JP2004349551A - 沸騰冷却システム - Google Patents
沸騰冷却システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004349551A JP2004349551A JP2003146401A JP2003146401A JP2004349551A JP 2004349551 A JP2004349551 A JP 2004349551A JP 2003146401 A JP2003146401 A JP 2003146401A JP 2003146401 A JP2003146401 A JP 2003146401A JP 2004349551 A JP2004349551 A JP 2004349551A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooler
- liquid
- refrigerant
- boiling
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】凝縮器でのフラディングを心配することなく、ドライアウトが発生しない多量の液冷媒を沸騰冷却器に送り込み、発熱体を効率よく冷却できる沸騰冷却システムの提供である。
【解決手段】沸騰冷却システムは、液冷媒を送り出すポンプ12と、送り出され第1発熱体35を冷却する液冷媒が充填された沸騰冷却器15と、気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気に分離する気液分離器20と、分離された液冷媒をポンプの入口側12aに戻す戻し通路22と、分離された冷媒蒸気により第2発熱体を冷却する第2冷却器25と、冷媒蒸気を凝縮させ放熱する凝縮器30と、から成る。
【選択図】図1
【解決手段】沸騰冷却システムは、液冷媒を送り出すポンプ12と、送り出され第1発熱体35を冷却する液冷媒が充填された沸騰冷却器15と、気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気に分離する気液分離器20と、分離された液冷媒をポンプの入口側12aに戻す戻し通路22と、分離された冷媒蒸気により第2発熱体を冷却する第2冷却器25と、冷媒蒸気を凝縮させ放熱する凝縮器30と、から成る。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、沸騰冷却器を含み電力変換器の半導体装置等の冷却に使用される沸騰冷却システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体素子はますます高集積化、高容量化及び高速化の傾向にあり、それに伴い、半導体素子の発熱量や発熱密度が増大している。こうした事情を背景に、半導体素子を含む半導体装置を効果的に冷却できる高性能で小型の冷却器へのニーズが高まっている。
【0003】
図3に示す従来の半導体冷却装置(特許文献1参照)は、冷媒循環通路100上に配置された半導体冷却用モジュール(沸騰冷却器)102、冷媒循環ポンプ104、冷媒冷却器(凝縮器)106、及び出口側ポンプ108から成る。モジュール102は、熱を受ける冷媒槽と、強制空冷により大気中に放熱する放熱部とから成る。モジュール102内に第1発熱体としての半導体発熱素子(不図示)が搭載されている。
【0004】
低沸点の冷媒液が冷媒循環ポンプ104によってモジュール102に供給され、その内部の半導体素子の表面に直接接触し沸騰する。強制対流及び沸騰による熱伝達により半導体素子が冷却される。モジュール102で温めた後排出された気液二相流状態の冷媒は、出口側ポンプ108により増圧され、凝縮器106に送られる。その後、凝縮器106で冷却されて凝縮し、冷媒循環ポンプ104に戻る。
【0005】
【特許文献1】
特開平6−104357号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例では、モジュール(沸騰部)102での冷媒でのドライアウトを避けようとすれば、凝縮器106でフラディングが発生し易くなる問題がある。即ち、ドライアウトを避けるために、冷媒循環ポンプ104は、半導体素子の発熱を冷媒の蒸発潜熱で除した流量よりも多い流量の冷媒をモジュール102に送り込まなければならない。
【0007】
こうすると、モジュール102の出口から冷媒蒸気と共に液冷媒も流出してくる。この気液二相流が凝縮器106に送り込まれ、液冷媒が存在する分だけ凝縮器106でフラッディングが生じ、熱伝達率が低下してしまう。さりとて、フラディングをおそれてモジュール102への液冷媒の送り込み量を減少させれば、半導体素子の冷却効率が悪くなる。
【0008】
また、従来例は電力変換器に発熱体が2つある場合への対処が困難である。詳しくは、電力変換器等には半導体素子の他に、リアクトルのような別の発熱体が存在する場合がある。リアクトル等は半導体素子ほど低温に冷却することが要求されない。
【0009】
従来例において液冷媒を別の発熱体用冷却器に供給すると、発生した蒸気より冷却器内の圧力が上昇し、蒸気が凝縮する。その結果、リアクトル等の熱が半導体素子に逆流してしまう。
【0010】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、凝縮器でのフラディングを心配することなく、ドライアウトが発生しないように多量の液冷媒を沸騰冷却器に送り込み、半導体素子等の発熱体を効率よく冷却できる沸騰冷却システムを提供することを第1目的とする。第2の目的は、要求冷却温度が異なる2つの発熱体を同時に冷却できる沸騰冷却システムの提供である。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本願の発明者は、沸騰冷却器から流出した気液二相流のうち、液冷媒は極力凝縮器に流入させないことを思い付いて、本発明を完成した。
▲1▼本願の第1発明による沸騰冷却システムは、請求項1に記載したように、液冷媒を送り出すポンプと;液冷媒が充填され第1発熱体の熱を吸熱する沸騰冷却器と;沸騰冷却器から流出した気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気に分離する気液分離器と;気液分離器で分離された液冷媒をポンプの入口側に戻す戻し通路と; 気液分離気で分離された冷媒蒸気により第2発熱体を冷却する第2冷却器と;第2冷却器とポンプとの間に配置され冷媒蒸気を液冷媒に凝縮させ放熱する凝縮器と;から成ることを特徴とする。
【0012】
この沸騰冷却システムにおいて、気液分離器で分離した液冷媒は戻し通路によりポンプの入口側に戻され、冷媒蒸気のみが第2冷却器に流入する。冷媒蒸気は第2冷却器内で第2発熱体の冷却に利用される。その後凝縮器に流入するので、フラディングが発生するおそれがない。この事情は、次述する第2発明でも同様である。
【0013】
請求項2の沸騰冷却システムは、請求項1において、沸騰冷却器の冷却温度は第2冷却器の冷却温度よりも低い。請求項3の沸騰冷却システムは、請求項2の気液分離器は更に、冷媒蒸気の液冷媒戻し通路への流入を防止する弁を含む。
▲2▼第2発明による沸騰冷却システムは、請求項4に記載したように、液冷媒を送り出すポンプと;液冷媒が充填され第1発熱体の熱を吸熱する沸騰冷却器と;沸騰冷却器から流出した気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気に分離する気液分離器と;気液分離器で分離された液冷媒をポンプの出口側に戻す戻し通路と;気液分離気で分離された冷媒蒸気により第2発熱体を冷却する第2冷却器と;第2冷却器とポンプとの間に配置され冷媒蒸気を液冷媒に凝縮させ放熱する凝縮器;から成ることを特徴とする。
【0014】
請求項5の沸騰冷却システムは、請求項4において、前記沸騰冷却器の冷却温度は第2冷却器の冷却温度よりも低い。請求項6の沸騰冷却システムは、請求項5において更に、戻し通路の終端とポンプと沸騰冷却器との間の経路との交差部に、気液分離器で分離した液冷媒を沸騰冷却器へ送り出す補助ポンプを含む。
【0015】
【発明の実施の形態】
<ポンプ>
本発明の沸騰冷却システムを車両の電力変換器の冷却に適用した場合、発熱部たる半導体素子等と、放熱部たる凝縮器とが離れており、冷媒の自然循環では冷却が不十分となる。そこで本発明ではポンプにより冷媒を強制循環させる。
<沸騰冷却器>
冷却沸騰器は冷媒が充填された冷媒槽を含み、冷媒の沸騰を利用して発熱体の熱を吸収し冷却するものである。第1発熱体の大きさや温度との関係で、冷媒のドライアウトが発生しないように留意する。ここで、「ドライアウト」とは、沸騰冷却器内の液冷媒がなくなって冷媒蒸気のみになる現象を言い、その発生は熱伝達率の低下を招く。
【0016】
沸騰冷却器は、半導体素子等、要求される冷却温度が比較的低い(セ氏100から200度程度)第1発熱体を液冷媒で冷却する。ポンプによる強制循環を用いているため、沸騰冷却器を車両内において比較的高い場所にセットすることが可能となる。
<気液分離器>
気液分離器は沸騰冷却器から流出する気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気とに分離するものである。分離するのは、次述するように、凝縮器に極力液冷媒を供給しないため、及び第2冷却器でも冷媒蒸気により第2発熱体を冷却するためである。気液分離器は冷媒蒸気の戻し通路への流入を防止する弁を持つことができる。
<第2冷却器、凝縮器>
第2冷却器は、リアクトル等要求される冷却温度が比較的高い(セ氏200から300度程度)第2発熱体を、気液分離器から流入する冷媒蒸気で冷却する。
【0017】
凝縮器は冷却器から流入する冷媒蒸気を周辺の空気で冷却して液化させ(その際放熱する)、液冷媒に戻すものである。リアクトルの温度や冷却器の大きさ等との関係で、フラディングが発生しないように注意する。「フラディング」とは、凝縮器の大部分が液冷媒で充填されることで、液冷媒が充填された部分は熱伝達率が低下する。
<戻し通路>
戻し通路は、気液分離器で分離された液冷媒をポンプ側に戻す(凝縮器に送らない)ために設けられ、第1タイプではポンプの入口側に戻す。戻った液冷媒はポンプに流入し、凝縮器から流入した液冷媒と共に沸騰冷却器へ送り出される。第1タイプは請求項1から請求項3、及び第1実施例に対応する。
【0018】
第2タイプではポンプの出口側に戻す。戻った液冷媒はポンプと沸騰冷却器との間に配置された補助ポンプにより沸騰冷却器へ送り出される。補助ポンプはポンプから送り出される液冷媒の圧力により駆動することができる。第2タイプは請求項4から請求項6、及び第2実施例に対応する。
【0019】
【実施例】
以下、本発明の実施例を添付図面を参照しつつ説明する。
(構成)
図1に示す沸騰冷却システムは、冷媒循環通路10上に冷媒の循環方向に沿って順に配置されたポンプ12、沸騰冷却器15、気液分離器20、第2冷却器25及び凝縮器30等から成る。
【0020】
沸騰冷却器15は角柱フィンを所定ピッチで配設した冷媒槽16を有する。後述する半導体素子35の熱を受けると、冷媒槽16内の冷媒が沸騰して冷媒蒸気となる。この冷媒は気化するときに必要な潜熱を吸収する。
【0021】
沸騰冷却器15は半導体素子35に熱的に接続され、モータ13で駆動されるポンプ12により液冷媒が沸騰冷却器15に供給される。沸騰冷却器15から凝縮器30に至る経路11a上に配置された気液分離器20はフロート弁21を備える。気液分離器20と凝縮器30との間の経路上に第2冷却器25が配置され、リアクトル26が接触している。また、フロート弁26とポンプ12の入口側12aとが戻し通路23で接続されている。
(作用)
この実施例において、沸騰冷却器15内の液冷媒は半導体素子35の熱を吸収し蒸発する。このとき、冷媒の蒸発潜熱に冷媒の質量を乗じた仕事率の熱が、冷媒により運び去られ、半導体素子35が所定温度に冷却される。
【0022】
沸騰冷却器15から流出する気液二相流を気液分離器20が液冷媒と冷媒蒸気とに分離する。冷媒蒸気が第2冷却器25に流入し、その傍らのリアクトル26を冷却して過熱蒸気となり、凝縮器30に流入する。冷媒上記はその後凝縮器30で冷却されて凝縮し、その際放熱する。その後、液冷媒は凝縮器30からポンプ12に戻る。
【0023】
一方、気液分離器20で分離された液冷媒は戻し経路23を経由してポンプ12の入口側12aに戻り、その後ポンプ12に流入する。なお、気液分離器20内に液冷媒がなくなると、フロート弁21が戻し通路23を閉じる。
(効果)
この実施例によれば、第1に、凝縮器30でのフラディングを心配することなく、沸騰冷却器15で冷媒がドライアウトを生じないよう、多量の冷媒を供給できる。多量の冷媒を供給すると、沸騰冷却器15の出口での冷媒乾き度(クオリティ)が1より小さくなり、冷媒蒸気中に液冷媒が残存した状態となる。しかし、気液二相流が気液分離器20で液冷媒と冷媒蒸気とに分離され、液冷媒は戻し通路23によりポンプ12に戻され、凝縮器30には殆ど流入しないからである。
【0024】
その結果、従来のように気液二相流が凝縮器にそのまま流入し、凝縮熱伝達に関与しない液冷媒の大きな塊が凝縮器内の細管を流れ、凝縮器の性能を低下させることがなくなる。
【0025】
第2に、要求冷却温度が比較的低い半導体素子35と、比較的高いリアクトル26とが共に効果的に冷却できる。温度が上昇し易い半導体素子35は沸騰冷却器15内の液冷媒が沸騰することで冷却し、それ程上昇しないリアクトル26は第2冷却器25内で冷媒蒸気に接触させて冷却するからである。
【0026】
第3に、気液分離器20内に液冷媒がなくなり冷媒蒸気のみとなったときは、フロート弁21が戻し通路23を閉じるので、冷媒蒸気が戻し通路23を通じてポンプ12へ流入する心配はない。
<第2実施例>
(構成)
図2に示す第2実施例は、上記第1実施例と比べて、戻し通路50の配設場所が異なる。即ち、戻し通路50は沸騰冷却器15の近傍に設けられた気液分離器20の底部からポンプ12の出口側12bに延び、終端がポンプ12から沸騰冷却器15に延びる経路に交差している。交差部に設けられた補助ポンプ55はポンプ12から送り出される液冷媒の圧力により駆動されるエジェクタ(ジェットポンプ)である。
(作用効果)
この実施例の作用に関し、半導体素子35が沸騰冷却器15で冷却され、気液二相流が気液分離器20で分離され、リアクトル26が第2冷却器25で冷却される点は第1実施例と同様である。但し、以下の点は第1実施例とは異なる。沸騰冷却器15で気化せず気液分離器20で分離された液冷媒は、直ちに戻り通路50を通して補助ポンプ55に戻され、沸騰冷却器15に送り込まれて再利用される。
【0027】
この実施例によれば、第1実施例の効果に加えて、以下の特有の効果が得られる。ポンプ12は蒸発及び凝縮に関与した冷媒のみを送り出せば良いので、ポンプ12が小型化できるのみならず、モータ13の消費電力が低減できる。また、冷媒圧力で作動する補助ポンプ55は駆動源が不要である。
【0028】
また、ポンプ12の小型化に関連して、ポンプ12と補助ポンプ55との間の経路の圧力損失が減少し、沸騰冷却器15及び冷却器25と凝縮器30との間の温度が小さくなる。更に、気液分離器20を沸騰冷却器15に近接させ、冷却器25を気液分離器20に近接させたので、沸騰冷却器15と第2冷却器25との間隔を短くでき、電力変換器の小型化が可能になる。
【0029】
加えて、気液分離器20内の液冷媒がなくなっても、ポンプ12が送り出す液冷媒の量は変化しないので、第1実施例におけるフロート弁21は不要である。
【0030】
【発明の効果】
以上述べてきたように、第1発明の沸騰冷却システムによれば、ドライアウトを防止しつつ沸騰冷却器に多量の冷媒を供給し、要求冷却温度の高低に応じて沸騰冷却器及び第2冷却器で第1発熱体及び第2発熱体を冷却できる。また、凝縮器にはその上流側に配置された気液分離器で分離した冷媒蒸気のみが流入するので、フラディングの発生が防止できる。
【0031】
また、第2発明の沸騰冷却システムでも第1発明と同様の効果が得られ、さらにポンプが小型化できる。
【0032】
請求項2及び5の沸騰冷却システムによれば、沸騰冷却器が要求冷却温度が低い第1発熱体を液冷媒で効果的に冷却でき、第2冷却器が要求温度がそれほど低くない第2発熱体を冷媒蒸気で冷却できる。請求項3の沸騰冷却システムによれば、気液分離器に液冷媒がなくなった場合でも、液冷媒供給量の減少が防止できる。請求項6の沸騰冷却システムによれば、ポンプの小型化に伴い、経路の圧力損失の減少及び電力変換器の小型化が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の全体説明図である。
【図2】第2実施例の全体説明図である。
【図3】従来例の説明図である。
【符号の説明】
10:循環通路 12:ポンプ
15:沸騰冷却器 20:気液分離器
50,23:戻し通路 25:第2冷却器
30:凝縮器 35:半導体素子
【発明の属する技術分野】
本発明は、沸騰冷却器を含み電力変換器の半導体装置等の冷却に使用される沸騰冷却システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体素子はますます高集積化、高容量化及び高速化の傾向にあり、それに伴い、半導体素子の発熱量や発熱密度が増大している。こうした事情を背景に、半導体素子を含む半導体装置を効果的に冷却できる高性能で小型の冷却器へのニーズが高まっている。
【0003】
図3に示す従来の半導体冷却装置(特許文献1参照)は、冷媒循環通路100上に配置された半導体冷却用モジュール(沸騰冷却器)102、冷媒循環ポンプ104、冷媒冷却器(凝縮器)106、及び出口側ポンプ108から成る。モジュール102は、熱を受ける冷媒槽と、強制空冷により大気中に放熱する放熱部とから成る。モジュール102内に第1発熱体としての半導体発熱素子(不図示)が搭載されている。
【0004】
低沸点の冷媒液が冷媒循環ポンプ104によってモジュール102に供給され、その内部の半導体素子の表面に直接接触し沸騰する。強制対流及び沸騰による熱伝達により半導体素子が冷却される。モジュール102で温めた後排出された気液二相流状態の冷媒は、出口側ポンプ108により増圧され、凝縮器106に送られる。その後、凝縮器106で冷却されて凝縮し、冷媒循環ポンプ104に戻る。
【0005】
【特許文献1】
特開平6−104357号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例では、モジュール(沸騰部)102での冷媒でのドライアウトを避けようとすれば、凝縮器106でフラディングが発生し易くなる問題がある。即ち、ドライアウトを避けるために、冷媒循環ポンプ104は、半導体素子の発熱を冷媒の蒸発潜熱で除した流量よりも多い流量の冷媒をモジュール102に送り込まなければならない。
【0007】
こうすると、モジュール102の出口から冷媒蒸気と共に液冷媒も流出してくる。この気液二相流が凝縮器106に送り込まれ、液冷媒が存在する分だけ凝縮器106でフラッディングが生じ、熱伝達率が低下してしまう。さりとて、フラディングをおそれてモジュール102への液冷媒の送り込み量を減少させれば、半導体素子の冷却効率が悪くなる。
【0008】
また、従来例は電力変換器に発熱体が2つある場合への対処が困難である。詳しくは、電力変換器等には半導体素子の他に、リアクトルのような別の発熱体が存在する場合がある。リアクトル等は半導体素子ほど低温に冷却することが要求されない。
【0009】
従来例において液冷媒を別の発熱体用冷却器に供給すると、発生した蒸気より冷却器内の圧力が上昇し、蒸気が凝縮する。その結果、リアクトル等の熱が半導体素子に逆流してしまう。
【0010】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、凝縮器でのフラディングを心配することなく、ドライアウトが発生しないように多量の液冷媒を沸騰冷却器に送り込み、半導体素子等の発熱体を効率よく冷却できる沸騰冷却システムを提供することを第1目的とする。第2の目的は、要求冷却温度が異なる2つの発熱体を同時に冷却できる沸騰冷却システムの提供である。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本願の発明者は、沸騰冷却器から流出した気液二相流のうち、液冷媒は極力凝縮器に流入させないことを思い付いて、本発明を完成した。
▲1▼本願の第1発明による沸騰冷却システムは、請求項1に記載したように、液冷媒を送り出すポンプと;液冷媒が充填され第1発熱体の熱を吸熱する沸騰冷却器と;沸騰冷却器から流出した気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気に分離する気液分離器と;気液分離器で分離された液冷媒をポンプの入口側に戻す戻し通路と; 気液分離気で分離された冷媒蒸気により第2発熱体を冷却する第2冷却器と;第2冷却器とポンプとの間に配置され冷媒蒸気を液冷媒に凝縮させ放熱する凝縮器と;から成ることを特徴とする。
【0012】
この沸騰冷却システムにおいて、気液分離器で分離した液冷媒は戻し通路によりポンプの入口側に戻され、冷媒蒸気のみが第2冷却器に流入する。冷媒蒸気は第2冷却器内で第2発熱体の冷却に利用される。その後凝縮器に流入するので、フラディングが発生するおそれがない。この事情は、次述する第2発明でも同様である。
【0013】
請求項2の沸騰冷却システムは、請求項1において、沸騰冷却器の冷却温度は第2冷却器の冷却温度よりも低い。請求項3の沸騰冷却システムは、請求項2の気液分離器は更に、冷媒蒸気の液冷媒戻し通路への流入を防止する弁を含む。
▲2▼第2発明による沸騰冷却システムは、請求項4に記載したように、液冷媒を送り出すポンプと;液冷媒が充填され第1発熱体の熱を吸熱する沸騰冷却器と;沸騰冷却器から流出した気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気に分離する気液分離器と;気液分離器で分離された液冷媒をポンプの出口側に戻す戻し通路と;気液分離気で分離された冷媒蒸気により第2発熱体を冷却する第2冷却器と;第2冷却器とポンプとの間に配置され冷媒蒸気を液冷媒に凝縮させ放熱する凝縮器;から成ることを特徴とする。
【0014】
請求項5の沸騰冷却システムは、請求項4において、前記沸騰冷却器の冷却温度は第2冷却器の冷却温度よりも低い。請求項6の沸騰冷却システムは、請求項5において更に、戻し通路の終端とポンプと沸騰冷却器との間の経路との交差部に、気液分離器で分離した液冷媒を沸騰冷却器へ送り出す補助ポンプを含む。
【0015】
【発明の実施の形態】
<ポンプ>
本発明の沸騰冷却システムを車両の電力変換器の冷却に適用した場合、発熱部たる半導体素子等と、放熱部たる凝縮器とが離れており、冷媒の自然循環では冷却が不十分となる。そこで本発明ではポンプにより冷媒を強制循環させる。
<沸騰冷却器>
冷却沸騰器は冷媒が充填された冷媒槽を含み、冷媒の沸騰を利用して発熱体の熱を吸収し冷却するものである。第1発熱体の大きさや温度との関係で、冷媒のドライアウトが発生しないように留意する。ここで、「ドライアウト」とは、沸騰冷却器内の液冷媒がなくなって冷媒蒸気のみになる現象を言い、その発生は熱伝達率の低下を招く。
【0016】
沸騰冷却器は、半導体素子等、要求される冷却温度が比較的低い(セ氏100から200度程度)第1発熱体を液冷媒で冷却する。ポンプによる強制循環を用いているため、沸騰冷却器を車両内において比較的高い場所にセットすることが可能となる。
<気液分離器>
気液分離器は沸騰冷却器から流出する気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気とに分離するものである。分離するのは、次述するように、凝縮器に極力液冷媒を供給しないため、及び第2冷却器でも冷媒蒸気により第2発熱体を冷却するためである。気液分離器は冷媒蒸気の戻し通路への流入を防止する弁を持つことができる。
<第2冷却器、凝縮器>
第2冷却器は、リアクトル等要求される冷却温度が比較的高い(セ氏200から300度程度)第2発熱体を、気液分離器から流入する冷媒蒸気で冷却する。
【0017】
凝縮器は冷却器から流入する冷媒蒸気を周辺の空気で冷却して液化させ(その際放熱する)、液冷媒に戻すものである。リアクトルの温度や冷却器の大きさ等との関係で、フラディングが発生しないように注意する。「フラディング」とは、凝縮器の大部分が液冷媒で充填されることで、液冷媒が充填された部分は熱伝達率が低下する。
<戻し通路>
戻し通路は、気液分離器で分離された液冷媒をポンプ側に戻す(凝縮器に送らない)ために設けられ、第1タイプではポンプの入口側に戻す。戻った液冷媒はポンプに流入し、凝縮器から流入した液冷媒と共に沸騰冷却器へ送り出される。第1タイプは請求項1から請求項3、及び第1実施例に対応する。
【0018】
第2タイプではポンプの出口側に戻す。戻った液冷媒はポンプと沸騰冷却器との間に配置された補助ポンプにより沸騰冷却器へ送り出される。補助ポンプはポンプから送り出される液冷媒の圧力により駆動することができる。第2タイプは請求項4から請求項6、及び第2実施例に対応する。
【0019】
【実施例】
以下、本発明の実施例を添付図面を参照しつつ説明する。
(構成)
図1に示す沸騰冷却システムは、冷媒循環通路10上に冷媒の循環方向に沿って順に配置されたポンプ12、沸騰冷却器15、気液分離器20、第2冷却器25及び凝縮器30等から成る。
【0020】
沸騰冷却器15は角柱フィンを所定ピッチで配設した冷媒槽16を有する。後述する半導体素子35の熱を受けると、冷媒槽16内の冷媒が沸騰して冷媒蒸気となる。この冷媒は気化するときに必要な潜熱を吸収する。
【0021】
沸騰冷却器15は半導体素子35に熱的に接続され、モータ13で駆動されるポンプ12により液冷媒が沸騰冷却器15に供給される。沸騰冷却器15から凝縮器30に至る経路11a上に配置された気液分離器20はフロート弁21を備える。気液分離器20と凝縮器30との間の経路上に第2冷却器25が配置され、リアクトル26が接触している。また、フロート弁26とポンプ12の入口側12aとが戻し通路23で接続されている。
(作用)
この実施例において、沸騰冷却器15内の液冷媒は半導体素子35の熱を吸収し蒸発する。このとき、冷媒の蒸発潜熱に冷媒の質量を乗じた仕事率の熱が、冷媒により運び去られ、半導体素子35が所定温度に冷却される。
【0022】
沸騰冷却器15から流出する気液二相流を気液分離器20が液冷媒と冷媒蒸気とに分離する。冷媒蒸気が第2冷却器25に流入し、その傍らのリアクトル26を冷却して過熱蒸気となり、凝縮器30に流入する。冷媒上記はその後凝縮器30で冷却されて凝縮し、その際放熱する。その後、液冷媒は凝縮器30からポンプ12に戻る。
【0023】
一方、気液分離器20で分離された液冷媒は戻し経路23を経由してポンプ12の入口側12aに戻り、その後ポンプ12に流入する。なお、気液分離器20内に液冷媒がなくなると、フロート弁21が戻し通路23を閉じる。
(効果)
この実施例によれば、第1に、凝縮器30でのフラディングを心配することなく、沸騰冷却器15で冷媒がドライアウトを生じないよう、多量の冷媒を供給できる。多量の冷媒を供給すると、沸騰冷却器15の出口での冷媒乾き度(クオリティ)が1より小さくなり、冷媒蒸気中に液冷媒が残存した状態となる。しかし、気液二相流が気液分離器20で液冷媒と冷媒蒸気とに分離され、液冷媒は戻し通路23によりポンプ12に戻され、凝縮器30には殆ど流入しないからである。
【0024】
その結果、従来のように気液二相流が凝縮器にそのまま流入し、凝縮熱伝達に関与しない液冷媒の大きな塊が凝縮器内の細管を流れ、凝縮器の性能を低下させることがなくなる。
【0025】
第2に、要求冷却温度が比較的低い半導体素子35と、比較的高いリアクトル26とが共に効果的に冷却できる。温度が上昇し易い半導体素子35は沸騰冷却器15内の液冷媒が沸騰することで冷却し、それ程上昇しないリアクトル26は第2冷却器25内で冷媒蒸気に接触させて冷却するからである。
【0026】
第3に、気液分離器20内に液冷媒がなくなり冷媒蒸気のみとなったときは、フロート弁21が戻し通路23を閉じるので、冷媒蒸気が戻し通路23を通じてポンプ12へ流入する心配はない。
<第2実施例>
(構成)
図2に示す第2実施例は、上記第1実施例と比べて、戻し通路50の配設場所が異なる。即ち、戻し通路50は沸騰冷却器15の近傍に設けられた気液分離器20の底部からポンプ12の出口側12bに延び、終端がポンプ12から沸騰冷却器15に延びる経路に交差している。交差部に設けられた補助ポンプ55はポンプ12から送り出される液冷媒の圧力により駆動されるエジェクタ(ジェットポンプ)である。
(作用効果)
この実施例の作用に関し、半導体素子35が沸騰冷却器15で冷却され、気液二相流が気液分離器20で分離され、リアクトル26が第2冷却器25で冷却される点は第1実施例と同様である。但し、以下の点は第1実施例とは異なる。沸騰冷却器15で気化せず気液分離器20で分離された液冷媒は、直ちに戻り通路50を通して補助ポンプ55に戻され、沸騰冷却器15に送り込まれて再利用される。
【0027】
この実施例によれば、第1実施例の効果に加えて、以下の特有の効果が得られる。ポンプ12は蒸発及び凝縮に関与した冷媒のみを送り出せば良いので、ポンプ12が小型化できるのみならず、モータ13の消費電力が低減できる。また、冷媒圧力で作動する補助ポンプ55は駆動源が不要である。
【0028】
また、ポンプ12の小型化に関連して、ポンプ12と補助ポンプ55との間の経路の圧力損失が減少し、沸騰冷却器15及び冷却器25と凝縮器30との間の温度が小さくなる。更に、気液分離器20を沸騰冷却器15に近接させ、冷却器25を気液分離器20に近接させたので、沸騰冷却器15と第2冷却器25との間隔を短くでき、電力変換器の小型化が可能になる。
【0029】
加えて、気液分離器20内の液冷媒がなくなっても、ポンプ12が送り出す液冷媒の量は変化しないので、第1実施例におけるフロート弁21は不要である。
【0030】
【発明の効果】
以上述べてきたように、第1発明の沸騰冷却システムによれば、ドライアウトを防止しつつ沸騰冷却器に多量の冷媒を供給し、要求冷却温度の高低に応じて沸騰冷却器及び第2冷却器で第1発熱体及び第2発熱体を冷却できる。また、凝縮器にはその上流側に配置された気液分離器で分離した冷媒蒸気のみが流入するので、フラディングの発生が防止できる。
【0031】
また、第2発明の沸騰冷却システムでも第1発明と同様の効果が得られ、さらにポンプが小型化できる。
【0032】
請求項2及び5の沸騰冷却システムによれば、沸騰冷却器が要求冷却温度が低い第1発熱体を液冷媒で効果的に冷却でき、第2冷却器が要求温度がそれほど低くない第2発熱体を冷媒蒸気で冷却できる。請求項3の沸騰冷却システムによれば、気液分離器に液冷媒がなくなった場合でも、液冷媒供給量の減少が防止できる。請求項6の沸騰冷却システムによれば、ポンプの小型化に伴い、経路の圧力損失の減少及び電力変換器の小型化が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の全体説明図である。
【図2】第2実施例の全体説明図である。
【図3】従来例の説明図である。
【符号の説明】
10:循環通路 12:ポンプ
15:沸騰冷却器 20:気液分離器
50,23:戻し通路 25:第2冷却器
30:凝縮器 35:半導体素子
Claims (6)
- 液冷媒を送り出すポンプと、
液冷媒が充填され第1発熱体の熱を吸熱する沸騰冷却器と、
前記沸騰冷却器から流出した気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気に分離する気液分離器と、
前記気液分離器で分離された液冷媒を前記ポンプの入口側に戻す戻し通路と、
前記気液分離気で分離された冷媒蒸気により第2発熱体を冷却する第2冷却器と、
前記第2冷却器と前記ポンプとの間に配置され、冷媒蒸気を凝縮させ放熱する凝縮器と、
から成ることを特徴とする沸騰冷却システム。 - 前記沸騰冷却器の冷却温度は前記第2冷却器の冷却温度よりも低い請求項1に記載の沸騰冷却システム。
- 前記気液分離器は更に、冷媒蒸気の前記液冷媒戻し通路への流入を防止する弁を含む請求項2に記載の沸騰冷却システム。
- 液冷媒を送り出すポンプと、
液冷媒が充填され第1発熱体の熱を吸熱する沸騰冷却器と、
前記沸騰冷却器から流出した気液二相流を液冷媒と冷媒蒸気に分離する気液分離器と、
前記気液分離器で分離された液冷媒を前記ポンプの出口側に戻す戻し通路と、
前記気液分離気で分離された冷媒蒸気により第2発熱体を冷却する第2冷却器と、
前記第2冷却器と前記ポンプとの間に配置され、冷媒蒸気を凝縮させ放熱する凝縮器と、
から成ることを特徴とする沸騰冷却システム。 - 前記沸騰冷却器の冷却温度は前記第2冷却器の冷却温度よりも低い請求項4に記載の沸騰冷却システム。
- 更に、前記戻し通路の終端と前記ポンプと前記沸騰冷却器との間の経路との交差部に、前記気液分離器で分離した液冷媒を前記沸騰冷却器へ送り出す補助ポンプを含む請求項5に記載の沸騰冷却システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003146401A JP2004349551A (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 沸騰冷却システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003146401A JP2004349551A (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 沸騰冷却システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004349551A true JP2004349551A (ja) | 2004-12-09 |
Family
ID=33533263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003146401A Pending JP2004349551A (ja) | 2003-05-23 | 2003-05-23 | 沸騰冷却システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004349551A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100451529C (zh) * | 2007-01-13 | 2009-01-14 | 青岛大学 | 一种双向双循环热管能量输运系统 |
JP2010133640A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Toyota Industries Corp | 沸騰冷却装置 |
JP2010212403A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Toyota Motor Corp | 沸騰冷却装置 |
CN102721306A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-10 | 青岛大学 | 一种带均流分配器的水平布管式热管能量输运方法 |
JPWO2016031089A1 (ja) * | 2014-08-27 | 2017-04-27 | 三菱電機株式会社 | 駆動システム |
WO2019087574A1 (ja) * | 2017-11-02 | 2019-05-09 | 株式会社デンソー | サーモサイフォン式温調装置 |
WO2019130970A1 (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-04 | キヤノン株式会社 | 冷却装置、半導体製造装置および半導体製造方法 |
US10788270B2 (en) | 2015-10-15 | 2020-09-29 | Nec Platforms, Ltd. | Cooling device |
US10816273B2 (en) | 2016-01-08 | 2020-10-27 | Mitsubishi Electric Corporation | Boiling cooling device and boiling cooling system |
CN111964188A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-11-20 | 南京工业大学 | 一种热虹吸管-蒸汽压缩复合制冷系统 |
JP2021004678A (ja) * | 2019-06-25 | 2021-01-14 | 株式会社豊田中央研究所 | 熱輸送システム、吸着式ヒートポンプ、および熱輸送方法 |
-
2003
- 2003-05-23 JP JP2003146401A patent/JP2004349551A/ja active Pending
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100451529C (zh) * | 2007-01-13 | 2009-01-14 | 青岛大学 | 一种双向双循环热管能量输运系统 |
JP2010133640A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-17 | Toyota Industries Corp | 沸騰冷却装置 |
JP2010212403A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Toyota Motor Corp | 沸騰冷却装置 |
CN102721306A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-10 | 青岛大学 | 一种带均流分配器的水平布管式热管能量输运方法 |
CN102721306B (zh) * | 2012-06-27 | 2013-07-17 | 青岛大学 | 一种带均流分配器的水平布管式热管能量输运方法 |
JPWO2016031089A1 (ja) * | 2014-08-27 | 2017-04-27 | 三菱電機株式会社 | 駆動システム |
US10788270B2 (en) | 2015-10-15 | 2020-09-29 | Nec Platforms, Ltd. | Cooling device |
US10816273B2 (en) | 2016-01-08 | 2020-10-27 | Mitsubishi Electric Corporation | Boiling cooling device and boiling cooling system |
JP2019086177A (ja) * | 2017-11-02 | 2019-06-06 | 株式会社デンソー | サーモサイフォン式温調装置 |
WO2019087574A1 (ja) * | 2017-11-02 | 2019-05-09 | 株式会社デンソー | サーモサイフォン式温調装置 |
WO2019130970A1 (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-04 | キヤノン株式会社 | 冷却装置、半導体製造装置および半導体製造方法 |
JP2019117231A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-18 | キヤノン株式会社 | 冷却装置、半導体製造装置および半導体製造方法 |
CN111527452A (zh) * | 2017-12-26 | 2020-08-11 | 佳能株式会社 | 冷却设备、半导体制造装置和半导体制造方法 |
CN111527452B (zh) * | 2017-12-26 | 2022-08-12 | 佳能株式会社 | 冷却设备、半导体制造装置和半导体制造方法 |
JP2021004678A (ja) * | 2019-06-25 | 2021-01-14 | 株式会社豊田中央研究所 | 熱輸送システム、吸着式ヒートポンプ、および熱輸送方法 |
CN111964188A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-11-20 | 南京工业大学 | 一种热虹吸管-蒸汽压缩复合制冷系统 |
CN111964188B (zh) * | 2020-08-25 | 2022-03-08 | 南京工业大学 | 一种热虹吸管-蒸汽压缩复合制冷系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3950302B2 (ja) | 相変化冷却剤を用いた汲出し液体冷却装置 | |
US7369410B2 (en) | Apparatuses for dissipating heat from semiconductor devices | |
US6615912B2 (en) | Porous vapor valve for improved loop thermosiphon performance | |
US20070227703A1 (en) | Evaporatively cooled thermosiphon | |
JP2008304093A (ja) | 気化冷却システム | |
US7650928B2 (en) | High performance compact thermosiphon with integrated boiler plate | |
JP2009115396A (ja) | ループ型ヒートパイプ | |
JP2009200472A (ja) | 熱発生装置内の可変熱負荷の冷却を制御するための方法及び装置 | |
JP2004349551A (ja) | 沸騰冷却システム | |
TW200821801A (en) | Case having phase-change heat dissipating device | |
US20210218090A1 (en) | Phase-change cooling module and battery pack using same | |
JP2018194197A (ja) | ヒートパイプ及び電子機器 | |
JP5786132B2 (ja) | 電気自動車 | |
US20130042636A1 (en) | Heat transfer system with integrated evaporator and condenser | |
JP2010249424A (ja) | 排気熱回収装置 | |
JP2011108685A (ja) | 自然循環式沸騰冷却装置 | |
JP2002071090A (ja) | 極小流量用の冷却器付きオイルタンク | |
JP2005019907A (ja) | 冷却装置 | |
JP5252059B2 (ja) | 冷却装置 | |
JP6035513B2 (ja) | 冷却装置およびこれを搭載した電気自動車 | |
JP5934886B2 (ja) | 冷却装置およびこれを搭載した電気自動車 | |
JP5938574B2 (ja) | 冷却装置およびこれを搭載した電気自動車 | |
JP5903549B2 (ja) | 冷却装置およびこれを搭載した電子機器、および電気自動車 | |
CN218273313U (zh) | 一种用于计算机芯片的风冷水冷组合散热设备 | |
CN210399204U (zh) | 一种空调 |