CN117089816A - 一种基片可选择翻面的镀锅结构 - Google Patents
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- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims abstract description 81
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 230000007306 turnover Effects 0.000 claims description 70
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 7
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
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- Metallurgy (AREA)
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Abstract
本申请提出了一种基片可选择翻面的镀锅结构，主腔体的顶板上部设有驱动装置，所述驱动装置穿过顶板与触手的本体连接，所述主腔体的顶板靠近触手处还设有固定套筒，所述触手的上端与固定套筒滑动连接，所述驱动装置用于使得触手在固定套筒内向上或者向下移动，当需要将基片翻面时，通过驱动装置向下移动触手使得触手的尾端能够与需要翻转的翻转杆接触，由于镀锅主体在旋转，触手拨动翻转杆使得翻转件的翻转主体和基片翻面/翻转180°，当不需要翻转时，向上移动触手，使得触手的尾端不能与翻转杆接触，从而使得触手能够选择性的进行基片的翻转，针对性较强，节省了时间。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜技术领域，更具体地，涉及一种基片可选择翻面的镀锅结构。
背景技术
真空蒸镀机等镀膜设备用于给物体/基片的表面进行物理气相沉积的镀膜，基片通过镀锅固定，在主腔体的内部设置一个或多个镀锅，镀锅会进行公转或者行星转的转动，增加镀膜的均匀性。一般的镀锅，如中国专利CN215404475，公开了一种真空镀膜机的通用型镀锅，其镀锅固定的基片，在镀膜的过程中是不能翻面的，如果基片需要双面镀膜，在一面完成镀膜之后，停机取下镀锅，将基片一个一个的翻面再固定，安装上镀锅再进行另一面的镀膜。
现有技术设计了在镀膜的过程中，基片可以自动翻面的镀锅机构，例如，中国专利CN218710802U，公开了镀锅结构的镀锅主体与贯穿主腔体上面板的回转轴固定；镀锅主体上具有通孔，通孔内设置有翻转件，翻转件用于固定基片并且能够相对于通孔旋转，触手与主腔体的面板固定，镀锅主体旋转时触手能够拨动翻转件翻面；通孔的左右侧边设置有限位凹槽、前后两边设置有沉头孔，其中一个沉头孔内设置有弹簧，翻转件的翻转主体的侧边设置有一个凸台、前后两边设置有连接轴，其中一个连接轴上设置有向斜上方延伸的翻转杆，触手能够拨动翻转杆使得翻转件旋转，限位凹槽用于支撑着凸台，使得翻转件稳定并且每次旋转180°，连接轴的端部能够进入沉头孔内，使得翻转件可拆卸的固定。
然而，由于触手与主腔体的面板固定，因此镀锅主体转动一圈，将会使得全部的基片均进行翻转，但是，有时候，只需要部分的基片进行翻转，因此，上述技术达不到该效果。
有鉴于此，本发明提供一种基片可选择翻面的镀锅结构，能够选择性的进行基片的翻转，针对性较强，节省了时间。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种基片可选择翻面的镀锅结构，能够选择性的进行基片的翻转，针对性较强，节省了时间。
本申请提出了一种基片可选择翻面的镀锅结构，主腔体的顶板上部设有驱动装置5，所述驱动装置5穿过顶板与触手6的本体连接，所述主腔体的顶板靠近触手6处还设有固定套筒7，所述触手6的上端与固定套筒7滑动连接，所述驱动装置5用于使得触手6在固定套筒7内向上或者向下移动，当需要将基片翻面时，通过驱动装置5向下移动触手6使得触手6的尾端能够与需要翻转的翻转杆14接触，由于镀锅主体1在旋转，触手6拨动翻转杆14使得翻转件4的翻转主体和基片翻面/翻转180°，当不需要翻转时，向上移动触手6，使得触手6的尾端不能与翻转杆14接触，从而使得触手6能够选择性的进行基片的翻转，针对性较强，节省了时间。
一种基片可选择翻面的镀锅结构，所述镀锅结构位于主腔体内的上部，镀锅结构的镀锅主体1与贯穿主腔体上面板的回转轴2固定，回转轴2用于动能传递带动镀锅主体1旋转；所述镀锅主体1上具有通孔3，通孔3内设置有翻转件4，翻转件4用于固定基片并且能够相对于通孔3旋转，其特征在于：主腔体的顶板上部设有驱动装置5，所述驱动装置5穿过顶板与触手6的本体连接，所述主腔体的顶板靠近触手6处还设有固定套筒7，所述触手6的上端与固定套筒7滑动连接，所述驱动装置5用于使得触手6在固定套筒7内向上或者向下移动，当翻转件4需要翻面时，驱动装置5驱动触手6向下至镀锅主体1处，镀锅主体1旋转，所述触手6能够拨动翻转件4翻面；当翻转件4不需要翻面时，驱动装置5驱动触手6向上远离镀锅主体1。
在一些实施方式中，所述驱动装置5包括：摆动气缸51和连杆组件52，所述摆动气缸51的摆动轴与连杆组件52的一端连接，连杆组件52的另一端与触手6的一端连接，通过控制摆动气缸51的往复摆动的时间以及连杆组件52的配合使得触手6升降运动，如果单纯的用升降的气缸与触手6连接，使得触手6进行向上或者向下的运动，由于镀膜机的特殊工作环境，由于所处的环境是真空负压，那么向下或者向下运动需要对抗负压的力将会很大，能耗就会加大，同时，气缸是滑动密封的，上下的往复运动使得其接触面积磨损严重；而摆动气缸51和连杆组件52的设置，使得摆动气缸51的往复转动通过连杆组件52转变成触手6的向上或者向下的运动，一个旋转的力只存在于镀膜机内部，只是一个扭转力，不需要很大的能量去驱动，并且，摆动气缸51的往复转动只存在一个线或者一个点的磨损，使得其接触面积小磨损小。
进一步的，所述主腔体的顶板上设有气缸固定机构，包括第一连接件8以及设置在第一连接件8上的若干支撑杆9，所述主腔体的顶板上开设有安装孔，所述第一连接件8置于所述安装孔内，所述支撑杆9的上端连接摆动气缸51，下端连接第一连接件8，用以固定摆动气缸51。
进一步的，所述连杆组件52包括第一连杆521、第二连杆522、第三连杆523和第四连杆524，所述第一连杆521、第二连杆522、第三连杆523和第四连杆524的收尾转动连接，所述第一连杆521远离第二连杆522的一端穿过第一连接件8与摆动气缸51的气缸轴连接，所述第四连杆524远离第三连杆523的一端转动连接触手6。
进一步的，所述第一连杆521与摆动气缸51的气缸轴通过联轴器511连接，联轴器511可以缓冲、减振和提高轴系动态性能的作用。
进一步的，所述第一连杆521的下部为圆盘结构525，所述第二连杆522与圆盘结构525的底部转动连接，当圆盘结构525进行往复转动的时候，第二连杆522远离圆盘结构525的一端进行向左或者向右圆弧摆动。
进一步的，所述第三连杆523中部设有腰型滑槽526，垂直与滑槽的位置设有固定杆16，所述固定杆16的一端与主腔体的顶板连接，所述固定杆16的另一端与腰型滑槽526滑动连接，使得第三连杆523以固定杆16为支点向左或者向右滑动。
进一步的，所述第四连杆524为一斜杆，用以对触手6有一个向后向上的力或者向前向下的力，从而使得触手6在套筒内向下或者向上移动。
进一步的，所述套筒的下部设有一中空腔体，所述触手6的一端设有翻转臂61，另一端置于所述中空腔体内并能够在中空腔体内滑动，中空腔体的设置使得触手6只能做向上或者向下的直线运动。
更进一步的，翻转臂61与所述触手6的本体可拆卸连接，方便更换翻转臂61。
在一些实施方式中，所述通孔3的左右侧边设置有限位凹槽10、前后侧边的其中一侧边设置有沉头孔，所述沉头孔内设置有弹簧12，翻转件4的翻转主体的侧边设置有一个凸台15、前后两边设置有连接轴13，其中一个连接轴13上设置有向斜上方延伸的翻转杆14，触手6能够拨动翻转杆14使得翻转件4旋转，限位凹槽10用于支撑着凸台15，使得翻转件4稳定并且每次旋转180°，连接轴13的端部能够进入沉头孔内，使得翻转件4可拆卸的固定，弹簧12的设计，为了保证翻转件4的旋转，翻转件4与镀锅主体1之间有间隙，由于翻转件4翻面的惯性撞击和振动，翻转件4存在径向的位移/抖动，影响镀膜效果。本申请在可拆卸固定的同时，弹簧12的一端在连接轴13内、另一端在沉头孔内，弹簧12抵住沉头孔为翻转件4提供径向固定的作用力，使得翻转件4在转动的同时，没有径向的位移/抖动。并且，翻转件4快速翻转的惯性撞击力大，弹簧12的设计减缓了翻转件4的快速下落，起到一定的缓冲作用。
进一步的，翻转件4的翻转主体与设有弹簧12的沉头孔之间具有间隙，该间隙处设置有翻转杆14，翻转杆14与第二个连接轴13固定，翻转杆14为V型、X型或十字型。
进一步的，所述翻转杆14为圆柱体形或者条形，翻转件4的翻转主体水平时，翻转杆14的一半杆体凸出于翻转件4的翻转主体的上表面、另一半杆体凸出于翻转件4的翻转主体的下表面。
翻转杆14设计为V型、X型或十字型，以V型为例，触手6拨动翻转杆14的其中一个杆体使得翻转件4的翻转主体从水平状态到垂直状态，翻转件4的翻转主体从垂直状态惯性向下下落时，触手6给另一个杆体一定的支撑力，减缓了翻转件4的下落速度，从而降低翻转件4的翻转主体的凸台15与镀锅主体1的惯性撞击和振动。
本发明的有益效果为：本申请提出了一种基片可选择翻面的镀锅结构，主腔体的顶板上部设有驱动装置5，所述驱动装置5穿过顶板与触手6的本体连接，所述主腔体的顶板靠近触手6处还设有固定套筒7，所述触手6的上端与固定套筒7滑动连接，所述驱动装置5用于使得触手6在固定套筒7内向上或者向下移动，当需要将基片翻面时，通过驱动装置5向下移动触手6使得触手6的尾端能够与需要翻转的翻转杆14接触，由于镀锅主体1在旋转，触手6拨动翻转杆14使得翻转件4的翻转主体和基片翻面/翻转180°，当不需要翻转时，向上移动触手6，使得触手6的尾端不能与翻转杆14接触，从而使得触手6能够选择性的进行基片的翻转，针对性较强，节省了时间。
附图说明
结合以下附图一起阅读时，将会更加充分地描述本申请内容的上述和其他特征。可以理解，这些附图仅描绘了本申请内容的若干实施方式，因此不应认为是对本申请内容范围的限定。通过采用附图，本申请内容将会得到更加明确和详细地说明。
图1为本申请的基片可选择翻面的镀锅结构的驱动装置的结构示意图。
图2为本申请的基片可选择翻面的镀锅结构的结构示意图。
图3为本本申请的基片可选择翻面的镀锅结构的翻转件的结构示意图。
图4为本申请的附图3中A的局部放大图。
图5为本本申请的基片可选择翻面的镀锅结构的翻转件的局部结构示意图。
主要元件符号说明：
镀锅主体1、回转轴2、通孔3、翻转件4、驱动装置5、摆动气缸51、联轴器511、连杆组件52、第一连杆521、第二连杆522、第三连杆523、第四连杆524、圆盘结构525、腰型滑槽526、触手6、翻转臂61、固定套筒7、第一连接件8、支撑杆9、限位凹槽10、弹簧12、连接轴13、翻转杆14、凸台15、固定杆16。
具体实施方式
描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。
在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
实施例1：
如图1所示，为本申请的基片可选择翻面的镀锅结构的驱动装置的结构示意图。
一种基片可选择翻面的镀锅结构，所述镀锅结构位于主腔体内的上部，镀锅结构的镀锅主体1与贯穿主腔体上面板的回转轴2连接，回转轴2用于动能传递带动镀锅主体1旋转；所述镀锅主体1上具有通孔3，通孔3内设置有翻转件4，翻转件4用于固定基片并且能够相对于通孔3旋转，主腔体的顶板上部设有驱动装置5，所述驱动装置5穿过顶板与触手6的本体连接，所述主腔体的顶板靠近触手6处还设有固定套筒7，所述触手6的上端与固定套筒7滑动连接，所述驱动装置5用于使得触手6在固定套筒7内向上或者向下移动，当翻转件4需要翻面时，驱动装置5驱动触手6向下至镀锅主体1处，镀锅主体1旋转，所述触手6能够拨动翻转件4翻面；当翻转件4不需要翻面时，驱动装置5驱动触手6向上远离镀锅主体1。
如图2所示，为本申请的基片可选择翻面的镀锅结构的结构示意图。
所述驱动装置5包括：摆动气缸51和连杆组件52，所述摆动气缸51的摆动轴与连杆组件52的一端连接，连杆组件52的另一端与触手6的一端连接，通过控制摆动气缸51的往复摆动的时间以及连杆组件52的配合使得触手6升降运动，如果单纯的用升降的气缸与触手6连接，使得触手6进行向上或者向下的运动，由于镀膜机的特殊工作环境，由于所处的环境是真空负压，那么向下或者向下运动需要对抗负压的力将会很大，能耗就会加大，同时，气缸是滑动密封的，上下的往复运动使得其接触面积磨损严重；而摆动气缸51和连杆组件52的设置，使得摆动气缸51的往复转动通过连杆组件52转变成触手6的向上或者向下的运动，一个旋转的力只存在于镀膜机内部，只是一个扭转力，不需要很大的能量去驱动，并且，摆动气缸51的往复转动只存在一个线或者一个点的磨损，使得其接触面积小磨损小，所述主腔体的顶板上设有气缸固定机构，包括第一连接件8以及设置在第一连接件8上的若干支撑杆9，所述主腔体的顶板上开设有安装孔，所述第一连接件8置于所述安装孔内，所述支撑杆9的上端连接摆动气缸51，下端连接第一连接件8，用以固定摆动气缸51。
所述连杆组件52包括第一连杆521、第二连杆522、第三连杆523和第四连杆524，所述第一连杆521、第二连杆522、第三连杆523和第四连杆524的收尾转动连接，所述第一连杆521远离第二连杆522的一端穿过第一连接件8与摆动气缸51的气缸轴连接，所述第四连杆524远离第三连杆523的一端转动连接触手6，所述第一连杆521与摆动气缸51的气缸轴通过联轴器511连接，联轴器511可以缓冲、减振和提高轴系动态性能的作用，所述第一连杆521的下部为圆盘结构525，所述第二连杆522与圆盘结构525的底部转动连接，当圆盘结构525进行往复转动的时候，第二连杆522远离圆盘结构525的一端进行向左或者向右圆弧摆动，所述第三连杆523中部设有腰型滑槽526，垂直与滑槽的位置设有固定杆16，所述固定杆16的一端与主腔体的顶板连接，所述固定杆16的另一端与腰型滑槽526滑动连接，使得第三连杆523以固定杆16为支点向左或者向右滑动，所述第四连杆524为一斜杆，用以对触手6有一个向后向上的力或者向前向下的力，从而使得触手6在套筒内向下或者向上移动，所述套筒的下部设有一中空腔体，所述触手6的一端设有翻转臂61，另一端置于所述中空腔体内并能够在中空腔体内滑动，中空腔体的设置使得触手6只能做向上或者向下的直线运动，翻转臂61与所述触手6的本体可拆卸连接，方便更换翻转臂61。
如图3所示，为本本申请的基片可选择翻面的镀锅结构的翻转件的结构示意图；如图4所示，为本申请的附图3中A的局部放大图；如图5所示，为本本申请的基片可选择翻面的镀锅结构的翻转件的局部结构示意图。
所述通孔3的左右侧边设置有限位凹槽10、前后侧边的其中一侧边设置有沉头孔，所述沉头孔内设置有弹簧12，翻转件4的翻转主体的侧边设置有一个凸台15、前后两边设置有连接轴13，其中一个连接轴13上设置有向斜上方延伸的翻转杆14，触手6能够拨动翻转杆14使得翻转件4旋转，限位凹槽10用于支撑着凸台15，使得翻转件4稳定并且每次旋转180°，连接轴13的端部能够进入沉头孔内，使得翻转件4可拆卸的固定，弹簧12的设计，为了保证翻转件4的旋转，翻转件4与镀锅主体1之间有间隙，由于翻转件4翻面的惯性撞击和振动，翻转件4存在径向的位移/抖动，影响镀膜效果。本申请在可拆卸固定的同时，弹簧12的一端在连接轴13内、另一端在沉头孔内，弹簧12抵住沉头孔为翻转件4提供径向固定的作用力，使得翻转件4在转动的同时，没有径向的位移/抖动。并且，翻转件4快速翻转的惯性撞击力大，弹簧12的设计减缓了翻转件4的快速下落，起到一定的缓冲作用。
翻转件4的翻转主体与设有弹簧12的沉头孔之间具有间隙，该间隙处设置有翻转杆14，翻转杆14与第二个连接轴13固定，翻转杆14为V型、X型或十字型。
所述翻转杆14为圆柱体形或者条形，翻转件4的翻转主体水平时，翻转杆14的一半杆体凸出于翻转件4的翻转主体的上表面、另一半杆体凸出于翻转件4的翻转主体的下表面。
翻转杆14设计为V型、X型或十字型，以V型为例，触手6拨动翻转杆14的其中一个杆体使得翻转件4的翻转主体从水平状态到垂直状态，翻转件4的翻转主体从垂直状态惯性向下下落时，触手6给另一个杆体一定的支撑力，减缓了翻转件4的下落速度，从而降低翻转件4的翻转主体的凸台15与镀锅主体1的惯性撞击和振动。
本发明的有益效果为：本申请提出了一种基片可选择翻面的镀锅结构，主腔体的顶板上部设有驱动装置5，所述驱动装置5穿过顶板与触手6的本体连接，所述主腔体的顶板靠近触手6处还设有固定套筒7，所述触手6的上端与固定套筒7滑动连接，所述驱动装置5用于使得触手6在固定套筒7内向上或者向下移动，当需要将基片翻面时，通过驱动装置5向下移动触手6使得触手6的尾端能够与需要翻转的翻转杆14接触，由于镀锅主体1在旋转，触手6拨动翻转杆14使得翻转件4的翻转主体和基片翻面/翻转180°，当不需要翻转时，向上移动触手6，使得触手6的尾端不能与翻转杆14接触，从而使得触手6能够选择性的进行基片的翻转，针对性较强，节省了时间。
尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。
Claims (9)
1.一种基片可选择翻面的镀锅结构，所述镀锅结构位于主腔体内的上部，镀锅结构的镀锅主体(1)与贯穿主腔体上面板的回转轴(2)连接，回转轴(2)用于动能传递带动镀锅主体(1)旋转；所述镀锅主体(1)上具有通孔(3)，通孔(3)内设置有翻转件(4)，翻转件(4)用于固定基片并且能够相对于通孔(3)旋转，其特征在于：主腔体的顶板上部设有驱动装置(5)，所述驱动装置(5)穿过顶板与触手(6)的本体连接，所述主腔体的顶板靠近触手(6)处还设有固定套筒(7)，所述触手(6)的上端与固定套筒(7)滑动连接，所述驱动装置(5)用于使得触手(6)在固定套筒(7)内向上或者向下移动，当翻转件(4)需要翻面时，驱动装置(5)驱动触手(6)向下至镀锅主体(1)处，镀锅主体(1)旋转，所述触手(6)能够拨动翻转件(4)翻面；当翻转件(4)不需要翻面时，驱动装置(5)驱动触手(6)向上远离镀锅主体(1)，所述驱动装置(5)包括：摆动气缸(51)和连杆组件(52)，所述摆动气缸(51)的摆动轴与连杆组件(52)的一端连接，连杆组件(52)的另一端与触手(6)的一端连接。
2.如权利要求1所述的基片可选择翻面的镀锅结构，其特征在于，所述主腔体的顶板上设有气缸固定机构，包括第一连接件(8)以及设置在第一连接件(8)上的若干支撑杆(9)，所述主腔体的顶板上开设有安装孔，所述第一连接件(8)置于所述安装孔内，所述支撑杆(9)的上端连接摆动气缸(51)，下端连接第一连接件(8)，用以固定摆动气缸(51)。
3.如权利要求2所述的基片可选择翻面的镀锅结构，其特征在于，所述连杆组件(52)包括第一连杆(521)、第二连杆(522)、第三连杆(523)和第四连杆(524)，所述第一连杆(521)、第二连杆(522)、第三连杆(523)和第四连杆(524)的收尾转动连接，所述第一连杆(521)远离第二连杆(522)的一端穿过第一连接件(8)与摆动气缸(51)的气缸轴连接，所述第四连杆(524)远离第三连杆(523)的一端转动连接触手(6)。
4.如权利要求4所述的基片可选择翻面的镀锅结构，其特征在于，所述第一连杆(521)的下部为圆盘结构(525)，所述第二连杆(522)与圆盘结构(525)的底部转动连接，当圆盘结构(525)进行往复转动的时候，第二连杆(522)远离圆盘结构(525)的一端进行向左或者向右圆弧摆动。
5.如权利要求4所述的基片可选择翻面的镀锅结构，其特征在于，所述第三连杆(523)中部设有腰型滑槽(526)，垂直与滑槽的位置设有固定杆(16)，所述固定杆(16)的一端与主腔体的顶板连接，所述固定杆(16)的另一端与腰型滑槽(526)滑动连接，使得第三连杆(523)以固定杆(16)为支点向左或者向右滑动。
6.如权利要求4所述的基片可选择翻面的镀锅结构，其特征在于，所述第四连杆(524)为一斜杆，用以对触手(6)有一个向后向上的力或者向前向下的力，从而使得触手(6)在套筒内向下或者向上移动。
7.如权利要求1所述的基片可选择翻面的镀锅结构，其特征在于，所述套筒的下部设有一中空腔体，所述触手(6)的一端设有翻转臂(61)，另一端置于所述中空腔体内并能够在中空腔体内滑动，中空腔体的设置使得触手(6)只能做向上或者向下的直线运动。
8.如权利要求1所述的基片可选择翻面的镀锅结构，其特征在于，所述通孔(3)的左右侧边设置有限位凹槽(10)、前后侧边的其中一侧边设置有沉头孔，所述沉头孔内设置有弹簧(12)，翻转件(4)的翻转主体的侧边设置有一个凸台(15)、前后两边设置有连接轴(13)，其中一个连接轴(13)上设置有向斜上方延伸的翻转杆(14)，触手(6)能够拨动翻转杆(14)使得翻转件(4)旋转，限位凹槽(10)用于支撑着凸台(15)，使得翻转件(4)稳定并且每次旋转180°，连接轴(13)的端部能够进入沉头孔内，使得翻转件(4)可拆卸的固定。
9.如权利要求9所述的基片可选择翻面的镀锅结构，其特征在于，翻转件(4)的翻转主体与设有弹簧(12)的沉头孔之间具有间隙，该间隙处设置有翻转杆(14)，翻转杆(14)与第二个连接轴(13)固定，翻转杆(14)为V型、X型或十字型。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311057166.2A CN117089816B (zh) | 2023-08-22 | 2023-08-22 | 一种基片可选择翻面的镀锅结构 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117089816A true CN117089816A (zh) | 2023-11-21 |
| CN117089816B CN117089816B (zh) | 2024-03-29 |
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| CN202311057166.2A Active CN117089816B (zh) | 2023-08-22 | 2023-08-22 | 一种基片可选择翻面的镀锅结构 |
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|---|---|
| CN (1) | CN117089816B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117845183A (zh) * | 2024-01-19 | 2024-04-09 | 江苏中镜工业科技有限公司 | 一种镜片自翻转式镀膜机用镀锅结构 |
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| CN117089816B (zh) | 2024-03-29 |
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