CN101398292B - 边缘检测装置 - Google Patents

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Abstract

一种边缘检测装置,包括:线传感器(1);朝线传感器(1)照射单色光的光源(2);根据位于单色光的光程中的被检测对象物(3)边缘处的光量分布检测线传感器(1)的像素排列方向上的被检测对象物(3)的边缘位置(E)的边缘位置解析单元(4a);以及全遮光状态判定单元(4b),其在边缘位置解析单元(4a)检测出被检测对象物(3)的边缘位置E时,求出线传感器(1)中直至与被检测对象物(3)的边缘位置(E)对应的像素为止的总受光量,在该总受光量小于预先存储的线传感器(1)在光全部射入状态下的直至与边缘位置(E)对应的像素为止的总受光量时,判断为由于被检测对象物(3)的存在而成全遮光状态。

Description

边缘检测装置
技术领域
本发明有关适用于检测透明薄膜及玻璃等透明体的边缘位置、并例如对上述透明体的位置进行控制的边缘检测装置。
背景技术
当在以激光为代表的单色光的光程中有物体存在时,在该物体的边缘位置产生菲
Figure RE-G2008101685706D0001125515QIETU
耳衍射。因而,研发出一种通过利用线传感器求上述菲涅耳衍射的光量分布,解析该光量分布,从而检测上述物体边缘位置的边缘检测装置。
还有,在本申请中,所谓的‘光量’为以比例表示线传感器的受光面上受光的前述单色光的强度,和根据人们的视觉而定的原来的定义未必一致。
也就是,如图8所示,若将被检测对象物3定位成遮挡从投光部2朝着排列有多个像素的线传感器1射出的部分单色平行光的光程时,则如图9所示,上述线传感器1的输出,以上述被检测对象物3的边缘位置为界发生较大的变化。尤其是线传感器1上的光量分布受边缘位置附近菲涅耳衍射的影响显示出一定的变化倾向。
因此,若对线传感器1各像素的输出作归一处理,便能检测出该光量为全部入射光时的25%的位置并将其作为在线传感器1的像素排列方向上的被检测对象物3的边缘位置。另外,在如此地解析菲涅耳衍射的光量分布时,即使假定上述被检测对象物3为透明薄膜或玻璃等透明体,仍能高精度地检测出其边缘位置(例如参照日本专利特開2004—177335号公報)。
这是由于通过透明体内部的光和自由空间一侧的衍射光之间的相位的差异而在受光面上产生干涉,在边缘部分发生较大的光量失落。这一光量的失落在通过透明体内部的光和自由空间一侧的衍射光之间相位差为180度时为最大。
然而,在被检测对象物3为透明体的情况下,根据被检测对象物3不存在时(图10(a)示出的线传感器1的光全部射入状态)、被检测对象物3覆盖将近一半光程时(图10(b)示出的边缘检测的状态)、及被检测对象物3覆盖上述全部光程时(图10(c)示出的线传 感器1的全遮光状态)的各线传感器1的输出(光量分布)可知:非常难区别光全部射入状态和全遮光状态。
也就是,在光全部射入状态和全遮光状态下,由于被检测对象物3的边缘处未产生菲涅耳衍射,所以就不能从线传感器1的输出检测出其光量成为前述的25%的位置。从图11示出的边缘检测装置的检测特性也可知:即使是由于被检测对象物3的存在为全遮光状态,也会将其作为光全部射入状态而误检测。例如,在边检测被检测对象物3的边缘位置,边调整上述被检测对象物3的位置的情况下,由于不知道是光全部射入状态和全遮光状态中的哪一种状态,所以产生的问题是不能判定须对被检测对象物3的位置进行修正的方向等。
最近,人们着眼于全遮光状态与光全部射入状态相比光量减少这一现象,以解决上述问题,提出一种以下所述的方法,即求出线传感器1各像素光量之相加值(总光量),在该线传感器1的总光量小于光全部射入状态的总光量时,判断为整个线传感器1被透明体即被检测对象物3覆盖的全遮光状态(例如参照日本专利特開2007—647335号公報)。
在上述方法中,如图12所示,从自由空间一侧(图中的左侧)开始边缘位置检测的像素搜索,在发现小于等于阈值的像素时,若被检测对象物3在线传感器1的测量范围内,则即使在被检测对象物3的内部有污垢部分D存在,仍能正常地发现边缘位置E。
但是,当整个线传感器1都被被检测对象物3覆盖时,虽然在被检测对象物3的内部无污垢部分时,根据搜索后的总光量可以判断为整个线传感器1都被被检测对象物3覆盖,但是在覆盖整个线传感器1的透明体即被检测对象物3的内部有污垢部分D时,如图13所示,便存在以下的问题,检测出该污垢部分D,即检测出小于等于阈值的像素,并将其作为边缘位置输出。
发明内容
本发明之目的在于提供一种边缘检测装置,当然,该装置能正确地检测透明体的边缘位置,能可靠地判定线传感器是光全部射入状态还是全遮光状态,此外,在覆盖整个线传感器的透明体内部有污垢部分时,能避免将该污垢部分误检测为边缘位置,例如,适用于对上述透明体的位置进行控制。
为达到上述目的,本发明的边缘检测装置的特点为包括:将多个像素按规定的间距排列的线传感器;朝该线传感器照射单色光的光源;根据位于所述单色光的光程中的透明体的边缘处的光量分布来检测所述线传感器的像素排列方向上的所述透明体的边缘位置的边缘位置解析单元;以及全遮光状态判定单元,其在用该边缘位置解析单元检测出所述透明体的边缘位置时,求出所述线传感器中的与所述透明体的边缘位置对应的自由空间侧的像素的总受光量,在该总受光量与预先存储的该线传感器在光全部射入状态下的直至与所述边缘位置对应的像素为止的总受光量之差超过规定的阈值时,判断为被所述透明体遮挡的全遮光状态。
另外,本发明的其它方面的边缘检测装置的特点为包括:将多个像素按规定的间距排列的线传感器;朝该线传感器照射单色光的光源;根据位于所述单色光的光程中的透明体的边缘处的光量分布来检测所述线传感器的像素排列方向上的所述透明体的边缘位置的边缘位置解析单元;以及全遮光状态判定单元,其在用该边缘位置解析单元检测出所述透明体的边缘位置时,求出所述线传感器中的与所述透明体的边缘位置对应的自由空间侧的像素的总受光量,和预先存储的、在被检测对象物未介于光程中的状态下所检测到的光全部射入状态下的总受光量作比较,在检测出所述透明体的边缘位置时的总受光量低于预先设定的比例(例如将10%的光量变化预计在内所设定的90%的光量)时,判断为被所述透明体遮挡的全遮光状态。
根据这些边缘检测装置,在从自由空间一侧搜索边缘位置的阶段,与此同时对线传感器各像素的光量进行加法运算,使该受光量和光全部射入时的受光量进行比较,所以根据上述比较结果能容易地判定是在光程中无透明体存在的光全部射入状态或是线传感器被透明体覆盖的全遮光状态。
尤其是,因为根据线传感器的输出能容易地判定光程中有无透明体,所以在将边缘检测装置设置于透明体的生产、检查线上对该透明体进行对位时,其工业上的应用优点非常大。
另外,本发明的另一方面的边缘检测装置的特点为包括:将多个像素按规定的间距排列的线传感器;朝该线传感器照射单色光的光源;根据位于所述单色光的光程中的透明体的边缘处的光量分布来检测所述线传感器的像素排列方向上的所述透明体的边缘位置的边缘位置解析单元;以及,利用所述全遮光状态判定单元,将构成所述线传感器的多个像素中位于所述透明体的开始检测边缘位置的自由空间侧的数个像素的受光电平和该数个像素的光全部射入状态的受光电平进行比较,在位于所述透明体的开始检测边缘位置的自由空间侧的数个像素的受光电平低于该数个像素的光全部射入状态的受光电平时,判断为被所述透明体遮挡的全遮光状态。
通过这样,在从自由空间一侧开始搜索边缘位置阶段,能容易地判定是否为整个线传感器被透明体覆盖的全遮光状态。
另外,理想的为,利用所述边缘位置解析单元,从光全部射入状态的自由空间侧的像素侧开始依序搜索所述线传感器各像素的受光量,检测出其受光量较光全部射入状态降低了规定比例的像素位置,具体为,考虑到被检测对象物是透明体,例如,检测出光量为75%或50%的像素的位置,根据该像素位置和上述受光量的降低比例可以检测出所述透明体的边缘位置(光量为25%的位置)。通过这样,能间接地求出透明体的边缘位置。
在如此地检测边缘位置之际,不会受透过透明体的光的影响,最好从所谓入射光一侧的线传感器端部开始搜索其受光量,假设在受光量降低的所谓光量分布的下降部分存在边缘位置,便执行上述边缘位置的检测处理,若是如此地进行处理,则即使在透明体内部有污垢,因为能仅凭线传感器的总受光量的衰减判断污垢,所以能避免将该污垢作为边缘位置而误检测。
再有,在透明体的透明度高的情况下,作为一种理想的形态,所述线传感器和光源可以设置成相对所述透明体的表面形成倾斜的光程。
这是因为,通过使其倾斜,表面反射增大,透过的光衰减,以及通过将其倾斜从而透过透明体内部的光和自由空间一侧的光之间的相位差变大,由于干涉的作用边缘部份光量的下降变大,通过这样,能更正确地求出透明体的边缘位置。
再又,一种理想的构成为,利用所述边缘位置解析单元,根据位于所述单色光的光程上的透明体边缘处的菲涅耳衍射的光量分布来检测所述线传感器像素排列方向上的所述透明体的边缘位置,利用近似曲线函数近似该菲涅耳衍射产生的所述线传感器各像素的受光量变化,利用所述近似曲线函数,将在所述线传感器的像素排列方向上为规定光量的位置解析为所述透明体的边缘位置。
通过这样,即使在透明体即透明体的内部有污垢存在,依旧可避免将该污垢作为边缘位置而误检测。
附图说明
图1为本发明实施方式的边缘检测装置主要部分的概要构成图。
图2为表示利用边缘检测装置检测透明体即被检测对象物的边缘位置时线传感器的输出变化示例用的图。
图3为表示利用边缘检测装置判定线传感器被透明体即被检测对象物覆盖时线传感器的输出变化示例用的图。
图4为表示边缘检测装置的边缘位置检测特性的曲线图。
图5为表示边缘位置检测的其它方法用的图。
图6为表示透明体即被检测对象物的透明度高时边缘位置检测的方法用的图。
图7(a)、图7(b)为表示将光程相对透明体即被检测对象物的表面正交时的受光量变化和倾斜时的受光量变化进行对比用的图。
图8为现有的边缘检测装置的概要构成图。
图9为表示用于说明边缘检测装置的边缘检测原理的线传感器输出示例的图。
图10(a)为表示在光程上无透明体即被检测对象物的状态下线传感器输出变化示例用的图、图10(b)为表示在用被检测对象物将线传感器覆盖一半的状态下线传感器输出变化示例用的图、图10(c)为表示在整个线传感器被被检测对象物覆盖的状态下线传感器输出变化示例用的图。
图11为表示现有的边缘检测装置的边缘检测特性用的图。
图12为表示现有的边缘检测装置检测到透明体即被检测对象物的边缘位置时线传感器的输出变化示例用的图。
图13为表示现有边缘检测装置将污垢部分作为被检测对象物的边缘位置误判定时线传感器的输出变化示例用的图。
具体实施方式
以下参照附图对本发明实施方式的边缘检测装置进行说明。
图1表示本实施方式的边缘检测装置主要部分的概要构成,如图1所示,包括:将多个像素按规定的间距排列的线传感器1;与该线传感器1面对面设置并朝该线传感器1照射单色平行光的光源2;以及微型计算机4,该微型计算机4具有解析线传感器1的输出信号(光量信号)以检测线传感器1的像素排列方向上的被检测对象物3的边缘位置的边缘位置解析单元4a,上述光源2主要包括激光元件2a以及将该激光元件2a发出的激光作为平行光照射线传感器1的投光透镜2b,将上述线传感器1和光源2之间的上述单色平行光的光程作为检测被检测对象物3的边缘用的检测区域。
在这种情况下,微型计算机4还包括全遮光状态判定单元4b,该单元在利用边缘位置解析单元4a检测出透明体即被检测对象物3的边缘位置时,求出线传感器1中的直至与被检测对象物3的边缘位置对应的像素为止的总受光量,判定是否为覆盖线传感器1的状态。
这里,微型计算机4的边缘位置解析单元4a如前述的专利文献1所述,按每一像素由归一化单元对线传感器1的输出信号进行归一处理,并对表示归一处理后的各像素的受光量的输出信号(光量)进行解析,检测出光量为25%的位置将其作为线传感器1的像素排列方向上的被检测对象物3的边缘位置。
更具体为,上述边缘位置解析单元4a检查归一处理后的各像素11、12~1n的输出信号(光量),例如求出该光量为25%前后的两个像素1k、1k+1(k=1~n-1),设这些像素1k、1k+1各自光量之差别取决于菲涅耳衍射产生的光量分布,则利用双曲线函数等近似曲线函数近似该光量的变化(光量分布),由此,利用该近似曲线函数(光量分布)求出在像素的排列方向上光量为25%的位置将其作为被检测对象物3的边缘位置。
另一方面,所述全遮光状态判定单元4b包括初始值存储单元,在该边缘检测装置起动时等,该单元预先根据在被检测对象物3未介于所述光程中的状态下所检测出的光全部射入状态时线传感器1的输出信号求其总受光量,将其作为初始值进行存储的单元,上述总受光量可通过求出构成线传感器1的多个像素11、12~1n的各输出信号(光量)之总和而求得。
该全遮光状态判定单元4b为在其使用时(检测边缘时)在边缘位置解析单元4a检测出被检测对象物3的边缘位置时,通过求出线传感器1中的直至与被检测对象物3的边缘位置对应的像素11、12~1n为止的输出信号(光量)之总和而求出总受光量,该总受光量在比根据如上所述存储的作为初始值的总受光量得到的直至与上述边缘位置对应的像素11、12~1n为止的总受光量小时,就将该状态判定为线传感器1被被检测对象物3覆盖的全遮光状态。此时,全遮光状态判定单元4b可以构成为,与根据作为上述初始值的总受光量得到的直至与上述边缘位置对应的像素11、12~1n为止的总受光量相比,通过求出线传感器1中的直至与被检测对象物3的边缘位置对应的像素11、12~1n为止的输出信号(光量)之总和而得到的总受光量低于预先设定的比例(例如将10%的光量变化预计在内所设定的90%的光量)时,判断为被所述透明体遮挡的全遮光状态。
例如,如图2所示,在边缘位置解析单元4a检测出被检测对象物3的边缘位置E的时刻,在线传感器1中的直至与被检测对象物3的边缘位置E对应的第20个像素为止(即自由空间侧)的各个像素的光量几乎均为1.0的情况下,因为其总受光量(图2中用实线围成的区域)和光全部射入时的直至第20个像素为止的总受光量几乎无差别,所以全遮光状态判定单元4b将该部位判定为边缘位置。
另外,在线传感器1被被检测对象物3覆盖的情况下,如图3所示,在边缘位置解析单元4a检测出第48个像素处好像有点像边缘位置那样的部位(例如污垢部分D)的时刻,因为直至第48个像素为止的总受光量(图3中用实线围成的区域)比在光全部射入时直至第48个像素为止的总受光量小10%左右,所以全遮光状态判定单元4b判断该部位D不是边缘位置,为整个线传感器1被被检测对象物3覆盖的全遮光状态,输出0mm。
即,除了在全遮光状态时和光全部射入状态时能获得不同的输出结果外,即使在透明体即被检测对象物3的内部有污垢存在,也能避免将该污垢作为边缘位置而误检测。
这里,规定其检测特性为在光全部射入状态下边缘位置(边缘检测位置)为最大,在随着被检测对象物3进入光程的进入量增加,上述边缘位置减少时,如图4所示,在成为全遮光状态时,能将其边缘位置维持在最小。
换言之,能制止下述问题的发生,也就是,如现有的装置那样在变成全遮光状态时,由于不能将其与光全部射入状态区别出来故而其边缘位置急剧地变成最大值。
其结果,能正确地获得与被检测对象物3进入光程的进入量对应的边缘位置,所以例如能根据其边缘位置相应地使被检测对象物3沿线传感器1的像素排列方向位移来调整其边缘位置。尤其是,即使在无法检测边缘位置的情况下,只要使被检测对象物3向某个方向位移,对光程中被检测对象物3的边缘位置定位,就能容易地判断能否检测出其边缘位置,所以在被检测对象物3的位置调整上相当有用。
然而,如本实施方式那样,在被检测对象物3为透明体的情况下,由于利用来自光源2的单色光透过被检测对象物3的光与自由空间一侧的单色光的衍射光之间的重合产生的干涉来检测边缘,所以不能完全地遮挡来自光源2的单色光,有时该被检测对象物3的边缘产生的菲涅耳衍射的光量分布隐埋于被检测对象物3的透过光中,变得难以检测成为前述的25%的光量的位置。尤其是在被检测对象物3的透明度高的情况下,往往难以根据为25%光量的位置检测边缘位置。
因而,在这种情况下,在前述的边缘位置解析单元4a中例如可以如图5所示,求出光量变成75%的位置。
具体为,在边缘位置解析单元4a中,检查归一处理后的各像素11、12~1n的输出信号,例如求出其光量为75%的前后两个像素1g、1g+1(g=1~n—1),设这些像素1g、1g+1的各光量的不同也取决于前述菲涅耳衍射产生的光量分布,则利用双曲线函数等近似曲线函数近似该光量的变化(光量分布),由此,可以利用该近似曲线函数(光量分布)在像素的排列方向上求出光量变成25%的位置作为被检测对象物3的边缘位置。
换言之,上述的光量变成75%的位置如图5所示,从光量变成25%的边缘位置只偏移△x,该偏移量取决于单色光的波长λ、线传感器1和被检测对象物3之间的距离z等。因此,即使不如上所述地直接求出光量变成25%的位置,也能对如上所述地求出的光量变成75%的位置实施上述偏移△x的校正,从而间接地求出被检测对象物3的边缘位置。
还有,最好在如上所述地检测边缘位置之际,不受透过被检测对象物3的光的影响,所谓从光入射一侧的线传感器1的端部开始搜索其受光量,假设在受光量降低的所谓光量分布的下降部分存在边缘位置,则执行上述边缘位置的检测处理。这样,即使在被检测对象物3的内部有污垢,仍能只凭线传感器1总受光量的衰减判断出污垢,所以能避免将该 污垢作为边缘位置而误检测。
也就是,即使在被检测对象物3的内部有污垢,也不会将该污垢作为边缘位置而误检测,能判定该状态为光全部射入状态还是全遮光状态,所以例如即使在边检测被检测对象物3的边缘位置边调整该被检测对象物3的位置那样的场合,仍能正确地判定要修正上述被检测对象物3的位置的方向。即不受粘附于被检测对象物3表面的污垢等影响,能正确地检测其边缘位置。
另外,在前述的全遮光状态判定单元4b中虽然着重于线传感器1的总受光量来判定全遮光状态,但是由于在全遮光状态下如前述的图10(c)所示在线传感器1的各像素11、12~1n的输出信号中产生偏差,检查该偏差的程度可以判定是否为全遮光状态。
但是,由于线传感器1长时间使用性能发生变化而造成在各像素11、12~1n的输出信号上产生偏差,所以最好在定期地对线传感器1的输出特性校验后判定各像素11、12~1n的输出信号(光量)的偏差。另外,被检测对象物3的不同规格也会使上述偏差的程度变化,所以最好考虑到这一点来判定是否为全遮光状态。
再有,在前述的全遮光状态判定单元4b中,虽然着重于线传感器1的总受光量来判定全遮光状态,但对光射入一侧的位于线传感器1端部的数个像素的受光电平和该数个像素的光全部射入状态下的受光电平进行比较,在位于线传感器1端部一侧的数个像素的受光电平低于该数个像素的光全部射入状态的受光电平时,可以判断为由于被检测对象物3而成全遮光状态。换言之,根据对位于光射入一侧的线传感器1的端部的数个像素的输出信号是否在1.0附近例如0.9~1.1的判定,能知道是否为整个线传感器1被被检测对象物3覆盖的全遮光状态。
但是,在被检测对象物3的透明度高的情况下,如前所述,即使用全遮光状态判定单元4b检查线传感器1的受光量的总和(总受光量),也可以设想受光量不会产生大于等于10%的变化。为了避免这样的问题出现,例如在图6中示出这一理念,可以使形成于线传感器1和光源2之间的光程相对上述被检测对象物3的表面倾斜地设置。而且,只要光程相对上述被检测对象物3的表面倾斜,按照上述倾斜的角度θ校正边缘位置解析单元4a中检测出的边缘位置,则通过这样,就能正确地检测出被检测对象物3的边缘位置。
即,即使被检测对象物3的透明度较高,由于通过使光程相对被检测对象物3的表面倾斜来增加其表面的反射,所以透过被检测对象物3到达线传感器1的光量减少。其结果,在将光程相对被检测对象物3的表面设定成直角时,与将上述光程设定成倾斜时相比,如图7(a)、(b)中对各线传感器1的输出进行对比所示出的那样,将光程设定成倾斜时其 受光量降低之同时,各像素11、12~1n的受光量的偏差变大。
因而,若相对被检测对象物3的表面将光程倾斜地进行设置,则即使在被检测对象物3的透明度高的情况下,也能增加其表面反射,可靠地检测遮挡光程的被检测对象物3的存在。
还有,本发明并不限于上述实施方式,例如在上述实施方式中,将边缘位置解析单元4a作为一种根据位于单色光的光程中的被检测对象物3边缘处的菲涅耳衍射的光量分布来检测线传感器1的像素排列方向上的被检测对象物3边缘位置的单元进行了说明,但并不限于此。
另外,在上述实施方式中,将边缘位置解析单元4a作为一种利用双曲二次函数解析菲涅耳衍射的光量分布的单元进行了说明,但是,当然也可以用其它近似曲线函数。
再有,作为线传感器1的总受光量的信息,当然可以求出多个像素的各受光量的平均值,此外,还可对于全遮光状态的判定条件,考虑到作为边缘检测对象的透明体3的透明度或外部光等外扰因素而进行设定。

Claims (6)

1.一种边缘检测装置,其特征在于,包括:
将多个像素按规定的间距排列的线传感器;
朝该线传感器照射单色光的光源;
根据位于所述单色光的光程中的透明体边缘处的光量分布来检测所述线传感器像素排列方向上的所述透明体的边缘位置的边缘位置解析单元;以及
全遮光状态判定单元,其在用该边缘位置解析单元检测出所述透明体的边缘位置时,求出所述线传感器中的与所述透明体的边缘位置对应的自由空间侧的像素的总受光量,在该总受光量与预先存储的该线传感器在光全部射入状态下的直至与所述边缘位置对应的像素为止的总受光量之差超过规定的阈值时,判断为被所述透明体遮挡的全遮光状态。
2.一种边缘检测装置,其特征在于,包括:
将多个像素按规定的间距排列的线传感器;
朝该线传感器照射单色光的光源;
根据位于所述单色光的光程中的透明体的边缘处的光量分布来检测所述线传感器的像素排列方向上的所述透明体的边缘位置的边缘位置解析单元;以及
全遮光状态判定单元,其在用该边缘位置解析单元检测出所述透明体的边缘位置时,求出所述线传感器中与所述透明体的边缘位置对应的自由空间侧的像素的总受光量,与预先存储的、在被检测对象物未介于光程中的状态下所检测到的光全部射入状态下的总受光量作比较,在检测出所述透明体的边缘位置时的总受光量低于预先设定的比例时,判断为被所述透明体遮挡的全遮光状态。
3.一种边缘检测装置,其特征在于,包括:
将多个像素按规定的间距排列的线传感器;
朝该线传感器照射单色光的光源;
根据位于所述单色光的光程中的透明体的边缘处的光量分布来检测所述线传感器的像素排列方向上的所述透明体的边缘位置的边缘位置解析单元;以及
全遮光状态判定单元,将构成所述线传感器的多个像素中位于所述透明体的开始检测边缘位置侧的自由空间侧的数个像素的受光电平和该数个像素的光全部射入状态的受光电平进行比较,在位于所述透明体的开始检测边缘位置侧的数个像素的受光电平低于该数个像素的光全部射入状态的受光电平时,判断为被所述透明体遮挡的全遮光状态。
4.如权利要求1至3中任一项所述的边缘检测装置,其特征在于,
所述边缘位置解析单元,从光全部射入状态的自由空间侧的像素侧开始依序搜索所述线传感器各像素的受光量,检测出其受光量比全受光状态降低了规定比例的像素位置,并根据该像素位置和上述受光量的降低比例检测出所述透明体的边缘位置。
5.如权利要求1至3中任一项所述的边缘检测装置,其特征在于,
所述线传感器和光源形成相对所述透明体的表面倾斜的光程。
6.如权利要求1至3中任一项所述的边缘检测装置,其特征在于,
所述边缘位置解析单元,根据位于所述单色光的光程中的透明体边缘处的菲涅耳衍射的光量分布来检测所述线传感器像素排列方向上的所述透明体的边缘位置,利用近似曲线函数近似该菲涅耳衍射产生的所述线传感器各像素的受光量变化,利用所述近似曲线函数,将在所述线传感器的像素排列方向上为规定光量的位置解析为所述透明体的边缘位置。
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