CN101393753A - 光学头的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种在不导致光学头自身结构复杂化的前提下采用更简单的方法校正光学头球差的光学头的制造方法。在该方法中，所涉及的光学头包含发射规定波长光束的激光发射装置4、把所述光束会聚在光记录媒体上的物镜、以及设置于激光发射装置与物镜间光路上的改变光束平行度的准直透镜9。该光学头的制造方法包括以下步骤：从激光发射装置4发射出的光束将经过准直透镜9，并通过调整从激光发射装置4到准直透镜9之间的距离来调整从准直透镜9发射出的光束的平行度。

Description

光学头的制造方法

技术领域

本发明涉及一种光学头的制造方法，尤其涉及调整光学头球差的方法。

背景技术

通常，光学头由发射具有特定波长的光束的半导体激光器、物镜以及设置于半导体激光器与物镜之间的光路上的准直透镜所构成。从半导体激光器射出的光束，以发散光的状态沿光轴前进，通过准直透镜改变该光束的平行度(通常只是粗略改变光束平行度)，并用物镜把光束集中到光记录媒体的特定位置上。

目前HD DVD(High Definition Digital Versatile Disc)和蓝光光盘(Blue-rayDisc：注册商标)在市场上广为推广。本说明书中，把下一代的DVD-ROM、DVD-R/RW以及具有与它们相同构造和存储容量的光记录媒体都称作“下一代DVD”。在对下一代DVD进行数据信息的读写操作的光学头中，一般是选择可发射405nm左右的短波长光束的Ga-N类半导体激光器作为光源使用。通常情况下，具有与这种波长相近波长的光束，由于其波长引起的折射率的变动非常大，因此如果从光源发射出的光束波长分散，则会容易增加光学头的球差。

最近，为了增大每张光盘的存储容量，在光盘上设置了2层以上的信息记录层，从而所谓的多层光盘也逐渐成为一般性产品。在这种多层光盘中，由于从光入射面到各信息记录层的距离各不同，所以必须要校正与被选择的信息记录层相对应的光学头的球差。

另外，以往有一种光学头，为了校正光学头的球差，在其准直透镜前后的光路上设置了用于校正球差的镜片组，以及设置了把镜片组中的一部分镜片沿光轴方向移动的光束放大装置(参照专利文献1)。

还有一种光学头，在其光路上设置了液晶元件，通过施加电压来改变液晶元件的折射率，以此向通过该液晶元件的光束提供适当的相位差从而校正光学头的球差(参照专利文献2)。

然而，设置光束放大装置的技术，随着光学头的大型化，会加大移动装置的增加所造成的高成本及需确保组装精度等的制造上的消极因素。

另外，设置液晶元件的技术，由于仅用液晶元件就能实现校正球差的目的，因此可以防止上述不合理现象的发生，而且具有优良的环境可靠性。但是，由于液晶元件将光束的断面分割成多个区域，并改变每个区域中的光束的相位，因而校正后的波阵面在区域范围内会变得不连续。并且不管相位是否连续分布，由于在各区域内会发生一定量的相位漂移，因而在各区域内部也会发生相位的偏移，从而理论上存在发生校正不足或校正过度的部分。这种相位的偏移与球差的增大是成比例的，所以在球差较大的情况下，局部的相位偏移也会增大，造成整体波阵面象差变大，而最终损害光学头的性能。

有鉴于此，在不导致光学头自身结构复杂化的前提下，采用更简单的方法校正光学头的球差的方法实为必要。

【专利文献1】日本专利文献特开平5-266511号公报

【专利文献2】日本专利文献特开平9-128785号公报

【专利文献3】日本专利公开特开2004-192668号公报

发明内容

本发明涉及一种包括发射特定波长光束的半导体激光器、把光束聚集在光记录媒体上的物镜、以及设置于激光发射装置与物镜之间的光路上的用于改变光束平行度的准直透镜的光学头的制造方法。该方法包含下列步骤，即从激光发射装置发射出的光束并使该光束经过准直透镜，此时通过调整从激光发射装置到准直透镜之间的距离来调整通过了准直透镜的光束的平行度。

发射自激光发射器的光束，经准直透镜调整到特定平行度后，再由物镜集中到光记录媒体的特定位置上。所述平行度是指光束的发散、会聚或者平行的程度，即光束相对于外延光轴的倾斜程度。光束朝向光记录媒体的光路断面持续减少的状态为“会聚”，持续增加的状态为“发散”，保持不变的状态为“平行”。

经本发明的发明人研究的结果得知，在光学系统中光学头产生球差的原因之一是由于在制造物镜以及准直透镜时产生了误差。除此之外，还明确了产生球差的又一原因就是由于光学元件的制造误差及组装误差导致了准直透镜和激光发射装置之间的距离与设计值相比存在偏差。准直透镜和激光发射装置间的距离产生偏差后，光束对准直透镜的入射角度会根据透镜的开口位置而改变，所以光束会聚的位置也随之改变，这样就产生了球差。波长约为405nm的光束，由波长引起的折射率变动非常大，所以从光源发射出的光束的波长如果分散，则容易增加光学头的球差。由于以上原因产生的球差与发射到准直透镜的光束的平行度密切相关，这就意味着可以通过调整光束的平行度来减少球差。因此，本发明的发明人研究出了可通过调整激光发射装置到准直透镜间距离来调整平行度，从而调整球差的技术方案。根据本发明的内容，可以很容易地调整从准直透镜发射出的光束的平行度，按照此方法对球差的调整也会变得更加容易。

所述调整光束平行度的步骤可以包括当入射光束为平行光束时，把经过了所述准直透镜的所述光束入射到为了使该光束最大程度地会聚于规定的焦点位置而设置的测量装置中，并通过测量所述焦点位置上的光斑尺寸来检测所述平行度的步骤。

根据本发明的一个实施例，光学头的制造方法还可以包括测量物镜球差的步骤；为使从激光发射装置到物镜的光学系统中的球差达到最低，根据所述物镜球差求出经过所述准直透镜的光束之目标平行度的步骤，而且上述调整平行度的步骤包括为了得到所述目标平行度而调整从激光发射装置到所述准直透镜之间的距离的步骤。

根据本发明的另一个实施例，光学头的制造方法还可以包括测量物镜球差的步骤；为使从激光发射装置到物镜的光学系统中的球差达到最低，根据所述物镜球差求出经过所述准直透镜的光束之目标平行度的步骤，而且，上述求出平行度的步骤包括在把通过了所述准直透镜的作为入射光束的平行光束入射到为了使该光束最大程度地会聚于规定的焦点位置而设置的测量装置中时，求出所述焦点位置上的光斑尺寸以及获得所述光束为会聚光或发散光时的目标光束状态的步骤；上述调整光束平行度的步骤包括把通过了准直透镜的所述光束射入到所述测量装置中，同时调整所述激光发射装置到所述平行变换透镜之间的距离以便获得目标光斑尺寸和目标光束状态的步骤。

根据以上说明，本发明提供的光学头的制造方法能够在不使光学头的结构复杂化的前提下，用更简单的方法校正光学头的球差。

附图说明

图1为表示组成光学头的光学元件的简图。

图2为调整光学头球差时的装置概念图。

图3为表示光束射入自动校准器后的其平行度和会聚状态间关系的模式图。

图4为表示自动校准器的光斑尺寸与光学头球差之间关系的模式图。

图5为半导体激光器沿光轴方向的移动量与光斑尺寸间关系的示意图。

图6为表示第2实施例所述之自动校准器的光斑尺寸与光学头球差间关系的模式图。

图7为通过移动二向色棱镜来调整半导体激光器与准直透镜间距离的方法说明图。

图8为通过移动光束分光器来调整半导体激光器与准直透镜之间距离的方法说明图。

具体实施方式

下面结合附图将对本发明实施例作进一步的详细说明。

下面参照附图对本发明的实施方式进行说明。首先，对本发明所涉及的光学头进行简要说明。图1是表示组成光学头的光学元件的简图。此光学头1的组成可以对磁轨的物理间距各不同的3种光记录媒体2(2a～2c)分别进行数据信息读写操作。

第1种光记录媒体2a是现有的DVD-ROM、DVD±R/RW以及具有与这些设备相同结构及存储容量的光记录媒体。第2种光记录媒体2b是CD(CompactDisc)-ROM、CD-R/RW以及具有与这些设备相同结构及存储容量的光记录媒体。第3种光记录媒体2c是指前述下一代DVD-ROM。

光学头1具有能够发射特定波长的光源，即半导体激光器(激光发射装置)3、4。其中，所述半导体激光器3具有2个发光区域，即包括：发射可对现有的DVD进行读写操作的波长为650nm的光束(第1种光束)的第1发光区域；以及，发射可对CD进行读写操作的波长为780nm的光束(第2种光束)的第2发光区域。这些发光区域之间相互隔有一定距离，并被容纳于1个箱体中。此外，所述半导体激光器4发射波长为405nm的光束(第3种光束)，可以对下一代的DVD进行读写操作。

半导体激光器3和半导体激光器4的设置方式使从半导体激光器3发射出的第1种和第2种光束的光轴与从半导体激光器4发射出的第3种光束的光轴相互垂直。

半导体激光器3的光发射侧的特定位置设置有衍射光栅5。该衍射光栅5的单面上形成有最优化的衍射光栅图案，通过此种图案可以把从半导体激光器3发射出的第1和第2种光束分别分割成3束光束(0级的主光束和±1级的副光束，图未示)。该衍射光栅5在光记录媒体2的表面(信息记录面)上分别对从半导体激光器3发射出的第1、2种光束进行分割，使得±1级的副光束会聚于以主光束的聚光位置为中心并在磁轨宽度方向上相隔特定距离的对称位置上。

而且，半导体激光器4的光发射侧的特定位置也设置有衍射光栅6。该衍射光栅6的单面上形成有最优化的衍射光栅图案，通过此种图案可以把从半导体激光器4发射出的第3种光束分割成3束光束(0级的主光束和±1级的副光束，图未示)。该衍射光栅6在光记录媒体2的表面(信息记录面)上对从半导体激光器4发射出的第3种光束进行分割，使得±1级的副光束会聚于以主光束的聚光位置为中心并磁轨宽度方向上相隔特定距离的对称位置上。

从半导体激光器3发射出的光束与从半导体激光器4发射出的光束相交的位置上，设置有一个大致呈立方体形状的二向色棱镜7。该二向色棱镜7可以让第1和第2种光束几乎全部通过，并把第3种光束几乎全部反射出去。

透过二向色棱镜7或者被二向色棱镜7反射的光束将会入射到偏振光分束器8中。入射到偏振光分束器8中的光束中有90％左右的光被偏振光分束器8反射而入射到向上反射镜11中。剩余的10％左右的光束通过偏振光分束器8后，将射入前置监控用光检测器(Front monitor photodetector)14中。该前置监控用光检测器14用来计测从半导体激光器3、4发射出的第1～第3种光束的光强度，而且，根据前置监控用光检测器14的输出量来调整半导体激光器3、4的输出量。

射入向上反射镜11中的光束经向上反射镜11反射后射入准直透镜9中。此时，所述光束从半导体激光器3、4发射一直到射入准直透镜9为止都是发散光，经准直透镜9变换后就会成为基本平行的平行光。即，该准直透镜9是设置在半导体激光器3、4和物镜13之间的光路上的，用于改变光束平行度的准直透镜。

之后，通过准直透镜9的光束将射入液晶元件10中。该液晶元件10具有分割成规定形状的透明电极，在每个被分割的区域内均能显示出与输入电压相对应的不同的折光率。例如，这种透明电极可由氧化铟锡(ITO：Indium Tin Oxide)或氧化锡等构成。向液晶元件10的各区域输入电压后，折光率改变，能够向通过的光束提供适当的相位差，并且能够校正在光记录媒体2的焦点位置上产生的波阵面象差。作为波阵面象差，可以举出由于光记录媒体2的厚度影响而产生的波阵面象差(主要是球差)或者由于光记录媒体2的偏芯所导致的物镜13和液晶元件10之间的相对位置偏差的影响而产生的波阵面象差。

通过液晶元件10的光束将射入四分之一波长板12中，光束中的主光束和±1级的副光束(以下称为“往路光束”。)从直线偏振光变换为圆偏振光。通过了四分之一波长板12的光束入射到物镜13中，并会聚在光记录媒体2的信息记录面上。记录时，会聚的光束在信息记录面的规定部位上写入记录，完成记录动作。

再生时，会聚于光记录媒体2中的光束由信息记录面反射，向反方向行进。由光记录媒体2反射后的光束首先被物镜变换为平行光束。光束连续射入四分之一波长板12中，并由圆偏振光变换为其方向与往路光束的偏振光方位互相垂直的直线偏振光。通过了四分之一波长板12的光束再经由液晶元件10入射到准直透镜9中，并变换为会聚光。通过准直透镜9的光束被向上反射镜11反射后射入偏振光分束器8中。该偏振光分束器8使从准直透镜9返回的光束通过其内部的接合面而射入变形镜头15中。对于从偏振光分束器8入射的光束，为了检测焦点位置的偏离误差，所述变形镜头15会使该光束发生像散(astigmatism)现象，并在受光元件16上成像。受光元件16将接收光束分割后的每个受光区域(图未示)独立地进行光电变换并输出电信号。

下面对上述光学头的制造方法进行说明。为了制造光学头，最好是将上述的各种光学元件安装在规定的外壳中。具体地说，如图2所示，首先把除物镜13之外的各部件安装在外壳中，此时以假固定方式固定半导体激光器4使之可以沿光轴方向Z移动。然后，在准直透镜9的前方安装自动校准器21。自动校准器21是组装光学头时常用的比较廉价的装置。自动校准器也可以用于测量微小角度，在本实施例方式该自动校准器21则用于测量通过准直透镜9的光束的平行度。

(第1实施例)首先，假设物镜13的球差影响小到能够忽视，并对此时的调整方法进行说明。当入射光束为平行光束时，为了使该光束最大程度地会聚于规定的焦点位置而设置了所述自动校准器21。图3是表示光束射入自动校准器后其平行度和会聚状况间关系的模式图。图3a表示的是所述光束为平行光束时的状况。所述自动校准器21包括准直透镜22、聚光元件23和显示部24。入射到自动校准器21中的光束经过准直透镜22变成会聚光，之后再射入聚光元件23中。聚光元件23设置于与平行光束射入准直透镜22时的光束焦点位置F1相重合的位置。因此，在聚光元件23上捕捉到的光斑S的尺寸在平行光束入射时变得最小，当光束具有圆形断面时，光斑直径最小。

图3(b)、(c)表示的是射入自动校准器的入射光束分别为发散光束及会聚光束时的状况。如图3(b)所示，当入射光束是发散光束时，透过准直透镜22的光束的焦点F2形成在聚光元件23的前方(远离准直透镜侧)位置上。如图3(c)所示，当入射光束是会聚光束时，透过准直透镜22的光束的焦点F3则形成在聚光元件23的后方(靠近准直透镜侧)位置上。而不论哪种情况由聚光元件23捕捉的光斑的尺寸都比由图3(a)所示的光斑尺寸大。

所述关系可以按照表示自动校准器的斑点尺寸和光学头的球差之间关系的图4所示的模式图来进行整理。如同图所示，光学头的球差是指从半导体激光器4到物镜13间光学系统的球差，由于物镜13的球差达到小得可以忽略的程度，故该光学头的球差可以认为是从半导体激光器4到准直透镜9间光学系统的球差。当入射光束为发散光束时，随着发散度的减小球差也会减小，而当入射光束为平行光束时球差就会变为0，入射光束为会聚光束时，球差再增大。为了得到这种特性，要预先对自动校准器21进行调整。因此，根据该图得知，为了减少球差从准直透镜9发射的光束最好是平行光束，即光束的光斑尺寸减到最小时效果最佳。总之，按照本实施例，通过了准直透镜9的光束射入自动校准器21中，根据测量光束在准直透镜22的焦点位置F1上形成光斑尺寸，可以检测出光束的平行度。

本实施例中，为了改变光斑尺寸以此将已通过准直透镜9的光束调整为平行光束，对从半导体激光器4到准直透镜9间的距离进行调整。具体地说，首先，从半导体激光器4中发射光束，用准直透镜9改变该光束的平行度并使其通过。光束入射到自动校准器21后，聚光元件23将捕捉出具有一定大小的斑点，并将该半点表示显示在显示部24上。操作者在确认显示部24中所显示的光斑尺寸S的同时，在光轴方向Z上向着前方方向Z1或后方方向Z2(参照图2)移动所述半导体激光器4。并由此来改变显示在显示部24上的光斑尺寸。光斑尺寸之所以能改变，是因为根据从半导体激光器4到准直透镜9之间的距离变化，能使光束的会聚位置发生变化的缘故。

图5是表示半导体激光器4沿光轴方向的移动量与光斑尺寸间关系的示例图。当把半导体激光器4移向靠近准直透镜9的方向，即以图2所示的前方方向Z1移动时，光束在校准器9中的折射角减小(由折射造成的弯曲度减少)，通过了准直透镜9的光束不会变为平行光束，而是保持发散状态。因此，光斑尺寸也呈现较大的状态。另一方面，当把半导体激光器4向着靠近准直透镜9的方向移动，即以图2所示的后方方向Z2移动时，产生与上述作用相反的作用，通过了准直透镜9的光束会由平行光束转变为会聚状态。由此，通过确认光斑尺寸的同时将半导体激光器4沿光轴方向Z移动之事，可以将已通过准直透镜9的光束调整为平行光束以便使光斑尺寸变为最小(光斑S1)。

在上述说明中，由于假设了物镜13的球差小到可以忽视的情况，因而在此种状态下固定半导体激光器4的位置并将物镜13安装到规定的位置上，以此就可以制作出球差小的光学头。当然，就确认光斑尺寸的同时移动半导体激光器4的操作来说，用计算机控制代替人工操作可以进行自动化操作。

如以上说明所表明，通过改变半导体激光器4和准直透镜9间的距离就可以调整光斑尺寸，所以沿光轴方向Z移动的对象物体并不局限于半导体激光器4。例如，可以把准直透镜9沿着光束光轴方向移动，还可以把二向色棱镜7或者偏振光分束器8等的设置于半导体激光器4与校准器9之间的光路上的其他光学元件沿着光轴方向Z移动。通常情况下，由于所述校准器9被安装在支架17中，因而在移动准直透镜9时，最好把透镜支架17也同时沿光轴方向移动。而且，还有一种代替半导体激光器4而移动半导体激光器3的实施例。

根据本实施例，无需设置新的透镜或者透镜移动机构，可以继续使用以往的光学头结构，所以减少了制造成本的增加。而且，测量光学头整体象差的装置规模十分庞大而且价格也很高，而在本实施例中只要测量从准直透镜发射出的光束的平行度就可以调整象差，因此可以采用通用性较高的自动校准器，从而还减少了测量装置的成本。并且附加的工序很少，对制造效率的影响也较小。

(第2实施例)其次，假设物镜13球差影响不能忽略，并对此时的调整方法进行说明。在这种情况下，首先要测量物镜13的球差。然后，为了使半导体激光器4到物镜13间的光学系统的球差达到最小程度，根据测出的物镜13的球差计算出通过准直透镜9的光束的目标平行度。当物镜13的球差大的情况下，为了使入射的光束在光记录媒体2的规定位置形成的最小光斑，需要使所述光束以事先预计了物镜13的球差的目标平行度通过准直透镜9。

图6是为了说明目标平行度的概念而表示的自动校准器的光斑尺寸和光学头的球差之间关系的模式图。图中，光学头的球差是指从半导体激光器4到物镜13的光学系统的球差。而目标平行度是用通过了准直透镜9的光束射入自动校准器21时的光束的光斑尺寸来规定的。从图6中可以看出目标光斑尺寸是指当球差为0时的光斑尺寸S2。通过准直透镜9的光束的状态还取决于光束是会聚光还是发散光(目标光束的状态)的情况。也就是说，目标平行度是，基于物镜13的球差并预先由目标光斑尺寸和目标光束状态所提供。例如，当物镜13的球差为负值时，从准直透镜发射的光束的球差最好为正值。从而，图5中的光斑尺寸S2就成为目标光斑尺寸，而发散光束就成为目标光束状态。由此，在本实施例中通过准直透镜9的光束通常不是平行光束，且光斑尺寸也不是最小值。

确定目标平行度后，为了获得目标平行度，与第1实施例一样，要调整半导体激光器4到准直透镜9之间的距离。自动校准器21最好也使用与第1实施例相同的装置，即当入射的光束是平行光束时，为了使光束最大程度地会聚于规定的焦点位置F1而设置。把已通过准直透镜9的光束射入自动校准器21的同时，为了获得目标光斑尺寸和目标光束状态，例如可以移动半导体激光器4的光轴方向Z的位置。

目标平行度可以每次根据物镜13的球差来进行设定，当应用本实施例进行批量生产时，也可以根据球差将物镜13分为若干组，并预先设定好每一组的目标平行度之后利用此目标平行度来进行调整。

按照上述方法，可以调整并固定各光学元件使得产生最适当的球差，然而由于固定后将进行的热处理等原因会出现固定位置从调整好的最佳位置移动的情况，在这种情况下可以使用液晶元件10对偏差部分进行补正。如前所述，当球差很大时，液晶元件10在被分割的各区域内的相位偏移是不可忽视的，但按照本发明，球差可以被控制成十分微小的程度，因此通过液晶元件的细微驱动，就可以对偏移进行有效的补正。如果液晶元件的驱动量过大则会产生恶化物镜漂移特性的不良结果，而按照本发明被调整的光学头可以避免上述不良结果的产生。

而且，根据以上说明表明，由于光斑的尺寸可以通过改变半导体激光器4和准直透镜9之间的距离来调整，所以沿光轴方向Z移动的对象物体并不局限于半导体激光器4。例如还可以将准直透镜9沿光轴的方向进行移动。当校准器9安装在支架17上的情况下，如果需要移动准直透镜9，则最好也把透镜支架17同时沿光轴方向Z移动。另外，还有一种代替半导体激光器4而移动半导体激光器3的实施例。

并且，还可以把二向色棱镜7或者偏振光分束器8等的设置于半导体激光器4和准直透镜9之间光路上的其他光学元件沿光轴方向Z移动。

图7示出了通过移动二向色棱镜7而改变半导体激光器4到准直透镜9之间距离的情况。在本实施例中，由于半导体激光器4或者固定该半导体激光器4的支架压贴在外壳侧壁上，因而只能向Y方向移动(如图中虚线所示)。具有这种结构的情况下，当把二向色棱镜7移动到图中虚线所示的位置上时，由于半导体激光器4在Y方向的最佳位置改变，所以也要把半导体激光器4沿Y方向移动，并调整该半导体激光器4使得准直透镜9的发射光光轴与记录媒体相垂直。其结果，从准直透镜9到半导体激光器4的距离只变化了a长度，从而可以控制球差。

图8示出了通过移动光束分光器8而改变半导体激光器4到准直透镜9之间距离的情况。在本实施例中，由于半导体激光器或者固定该半导体激光器的支架压贴在外壳侧壁上，因而只能向Y方向移动(如图中虚线所示)。具有这种结构的情况下，当把光束分光器8移动到图中虚线所示的位置上时，由于半导体激光器4在Y方向的最佳位置改变，所以也要把半导体激光器4沿Y方向移动，并调整该半导体激光器4使得准直透镜9的发射光光轴与记录媒体相垂直。其结果，从准直透镜9到半导体激光器4之间的距离只缩短了b、c长度，并只增长了d长度。由于c和d距离相等，因此整体上，半导体激光器4与准直透镜9之间的距离只缩短了b长度，从而可以控制球差。

Claims (7)

1.一种光学头的制造方法，所述光学头包含发射特定波长光束的激光发射装置、把所述光束聚集到光记录媒体上的物镜、以及设置于激光发射装置与物镜间光路上的用于改变所述光束的平行度的准直透镜，其特征在于所述方法包含：从激光发射装置中发射光束并使该光束经过准直透镜，此时通过调整从激光发射装置到准直透镜之间的距离来调整通过了准直透镜的光束之平行度的步骤。

2.如权利要求1所述的光学头的制造方法，其特征在于：所述调整光束平行度的步骤包括当入射光束为平行光束时，把经过了所述准直透镜的所述光束入射到为了使该光束最大程度地会聚于规定的焦点位置而设置的测量装置中，并通过测量所述焦点位置上的光斑尺寸来检测所述平行度的步骤。

3.如权利要求1所述的光学头的制造方法，其特征在于：该方法还包括测量所述物镜之球差的步骤；以及，为使从所述激光发射装置到所述物镜的光学系统的球差达到最低，根据所述物镜球差求出经过所述准直透镜的光束之目标平行度的步骤；

所述调整平行度的步骤，包括为了得到所述目标平行度而调整从激光发射装置到所述准直透镜之间的距离的步骤。

4.如权利要求1所述的光学头的制造方法，其特征在于包括：

测量所述物镜之球差的步骤；

为使从所述激光发射装置到所述物镜的光学系统的球差达到最低，根据所述物镜球差求出通过所述准直透镜的光束之目标平行度的步骤；

所述求出平行度的步骤，包括在把通过了所述准直透镜的作为入射光束的平行光束入射到为了使该光束最大程度地会聚于规定的焦点位置而设置的测量装置中时，求出所述焦点位置上的光斑尺寸以及获得所述光束为会聚光或发散光时的目标光束状态的步骤；

所述调整光束平行度的步骤，包括把通过了准直透镜的所述光束射入到所述测量装置中，同时调整所述激光发射装置到所述平行变换透镜之间的距离以便获得目标光斑尺寸和目标光束状态的步骤。

5.如权利要求1至4中任一项所述的光学头的制造方法，其特征在于：所述调整距离的步骤包括将激光发射装置沿所述光束的光轴方向移动的步骤。

6.如权利要求1至4中任一项所述的光学头的制造方法，其特征在于：所述调整距离的步骤包括将准直透镜沿光束的光轴方向移动的步骤。

7.如权利要求1至4中任一项所述的光学头的制造方法，其特征在于：所述调整距离的步骤包括将设置于激光发射装置与准直透镜之间的光路上的光学元件沿所述光束的光轴方向移动的步骤。

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