CN101419053A - 基于存储器的高速干涉仪 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及基于存储器的高速干涉仪。一种干涉仪，其产生彼此干涉的第一光信号和第二光信号。这些光信号被转换为数字信号形式地址。存储器对与第一光信号和第二光信号相对应的数据值进行存储，并且其中这些地址被用于直接读取存储在这些地址处的数据值。在转换第一光信号和第二光信号并读取数据值时可以对存储在存储器中的数据值进行动态自适应。

Description

基于存储器的高速干涉仪
技术领域
本发明总体上涉及一种光学测量设备，更具体地，涉及一种高速光学干涉仪。
背景技术
干涉测量法叠加(干涉)两个或更多个(电磁)波以检测这些波之间的差，即它们的干涉特性。最常见的干涉仪是迈克逊(Michelson)型干涉仪。迈克逊干涉仪的基本元件是光源、检测器、两个反射镜和通常被称为分束器的一个半透明反射镜。
简单的干涉仪对“条纹”进行计数，其中输出波的强度经历了从最大值(其中波相长干涉)至最小值(完全的相消干涉)然后再次回到最大值的完整循环。这些强度是正弦波。由于该单一输出，简单的干涉仪可以检测到波的路径上的差动距离的改变，但是不能检测到这种改变的方向。
当利用相位调整装置(例如四分之一波长延迟器)来产生一对路径(该对路径通常是通过使得两个光束穿过同一组透镜和反射镜而形成的，这两个光束中的每一个是沿一个方向偏振)时，一个偏振路径被四分之一波长延迟器延迟，因此所得到的正弦波强度相对于未延迟的路径延迟了90度。这得到干涉仪的一对输出。这些输出是正交的，并且象标准的正交编码器一样，能够检测距离的改变和该改变的方向这二者。
不幸的是，这种形式的干涉仪的分辨率是路径差的四分之一波长；在使用氦氖(HeNe)激光器的典型干涉仪的情况下，波长因氦和氖的物理性质而被固定在632.818纳米并且不能被改变。因此，由干涉仪的正交输出直接编码的最小距离是632.818波长的1/4或158.20纳米。该四分之一波长距离有时被称为干涉仪的“固有分辨率”。
现有技术通过强度内插法而进一步提高了分辨率；即，由光电二极管来测量无延迟路径和延迟路径二者的相对功率，通过A/D转换器将光电二极管电流放大并转换为数字值，并使用软件将作为正弦值和余弦值的这一对相对功率值映射为单位圆。由于每个反正弦值或反余弦值在单位圆上产生两个可能的角度，这两个值将在单位圆上生成总共三个同时可能的角度，但是仅有一个值(重复值)是正确的。除以2π以后的单位圆角度是光束路径从干涉仪零点起变化的波长的小数(fraction)，在现有技术中，干涉仪通常可达波长的100分之一那么小，或为固有分辨率的25倍。
常规方法的缺点在于读出的两个部分具有不同类型：四分之一波长数是由正交编码实时读出，而波长的小数部分是延迟了一些时间的软件内插法的结果。将这些值合并在一起将引起更大的延迟，因此全部干涉仪系统并不在当前的位置而是在过去的某个点处的位置(一般是在过去的至少50微秒)来报告。这对应于约20KHz的更新速率，根据汉明(Hamming)定理，这种干涉仪不能检测到比该速率(10KHz)的一半高的运动。
现有技术的干涉仪在它们的速度方面受到严格限制，一般在约20KHz的范围内，通常更小。许多在售的干涉仪的更新速率低至10Hz至20Hz。常规干涉仪通常是固定的，并被构造成适用于特定的工作状况。实时地改变干涉仪的操作在大多数情况下是不可能的。
希望将干涉仪的速度提高至少一千倍或三个量级(103)以完全地进入兆赫(Mega-Hertz)范围。实际上，希望提高速度以使干涉仪的速度主要受限于能够将光信号的强度转换为数字信号的速度。因此，随着转换的速度增大，使用本发明的干涉仪的速度也将增大。还希望干涉仪能动态适应于其工作特性和环境。
干涉测量法的概念作为实验科学能追溯到Albert Michelson，其在1907年被授予诺贝尔奖。在美国专利4,583,856中R.C.Moore使用计算机来计算激光干涉仪中的次条纹分辨率。距离测量干涉仪在市场上可以买到。根据4D技术的最好的(top-of-the-line)激光干涉仪以30微秒的采样时间以及在一帧时间内更新(即20KHz的最终更新速率)的方式工作。Canon微激光干涉仪将工作范围限制为+/-50微米，该微米干涉仪可以以100KHz来更新。
本发明的一个目的是将干涉测量的速度基本上完全提高到M Hz范围或更大。
本发明的另一个目的是将干涉仪的输出格式合并，使得读取干涉仪测量的任何设备都能够将干涉仪的输出读取为所希望的任何格式的值，无论该格式是格雷码(Gray code)、整数、正交编码脉冲还是其它的任何格式都可以。因此，希望在设备正在工作时，或响应于其工作特性和其工作环境，使得干涉仪可以被动态地构造成适于任意的所期望的数据格式。
发明内容
干涉仪产生彼此干涉的第一光信号和第二光信号。
这些光信号是转换成的数字信号形式的地址。存储器存储与第一光信号和第二光信号相对应的数据值，并且其中这些地址被用来直接读取存储在这些地址处的数据值。
在转换第一光信号和第二光信号以及读取数据值时，存储在存储器中的这些数据值可以动态地自适应(adapt)。
附图说明
图1是根据本发明一个实施方式的干涉仪和相应方法的框图；
图2是根据本发明一个实施方式的干涉仪的详细框图；以及
图3是根据本发明另一实施方式的干涉仪的详细框图。
具体实施方式
本发明包括迈克逊类型正交激光干涉仪，其具有常规的光学构成并另外增加了光电二极管、放大器、A/D转换器和存储器。A/D转换器将干涉光信号的强度改变为存储器地址形式的数字信号。
直接存取存储器
直接存取存储器将两个正交编码的干涉仪光束信号的幅度(强度)转换为任何所期望的正交编码的位置信号。在A/D转换器之后的高速路径不包括具有长等待时间的任何软件或电子设备。当然，对从存储器读取的数据进行的下游处理可以使用软件，并且可以使用软件对系统进行配置或在操作期间更新存储器的内容，但是这些操作不影响高速测量路径。
本发明的一个实施方式使用A/D转换器的结果来直接地并唯一地对ROM或RAM存储器中的位置进行寻址(读取)，该位置预加载有与该特定集合的光电二极管信号的强度的期望输出状态相对应的数据。该输出状态可以是经正交编码的输出，其模拟了干涉仪以不同(且小得多的)波长、或波长的小数或任何其他的所期望输出格式进行的操作，只要该格式在初级正交激光干涉仪波长的每个整数倍处重复即可。
本干涉仪可以对其中光信号的强度经历了从最大值至最小值的一个完整循环的条纹进行计数。本干涉仪可以检测沿光信号路径的差动距离的改变和方向。具体地说，我们可以对干涉仪的差动距离进行正交编码，其中该编码是干涉仪的每条纹循环的差动距离的多个循环。
编码
存储器的输出状态不限于正交编码值。例如，对于正确运行的干涉仪来说“不可能”经历的情况可以具有反映该情况的输出指示码。例如，在正确工作的正交干涉仪中，两个光束的值从来不会都为零、从来不会都处于最大值并且从来不会都处于中间常数。零数据值表示激光器发生损坏，而最大数据值表示第一分束器表面上有污染物。两个光束的值都出于中间常数表明参考光束或目标光束没有对准。这些错误指示状况和其它状况都是利用本发明可以实时检测到的。这些状况可以在数据值中的一个或更多个预定位处指示出来。
可逆计数器
本发明的另一个实施方式添加了可逆计数器(up-down counter)，其直接增加或减少了阈值干涉仪光束输出。该可逆计数器的输出用作对存储器进行寻址时的附加位，从而使本发明能够在可逆计数器支持的整个范围上根据要求而输出唯一输出码。
动态自适应干涉仪
在本发明的另一个实施方式中，我们使干涉仪的操作动态地适应于它获取的测量的特性或者干涉仪的工作环境状况，例如温度、压力、湿度、被测设备或被测系统的控制系统的状态或命令。借助于存储器直接位于高速测量路径中这一情况使得能够进行这种类型的操作。
例如，本发明适于用在精密机床中，其中机床计算机数字控制(CNC)控制器首先命令干涉仪进入“校准”模式，以对存储器值进行配置从而使得机床的整个运动范围内的精度最优化，同时使机床轴旋转以测量机床的整个运动范围，然后进入“测量”模式，在“测量”模式中以最高M Hz速度使用在“校准”期间计算出的值的最优集合以辅助对机床进行控制。
对于另一个例子，机床附近的空气的压力、温度和湿度以百万分之几的水平影响光速。通过动态自适应地重载(reload)本发明的存储器，可以忽略环境压力、温度和湿度的影响，并且可以在不利的工作条件下实现对干涉距离的精确测量。
干涉仪结构和操作概述
图1示出了本发明的基本结构元件和操作。放置在环境5中的干涉仪10产生第一光信号11和第二光信号12。光信号的强度被独立地转换(20)为以地址25的形式的第一数字信号21和第二数字信号22。
存储器30存储与干涉仪10能够产生的可能的(和不可能的)光信号相对应的数据值31。地址25用于对存储器30进行直接访问以得到经由存储器30的地址输入线24而访问的输出数据值32。
存储器30的地址输入25可以计时(同步)(23)到O/D转换器20工作时的速率。
通常，干涉仪的输出数据值32通过例如数字信号处理器(DSP)40和应用50来进一步处理。在本发明的一个实施方式中，DSP动态地重载45，或者基于例如数据32或者来自干涉仪10工作环境5的其他输入信号14而对存储器30重新进行配置。还可以通过应用而对数据值进行自适应。
详细的干涉仪结构和操作
图2示出了本发明一个实施方式的细节。正交激光干涉仪100将激光器101产生的一对相干激光束110和130引导到两个反射器111和131上，并随后将返回的光束混合以产生一对正交调制输出光束112和132，从而对反射器111和131的相对位置位移分别进行编码。所有的光学元件例如反射镜、分束器、延迟器都是常规的。
光束112和132分别通过光电二极管113和133被转换为光电流。这些光电流被输入到跨导放大器。这些跨导放大器包括分别具有反馈电阻器115和135的运算放大器114和134。
输出电压由运算放大器116和136放大，该运算放大器116和136分别具有反馈网络电阻器117和118以及137和138。
表示光信号112和132的强度的电压分别由模数转换器119和139转换为数字信号。
输出数字化电压总线120和140的每一个为N个位宽，并且是平行的，以形成2×N个位宽的地址总线150。2×N个位宽的地址总线150被应用于存储器160的地址输入，该存储器160具有2×N个位的输入地址空间以及J个位的输出数据字宽。应当注意，常规的正交编码器通常仅产生单个输出位。本转换器可以产生多个位，例如16个位或更多，从而极大地提高了干涉仪的分辨率。
存储器预载入有在零至二的2×N次幂范围内的每个可能地址的所期望的输出数据值。
存储器160将所期望的输出数据值170输出到任何缓冲器/放大器，在该缓冲器/放大器中这些输出数据值170可提供给外部系统和应用以用于进一步的处理。
可逆计数器
图3示出了具有正交输入可逆计数器245的本发明的另一实施方式。
正交激光干涉仪200将一对相干激光束210和230引导到两个反射器211和231上，然后将返回的光束混合以产生一对正交调制输出光束212和232，从而对反射器211和231的相对位置位移分别进行编码。
这些光束分别通过光电二极管213和233被转换为光电流。这些光电流被输入到由分别具有反馈电阻器215和235的运算放大器214和234构成的跨导放大器，输出电压由分别具有反馈网络电阻器217和218以及237和238的运算放大器216和236放大。
这些电压随后分别由模数转换器219和239转换为数字信号。输出数字化电压总线220和240中的每一个为N个位宽，并且是平行的，以形成2×N个位宽的地址总线。
此外，每个转换器219和239各自的高位(high order bit)221和241被应用于正交输入可逆计数器245。计数器的输出是K个位宽。
2×N个位宽的总线与K个位宽的可逆计数器输出246合并以形成2×N+K个位宽的地址总线250。
该地址总线250直接应用于存储器260的地址输入，该存储器260具有2×N+K个位宽的输入地址空间以及J个位宽的输出数据字，并且已经预载入了在零至二的2×N+K次幂范围内的每个可能的地址的所期望的输出数据值。存储器260将存储的所期望的输出数据值270输出到最终的缓冲器/放大器，在该缓冲器/放大器中该数据值270可被提供给外部系统和应用。
本发明的效果
本发明的实施方式提供了基于存储器的高速干涉仪。干涉光信号的强度被转换为存储器输入地址。在这些输入地址处从存储器中直接读取输出数据值。因此，干涉仪工作的速度主要受到存储器工作的速度的限制。因为干涉仪是基于存储器的，因此存储的数据值可以适应于工作环境。
尽管已经以优选实施方式为例描述了本发明，但是将会理解的是，在本发明的精神和范围内可以做出各种其他的修改和改变。因此，所附权利要求的目的是涵盖落入本发明的精神和范围内的所有这些变型和修改。

Claims (24)

1.一种用于干涉测量法的包括光学系统的装置，其中该光学系统用于产生彼此干涉的第一光信号和第二光信号，该装置包括：
光学至数字转换器，其被构造成将第一光信号的强度转换为第一数字信号并将第二光信号的强度转换为相应的第二数字信号，其中所述第一光信号和所述第二光信号彼此干涉，并且其中所述第一数字信号和相应的所述第二数字信号合并以形成地址信号；以及
存储器，其直接连接到所述地址信号，该存储器被构造成用于存储与所述第一光信号和所述第二光信号之间的干涉相对应的数据值，并且其中所述地址信号直接读取所述数据值。
2.根据权利要求1所述的装置，该装置进一步包括：
时钟，其使得所述光学至数字转换器的操作与所述存储器的操作同步。
3.根据权利要求1所述的装置，该装置进一步包括：
用于在转换所述第一光信号和所述第二光信号并读取所述数据值时对存储在所述存储器中的所述数据值进行动态自适应的装置。
4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述数据值是对干涉仪的差动距离的正交编码。
5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述数据值是多个周期的正交编码，其中所述正交编码是对所述干涉仪每条纹周期的差动距离的正交编码。
6.根据权利要求4所述的装置，其中，所述数据值是对所述差动距离的数值表示。
7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述数据值是对所述差动距离的格雷码表示。
8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述数据值包括错误指示码。
9.根据权利要求8所述的装置，其中，在所述数据值中的一个或更多个预定位处提供所述错误指示。
10.根据权利要求3所述的装置，其中，存储在所述存储器中的所述数据值动态地适应工作环境。
11.根据权利要求3所述的装置，其中，存储在所述存储器中的所述数据值与从所述存储器中读取的所述数据值动态地自适应。
12.根据权利要求3所述的装置，其中，通过利用了从所述存储器中读取的所述数据值的应用，存储在所述存储器中的所述数据值进行动态地自适应。
13.根据权利要求1所述的装置，其中，光学至数字转换器进一步包括：
光电二极管，其连接到所述第一光信号和所述第二光信号；
连接到所述光电二极管的放大器；以及
连接到所述放大器的模数转换器。
14.根据权利要求1所述的装置，其中，所述干涉仪的分辨率对应于所述地址信号中的位数。
15.根据权利要求1所述的装置，其中，所述数据值的速率超过一兆赫。
16.根据权利要求15所述的装置，其中，所述数据值是以所述存储器的访问速率被读取。
17.一种对干涉仪产生的第一光信号和第二光信号进行处理的方法，该方法包括以下步骤：
将第一光信号的强度转换为第一数字信号并将第二光信号的强度转换为相应的第二数字信号，其中所述第一光信号和所述第二光信号彼此干涉，并且其中所述第一数字信号和相应的所述第二数字信号合并以形成地址信号；以及
对存储器进行访问，该存储器被构造成存储与所述第一光信号和所述第二光信号之间的干涉相对应的数据值，并且其中所述地址信号直接地读取所述数据值。
18.根据权利要求17所述的方法，该方法进一步包括以下步骤：
使所述光学至数字转换器的操作和所述存储器的操作同步。
19.根据权利要求17所述的方法，该方法进一步包括以下步骤：
在转换所述第一光信号和所述第二光信号并读取所述数据值时对存储在所述存储器中的所述数据值进行动态自适应。
20.根据权利要求17所述的方法，其中，所述数据值是对干涉仪的差动距离的正交编码。
21.根据权利要求17所述的方法，其中，所述数据值包括错误指示码。
22.根据权利要求19所述的方法，其中，存储在所述存储器中的所述数据值动态地适应工作环境。
23.根据权利要求20所述的方法，其中，所述干涉仪的分辨率对应于所述地址信号中的位数。
24.一种对第一光信号和第二光信号之间的干涉进行测量的装置，该装置包括：
用于将第一光信号转换为第一数字信号的装置；
用于将第二光信号转换为相应的第二数字信号的装置；
用于将所述第一数字信号和相应的所述第二数字信号合并以形成地址信号的装置；和
直接连接到所述地址信号的存储器，该存储器被构造成用来存储与所述第一光信号和所述第二光信号之间的干涉相对应的数据值，并且其中地址信号直接地读取所述数据值。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103558433A (zh) * 2013-10-24 2014-02-05 北京无线电计量测试研究所 一种用于光电探测器冲激响应测量的装置及方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017135356A1 (ja) * 2016-02-04 2017-08-10 日本分光株式会社 フーリエ変換型分光装置を用いたスペクトル測定方法
CN109945778B (zh) * 2019-04-15 2020-09-11 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 光频调制法皮米级分辨力大行程激光测量装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4583856A (en) 1983-06-27 1986-04-22 Gca Corporation Resolution system for interferometer
EP0147481B1 (de) * 1983-12-27 1987-09-02 Ibm Deutschland Gmbh Weisslicht-Interferometer
US4776698A (en) 1986-08-04 1988-10-11 Eastman Kodak Company Measuring
GB8719878D0 (en) * 1987-08-22 1987-09-30 Renishaw Plc Signal processing apparatus
US4886363A (en) * 1988-09-06 1989-12-12 Eastman Kodak Company Quadratic frequency modulated absolute distance measuring interferometry
DE69223544T2 (de) 1991-04-26 1998-07-09 Nippon Telegraph & Telephone Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Profils eines Objekts
GB2256476B (en) 1991-05-30 1995-09-27 Rank Taylor Hobson Ltd Positional measurement
JPH0712510A (ja) * 1993-06-22 1995-01-17 Nikon Corp ヘテロダイン干渉計用位相差測定装置
JPH10146736A (ja) * 1996-09-18 1998-06-02 Tokyo Seimitsu Co Ltd 工作機械の運動軌跡測定システム及び工作機械の運動軌跡測定用測長器
JP2001099716A (ja) * 1999-09-30 2001-04-13 Ando Electric Co Ltd 波長計のデータ処理装置、及びそのデータ処理方法
JP2001208513A (ja) * 2000-01-27 2001-08-03 Amada Co Ltd 駆動装置における変位量検出方法及びその装置、並びに板材加工機における高品質加工方法及び高品質加工システム
US6924898B2 (en) * 2000-08-08 2005-08-02 Zygo Corporation Phase-shifting interferometry method and system
JP2002118050A (ja) * 2000-10-10 2002-04-19 Canon Inc ステージ装置、露光装置、半導体デバイス製造方法、半導体製造工場、および露光装置の保守方法
JP4566401B2 (ja) * 2000-12-28 2010-10-20 アンリツ株式会社 光波長測定装置
US7436519B2 (en) 2005-06-01 2008-10-14 Agilent Technologies, Inc. System and method for interferometer non-linearity compensation
JP4440864B2 (ja) * 2005-09-26 2010-03-24 富士通株式会社 光受信装置
GB0523455D0 (en) * 2005-11-18 2005-12-28 Renishaw Plc Dynamic air turbulence compensation
JP4823693B2 (ja) * 2006-01-11 2011-11-24 株式会社トプコン 光画像計測装置
JP4641274B2 (ja) * 2006-03-27 2011-03-02 三菱電機株式会社 光受信装置および光干渉計の制御方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103558433A (zh) * 2013-10-24 2014-02-05 北京无线电计量测试研究所 一种用于光电探测器冲激响应测量的装置及方法
CN103558433B (zh) * 2013-10-24 2016-03-30 北京无线电计量测试研究所 一种用于光电探测器冲激响应测量的装置及方法

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