CN101363117A - 镀膜支架及镀膜机 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种镀膜支架，其包括一个支架本体及至少一个基片夹具，所述每个基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接。所述每个基片夹具相连的转轴上设有一第一齿轮，所述每个基片夹具对应设置有一磁流控制元件，所述每个磁流控制元件可驱动一与该第一齿轮相互啮合的第二齿轮，从而驱动转轴转动，带动基片夹具翻转。所述镀膜支架具有可实现对镀膜基片夹具自动翻面，且翻面角度控制精确的优点。本发明还提供了一种采用该镀膜支架的镀膜机。

Description

镀膜支架及镀膜机
技术领域
本发明涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种镀膜支架及镀膜机。
背景技术
当前，许多工业产品表面都镀有功能薄膜，以改善产品表面的各种性能。如在光学镜片的表面镀上一层抗反射膜，以降低镜片表面的反射率，降低入射光通过镜片的能量损耗。又如在某些滤光元件表面镀上一层滤光膜，可滤掉某一预定波段的光，制成各种各样的滤光片。
而目前由于对光学性能要求的日益提高，很多光学镜片或滤光片等光学工件表面的两面皆需要镀膜。例如，由于手机数码相机镜头里的影像感测器，如电荷耦合感测器是通过感应光的能量来产生电流的，所以即使在光线很暗的环境下仍然会因为温度、红外线、电磁波等因素的影响而产生噪声(Noise)；而红外截止滤光片则可以经由其形成在玻璃基材上的红外截止光学膜层将红外光滤除掉以降低其噪声。随着对高端手机数码相机镜头的需求越来越高，在红外截止滤光片背面再镀上一抗反射光学膜层(Anti-Reflective Coating，简称ARCoating)以提升光通过红外截止滤光片的玻璃基材的穿透率的需求也逐渐产生。
而在镜片镀膜制程中，由于在镜片的两面皆需镀膜，故在镀完一面之后需将镜片翻面再放入镀膜机中进行第二面的镀膜，实际上是将镜片在镀膜支架上翻面，通常是以人工的方式一个镜片一个镜片地翻，此举相当耗时及人力。参见苏成彬等人发表于1980年第2期的《仪表技术与传感器》上的《空心圆柱面镀膜用旋转支架》一文，介绍了一种用于圆柱形光学零件的镀膜用支架及其使用方法。现有技术中，也有一些镀膜支架自动翻面机构，然其多为简单机械控制机构，故未能精确控制支架翻面之角度，进而影响镀膜品质。
发明内容
有鉴于此，提供一种镀膜支架，用于镀膜设备中，可实现对镀膜基片夹具自动翻面，且翻面角度控制精确的镀膜支架及镀膜机实为必要。
本发明提供了一种镀膜支架，其包括一个支架本体及至少一个基片夹具，所述每个基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接。所述每个基片夹具相连的转轴上设有一第一齿轮，所述每个基片夹具对应设置有一磁流控制元件，所述每个磁流控制元件可驱动一与该第一齿轮相互啮合的第二齿轮，从而驱动转轴转动，带动基片夹具翻转。
本发明还提供了一种镀膜机，其包括：一个真空容器；设置在所述真空容器内的至少一个靶；及与靶相对设置的镀膜用基板支架。所述镀膜支架包括一个支架本体及至少一个基片夹具，所述每个基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接。所述每个基片夹具相连的转轴上设有一第一齿轮，所述每个基片夹具对应设置有一磁流控制元件，所述每个磁流控制元件可驱动一与该第一齿轮相互啮合的第二齿轮，从而驱动转轴转动，带动基片夹具翻转。
相较于现有技术，所述镀膜支架及镀膜机具有可实现对镀膜基片夹具自动翻面，且翻面角度控制精确的优点。
附图说明
图1是本发明较佳实施例的镀膜用基板支架的示意图。
图2是本发明较佳实施例的镀膜机的示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。
如图1所示，本发明较佳实施例提供的镀膜支架100包括：支架本体110及至少一个基片夹具120；每个基片夹具120对应设有一个磁流控制元件130，该磁流控制元件130用于驱动对应的基片夹具120翻转。
所述支架本体110用导热性能良好的金属半圆盘制成，其材料可以为铜、铝或不锈钢等金属。在本实施例中，所述支架本体110为不锈钢半圆盘。
所述基片夹具120也是采用导热性能良好的金属制成，其材料可以为铜、铝或不锈钢等金属。所述基片夹具120的形状可以为扇形，圆形，方形等形状，其原则只要满足在支架本体110内翻转时不会与支架本体110碰撞即可。在本实施例中，所述基片夹具120为扇形。
所述每个基片夹具120设置有至少一个容置通孔121，用以收容待镀基片并暴露所述待镀基片的两相对的待镀表面。所述待镀基片为玻璃镜片或塑胶镜片等。
所述基片夹具120和所述支架本体110之间通过转轴140连接。本实施例中，转轴140设在基片夹具120的轴线位置。所述每个基片夹具120对应的转轴140上，设置有一第一齿轮141。在本实施例中，第一齿轮141设置在转轴140的端部。所述每个磁流控制元件130可驱动一与所述第一齿轮141相互啮合的第二齿轮142转动，从而驱动基片120夹具翻转。
所述磁流控制元件130可固定于支架本体110上。所述磁流控制元件130与第二齿轮142相连，用于控制第二齿轮142转动，从而带动第一齿轮141的转动，以使基片夹具120翻转。
所述磁流控制元件130可间接控制基片夹具120翻转。该磁流控制元件130可以为电磁泵、磁流电动机或磁流变控制器等磁流控制装置。此外在该磁流控制元件130的开关上可装设一个无线装置，利用遥控的方式来控制磁流控制元件130工作，从而可实现对基片夹具120翻转的自动控制。
由于磁流控制元件130的磁流变液相变的过程可在毫秒量级内完成，故磁流控制元件130具有灵敏度高，耗能小的优点。因此，可以大大提高基片夹具120翻面的精准度。
在本实施例中，所述基片夹具120大小相同，且为对称分布于支架本体110上。在所述每一基片夹具120上设置有一通孔122，每一对称设置的两个基片夹具120具有的通孔122应位于一条轴线上。此通孔122的设置是为了便于对基片夹具120的翻转角度进行监控。
请一并参阅图2，一个使用上述镀膜支架100的镀膜机200包括：一个真空容器210；设置在该真空容器210内的至少一个靶220；及与靶220相对设置的镀膜支架100。本发明实施例提供的镀膜机200还包括一发光光源150和一光接收装置160。
所述镀膜机200在使用时，首先对待镀膜基片进行一面镀膜，当一面镀完后，只需使用该镀膜支架100上的磁流控制元件130控制每一基片夹具120翻转180度后，即可对另一面进行镀膜。由于磁流控制元件130可以采用电控或遥控的装置来控制其动作，故此基片夹具120的翻面动作可以自动进行。
优选的，为了更好地监控基片夹具120翻转的角度，在离镀膜支架100不远处设置一个发光光源150，与发光光源150对应于镀膜支架100的另一端对称的位置设置一个光接收装置160。当对称的两个基片夹具120的翻转角度均为180度时，发光光源150发出的光可以完全透过通孔122而被光接收装置160接收到。因此，当光接收装置160可100％地接收到发光光源150发出的光时，可以认为基片夹具120的翻转角度为180。而当某一基片夹具120的翻转角度不是180度，而存在一定误差时，对应该基片夹具120上的通孔122和与其对称的另一个基片夹具120上的通孔122就会不在一条直线上，发光光源150的光会被基片夹具120部分遮挡，因此，光接收装置160就不能够100％地接收到发光光源150发出的光。以此，根据光接收装置160接收到的光量的比例，就可以判断基片夹具120是否精确翻转了180度。在本实施例中，所述发光光源150为红外光源，所述光接收装置160为一个红外光接收器。当然，其也可以是其他种类的发光光源，而不仅限于这种光源。
相较于现有技术，所述镀膜支架及镀膜机具有可实现对镀膜基片夹具自动翻面，且翻面角度控制精确的优点。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

  1. 【权利要求1】一种镀膜支架，其包括一个支架本体及至少一个基片夹具，所述每个基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接，其特征在于，所述每个基片夹具相连的转轴上设有一第一齿轮，所述每个基片夹具对应设置有一磁流控制元件，所述每个磁流控制元件可驱动一与该第一齿轮相互啮合的第二齿轮，从而驱动转轴转动，带动基片夹具翻转。
  2. 【权利要求2】如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述磁流控制元件为电磁泵、磁流电动机或磁流变控制器。
  3. 【权利要求3】如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述支架本体材料选自铜、铝及不锈钢。
  4. 【权利要求4】如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述基片夹具材料选自铜、铝及不锈钢。
  5. 【权利要求5】如权利要求1所述的镀膜支架，其特征在于，所述基片夹具大小相同且对称分布于所述支架本体上。
  6. 【权利要求6】如权利要求5所述的镀膜支架，其特征在于，所述每一基片夹具具有一通孔，所述每一对称的两个基片夹具具有的通孔位于一条轴线上。
  7. 【权利要求7】一种镀膜机，其包括：一个真空容器；设置在所述真空容器内的至少一个靶；及与靶相对设置的镀膜支架，所述镀膜支架具有一个支架本体及至少一个基片夹具，所述每个基片夹具和所述支架本体之间通过转轴连接，其特征在于，所述每个基片夹具相连的转轴上设有一第一齿轮，所述每个基片夹具对应设置有一磁流控制元件，所述每个磁流控制元件可驱动另一与该第一齿轮相互啮合的第二齿轮，从而驱动转轴转动，带动基片夹具翻转。
  8. 【权利要求8】如权利要求7所述的镀膜机，其特征在于，所述磁流控制元件为电磁泵或磁流电动机。
  9. 【权利要求9】如权利要求7所述的镀膜机，其特征在于，所述每一基片夹具具有一通孔，所述每一对称的两个基片夹具具有的通孔位于一条轴线上。
  10. 【权利要求10】如权利要求9所述的镀膜机，其特征在于，所述镀膜机进一步包括一光源和一光接收装置，所述光源和光接收装置对应设置于镀膜支架的两侧，且位于一条轴线上；所述光源发出的光可穿过所述通孔被光接收装置接收到，以此来监测所述基片夹具翻面角度是否为180度。
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