CN101404213A - 固体片式钽电解电容器及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种固体片式钽电解电容器及其制造方法。属于电子元器件领域。方法包括：按6.0～8.0克/CC的压制密度将比容为6000～10000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末压成带钽丝引出线的坯块，对坯块在1600～1800℃温度，真空度达到5×0.0004Pa的条件下进行真空烧结，对烧结后的坯块在出炉时进行钝化处理；在60～85℃温度下，将烧结后的坯块放入装有磷酸乙二醇体系的电解液形成槽内，使用直流电压在坯块表面生成耐压达到63V额定电压要求厚度的介质层；将生成介质层的所述坯块，采用反复浸渍法使用硝酸锰溶液在坯块表面形成二氧化锰层作为阴极，并形成阴极引出层；将所述坯块的钽丝引出线粘结到对应壳号的外壳金属框架引线上，封装后即得耐压可达63V钽电解电容器。

Description

固体片式钽电解电容器及其制造方法

技术领域

本发明涉及电子元器件领域，尤其涉及一种固体片式钽电解电容器及其制造方法。

背景技术

片式钽电容器的阴极采用电子电导型的二氧化锰作为产品阴极，二氧化锰生产的电解电容器具有非常强的自我修补能力，因此，自60年代问世以来，到目前为止，它仍然是中高压固体钽电容器最合适的阴极材料。

在以二氧化锰作阴极生产片式钽电容器时，二氧化锰阴极使用化学分解的方法来制造，由于产品反复经过多次的高温化学分解，因此，在生产结束时，产品的耐压将有大幅度下降，具体生产工艺见图1。

为弥补化学分解制造二氧化锰阴极时导致耐压下降的问题，一般在决定产品耐压高低的介质层形成时，使用远远高于额定电压的形成电压来生成介质层。一般使用的介质层形成电压和额定电压的比例为4∶1。也就是说生产额定电压为50V的钽电容器产品的介质层形成电压要求达到200V或以上，最终制得产品的耐压才可以保证达到50V。但由于体积限制，片式钽电容器不同壳号的尺寸采用IEC标准，因此装粉量受到严格限制。同时，受到生产钽电容器使用的钽粉生产技术水平的限制，在有限的壳号内装粉量也受到相应的限制，因此，无法对现有壳号体积的钽电容器施加更高的介质层形成电压，以制备耐压更高的产品，因此，现有方法生产的片式钽电容器的最高耐压一般只能达到50V的水平。

片式钽电容器的使用电路基本上都是高浪涌高纹波的开关电源电路，使用在此类低阻抗电路，使用电压只能达到额定电压的1/3，为存在的浪涌留出足够的余量才可以保证安全和可靠性能够达到整机的可靠性要求。因此，50V的片式钽电容器在此类电路的上限使用电压不能超过18V，如果电路中的供电电流较小(例如使用电池供电的电路)，使用电压才可以达到额定电压的1/2。

当此类电路的使用电压较高时，特别是高可靠的军用电路，如果使用电压达到2 5V以上，必须使用耐压更高的片式钽电容器才可以达到高可靠要求，而现有生产工艺制备的片式钽电容器却无法满足这样的要求。

发明内容

针对上述现有技术所存在的问题，本发明实施方式提供一种固体片式钽电解电容器及其制造方法，可以生产额定耐压达到63V的固体片式钽电解电容器。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明实施方式提供一种固体片式钽电解电容器，该电容器包括：

环氧树脂封装外壳内设置钽颗粒电容器基体、镍基镀锡负极引出片和镍基镀锡阳极引出片，所述钽颗粒电容器基体内部为阳极，表面为阴极，阳极与阴极之间设有厚度不小于3500微米的介质层，阳极内设有钽丝引出线，所述钽颗粒电容器基体的阴极与所述镍基镀锡负极引出片电连接，所述钽颗粒电容器基体内的钽丝引出线焊接在所述镍基镀锡阳极引出片上形成电连接；其中，所述钽颗粒电容器基体的阳极是以比容为6000～10000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末为原料，按6.0～8.0克/CC的压制密度压制的阳极坯块。

本发明实施方式还提供一种固体片式钽电解电容器的制造方法，该方法包括：

按6.0～8.0克/CC的压制密度将比容为6000～10000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末原料压制成带钽丝引出线的坯块，在1600～1800℃温度，真空度达到5×0.0004Pa的条件下对所述坯块进行真空烧结，对烧结后的坯块进行钝化处理；

在60～85℃温度下，将烧结后的所述坯块放入装有磷酸乙二醇电解液的形成槽内进行介质层的电化学形成，采用240V以上的直流电压为形成电压、电流密度为20～50毫安/克在所述坯块表面形成厚度不小于3500微米的介质层；

将生成介质层的所述坯块，采用反复浸渍法将硝酸锰溶液渗透在所述坯块内部空隙和在坯块表面介质层上沉积形成二氧化锰层作为阴极，在坯块表面介质层上形成的阴极上涂敷石墨层和银浆层作为阴极引出层；

将所述坯块的钽丝引出线粘结到对应壳号的外壳金属框架引线上，用环氧树脂封装，即得到固体片式钽电解电容器产品。

所述对烧结后的坯块在出炉时进行钝化处理具体包括：出炉时分四次逐渐降低真空度，每次真空度降低幅度不大于0.25Ma，经过钝化使所述坯块不会过度增氧，使烧结后坯块上钽丝的折丝次数不小于4次。

使用直流电压生成介质层具体包括：

将烧结后的所述坯块焊接到不锈钢条上，放入装有磷酸乙二醇电解液的形成槽内，采用电压值不低于4×63V及电流密度为20～50毫安/克的可调的直流电源进行坯块表面介质层的电化学形成。

所述磷酸乙二醇电解液中磷酸的浓度按体积比为0.2～0.5％，乙二醇的浓度按体积比为20～50％。

所述采用反复浸渍法将硝酸锰溶液渗透在所述坯块内部空隙和在坯块表面沉积形成二氧化锰层作为阴极包括：

使用反复浸渍法把比重为1.30～1.90的硝酸锰溶液渗透进已经生成介质层的所述坯块内部空隙中，在蒸汽浓度为20～70％、温度为20～240℃条件下进行热分解，使硝酸锰分解后生成的二氧化锰沉积到形成的所述介质层上作为阴极。

所述方法进一步包括：对使用反复浸渍法把比重为1.30～1.90的硝酸锰溶液渗透进已经生成介质层的所述坯块内部空隙中，在蒸汽浓度为20～70％、温度为20～240℃条件下进行热分解重复操作7～12次，使硝酸锰分解后生成的二氧化锰沉积到所述坯块表面生成的介质层上作为阴极。

所述将所述坯块的钽丝引出线粘结到对应壳号的外壳金属框架引线上是使用导电的高分子银膏把所述坯块作为阳极引出线的钽丝引出线与外壳金属框架的正极引出线焊接到一起形成电连接。

所述用环氧树脂封装包括：

使用阻燃的环氧树脂在150～180℃温度下，通过模塑压力机在精密模具内把所述坯块塑封成外形符合标准规定的尺寸。

所述方法还包括：

对所述制得的固体片式钽电解电容器进行打印标记、引线成型、老化后检测，即得到最终的固体片式钽电解电容器产品。

由上述本发明实施方式提供的技术方案可以看出，本发明实施方式通过使用比容为6000～10000uF.v/g，击穿电压达到240V的片式钽粉末为原料，在6.0～8.0克/CC的压制密度下按照标准壳号电容外壳容许的尺寸进行阳极坯块成型，然后对坯块在1600～1800℃温度，真空度达到5×0.0004Pa条件下进行高温真空烧结，并在出炉时使用钝化工艺，然后在磷酸乙二醇电解液内按240V以上的直流电压作为形成电压，并保证电流密度为20～50毫安/克，对坯块进行介质层的电化学形成，在坯块表面形成厚度不小于3500微米的介质层，并与后续的二氧化锰阴极的制造、塑封成型等工艺配合，使制备得到的片式固体钽电解电容器的额定耐压和漏电流均可以达到63V的要求，从而极大的扩展了固体片式钽电解电容器的应用范围。

附图说明

图1为现有技术的片式钽电解电容器制造方法流程图；

图2为本发明实施例的固体片式钽电解电容器的结构示意图；

图3为本发明实施例的固体片式钽电解电容器的制造方法流程图；

图中：1.环氧树脂封装外壳；2.镍基镀锡负极引出片；3.钽颗粒电容器基体；4.侧面环氧树脂层；5.钽丝引出线；6.焊接点；7.镍基镀锡阳极引出片。

具体实施方式

本发明实施方式提供一种固体片式钽电解电容器及其制造方法，可制备额定电压达到63V的钽电解电容器，该方法通过坯块压制、真空烧结、介质层形成及二氧化锰阴极的制造、塑封成型等工艺过程制得固体片式钽电解电容器。其中，坯块压制采用比容为6000～10000uF.v/g，击穿电压达到240V的片式钽粉末为原料，按6.0～8.0克/CC的压制密度进行压制，按照标准壳号电容外壳容许的尺寸进行阳极坯块的成型，使得相同规格的坯块的比容更高，因此，可以用更高的形成电压来制备厚度更大的介质层，以使额定耐压达到63V的要求，一般使用240V以上直流电压，在磷酸乙二醇体系的电解液内(电解液中的磷酸浓度按体积比为0.2～0.5％，乙二醇浓度按体积比为20～50％)，使形成介质层的厚度不小于3500微米，一般要达到3840微米以上，从而可以满足额定耐压63V的要求。该方法工艺简单，制得的固体片式钽电解电容器的额定耐压可达到63V，极大的扩宽了钽电解电容的应用范围。

为便于理解，下面结合附图和具体实施例对本发明的实施过程作进一步说明。

实施例一

本发明实施例提供一种固体片式钽电解电容器，该电容器的额定耐压可达到63v，该电容器的结构如图2所示，具体包括：

环氧树脂封装外壳1内设置钽颗粒电容器基体3、镍基镀锡负极引出片2和镍基镀锡阳极引出片7，钽颗粒电容器基体3内部为阳极，表面为阴极，阳极与阴极之间设有厚度不小于3500微米的介质层(图2中未示出)，阳极内设有钽丝引出线5，钽颗粒电容器基体3的阴极与镍基镀锡负极引出片2电连接，钽颗粒电容器基体3内的钽丝引出线5焊接在镍基镀锡阳极引出片7上形成电连接；其中，所述钽颗粒电容器基体的阳极是以比容为6000～10000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末为原料，按6.0～8.0克/CC的压制密度压制的阳极坯块。

上述固体片式钽电解电容器的制造方法可参见图3所示的流程图，通过该方法可制备最高耐压达到63V的固体片式钽电解电容器，具体按下述步骤进行：

使用比容为6000～10000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末为原料，按照6.0～8.0克/CC的压制密度压制成带有钽丝引出线的阳极坯块，实际中可按照设计要求的尺寸(如对应的电容外壳的容积)进行阳极坯块的压制成型，将压制成型的阳极坯块在1600～1800℃的温度、真空度达到5×0.0004Pa的条件下进行高温真空烧结，并在烧结后出炉时使用钝化工艺钝化，出炉时分四次逐渐降低真空度，每次保证真空度降低幅度不大于0.25Ma，经过钝化保证钽坯块不会过度增氧，从而保证烧结后坯块上钽丝的折丝次数不小于4次。以保证钽块和钽丝的氧化在可以接受的程度内(钽丝的折丝次数多表明氧化程度低，钽丝的折丝次数少表明氧化程度高，氧化程度高可以直接导致产品的漏电流无法降低到63V产品需要的等级)；

将上述烧结并钝化处理后的阳极坯块按照一定精度要求焊接到不锈钢条上，将其放入装有温度为80～90度，电阻率在800～1600欧姆.厘米的磷酸乙二醇电解液(电解液中的磷酸浓度按体积比为0.2～0.5％，乙二醇浓度按体积比为20～50％)的形成槽内，使用电压能够自动升高的直流电源，按照设计的形成电压(一般为制造产品耐压值4倍的电压作为形成电压，本实施例中采用240V以上的直流电压)，并按20～50毫安/克的电流密度，进行阳极坯块的介质层的电化学形成，使生成的介质层的厚度不小于3500微米，一般要达到3840微米以上，这个介质层厚度即可达到63V额定电压的设计要求；

二氧化锰阴极制造：使用反复浸渍的方法把比重为1.30～1.90高纯度的硝酸锰溶液渗透进已经生成介质层的阳极坯块内部，在蒸汽浓度为20～70％的范围，温度为20～240度的范围内进行热分解，使硝酸锰分解后生成的二氧化锰沉积到坯块表面的介质层上作为阴极，所处理的过程需要7～12次，这样可使二氧化锰的厚度达到规定的厚度；

待二氧化锰的厚度达到规定的厚度时，在产品的阴极表面上涂敷石墨层和银浆层作为阴极过度层；

把涂敷过银浆层的产品从不锈钢条上切割下来后，使用导电的高分子银胶粘结到金属框架上，把作为阳极引出线的钽丝引出线和电容外壳框架上的正极焊接到一起形成电连接；

使用阻燃的环氧树脂在150～180度下，通过模塑压力机在精密的模具内把产品塑封成外形尺寸符合标准规定的尺寸，即得到耐压达到63V的固体片式钽电解电容器产品。

在所制得钽电解电容器产品上，还可以依次进行下述操作：

(1)使用激光打印规格和正极标记；

(2)切除阳极边，在85～125度的烘箱内对产品施加额定电压的老化2～40小时；

(3)按照标准规定对老化后的产品进行自动测试并同时剔除废品；

(4)对产品的正负极进行标准规定的引线成型和编带。

实际生产中，在作完上述处理后，即可将检验合格的产品投入实际使用。

本发明实施例中，制备额定电压为63V的片式钽电解电容器时，使用击穿电压可以达到240V以上的片式钽粉末作为原料，在高温烧结后出炉时采用钝化工艺，保证在出炉时阳极坯块没有受到过度氧化，在介质层形成时，使用按体积比浓度为20～50％的乙二醇与按体积比浓度为0.2～0.5％的磷酸形成的磷酸乙二醇电解液，并保证形成的介质层的外层厚度不小于3500纳米，一般可达到3840微米以上；在二氧化锰阴极沉积时，使用1.30～1.90比重的硝酸锰溶液反复浸渍，使溶液能够渗透到坯块内部孔隙后分解，基于上述这些与普通的最高电压为50V的片式钽电解电容器生产工艺的不同点，尤其是使用比容为6000～10000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末为原料，按照6.0～8.0克/CC的压制密度压制成带有钽丝引出线的阳极坯块，并在磷酸乙二醇电解液中使用240V以上的直流电压作为形成电压，按20～50毫安/克的电流密度在坯块表面形成厚度不小于3500微米介质层，在此基础上形成阴极后，即可使最后制备的钽颗粒电容器基体的耐压达到63V，这种耐压达到63V电容器产品，极大的扩宽了固体片式钽电解电容器的应用范围。

实施例二

本实施例提供一种固体片式钽电解电容器的制造方法，具体如下：

选取比容为7000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末，按照6.5克/CC的压制密度，把粉末压制成一定尺寸和一定质量的带钽丝引出线的阳极坯块，然后在1700℃温度、真空度达到5×0.0004Pa的条件下进行真空烧结，保证阳极的强度和密度及比容达到设计值；

把阳极坯块焊接在不锈钢条上，在70℃温度下，使用252V(4×63V)直流电压、电流密度为35毫安/克，把阳极坯块放入装有磷酸乙二醇的电解液(电解液中的磷酸浓度按体积比为0.3％，乙二醇的浓度按体积比为30％)形成槽内，进行规定时间的介质层形成，即使形成的介质层的外层厚度不小于3840微米，待介质层形成后，使用化学分解的方法，在坯块内部的空隙和坯块表面沉积一定厚度和密度的二氧化锰层做电容器的阴极，然后在产品表面涂敷一层电阻率较低的石墨层和银浆层作为电容器的阴极引出层；

把已经形成电容器的阳极坯块从不锈钢条上切割下来，使用导电的高分子银膏把阳极坯块的作为阳极引出线的钽丝引出线粘结到相应壳号电容外壳的金属框架的正极引出线上，再使用精密的模塑压力机和模具，用环氧树脂把产品封装成一定形状和尺寸，即得到耐压可达63V的固体片式钽电解电容器。

对制得的固体片式钽电解电容器进行激光打印，把产品的正极和规格标记清楚，切除阳极边后在温度为85～125℃的烘箱内对产品进行电压老化，老化结束后，把产品进行电性能测试，合格品进行引线成型和编带，即为最终可使用的钽电解电容器产品。

现在的生产50V片式钽电容器使用的是普通的球形钽粉，其耐压只有200V左右，即使是阳极坯块内部可以装更多的钽粉也不能使用240V以上的形成电压，达到生产额定电压63V的片式钽电解电容器，本发明实施例中通过使用比容达到6000～10000UuF.v/g，耐压可以达到240V以上的片式钽粉作为阳极坯块成型的主要原料，及按照6.0～8.0克/CC的压制密度压制成带有钽丝引出线的阳极坯块，并将得到的阳极坯块在磷酸-乙二醇体系的电解液内，按设计耐压4×63V的形成电压及20～50毫安/克的电流密度下进行电介质层的电化学形成，直至在阳极坯块表面生成厚度不小于3500微米的介质层，则可以使制备后的固体片式钽电解电容器达到63V额定耐压的要求，并且使用片式钽粉来生产形成电压达到240V以上的钽电解电容器产品时，保证真空烧结后的坯块出炉时不能有明显的氧化现象可以保证最后制得63V耐压的固体片式钽电解电容器的漏电流也达到要求，具体是采用在烧结后出炉时使用钝化工艺钝化，出炉时分四次逐渐降低真空度，每次保证真空度降低幅度不大于0.25Ma，经过钝化保证钽胚块不会过度增氧，从而保证烧结后坯块上钽丝的折丝次数不小于4次，即保证钽块和钽丝的氧化在可以接受的程度内，不会因氧化程度高而导致产品的漏电流无法降低到63V产品需要的等级。

实施例三

本实施例提供又一种固体片式钽电解电容器的制造方法，具体如下：

选取比容为9000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末为原料，按照6.0～8.0克/CC的压制密度，把粉末压制成一定尺寸和一定质量的带钽丝引出线的阳极坯块.然后在1600～1800度范围内进行真空烧结，出炉时分四次逐渐降低真空度，每次保证真空度降低幅度不大于0.25Ma，经过钝化保证钽胚块不会过度增氧，从而保证烧结后坯块上钽丝的折丝次数不小于4次。保证阳极的强度和密度符合设计值的要求；

在60～85度下，使用260V直流电压、电流密度为50毫安/克，把焊接在不锈钢条上的阳极坯块放入使用磷酸-乙二醇的电解液形成槽内，进行规定时间的介质层形成，保证形成的介质层外层厚度不小于3500微米即可；

待介质层形成后，使用化学分解的方法，在阳极坯块内部的空隙和坯块表面沉积一定厚度和密度的二氧化锰层做电容器的阴极，然后在产品表面涂敷一层电阻率较低的石墨层和银浆层作为电容器的阴极引出层；

把已经形成电容器的阳极坯块从不锈钢条上切下来，使用导电的高分子银膏把阳极坯块的作为阳极引出线的钽丝引出线粘结到相应壳号的金属引线框架上.再使用精密的模塑压力机和模具，使用环氧树脂把产品封装成一定形状和尺寸，即得到额定耐压可达63V的固体片式钽电解电容器。

对制得的产品也可以采用实施例二中所述的后续处理，如：打印、老化、检测、成型等处理，得到可最终使用的合格的成品钽电解电容器。

应用本发明实施例中的制备方法生产的63V高压片式钽电容器的性能与常规的50V片式钽电解电容器相比，耐压更高，在相同电压下使用时，可靠性可提高一个数量级，具体的测试结果如下：

项目	50V产品	63V产品
			65V下测试漏电流[UA]	0.5	0.1
82V浪涌实验[1000次]	全部击穿	通过
			可靠性[1000小时，40V降额电压]	0.5	0.02
产品体积	相同	相同

综上所述，本发明实施例中由于采用比容为6000-10000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末为原料，可以在电化学形成介质层时使用240V以上的形成电压，从而可以得到厚度不小于3500微米从而满足63V耐压要求的介质层，并且在磷酸乙二醇体系的电解液中进行电化学形成，也保证了采用240V以上的电压，不会出现使形成的介质层击穿的现象，并在真空烧结后采用钝化工艺，使烧结后的钽块和其上的钽丝的氧化程度低，保证了折丝次数多，降低烧结后坯块的氧化程度，可以使最后制得的63V耐压的钽电解电容器产品的漏电流也满足要求，该方法保证了相同规格的电容器外壳可以使用单位重量比容更大的的钽粉末，同时可以用更高的形成电压来制备厚度更大的介质层，保证了制得电容器的最高耐压可达63V，可满足应用在多种电路中，满足电路可靠性的要求。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，各实施例之间的前后次序也不对本发明造成任何限制，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1、一种固体片式钽电解电容器，其特征在于，该电容器包括：

环氧树脂封装外壳内设置钽颗粒电容器基体、镍基镀锡负极引出片和镍基镀锡阳极引出片，所述钽颗粒电容器基体内部为阳极，表面为阴极，阳极与阴极之间设有厚度不小于3500微米的介质层，阳极内设有钽丝引出线，所述钽颗粒电容器基体的阴极与所述镍基镀锡负极引出片电连接，所述钽颗粒电容器基体内的钽丝引出线焊接在所述镍基镀锡阳极引出片上形成电连接；其中，所述钽颗粒电容器基体的阳极是以比容为6000～10000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末为原料，按6.0～8.0克/CC的压制密度压制的阳极坯块。

2、一种固体片式钽电解电容器的制造方法，其特征在于，该方法包括：

按6.0～8.0克/CC的压制密度将比容为6000～10000UuF.v/g、击穿电压达到240V的片式钽粉末原料压制成带钽丝引出线的坯块，在1600～1800℃温度，真空度达到5×0.0004Pa的条件下对所述坯块进行真空烧结，对烧结后的坯块进行钝化处理；

在60～85℃温度下，将烧结后的所述坯块放入装有磷酸乙二醇电解液的形成槽内进行介质层的电化学形成，采用240V以上的直流电压为形成电压、电流密度为20～50毫安/克在所述坯块表面形成厚度不小于3500微米的介质层；

将生成介质层的所述坯块，采用反复浸渍法将硝酸锰溶液渗透在所述坯块内部空隙和在坯块表面介质层上沉积形成二氧化锰层作为阴极，在坯块表面介质层上形成的阴极上涂敷石墨层和银浆层作为阴极引出层；

将所述坯块的钽丝引出线粘结到对应壳号的外壳金属框架引线上，用环氧树脂封装，即得到固体片式钽电解电容器产品。

3、根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述对烧结后的坯块在出炉时进行钝化处理具体包括：出炉时分四次逐渐降低真空度，每次真空度降低幅度不大于0.25Ma，经过钝化使所述坯块不会过度增氧，使烧结后坯块上钽丝的折丝次数不小于4次。

4、根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，使用直流电压生成介质层具体包括：

将烧结后的所述坯块焊接到不锈钢条上，放入装有磷酸乙二醇电解液的形成槽内，采用电压值不低于4×63V及电流密度为20～50毫安/克的可调的直流电源进行坯块表面介质层的电化学形成。

5、根据权利要求2或4所述的制造方法，其特征在于，所述磷酸乙二醇电解液中磷酸的浓度按体积比为0.2～0.5％，乙二醇的浓度按体积比为20～50％。

6、根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述采用反复浸渍法将硝酸锰溶液渗透在所述坯块内部空隙和在坯块表面沉积形成二氧化锰层作为阴极包括：

使用反复浸渍法把比重为1.30～1.90的硝酸锰溶液渗透进已经生成介质层的所述坯块内部空隙中，在蒸汽浓度为20～70％、温度为20～240℃条件下进行热分解，使硝酸锰分解后生成的二氧化锰沉积到形成的所述介质层上作为阴极。

7、根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述方法进一步包括：对使用反复浸渍法把比重为1.30～1.90的硝酸锰溶液渗透进已经生成介质层的所述坯块内部空隙中，在蒸汽浓度为20～70％、温度为20～240℃条件下进行热分解重复操作7～12次，使硝酸锰分解后生成的二氧化锰沉积到所述坯块表面生成的介质层上作为阴极。

8、根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述将所述坯块的钽丝引出线粘结到对应壳号的外壳金属框架引线上是使用导电的高分子银膏把所述坯块作为阳极引出线的钽丝引出线与外壳金属框架的正极引出线焊接到一起形成电连接。

9、根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述用环氧树脂封装包括：

使用阻燃的环氧树脂在150～180℃温度下，通过模塑压力机在精密模具内把所述坯块塑封成外形符合标准规定的尺寸。

10、根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述方法还包括：

对所述制得的固体片式钽电解电容器进行打印标记、引线成型、老化后检测，即得到最终的固体片式钽电解电容器产品。

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