CN101274759A - 多晶硅炉观察装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于一种多晶硅炉观察装置，采用炉体观察口底座上设有观察装置。所述的观察装置由底座、轴承、电控电机、传送带、转轴、旋转座、红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜所组成，底座固接在炉体观察口底座上，底座上一端固设有电控电机，电控电机带动电机轮并通过传送带传动与转轴同轴的轴轮，轴轮下端通过轴承与底座轴接，轴轮上端设有旋转座，旋转座上设有红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜。本发明在炉体观察口底座上设观察装置，且在操作台上就能时时对炉体内情况进行观察，保证操作人员安全，有观察准确全面，省时省力，且该装置结构简单，制作成本低，使用方便效果好。
Description
技术领域
本发明属于一种多晶硅炉观察装置。
背景技术
目前，多晶硅炉生产时，为保持炉体内的高温高压，要求炉体密封性好，因此在炉体上端只设置一个观察窗口。生产硅锭时，传统观测方法均由人工进行，即由操作人员在观察窗口外用目测或携带红外测温装置进行，由于炉体上端除其位于顶部中央的观察窗口外，还设有加热元件的各高压电源接头及各控制仪的电线接头和电器箱。因此，操作人员在这种环境下观察操作十分危险，触电现象时有发生，不能保证操作人员安全，同时计算机控制的操作台置在炉体侧端的地面上，且炉体过于庞大，操作人员为了及时了解和掌握炉体内部硅锭的生产情况，就必须反复爬到炉体顶部进行观察，即费时又费力，还十分危险，也不能对炉体内情况进行时时了解，这种落后的观测方法给日常工作带来很大不便。
发明内容
本发明的目的是设计一种多晶硅炉观察装置，在炉体观察口底座上设观察装置，且在操作台上就能时时对炉体内情况进行观察，保证操作人员安全，有结构简单和使用方便效果好的优点。为此，本发明炉体观察口底座上设有观察装置。所述的观察装置由底座、轴承、电控电机、传送带、转轴、旋转座、红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜所组成，底座固接在炉体观察口底座上，底座上一端固设有电控电机，电控电机带动电机轮并通过传送带传动与转轴同轴的轴轮，轴轮下端通过轴承与底座轴接，轴轮上端设有旋转座，旋转座上设有红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜。上述结构达到了本发明的目的。
本发明的优点是在炉体观察口底座上设观察装置，且在操作台上就能时时对炉体内情况进行观察，保证操作人员安全，有观察准确全面，省时省力，且该装置结构简单，制作成本低，使用方便效果好。
附图说明
图1是本发明的使用状态结构示意图
图2是本发明的构结构示意图
图3是图2的俯视结构示意图
具体实施方案
如图1所示，一种多晶硅炉观察装置，主要由炉体观察口底座2、红外测温仪探头13、摄像头14和电控电机15所组成。炉体4位于支架上6，炉体上端设有电器箱3，炉体下端设有炉盖7，炉体和炉盖通过炉盖升降装置5进行启闭，炉体侧边设有抽真空管道8与抽真空泵相连，用于使炉体内保持真空，炉体观察口底座上设有长晶率测量孔10和气体进出阀22，为传统结构分布，故不再累述。本发明在炉体观察口底座上设有观察装置1。
如图2和图3所示，所述的观察装置由底座16、轴承17、电控电机、传送带19、转轴11、旋转座9、红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜21所组成，底座固接在炉体观察口底座上。底座上一端固设有电控电机，电控电机带动电机轮18并通过传送带传动与转轴同轴的轴轮20，轴轮下端通过轴承与底座轴接，轴轮上端设有旋转座，旋转座上设有红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜。红外测温仪探头通过导线与位于操作台上的红外测温仪相连，摄像头通过导线与位于操作台上的视频装置相连，红外测温仪和视频装置受计算机控制，计算机将炉内情况进行程序处理。
所述的红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜呈三角形设置在旋转座上。视窗观察镜为放大镜，其作用是必要时进行目测观察。
所述的红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜的各镜头中轴点可移至与观察窗口12上端并与该观察窗口圆心对齐。电控电机可为步进电机或为由计算机控制的电控电机，以使各镜头轴心对准观察窗口圆心，保证观察的准确性。
所述的电控电机竖置，电控电机轴竖置，电机轮位于电控电机轴上端。
使用时，操作人员操作或计算机操作控制电控电机的电机轮转动，电机轮通过传送带带动轴轮，使位于旋转座上的红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜按需要对准观察窗口，计算机再读取红外测温仪探头、摄像头传递的信息，即可完成在操作平台上时时对炉体内情况进行观察。
总之，本发明在炉体观察口底座上设观察装置，且在操作台上就能时时对炉体内情况进行观察，保证操作人员安全，有观察准确全面，省时省力，且该装置结构简单，制作成本低，使用方便效果好。
Claims (5)
1、一种多晶硅炉观察装置，主要由炉体观察口底座、红外测温仪探头、摄像头和电控电机所组成，其特征在于：炉体观察口底座上设有观察装置。
2、按权利要求1所述的单晶硅炉传动装置，其特征在于：所述的观察装置由底座、轴承、电控电机、传送带、转轴、旋转座、红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜所组成，底座固接在炉体观察口底座上，底座上一端固设有电控电机，电控电机带动电机轮并通过传送带传动与转轴同轴的轴轮，轴轮下端通过轴承与底座轴接，轴轮上端设有旋转座，旋转座上设有红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜。
3、按权利要求1和2所述的多晶硅炉观察装置，其特征在于：所述的红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜呈三角形设置在旋转座上。
4、按权利要求1和2所述的多晶硅炉观察装置，其特征在于：所述的红外测温仪探头、摄像头和视窗观察镜的各镜头中轴点可移至与观察窗口上端并与该观察窗口圆心对齐。
5、按权利要求1和2所述的多晶硅炉观察装置，其特征在于：所述的电控电机竖置，电控电机轴竖置，电机轮位于电控电机轴上端。
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Publications (2)
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