CN101247712A - 微液滴冷却装置 - Google Patents

Abstract

一种微液滴冷却装置，其包含一蒸发容器，用以接触一待降温的热源、及一冷凝容器，用以接触一致冷源。蒸发容器内部以一区隔板区隔为一蒸发区及一压力腔区，其中工作液体填充于压力腔区。压力腔区的工作液体通过区隔板的喷孔进入蒸发区并蒸发为蒸汽。蒸汽通过一蒸汽管进入冷凝容器中冷凝为液态的工作液体。一第一供液管的一端连接于压力腔区，另一端深入冷凝容器中，且第一供液管的管口位于工作液体的一面下，从而使压力腔区以负压由冷凝容器吸引液态的工作液体，以构成工作液体的循环流动。

Description

微液滴冷却装置

技术领域

本发明涉及一种液冷装置，尤其涉及一种以微液滴进行冷却的微液滴冷却装置。

背景技术

电子芯片的功率不断提升，使得其热功率也不断上升，为了使电子芯片保持适当的工作温度，必须将其产生的热量迅速移除。

现有针对计算机芯片的冷却，目前大多仍以气冷式散热器进行冷却。气冷式散热器以空气对流带走热量，为了提升散热功率，必须加大气冷式散热器的散热表面积、或是以风扇加强对流气流的流量与流速。在有限体积下，散热表面积的增加有其上限，且过于密集的散热器表面结构，例如狭窄的散热鳍片间隔距离，反而会提升流场阻力，不利于空气对流。而提升风扇功率的方式，容易造成噪音及震动问题。因此较佳的替代方案既是以液冷装置对计算机芯片进行冷却。

液体，例如水等具有高比热的优点，可迅速通过流动带走热量。若是进一步进行相变化，由液态吸收潜热蒸发为气态，可发挥更好的冷却效果。为了使液态的工作流体有效而迅速的吸收潜热蒸发为气态，最佳的方式是以微液滴喷洒于放热表面，使液体不需达到沸点就可以迅速蒸发，并避免积存的液体出现过热沸腾现象，导致温度过高。

针对微液滴的形成，有许多以压电材料提供致动力的微液滴喷射装置被提出，这些微液滴喷射装置具有体积小且运转迅速的优点，因此适合整合进体积有限的电子装置冷却装置中。例如美国专利US6629646号及提出一种微液滴喷射装置，其是以压电材料产生震动，使工作流体通过喷孔形成微液滴。US6629646所使用的工作流体由储液舱提供，蒸发后的蒸汽缺乏一个冷凝及回收的循环路径。因此若直接应用于冷却，则必须不断补充工作流体，使用上相当不便。

美国专利US6650542号专利案提出一种液冷装置，利用压电材料驱动工作流体循环流动，使整体液体循环结构缩小，以利于整合于体积有限的电子装置冷却装置中。但是US6650542号仅涉及了液态工作流体的显热变化，缺乏相变化过程，因此散热功率不佳。

美国专利US5943211号专利案则提出一种通过工作流体进行相变化，且工作流体可进行循环流动的冷却装置。US5943211号是以一泵驱动工作流体，但时泵驱动工作流体会对系统流体回路产生正压力，在小型化的液冷装置中容易出现管路无法承受压力而造成液体泄漏的问题。同时以泵驱动工作流体的设计也不易进行小型化。因此，如何使工作流体可以有效进行相变化以吸收潜热，并确保工作流体可循环利用，成为待解决的问题。

发明内容

鉴于以上的问题，本发明提供一种微液滴冷却装置，可在不对系统回路产生正压的情况下有效地产生微液滴，并确保工作液体可循环利用。

本发明所提供的微液滴冷却装置，用以输送一工作液体循环流动，其包含一蒸发容器、一区隔板、一蒸汽管、一第一供液管及一冷凝容器。蒸发容器是以底部接触一待降温的热源，且蒸发容器内部可区隔为一蒸发区及一压力腔区，其中工作液体填充于压力腔区。区隔板设置于蒸发容器中以将蒸发容器区隔为蒸发区及压力腔区，其中区隔板包含有一致动片及一位于致动片中间区域的喷孔片，喷孔片上具有多个喷孔。致动片用以驱使喷孔片产生震动，使压力腔区的工作液体通过喷孔形成微液滴并喷入蒸发区，微液滴会喷至蒸发容器的底部，从而使工作液体吸收热源的热量而蒸发为蒸汽。冷凝容器的底部用以接触一致冷源，冷凝容器中形成一冷凝区，且冷凝容器的底部积存部分的工作液体。蒸汽管的一端连接于蒸发区，另一端连接于冷凝容器的冷凝区，用以供蒸汽由蒸发容器的蒸发区进入冷凝区对致冷源放热而冷凝为液态的工作流体。第一供液管的一端连接于压力腔区，另一端延伸入冷凝区，并位于工作液体的液面下，从而使压力腔区以负压经由第一供液管由冷凝区吸引工作液体，达成工作液体的循环流动。

本发明可提供微液滴进行冷却，通过相变化快速移除热量，并可供工作液体循环流动，以利于工作液体循环利用。于本发明以板状结构提供工作液体循环流动的驱动力，有利于系统微型化，工作液体循环流动以系统管路负压达成，避免系统管路正压造成管路破裂漏液问题。

以下在实施方式中详细叙述本发明的详细特征以及优点，其内容足以使本领域普通技术人员了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所公开的内容、权利要求书及附图，任何本领域的普通技术人员可轻易地理解本发明相关的目的及优点。

以上的关于本发明内容的说明及以下的实施方式的说明用以示范与解释本发明的原理，并且提供本发明的权利要求书更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明第一实施例的外观立体图；

图2为本发明第一实施例的剖面示意图，揭示第一实施例的运行状态；

图3为本发明第一实施例中，热体的外观立体图；

图4为本发明第一实施例中的剖面示意图，揭示将工作液体填充于压力腔区并排出气体的状态；

图5A为本发明第一实施例中，喷孔片的平面图；

图5B为图5A中，喷孔片的剖面示意图；

图6A为本发明第一实施例中，区隔板的剖面示意图；

图6B为图6A中，喷孔片及致动片的局部剖面示意图；

图7A及图7B为本发明第一实施例的剖面示意图，揭示排除蒸发区积存液态的工作液体；及

图8为本发明第二实施例的剖面示意图，揭示第二实施例的运行状态。

其中，附图标记：

100    微液滴冷却装置

110    蒸发容器

111    蒸发区

112    压力腔区

113    热体

113a   微结构

120    冷凝容器

121    冷凝区

122    冷体

131    致动片

131a   微小孔

132    喷孔片

132a   喷孔

132b   微沟槽

132c   微小孔

200    蒸汽管

210    第一供液管

220    第二供液管

230    送液泵

H      热源

C      致冷源

D      微液滴

F      工作液体

G      蒸汽

A      黏剂

具体实施方式

为使对本发明的目的、构造、特征及其功能有进一步的了解，现在配合实施例详细说明如下。

请参阅图1所示，为本发明第一实施例所公开的一种微液滴冷却装置100，其包含有一蒸发容器110及一冷凝容器120，蒸发容器110及冷凝容器120之间以管路连接，其中蒸发容器110用以接触一待降温的热源H，使蒸发容器110中液态的工作液体F蒸发为气态，通过管路进入冷凝容器120中冷凝。而冷凝容器120可持续接触一致冷源C，例如外界冷空气，使气态的工作液体F降温冷凝，再通过管路输送回到蒸发容器110。

请参阅图2所示，为本发明第一实施例的剖面示意图。蒸发容器110及冷凝容器120的高度大致相等，其等接触的热源H及致冷源C也大致位于同一平面。蒸发容器110内具有一区隔板130，将蒸发容器110内部区隔为一蒸发区111及一压力腔区112，其中蒸发区111位于蒸发容器110的下半部，而压力腔区112位于蒸发容器110的上半部。区隔板130包含有一致动片131及一位于致动片131中间区域的喷孔片132，其中喷孔片132上具有多个喷孔132a，用以供工作液体F通过形成微液滴D，而致动片131用以驱动喷孔片132产生震动，并扰动位于压力腔区112的工作液体F，使工作液体F通过喷孔132a形成微液滴并喷入蒸发区111。其中致动片131可为压电材料所制成，接受高频的脉冲电压输入后产生高频震动。蒸发区111对应于热源H，且蒸发容器110的底部用以接触热源H，微液滴D喷至蒸发容器110的底部时，吸热蒸发成蒸汽G进入蒸发区111中。蒸发容器110的底部可进一步设置一热体113，介于蒸发区111及热源H之间，用以接触热源H。热体113可采用热导系数高于蒸发容器110的材料制成，以降低蒸发容器110底部与热源H之间的热阻。

参阅结合图2及图3所示，热体113在蒸发区111的一侧，形成凹凸微结构113a，例如凸点、微凹孔、鳍片等，以增加微液滴D掉落在热体113上时，工作液体F与热体113的接触面积，而提升热交换率。

请再参照图2所示，冷凝容器120中形成一冷凝区121，冷凝区121的底部用以接触致冷源C，从而降低冷凝区121内部的温度，而使冷凝区121中工作液体蒸汽G冷凝为液态的工作液体F。冷凝容器120的底部可进一步设置一冷体122，介于冷凝区121及致冷源C之间，用以接触致冷源C。冷体122可采用热导系数高于冷凝容器120的材料制成，以降低冷凝容器120底部与致冷源C之间的热阻。同时，冷体122在冷凝区121的一侧，可形成凸点、微凹孔、鳍片等，以增加冷体122暴露于冷凝区121的面积，而提升热交换率。

请继续参阅图2所示，蒸发容器110与冷凝容器120以多个管路连接，以形成回流回路。回流回路用以将蒸发区111产生的蒸汽G传送至冷凝区121进行冷凝，并将在冷凝区121冷凝为液态的工作液体F，然后将工作液体F传送至压力腔区112，使工作液体F通过喷孔片132的喷孔132a形成微液滴D，滴落至冷凝容器120的热体113，再度吸热气化至蒸发区111中。回流回路包含供蒸汽通过的管路及供液体通过的管路。其中供蒸汽通过的管路包含一蒸汽管200，用以连接蒸发容器110的蒸发区111及冷凝容器120的冷凝区121，使蒸发区111中的蒸汽G通过蒸汽管200进入冷凝区121中。此外，蒸汽管200的一端直接连接于蒸发容器110的壁面以连通冷凝区121。而蒸汽管200的另一端则横向延伸进入冷凝容器120中，使蒸汽管200连接冷凝区121的管口位于冷凝区121的中央而非位于冷凝容器120的壁面。

续请参阅图2所示，供液态的工作液体F通过的管路包含一第一供液管210及一第二供液管220，第一供液管210及第二供液管220用以连接蒸发容器110的压力腔区112及冷凝容器120的冷凝区121，使冷凝区121中的液态工作液体F通过第一供液管210及第二供液管220进入压力腔区112。第一供液管210及第二供液管220的管口接近冷凝区121的底部，从而使第一供液管210及第二供液管220的管口位于工作液体F的液面下方。此外，第一供液管210及第二供液管220为不等长，使得第一供液管210及第二供液管220的管口与蒸发容器110的距离也不相等，也就是说，第一供液管210的管口较第二供液管220的管口接近蒸发容器110。以本实施例为例，第一供液管210的管口位于蒸发区111的左半部，而第二供液管220的管口位于蒸发区111域的右半部。而蒸汽管200在冷凝容器120的一端的管口，介于第一供液管210的管口与第二供液管220的管口之间。

参照图4所示，当压力腔区112出现气泡(工作液体F没有充满整个压力腔区112)，或是工作液体F刚填充于冷凝容器120中，必须排除压力腔区112内的气体。此时排除气体的方法是先移动微液滴冷却装置100以改变冷凝容器120与蒸发容器110的相对位置，使冷凝容器120与蒸发容器110皆为横向摆设，且冷凝容器120位于蒸发容器110之上。此时，由于蒸汽管200位于冷凝容器120的管口介于第一供液管210的管口与第二供液管220的管口之间，因此蒸汽管200的管口高度会高于第一供液管210的管口，并突出于工作液体F的液面，因此工作液体F不会经过蒸汽管200进入蒸发容器110的蒸发区111。又，第一供液管210的管口位于工作液体F的液面下，且第二供液管220的管口位于工作液体F的液面上，因此工作液体F经由第一供液管210进入蒸发容器110的压力腔区112中，逐渐将压力腔区112填满，且压力腔区112的气体可由第二供液管220排放置冷凝区121中，以利于压力腔区112的气体排出，并使工作液体F顺利填满压力腔区112。

接着再将微液滴冷却装置回复初始状态，如图2所示，使冷凝容器120与蒸发容器110都呈现直立。此时，第一供液管210及第二供液管220的管口皆位于工作液体F的液面下方，使气体不会进入第一供液管210及第二供液管220。同时，在喷孔片132的喷孔132a的工作液体F，可透过表面张力抵抗重力，使工作液体F不会由喷孔132a下落，且气体不会由喷孔132a进入压力腔区112中，如此便可使压力腔区112保持填满工作液体F的状态。

参阅图5A及图5B所示，为了产生足够的表面张力抵抗重力，并避免气体通过喷孔132a，喷孔132a的孔径需配合工作液体F的表面张力值调整，以水作为工作液体F为例，喷孔132a的孔径必须小于100微米(μm)，其中又以小于80微米(μm)的孔径为最佳。此外，喷孔132a为锥形孔，由靠近压力腔区112的一侧朝向蒸发区111渐缩，也就是靠近压力腔区112的孔径大，而靠近蒸发区111的孔径小，从而产生方向性流阻，使工作液体F由压力腔区112流向蒸发区111的流阻，小于工作液体由蒸发区111流向的流阻压力腔区112，以确保致动片131驱动喷孔片132产生震动时，工作液体F顺向由压力腔区112流向蒸发区111并形成微液滴喷出，而不会逆向流动将气体带入压力腔区112。

为了避免工作液体F与喷孔片132的表面出现毛细作用，使得工作液体F受到毛细力吸引溢流到喷孔片132的表面，并破坏工作液体F的表面张力，喷孔片132上必须进行斥水处理，例如涂布铁氟龙(Telfon)在喷孔片132上。同时为了避免已经黏附在喷孔片132表面的工作液体持续以内聚力，通过喷孔132a吸附工作液体，喷孔片132朝向蒸发区111的一侧形成多个微沟槽132b，环绕各喷孔132a且不与喷孔132a交会，使黏附在喷孔片132表面的工作液体，持续被吸附于微沟槽132b中，而无法以内聚力通过喷孔132a吸附工作液体。

再参阅图6A及图6B，喷孔片132以胶合方式固定于致动片131，为了提升黏着强度，喷孔片132具有多个微小孔132c，形成于喷孔片132接触致动片131的区域，且致动片131也具有多个微小孔131a，对应于喷孔片132的微小孔132c。当黏剂A填充于喷孔片132及致动片131的界面时，黏剂A可填入喷孔片132之微小孔131a及致动片131之微小孔132c，以增加黏着强度，并避免喷孔片132相对于致动片131产生剪力而导致黏剂A脱落。

再参阅图2所示，微液滴冷却装置用以在一热源H及一致冷源C间提供一热传路径，使热源H产生的热量迅速地传递至致冷源C，以将控制热源H温度。热源H可为一高功率电子芯片，例如一中央处理器(CPU)，致冷源C可为一与外界进行热交换的热交换器，或是直接以外界冷空气作为致冷源C。蒸发容器110以其底部的热体113接触热源H，而冷凝容器120以其底部的冷体122接触致冷源C。当热源H开始运行，且必须对热源H进行致冷以控制温度时，对致动片131通入一高频脉冲电压，使致动片131产生高频震动。致动片131产生的震动，可使压力腔区112的工作液体F被扰动，同时工作液体F于喷孔片132的喷孔132a形成的张力表面也会被破坏，使工作液体F受到中立吸引通过喷孔132a，并形成微液滴D进入蒸发区111中。接着微液滴D落在蒸发容器110底部的热体113上，通过热体113的热传导，将热源H的热量传递至微液滴D，使微液滴D形成蒸汽。通过压力平衡及扩散作用，工作液体F的蒸汽便可逐渐通过蒸汽管200进入冷凝容器120的冷凝区121中，通过冷体122将热量传递至致冷源C，便可使工作液体F的蒸汽冷凝于冷凝容器120的底部。为了避免蒸汽在蒸汽管200中冷凝，导致蒸汽管200中积水，影响蒸汽压的平衡及蒸汽的扩散，蒸汽管200可经过斥水处理，例如涂布铁氟龙，使蒸汽不会在蒸汽管200中冷凝。

压力腔区112的工作液体F通过喷孔片132的喷孔132a流出并形成微液滴D后，由于气体无法由喷孔片132的喷孔132a，因此压力腔区112中的压力会形成负压，也就是说压力腔区112的压力会小于冷凝区121的压力。由于压力腔区112以第一供液管210及第二供液管220连接冷凝区121，且第一供液管210及第二供液管220的管口皆位于冷凝区121中工作液体F的液面下方，因此压力腔区112可以通过负压吸引工作液体F通过第一供液管210及第二供液管220，进入压力腔区112中，以补充压力腔区112喷送出的工作液体F量。通过上述组合，即可构成一个工作液体F的循环，使工作液体F在压力腔区112、蒸发区111及冷凝区121不断循环。

再参照图7A及图7B所示，致动片131的震动时机及频率，必须配合热源H的热功率，以确保微液滴D的喷洒量可达成预定的散热量，且避免微液滴D在蒸发区111中积存，覆盖蒸发容器110的底部及热体113表面。一旦蒸发容器110的底部及热体113积存工作液体F，便会使得蒸发效果变差，特别是热体113表面容易出现过热沸腾的现象，此得工作液体F在高于汽化点时才汽化。当蒸发容器110的底部及热体113积存工作液体F时，移动微液滴冷却装置100以改变冷凝容器120与蒸发容器110的相对位置，使冷凝容器120与蒸发容器110皆为横向摆设，且冷凝容器120位于蒸发容器110之下，如图4所示。此时在蒸发区111的液体会通过蒸汽管200流动至冷凝容器120的冷凝区121中，但压力腔区112中的工作液体F也会通过第一供液管210及第二供液管220流动至冷凝容器120的冷凝区121中。因此接着必须再移动微液滴冷却装置100以改变冷凝容器120与蒸发容器110的相对位置，使冷凝容器120与蒸发容器110皆为横向摆设，且冷凝容器120位于蒸发容器110之上，如图4所示。此时，第一供液管210的管口位于工作液体F的液面下，且第二供液管220的管口位于工作液体F的液面上，因此工作液体F经由第一供液管210进入蒸发容器110的压力腔区112中，逐渐将压力腔区112填满，且压力腔区112的气体可由第二供液管220排放置冷凝区121中，以利于压力腔区112的气体排出，并使工作液体F顺利填满压力腔区112。

请参阅图8所示，为本发明第二实施例所公开的一种微液滴冷却装置100，其包含有一蒸发容器110及一冷凝容器120。蒸发容器110用以接触一待降温的热源H，使蒸发容器110中液态的工作液体F蒸发为气态，通过一蒸汽管200进入冷凝容器120中冷凝。而冷凝容器120可持续接触一致冷源C，例如外界冷空气，使气态的工作液体F降温冷凝，再通过一第一供液管210及一第二供液管220送回到蒸发容器110。

蒸发容器110内具有一区隔板130，将蒸发容器110内部区隔为一蒸发区111及一压力腔区112，其中蒸发区111位于蒸发容器110的下半部，而压力腔区112位于蒸发容器110的上半部。区隔板130包含有一致动片131及一位于致动片131中间区域的喷孔片132，其中喷孔片132上具有多个喷孔，用以供液体通过形成微液滴D，而致动片131可接受脉冲电压输入后产生震动，以扰动位于压力腔区112的工作液体F，使工作液体F通过喷孔形成微液滴D，进入蒸发区111中并落在蒸发容器110底部的热体113上，吸热蒸发成气态进入蒸发区111中。蒸汽管200用以连接蒸发容器110的蒸发区111及冷凝容器120的冷凝区121，使蒸发区111中的蒸汽通过蒸汽管200进入冷凝区121中。

第一供液管210及第二供液管220用以连接蒸发容器110的压力腔区112及冷凝容器120的冷凝区121，使冷凝区121中的液态工作液体F通过第一供液管210及第二供液管220进入压力腔区112。第一供液管210及第二供液管220的管口接近冷凝区121的底部，从而使第一供液管210及第二供液管220的管口位于工作液体F的液面下方。此外，第一供液管210及第二供液管220为不等长，使得第一供液管210及第二供液管220的管口与蒸发容器110的距离也不相等，也就是说，第一供液管210的管口较第二供液管220的管口接近蒸发容器110。以本实施例为例，第一供液管210的管口位于蒸发区111的左半部，而第二供液管220的管口位于蒸发区111域的右半部。

此外，第一供液管210上还设有一送液泵230，用以由冷凝区121泵送工作液体F进入压力腔区112。在某些场合下，并无法直接移动微液滴冷却装置，来排除蒸发区111积存工作液体F或是压力腔区112出现气体的问题。在蒸发区111积存工作液体时，可先停止致动片131的作动，使蒸发区111中的积存的液体持续蒸发，待蒸发完毕在启动致动片131，使压力腔区112中的工作液体F再度进入蒸发区111中。当压力腔区112出现气体时，以送液泵230直接泵送液体，通过第一供液管210，进入压力腔区112中。第一供液管210连接于压力腔区112的一端，以及第二供液管220连接于压力腔区112中的一端具有一高度差，也即第二供液管220连接于压力腔区112中的一端高于第一一供液管210连接于压力腔区112的一端，因此在送液泵230直接泵送液体通过第一供液管210进入压力腔区112时，压力腔区112的气体可由第二供液管220离开，并进入蒸发区111中，直到第二供液管220也充满工作液体F时，就完成了气体的排除，此时便可停止送液泵230。

虽然本发明以前述的实施例公开如上，然而其并非用以限定本发明。在不脱离本发明的精神和范围内，所做的更动与润饰，均属于本发明的专利保护范围。关于本发明所界定的保护范围请参考所附的权利要求书。

Claims (19)

1. 一种微液滴冷却装置，用以输送一工作液体循环流动，其特征在于，包含：

一蒸发容器，该蒸发容器接触一待降温的热源，该蒸发容器内部区隔为一蒸发区及一的压力腔区，其中工作液体填充于该压力腔区；

一区隔板，设置于该蒸发容器中以将该蒸发容器区隔为该蒸发区及该压力腔区，该区隔板包含一致动片及一位于该致动片中间区域的喷孔片，其中该喷孔片上具有多个喷孔，该致动片用以驱使该喷孔片产生震动，使该压力腔区的工作液体通过该喷孔喷入该蒸发区，从而使工作液体在该蒸发区吸热蒸发为蒸汽；

一蒸汽管，其一端连接于该蒸发区；

一第一供液管，其一端连接于该压力腔区；及

一冷凝容器，该冷凝容器接触一致冷源，该冷凝容器具有一冷凝区，且该冷凝容器的底部积存部分的工作液体，其中该蒸汽管的另一端连接于该冷凝区，用以供蒸汽由该蒸发区进入该冷凝区冷凝为液态的工作液体，且该第一供液管的另一端深入该冷凝区，并位于工作液体的液面下；

其中该压力腔区以负压经由该第一供液管从该冷凝区吸引工作液体。

2. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，还包含一第二供液管，其一端连接于该压力腔区，另一端深入该冷凝区，并位于工作液体的液面下；

其中该第一供液管位于该冷凝区的管口，较该第二供液管位于该冷凝区的管口接近该蒸发容器。

3. 根据权利要求2所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该蒸汽管在冷凝容器端的管口，介于第一供液管的管口与第二供液管的管口之间。

4. 根据权利要求2所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该第一供液管连接于压力腔区的一端，以及该第二供液管连接于压力腔区中的一端之间具有一高度差。

5. 根据权利要求4所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该第二供液管连接于该压力腔区中的一端的高度，高于该第一供液管连接于该压力腔区的一端的高度。

6. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，还包含一送液泵，设置于该第一供液管，用以由该冷凝区泵送工作液体进入该压力腔区。

7. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，还包含一热体，设置该蒸发区的底部，用以接触热源；其中该热体的热导系数高于该蒸发容器的热导系数。

8. 根据权利要求7所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该热体于该蒸发区的一侧，形成凹凸微结构，以增加工作液体与该热体的接触面积。

9. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该致动片以压电材料所制成。

10. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，还包含一冷体，设置于该冷凝容器的底部，用以接触该致冷源，其中该冷体的热导系数高于该冷凝容器的热导系数。

11. 根据权利要求10所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该冷体于冷凝区的一侧，形成凹凸微结构，以增加工作液体与该冷体的接触面积。

12. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该蒸汽管延伸进入该冷凝容器中。

13. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该喷孔的孔径小于100微米(μm)。

14. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该喷孔为锥形孔。

15. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该喷孔片朝向该蒸发区的一侧形成微沟槽，且该微沟槽环绕各该喷孔。

16. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该喷孔片朝向该蒸发区的一侧经斥水处理。

17. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该蒸汽管内部涂布一斥水材料。

18. 根据权利要求1所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该喷孔片具有多个微小孔，形成于该喷孔片接触该致动片的区域，用以填入黏剂以增加黏着强度。

19. 根据权利要求18所述的微液滴冷却装置，其特征在于，该致动片具有多个微小孔，对应于该喷孔片的微小孔。

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