CN101384948A - 用于测试平板显示器设备的系统及其方法 - Google Patents
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Abstract
一种用于测试平板显示器的系统,该平板显示器具有平面显示板组件,该系统包括:测试平台,其用于布置平面显示板组件;测量装置,其被配置在测试平台上并用于测量来自光源并穿过平面显示板组件的测量区域的透射光的光谱;传送装置,其用于使测量装置在测试平台上以等加速度移动;以及缺陷报告装置,其被电连接到测量装置并用于通过处理从测量装置传输的光谱的电信号来报告缺陷的存在、缺陷类型以及缺陷的严重程度。
Description
发明背景
(a)发明领域
本发明涉及一种用于测试平板显示器的系统及其方法。更具体地,本发明涉及一种用于测试平板显示器的系统和方法,所述系统和方法能够通过分析光谱而为各个像素确定缺陷或次级,所述光谱分别穿过周期性地排列在平板显示器上的多个像素。
(b)相关技术说明
通常,平板显示器可能包括液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、有机电致发光显示器(OLED)和场致发射显示器(FED)。液晶显示器已经得到最积极的研究,因为其具有高分辨率并且其具有足够快的响应速度以实现电影。液晶显示器包括:具有形成于其上的公共电极和滤色镜或相似物的滤色镜显示板、具有形成于其上的像素电极和薄膜晶体管或相似物的薄膜晶体管显示板和注入滤色镜显示板和薄膜晶体管显示板之间的液晶材料。具有介电各向异性的液晶分子根据施加到公共电极和像素电极之间的电场而旋转。因此,当预定电压施加到公共电极时,施加到像素电极的图像信息电压受到控制,然后液晶分子可为各个像素透射光线或阻碍光线从而显示字符或图像。滤色镜显示板和薄膜晶体管显示板被组装在真空中,然后在装配后被切割为单元板。这样的单元板被称为“显示板组件”。为了测试显示板组件,探头分别连接在滤色镜显示板的公共电极和薄膜晶体管显示板的像素电极上,并且驱动信号施加在公共电极和像素电极之间以使测试图样显示在显示板组件上,然后检测所显示出的测试图样的的缺陷或次级。按照惯例,通过利用肉眼或显微镜观察显示在平板显示器上的图像来测试平板显示器的缺陷或次级。然而,这种利用肉眼或显微镜的测试方法可能有缺点,因为它需要大量的时间和劳动,以及因为检测者主观地确定缺陷或次级而出现的产量的差别。此外,利用电视摄像机和图像处理技术的自动测试方法已经被很好地利用。然而,它由于昂贵而具有缺点,因为它需要一种高分辨率和高密度的电视摄像机,所述电视摄像机具有比面板的像素密度更高的像素密度,捕获到的图像又一次由肉眼观察以便检测平面显示板基底上的缺陷或次级。此外,利用肉眼、显微镜或传统的自动测试装置的测试方法有分辨率的限制,因此,它无法检测细微拖尾或细微的面板厚度次级。在该背景部分公开的上述信息只为了加强对发明背景的了解,因此它可能包含本国内本领域普通技术人员已知的但不形成现有技术的信息。
发明内容
本发明致力提供一种用于测试平板显示器的系统及其方法,其具有精确快速地检测平板显示器的缺陷或次级的优势。本发明致力提供一种用于测试平板显示器的系统及其方法,其具有在没有高分辨率和高密度的电视摄像机的情况下检测平板显示器的细微拖尾或细微厚度次级的优势。本发明致力提供一种用于测试平板显示器的系统及其方法,其具有自动检测平板显示器的缺陷或次级的优势并具有优良的性能。根据本发明示例性实施例的具有平面显示板组件的一种用于测试平板显示器的系统包括:测试平台,其用于布置平面显示板组件;测量装置,其配置于测试平台上并用于测量来自光源并穿过平面显示板组件的测量区域的透射光的光谱;传送装置,其用于使测量装置在测试平台上以等加速度移动;以及缺陷报告装置,其被电连接到测量装置并用于通过处理从测量装置传输的光谱的电信号来报告缺陷的存在、缺陷的类型以及缺陷的严重程度。测量装置可以包括架体,在架体的前部具有多个测量头,所述架体包括调焦单元,该调焦单元用来对穿过平面显示板组件的测量区域的透射光进行调焦;光谱单元,其用于将准直光分散到各个波长内;以及光电转换传感器,其用于吸收被分散到各个波长内的光并且将来自各个波长的光信号分别转换成电信号,其中,调焦单元通过光纤连接到光谱单元。光电转换传感器可以由从选自一组光二极管阵列、CCD和CMOS中的一种加工而成。调焦单元可以包括聚焦透镜和凹透镜的其中之一并控制测量区域。所述架体形成为杆状,其内可分离地安装有多个测量头。
测量装置两端都可与传送装置相连接,所述传送装置可以由步进电机驱动。缺陷报告装置可以包括:存储单元,其存储从光电转换传感器中传输来的光学数据;光谱计算单元,其利用存储在存储单元的数据根据各自的测量区域来计算平均光谱强度;突出处理单元,其在各个测量区域的各个光谱强度小于或大于平均光谱强度时,对小于或大于平均光谱强度的各个光谱强度进行突出,立体图像显示单元,其立体地显示各个测量区域的各个光谱强度,
其中立体图像显示单元还包括缺陷报告单元,缺陷报告单元用于在存储单元的数据库的基础上将各个光谱强度与平均光谱强度进行比较,确定并报告缺陷的存在、缺陷的类型以及缺陷的严重程度。缺陷报告单元还包括根据缺陷图样的数据库,该数据库包括以下内容:由于液晶板组件的薄膜晶体管显示板的电气特性的变异而出现在滤色镜显示板上的第一拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的滤色镜的厚度差异而出现的第二拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的黑色矩阵的厚度差异而出现的第三拖尾、浮在液晶显示板组件的滤色镜显示板上的第四拖尾、由于液晶板组件的污染而出现的第五拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的污染而出现的第六拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的不良排列而出现的第七拖尾以及由于液晶板组件的校准层的误差而出现的第八拖尾,并且其将所述缺陷分类为有待丢弃、有待恢复和有待忽略的。光源可以是平面光源,并且光源具有200nm到2100nm的波长并且为白光源。一种用于测试平板显示器的方法,包括:将平板显示组件安置在一测试平台上;应用测试驱动信号以使平板显示组件执行测试操作;调节平板显示组件上的测量装置以控制平板显示组件的多个测量区域;测量来自光源并穿过平板显示组件的透射光的光谱,所述光源配置于平板显示组件下方;以及将测量出的光谱传输到缺陷报告装置;其中,缺陷报告装置通过将各个测量区域的测量出的光谱交叠而获得平均光谱强度,并且,当各个测量区域的光谱强度与平均光谱强度比较并且小于或大于平均光谱强度时,报告有缺陷。所述缺陷的报告可以包括对小于或大于平均光谱强度的光谱强度进行突出。所述缺陷的报告可以包括对小于或大于平均光谱强度的光谱强度进行立体显示。所述报告缺陷可以包括通过将各个测量区域的光谱强度与数据库的缺陷数据信息相比较而确定缺陷的严重程度,并报告所确定的缺陷的严重程度以及缺陷类型。当测量区域有较短边m和较长边n时,所述测量区域可以被设置成较短边m与较长边n基本相等。所述对小于或大于平均光谱强度的光谱强度进行突出包括使X、Y和Z元素中的至少一个与整数相乘。
所述测量装置可以利用安装在其两个端部的传送装置以等加速度运动。所述平面显示板组件可以包括滤色镜面板,所述多个测量区域各自为滤色镜面板的至少一个亚像素或至少一个像素。所述测量装置可以包括用于改变测量区域的凸透镜。所述缺陷报告单元对选自缺陷信息组中的至少一个进行报告,该缺陷信息组包括:由于液晶板组件的薄膜晶体管显示板的电气特性的变异而出现在滤色镜显示板上的第一拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的滤色镜的厚度差异而出现的第二拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的黑色矩阵的厚度差异而出现的第三拖尾、浮在液晶显示板组件的滤色镜显示板上的第四拖尾、由于液晶板组件的污染而出现的第五拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的污染而出现的第六拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的不良排列而出现的第七拖尾以及由于液晶板组件的校准层的误差而出现的第八拖尾。所述液晶板组件包括:滤色镜显示板、薄膜晶体管显示板和注入到滤色镜显示板和薄膜晶体管显示板之间的液晶材料层,所述测量装置依靠电信号和存储在存储单元的数据库中的参考信号之间的差来测量其自身厚度、形成于薄膜晶体管面板上的薄膜晶体管的厚度、形成于滤色镜膜上的滤色镜和黑色矩阵的厚度以及光学补偿面板的厚度。在该背景部分公开的上述信息只为了加强对发明背景的了解,因此它可能包含在本国内本领域普通技术人员已知的但不形成现有技术的信息。
附图说明
图1是示意性地显示了根据本发明的示例性实施例的用于测试平板显示器的系统的立体图。
图2是示意性地显示了根据本发明的示例性实施例的用于测试平板显示器的系统的测量装置的立体图。
图3是用于显示根据本发明的示例性实施例如何测试平板显示器的流程图。
图4A和4B分别是在其各个不同位置上有缺陷的红色亚像素的周期性图样,以及穿过在其各个不同位置上有缺陷的红色亚像素的光的光谱分布图。
图5A和5B分别是在其各个不同位置上有缺陷的绿色亚像素的周期性图样,以及穿过在其各个不同位置上有缺陷的绿色亚像素的光的光谱分布图。
图6A和6B分别是在其各个不同位置上有缺陷的蓝色亚像素的周期性图样,以及穿过在其各个不同位置上有缺陷的蓝色亚像素的光的光谱分布图。
图7立体地描绘了由根据本发明的示例性实施例的用于测试平板显示器的系统的立体图像单元为平面显示板组件的各个显示单元显示出的光谱分布。
具体实施方式
如那些本领域的技术人员应当理解的,所述实施例可以以各种不同方式进行修改而都不偏离本发明的实质和范围。具体地,根据本发明的示例性实施例,它应用于无源液晶显示器是一个示例,但不仅限于此,因此它可以用来检测有源液晶显示器、等离子显示设备、有机电致发光显示设备(OLED)和场致发射显示器(FED)的缺陷或次级。
根据本发明的示例性实施例,液晶显示器的缺陷或次级可包括:黑点(black dot),也就是说,在白屏状态下光不能穿过的黑点缺陷;在黑屏状态下光可以穿过的亮点缺陷(bright dot defect);黑点缺陷或白点缺陷形成在一条线上的线缺陷(line defect)以及有些图片以不同的对比度和色度显示的显示拖尾(display smear)。
图1是示意性地显示了根据本发明的示例性实施例的用于测试平板显示器的系统的立体图,以及图2是示意性地显示了根据本发明的示例性实施例的用于测试平板显示器的系统的测量装置的立体图。
如图1和图2中所示,根据本发明的示例性实施例的用于测试平板显示器的系统1包括:用于固定待测试对象的测试平台100;测试平台100上的液晶板组件10;测量装置200,其配置于测试平台100上,用于向液晶板组件10射出光并测量从液晶板组件10接收到的光的光谱;缺陷报告装置300,用于从测量装置200接收测量出的光谱(即作为电信号的光学数据)并将该光谱储存在数据库中、突出至少一个元素、并立体地显示液晶板组件10的各个像素的光谱。根据本发明的示例性实施例,用于测试平板显示器的系统1可以包括液晶板组件驱动单元11以便将驱动信号施加到液晶板组件10的公共电极和像素电极,选择液晶板组件10上的预定的多数的像素,并显示测试图样。因此,当在液晶板组件10上选择预定像素并且显示测试图样时,可能检查出最小的缺陷或细微的次级如彩色拖尾。所述液晶板组件驱动单元11包括接触在液晶板组件10的电极上的多个探针。在液晶板组件10的电极上施加驱动信号,在液晶板组件10上选择预定像素,则测试图样被显示。测试平台100可以是能够根据X轴、Y轴和X轴与Y轴之间的角Θ而移动的UVW平台。当测试平台100用作UVW平台时,测试平台100可以使测量装置200的测量头210与液晶板组件10的测量区域A相一致地排列,因此,由于光路的差异而产生的测量误差将减少。测量装置200包括:测量头210;传送单元250,其用于在预定方向上传送测量头210;以及光源220,其在一个方向上向测量头210的受光面210a射出光。测量头210包括:调焦单元211,其用来对穿过液晶板组件10的光进行调焦;分光单元(disperseunit)213,其用来分散(separate)光的光谱;以及光电转换传感器215,其用于将所分散的光谱转换成电信号。
光源220可以位于测试平台100上面。此时,光源可以使用从液晶板组件10反射的光。更具体地,光源220可以具有200nm到2100nm的波长,包括从液晶板组件显示器发射的紫外范围的光。此外,光源220可以使用安装在液晶板组件的后面的背光(图中未显示)。根据本发明的示例性实施例,可以使用平面光源以便当光源220和测量装置200之间有不同光路时防止发生测量误差。平面光源可以通过组合一连串的透镜或通过使用偏振片或光导板700而形成。光源220可以是使用短波激光器或紫外灯的白光。从光源220照射出的光穿过液晶板组件10。所述穿过液晶板装置10的光通过测量装置200的测量头210被接收到调焦装置211内。分光单元213将准直光分散成不同波长的光。更详细地,分光单元213包括棱镜,用于将穿过它的光分散成不同的波长。光电转换传感器215是小于一个像素单元的传感器,其吸收被分散成不同波长的光,并将光分别转换成为相应的电信号。其可由光二极管阵列、电荷耦合器件(CCD)和CMOS加工而成。测量头210被可分离地安装在杆形架体231内,并且多个测量头210可同时被传送单元250驱动,而且多个测量区域可同时被测量。架体231可以包括在其中串联着的电触点。因此,测量头210与相应触点相一致地可分离地插入到架体231中,因此,当任何一个测量头210失效或损坏时,它都可以被替换。更可取的做法是,确定测量头210的尺寸和光电转换传感器的数目以便与液晶板组件具有相同的像素密度。因此,测量头210的分辨率和密度不需要比液晶板组件的分辨率和密度更高。此外,测量头210可以包括凸透镜以便它可以依靠凸透镜向上的移动来测量更大的测量区域。也就是,当凸透镜向上或向下移动时,可以控制测量区域的大小。因此,测量区域可以包括共计10个(10-numbered)像素或共计5个(5-numbered)像素。光电转换传感器215电连接到缺陷报告装置300。缺陷报告装置300可以是CPU等,并可以包括:存储单元311,其存储从光电转换传感器215传输来的光学数据;光谱计算单元313,其利用存储在存储单元311的光学数据来计算各个测量区域的平均光谱强度;突出处理单元315,其在各个测量区域各自相应的光谱强度小于或大于平均光谱强度时,对小于或大于平均光谱强度的各个光谱强度进行突出;立体图像显示单元317,其立体显示各个测量区域各自相应的光谱强度。立体图像显示单元317还包括缺陷报告单元318,缺陷报告单元318用于将各个测量区域的光谱强度与平均光谱强度进行比较,以确定并报告缺陷的存在、缺陷的类型和缺陷的严重程度。如图2中所示,测量区域可以为至少一个亚像素(SP)或至少一个像素(P)。在滤色镜CF中,亚像素表示相应的红色、绿色和蓝色滤色镜并且像素(P)表示一对红色、绿色和蓝色滤色镜。根据本发明的示例性实施例,每个像素的缺陷,不管怎样也可以测量出来。另外,存储单元311可以进一步包括根据缺陷类型的图案数据库,该数据库存储以下数据信息:由于液晶板组件的薄膜晶体管显示板的电气特性的变异而出现在滤色镜显示板上的第一拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的滤色镜的厚度差异而出现的第二拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的黑色矩阵的厚度差异而出现的第三拖尾、浮在液晶显示板组件的滤色镜显示板上的第四拖尾、由于液晶板组件的污染而出现的第五拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的污染而出现的第六拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的不良排列而出现的第七拖尾以及由于液晶板组件的校准层的误差而出现的第八拖尾,并且所述数据库在数据中将所述缺陷分类为有待丢弃、有待恢复和有待忽略的。缺陷报告单元318在数据库的基础上对缺陷数据中有待丢弃、有待恢复或有待忽略的数据通过颜色或声音突出而进行报告。根据本发明的示例性实施例如何测试平板显示器将在图3至图7进行描述。图3是用于显示根据本发明的示例性实施例如何测试平板显示器的流程图。图4A和4B、图5A和5B以及图6A和6B分别是在其各自不同位置上有缺陷的红色、绿色和蓝色亚像素的周期性图样,以及穿过在其各自不同位置上有缺陷的红色、绿色和蓝色亚像素的光的光谱分布图。参照图3,液晶板组件10布置在测试平台100上(S10),液晶板组件10的诸如公共电极和像素电极的电极部分通过液晶板组件驱动单元11被施加驱动信号,使得在液晶板组件10上形成测试图案(S20)。例如,当要检测点或线缺陷时,所有像素被关闭或开启,也就是,穿过液晶板组件10的光的光谱可以在黑屏或白屏状态下进行检测。如图4A和4B、图5A和5B以及图6A和6B中所示,当红色、绿色和蓝色像素的周期性图案在其各自不同位置具有缺陷时,可知,透过各个红色、绿色和蓝色亚像素的光的光谱分布各自彼此不同,所述各个红色、绿色和蓝色亚像素在其各个不同位置具有缺陷。由测试图案选择的亚像素或像素被定义为多个测量区域A并且测量装置200被调整以便同时测量所述多个测量区域(S30)。在这时,用于过滤三种光的红色、绿色和蓝色滤色镜被周期性地置于液晶显示板上,而且像素基本形成为正方形图案,因此,测量区域A优选地被确定为一个像素单位,因为尽管两个以上滤色镜同时包括在测量区域内,但是穿过红色、绿色和蓝色滤色镜的光的光组合比率不会根据测量位置而改变。也就是说当测量区域A的较短边被定义为m而测量区域A的较长边被定义为n时,测量区域可以被优选地分割以使m基本与n相同,因为光组合比率的差异可能降低。可以通过向上或向下调整凸透镜来控制测量区域A,并且测量装置200的架体231被向上或向下移动以便所述多个测量头被同时校准。测量头被确定与测量区域A一致地配置,即,这里确定测量区域A包括2n个像素,例如,一个像素、两个像素、四个像素......,而且确定具有安装在其中的测量头的架体231在等加速状态下移动(S40)。确定了入射光与从光源225发出的光平行(S50)。也就是说,在测量装置和光源对准后开始测试平面显示板,因此可以在没有具有更高分辨率的相机的情况下迅速测试平面显示板。以这种方式测量出光谱强度被储存在存储单元311中(S60),光谱计算单元313获得各个测量区域的平均光谱强度(S70),以及突出处理单元315判定各个测量区域测量出的光谱强度是否小于或大于平均光谱强度,然后通过将其乘以整数或将其着色以突出小于或大于平均光谱强度的测量区域光谱强度(S80)。例如,根据本发明的示例性实施例,当一个像素被设定为测量区域时,因为像素是周期性排列的,所以10个像素的光谱强度平均值可能与一个像素的光谱强度相同。因此,可以未经测量液晶板组件的全部像素而获得平均值。另外,当测量区域假定为10个像素并且其平均值假定为100时,具有低于100,例如90的光谱强度的测量区域从多个测量区域中被选中。连续地,测量区域假定为5个像素并且其平均光谱强度被比较,低于或大于平均光谱强度的相应测量区域被搜索,因此,当测量区域一再被缩小,那么最终可以精确地检测至少一个像素的缺陷或次级。因此,因为每个像素的光谱强度与测量区域的平均光谱强度相比较,所以可以精确地执行该方法,而且因为测量区域包括多个像素并且多个测量区域被同时检测,所以可以迅速地执行对于平面显示板的测试。立体图像显示单元317通过光谱计算单元313和突出处理单元315来立体地显示对于每个测量区域的计算值(S90)。因此,通过突出均色拖尾(evencolor smear)和立体显示均色拖尾,探测器可能会检测到由于薄膜的细微厚度差异而导致其亮度差异非常小而难以察觉的均色拖尾。同时,缺陷报告单元318将由光电转换传感器215传输来的测量区域中电信号或光谱强度与存储在存储单元311中的数据库的数据进行比较,并以颜色或声音报告缺陷的存在、缺陷的类型和缺陷的严重程度(S100)。即,缺陷报告单元318可以报告由于液晶板组件的薄膜晶体管显示板的电气特性的变异而出现在滤色镜显示板上的第一拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的滤色镜的厚度差异而出现的第二拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的黑色矩阵的厚度差异而出现的第三拖尾、浮在液晶显示板组件的滤色镜显示板上的第四拖尾、由于液晶板组件的污染而出现的第五拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的污染而出现的第六拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的不良排列而出现的第七拖尾以及由于液晶板组件的校准层的误差而出现的第八拖尾,这些根据数据库中缺陷的类型存储并分类,并且报告在数据中有待丢弃、有待恢复和有待忽略的那些数据。缺陷报告单元318在数据库的基础上将缺陷数据中有待丢弃、有待恢复和有待忽略的数据进行分类并通过以颜色或声音进行突出来报告。图7立体地描绘了由根据本发明的示例性实施例的用于测试平板显示器的系统的立体图像单元为平板显示器组件的各个显示单元显示出的光谱分布。如图7所示,例如,各个测量区域的光谱被测量和相互比较。也就是说,光谱强度小于或大于平均光谱强度的缺陷区域,超出了预定范围,则其被定义为亮线缺陷(A);光谱强度小于或大于平均光谱的缺陷区域为局部区域,则其被定义为亮点缺陷(B);光谱强度小于或大于平均光谱的缺陷领域,超出了预定的范围并在预定范围外有波动,也就是说,有大于预定距离的趋势,则其被定义为拖尾(C)。根据本发明的示例性实施例,可以同时显示各个测量区域内的各种缺陷,可以确定各个测量区域的缺陷类型和缺陷严重程度以便可以确定是否丢弃相应的显示板组件。缺陷报告装置300可以报告由于液晶板组件的薄膜晶体管显示板的电气特性的变异而出现在滤色镜显示板上的拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的滤色镜的厚度差异而出现的拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的黑色矩阵的厚度差异而出现的拖尾、浮在液晶显示板组件的滤色镜显示板上的拖尾、由于液晶板组件的污染而出现的拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的污染而出现的拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的不良排列而出现的拖尾以及由于液晶板组件的校准层的误差而出现的第八拖尾。当液晶板组件包括滤色镜显示板、薄膜晶体管显示板、注入到滤色镜显示板和薄膜晶体管显示板之间的液晶材料层,测量装置测量其自身厚度、形成于薄膜晶体管面板上的薄膜晶体管的厚度、形成于滤色镜膜上的滤色镜和黑色矩阵的厚度以及光学补偿面板的厚度,因为液晶材料层的入射光的波长根据其厚度差异、形成于薄膜晶体管面板上的薄膜晶体管的厚度差异、形成于滤色镜膜上的滤色镜和黑色矩阵的厚度差异以及光学补偿面板的厚度差异中的任何一个厚度差异而改变,并依靠其厚度差异来检查其污染物。众所周知,入射光的波长可能由于折射率差异和厚度差异而改变,因此,其不会被详细描述。尽管本发明已经与目前认为的实际的示例性实施例相联系进行了说明,但应当理解本发明不仅限于所公开的实施例,而是,与此相反,应当覆盖包括在附加的权利要求书的实质和范围内的各种修改和等同替换。
根据本发明的示例性实施例,一种用于测试平板显示器的系统可以具有如下效果。根据本发明的示例性实施例,可以精确地检测出平板显示器的缺陷或次级。尤其是,经过多个聚焦透镜的光被棱镜分散到每个波长内,而且所分散的光被多个光二极管阵列吸收,因此,即使平板显示器上显示的图像缺点中的拖尾,也可被准确地检测出来。
Claims (23)
1.一种用于测试平板显示器的系统,该平板显示器具有平面显示板组件,该系统包括:
测试平台,其用于布置所述平面显示板组件;
测量装置,其配置在所述测试平台上并用于测量来自光源并穿过所述平面显示板组件的测量区域的透射光的光谱;
传送装置,其用于使所述测量装置在测试平台上以等加速度移动;以及
缺陷报告装置,其被电连接到所述测量装置并用于通过处理从所述测量装置传输的光谱的电信号来报告缺陷的存在、缺陷的类型以及缺陷的严重程度。
2.如权利要求1所述的用于测试平板显示器的系统,其中测量装置包括架体,在所述架体的前部具有多个测量头,
所述架体包括调焦单元,该调焦单元用来对穿过所述平面显示板组件的测量区域的透射光进行调焦;
光谱单元,其用于使准直光分散到各个波长内;以及
光电转换传感器,其用于吸收被分散到各个波长内的光并且将来自各个波长的光信号分别转换成电信号,
其中,所述调焦单元通过光纤连接到光谱单元。
3.如权利要求2所述的用于测试平板显示器的系统,其中,所述光电转换传感器由从一组光二极管阵列、CCD和CMOS中选择的一种加工而成。
4.如权利要求2所述的用于测试平板显示器的系统,其中所述调焦单元包括聚焦透镜和凹透镜的其中之一并控制所述测量区域。
5.如权利要求2所述的用于测试平板显示器的系统,其中所述架体形成为杆状并在其上可分离地安装有多个测量头。
6.如权利要求1所述的用于测试平板显示器的系统,其中所述测量装置的两端都与所述传送装置相连接,所述传送装置由步进电机进行驱动。
7.如权利要求1所述的用于测试平板显示器的系统,其中所述缺陷报告装置还包括:存储单元,其用于存储从所述光电转换传感器传输的光学数据;光谱计算单元,其使用存储在所述存储单元的数据并根据各自的测量区域来计算平均光谱强度;突出处理单元,其在各个测量区域各自相应的光谱强度小于或大于平均光谱强度时,对小于或大于平均光谱强度的各个光谱强度进行突出;以及立体图像显示单元,其立体地显示各个测量区域各自相应的光谱强度,
其中所树立体图像显示单元还包括缺陷报告单元,所述缺陷报告单元用来基于所述存储单元的数据库而将各个光谱强度与平均光谱强度进行比较,以确定并报告缺陷的存在、缺陷的类型以及缺陷的严重程度。
8.如权利要求7所述的用于测试平板显示器的系统,其中所述缺陷报告单元还包括依照缺陷图样的数据库,该数据库包括以下数据信息:由于液晶板组件的薄膜晶体管显示板的电气特性的变异而出现在滤色镜显示板上的第一拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的滤色镜的厚度差异而出现的第二缺陷、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的黑色矩阵的厚度差异而出现的第三拖尾、浮在液晶显示板组件的滤色镜显示板上的第四拖尾、由于液晶板组件的污染而出现的第五拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的污染而出现的第六拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的不良排列而出现的第七拖尾以及由于液晶板组件的校准层的误差而出现的第八拖尾,并且其在所述数据中将所述缺陷分类为有待丢弃、有待恢复和有待忽略的。
9.如权利要求1所述的用于测试平板显示器的系统,其中所述光源是平面光源。
10.如权利要求9所述的用于测试平板显示器的系统,其中,所述光源具有200nm到2100nm的波长并且为白光源。
11.一种用于测试平板显示器的方法,包括:
将平板显示组件安置在一测试平台上;
应用测试驱动信号以使平板显示组件执行测试操作;
调节平板显示组件上的测量装置以控制平板显示组件的多个测量区域;
测量来自光源并穿过平板显示组件的透射光的光谱,所述光源配置于平板显示组件下方;
以及将测量出的光谱传输到缺陷报告装置;
其中,缺陷报告装置通过将各个测量区域的测量出的光谱交叠而获得平均光谱强度并且
当各个测量区域的光谱强度与平均光谱强度比较并且小于或大于平均光谱强度时报告缺陷。
12.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,其中,缺陷的报告包括对小于或大于平均光谱强度的光谱强度进行突出。
13.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,其中,缺陷的报告包括对小于或大于平均光谱强度的光谱强度进行立体显示。
14.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,其中缺陷的报告包括通过将各个测量区域的光谱强度与数据库的缺陷数据信息相比较而确定缺陷的严重程度,并报告所确定的缺陷的严重程度以及缺陷类型。
15.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,其中当测量区域具有较短边m和较长边n时,所述测量区域被设置成较短边m与较长边n基本相等。
16.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,其中所述对小于或大于平均光谱强度的光谱强度进行突出包括使X、Y和Z元素中的至少一个与整数相乘。
17.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,其中所述测量来自光源并穿过平板显示组件的透射光的光谱包括控制从光源照射的光相对于测量头平行而没有光路的差异。
18.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,还包括,利用安装在所述测量装置两个端部的传送装置以等加速度传送所述测量装置。
19.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,其中平面显示板组件包括滤色镜面板,并且所述多个测量区域各自为所述滤色镜面板的至少一个亚像素。
20.如权利要求19所述的用于测试平板显示器的方法,其中所述多个测量区域分别为所述滤色镜面板的至少一个像素。
21.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,其中测量装置包括用于改变测量区域的凸透镜。
22.如权利要求11所述的用于测试平板显示器的方法,其中缺陷报告单元报告从缺陷信息组中选择至少一个进行报告,所述缺陷信息组包括:由于液晶板组件的薄膜晶体管显示板的电气特性的变异而出现在滤色镜显示板上的第一拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的滤色镜的厚度差异而出现的第二拖尾、由于形成于液晶板组件的滤色镜显示板上的黑色矩阵的厚度差异而出现的第三拖尾、浮在液晶显示板组件的滤色镜显示板上的第四拖尾、由于液晶板组件的污染而出现的第五拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的污染而出现的第六拖尾、由于液晶板组件的液晶分子的不良排列而出现的第七拖尾以及由于液晶板组件的校准层的误差而出现的第八拖尾,并且其在所述数据中将所述缺陷分类为有待丢弃、有待恢复和有待忽略的。
23.如权利要求11所述的测试平板显示器的方法,其中所述液晶板组件包括:滤色镜显示板、薄膜晶体管显示板,注入到滤色镜显示板和薄膜晶体管显示板之间的液晶材料层,其中测量装置依靠电信号和存储在存储单元的数据库中的参考信号之间的差来测量其自身厚度、形成于薄膜晶体管面板上的薄膜晶体管的厚度、形成于滤色镜膜上的滤色镜和黑色矩阵的厚度以及光学补偿面板的厚度。
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Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102866520A (zh) * | 2012-10-10 | 2013-01-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种光配向液晶面板光学检测的方法及其检测设备 |
CN103257465A (zh) * | 2013-04-17 | 2013-08-21 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种检测装置及检测方法 |
WO2013189149A1 (zh) * | 2012-06-21 | 2013-12-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶面板的检验方法及设备 |
CN103792197A (zh) * | 2014-01-28 | 2014-05-14 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种检测装置及检测方法 |
CN103969567A (zh) * | 2014-04-22 | 2014-08-06 | 四川虹视显示技术有限公司 | 检测分析oled器件缺陷的方法及装置 |
CN104335029A (zh) * | 2012-06-12 | 2015-02-04 | 夏普株式会社 | 缺陷原因工序分析装置和缺陷原因工序分析方法 |
CN105044127A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-11-11 | 深圳市星火辉煌系统工程有限公司 | 一种oled微型显示器缺陷检测装置及检测方法 |
CN105954893A (zh) * | 2016-05-30 | 2016-09-21 | 康佳集团股份有限公司 | 一种液晶光学模组的配置方法及检测装置 |
US9489876B2 (en) | 2013-04-29 | 2016-11-08 | E Ink Holdings Inc. | Method of inspecting pixel array substrate and apparatus for inspecting pixel array substrate |
CN106782233A (zh) * | 2015-11-20 | 2017-05-31 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | Oled显示屏检测系统及其应用 |
CN106774908A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-31 | 杭州镜之镜科技有限公司 | 识别电子屏幕的方法及设备 |
CN107290345A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-10-24 | 武汉精测电子技术股份有限公司 | 一种基于aoi的显示面板缺陷分类方法及装置 |
CN107843599A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-03-27 | 武汉精测电子集团股份有限公司 | 一种基于aoi的面板检测判等方法与装置 |
CN108983456A (zh) * | 2018-08-09 | 2018-12-11 | 珠海格力智能装备有限公司 | 显示屏漏光的检测方法和装置 |
CN109141822A (zh) * | 2018-08-02 | 2019-01-04 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种基于四片式滤色片的屏幕缺陷检测装置及方法 |
CN109799237A (zh) * | 2019-01-21 | 2019-05-24 | 深圳市南科燃料电池有限公司 | 缺陷探测装置和探测方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0795040B2 (ja) * | 1988-01-05 | 1995-10-11 | 株式会社ニコン | 微小異物検査装置 |
US4943732A (en) * | 1989-08-16 | 1990-07-24 | Micrion Corporation | Method and apparatus for defect detection and location |
JPH05119468A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-18 | Nikon Corp | マスク検査装置 |
JPH06202129A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-22 | Fujitsu Ltd | Lcdのパターン形成方法とパターン検査装置 |
KR100189178B1 (ko) * | 1995-05-19 | 1999-06-01 | 오우라 히로시 | 패널 화질 검사 장치 및 화질 보정 방법 |
JP3828283B2 (ja) * | 1998-06-04 | 2006-10-04 | 株式会社アドバンテスト | フラットパネル表示器検査用画像取得方法、フラットパネル表示器検査用画像取得装置 |
JP2000009591A (ja) | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Omron Corp | 検査装置 |
TW571089B (en) * | 2000-04-21 | 2004-01-11 | Nikon Corp | Defect testing apparatus and defect testing method |
JP2004170495A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-06-17 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用基板の検査方法及び装置 |
CN100445807C (zh) * | 2004-06-25 | 2008-12-24 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | Lcd面板检测系统及方法 |
-
2006
- 2006-02-15 KR KR1020060014568A patent/KR100783309B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-02-15 CN CN2007800057493A patent/CN101384948B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104335029A (zh) * | 2012-06-12 | 2015-02-04 | 夏普株式会社 | 缺陷原因工序分析装置和缺陷原因工序分析方法 |
WO2013189149A1 (zh) * | 2012-06-21 | 2013-12-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶面板的检验方法及设备 |
CN102866520A (zh) * | 2012-10-10 | 2013-01-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种光配向液晶面板光学检测的方法及其检测设备 |
CN102866520B (zh) * | 2012-10-10 | 2015-12-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种光配向液晶面板光学检测的方法及其检测设备 |
CN103257465B (zh) * | 2013-04-17 | 2015-11-11 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种检测装置及检测方法 |
CN103257465A (zh) * | 2013-04-17 | 2013-08-21 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种检测装置及检测方法 |
US9489876B2 (en) | 2013-04-29 | 2016-11-08 | E Ink Holdings Inc. | Method of inspecting pixel array substrate and apparatus for inspecting pixel array substrate |
CN103792197B (zh) * | 2014-01-28 | 2017-06-06 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种检测装置及检测方法 |
CN103792197A (zh) * | 2014-01-28 | 2014-05-14 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种检测装置及检测方法 |
CN103969567A (zh) * | 2014-04-22 | 2014-08-06 | 四川虹视显示技术有限公司 | 检测分析oled器件缺陷的方法及装置 |
CN105044127A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-11-11 | 深圳市星火辉煌系统工程有限公司 | 一种oled微型显示器缺陷检测装置及检测方法 |
CN106782233A (zh) * | 2015-11-20 | 2017-05-31 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | Oled显示屏检测系统及其应用 |
CN105954893B (zh) * | 2016-05-30 | 2019-02-05 | 康佳集团股份有限公司 | 一种液晶光学模组的配置方法及检测装置 |
CN105954893A (zh) * | 2016-05-30 | 2016-09-21 | 康佳集团股份有限公司 | 一种液晶光学模组的配置方法及检测装置 |
CN106774908A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-05-31 | 杭州镜之镜科技有限公司 | 识别电子屏幕的方法及设备 |
CN107290345A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-10-24 | 武汉精测电子技术股份有限公司 | 一种基于aoi的显示面板缺陷分类方法及装置 |
CN107843599A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-03-27 | 武汉精测电子集团股份有限公司 | 一种基于aoi的面板检测判等方法与装置 |
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CN109141822B (zh) * | 2018-08-02 | 2020-07-03 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种基于四片式滤色片的屏幕缺陷检测装置及方法 |
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CN108983456B (zh) * | 2018-08-09 | 2021-07-20 | 珠海格力智能装备有限公司 | 显示屏漏光的检测方法和装置 |
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