9 ワーク
10 定盤
11 球面ジョイント取付部基準点
12 定盤基準点
13 スーパーインバーロッド
14 ジョイント取付部
15 基準プレート
16 ロッドホルダ
17 変位センサ
18 レーザー干渉測長器
19 コーナーキューブミラー

Claims (6)

  1. パラレルメカニズムを支持するフレーム変形の影響を排除するためのパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法であって、前記フレーム上に前記パラレルメカニズムを支持するための少なくとも3個のジョイント取り付け部を設け、前記フレーム上にある定盤上に少なくとも3個の基準点を設け、前記取り付け部同士間の距離及び前記取り付け部と前記基準点間の距離をセンサで測定し、前記センサからの測定結果をもとにフレームの位置・姿勢の変化を求めることを特徴とするパラレルメカニズムのフレーム変形測定方法。
  2. パラレルメカニズムを支持するフレーム変形の影響を排除するためのパラレルメカニズムのフレーム変形補正装置であって、前記フレーム上に前記パラレルメカニズムを支持するための少なくとも3個のジョイント取り付け部を設け、前記フレームを支持する定盤上に少なくとも3個の基準点を設け、前記取り付け部同士間の距離及び前記取り付け部と前記基準点との距離を測定するセンサを配置したことを特徴とするパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置。
  3. 前記距離を測定するセンサは、前記取り付け部と前記基準点間との間に配設した熱膨張係数がほぼ0の材料からなるロッドの軸方向の変位を検出する変位センサであり、前記変位センサから得られた軸方向の変位をもとにフレームの位置・姿勢の変化を求めることを特徴とする請求項2に記載のパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置。
  4. 前記ロッドは、フレームにおけるジョイント取付部と定盤側との間の最短距離を結んで配設されたことを特徴とする請求項3に記載のパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置。
  5. 前記ロッドが、フレームにおけるジョイント取付部と定盤側との間を他の部材と干渉せぬように迂回形態に結んで配設されたことを特徴とする請求項3に記載のパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置。
  6. 前記センサはレーザー干渉測長器であることを特徴とする請求項2に記載のパラレルメカニズムのフレーム変形測定装置。
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