CN101218157A - 与半导体容器连用的皮带式传送装置 - Google Patents

Abstract

本发明包括用于在整个制造工厂范围内移动半导体容器(2)的输送机(100)。在一个实施例中，输送机包括多个独立控制的输送机区域(Z)。每个输送机区域具有第一皮带(110)、第二皮带(112)、以及用于使第一和第二皮带以基本上相同的速度转动的驱动组件(130)。当容器沿输送机移动时，第一和第二皮带以基本上相同的速度被驱动并且可移动地支撑容器底板。在另一个实施例中，输送机包括尤其用于探测容器位置的传感器(200)。

Description

与半导体容器连用的皮带式传送装置

根据美国法典第35部§119(e)，本申请要求发明名称为“与半导体输送设备连用的皮带式传送装置”、于2005年7月11日提交的美国临时专利申请60/698124的优先权，这篇美国临时专利申请的全部内容作为参考被纳入本文。

技术领域

概括地说，本发明包括输送系统。确切地说，本发明包括用于使半导体容器在整个制造工厂中移动的皮带式传送装置。

背景技术

目前，在半导体制造工厂(fab)中运送半导体晶片容器有几种方式。一种容器传送系统通常被称为自动化物料搬运系统(AMHS)，或者简称为物料输送系统。物料输送系统可以是指整个系统的一部分，或是指整个系统。工厂可以在整间厂房内只采用一种自动化物料搬运系统(AMHS)，或者在某些区域内可能存在不同类型的自动化物料搬运系统，或者针对不同输送功能存在不同类型的自动化物料搬运系统。某些类型的自动化物料搬运系统采用了小车，所述小车在输送容器的同时保持容器，并且例如是有轨小车(RGV)或自动导向小车(AGV)。利用有轨小车(RGV)或自动导向小车(AGV)的物料输送系统要求对空载小车进行管理，以便妥善安排其到达容器拾取地点。等候这样的小车的到达造成了自动化物料搬运系统的延迟，而且小车运动的管理增加了自动化物料搬运系统的复杂性。同样的问题出现在用高架天车吊运(OHT)系统移送容器的场合中。

就没有任何小车延迟或小车延迟次数最少地在工厂内移动容器来说，输送机系统是更有效的并且不需要对空载小车进行管理。输送机直接移动容器，而且在输送机表面与容器表面之间不会出现任何材料接口或机械接口。除非输送机已经满载，否则输送机能马上接收待输送容器。由于这些和其它原因，所以输送机可提供一种物流量极高的自动化物料搬运系统。

发明名称为“集成辊轮传送容器和非同步输送机”的、且由阿赛斯特技术公司持有的美国专利6,223,886公开输送机系统的一个例子，该美国专利的全部内容作为参考被纳入本文。驱动轨道12包括在图1中总体用标记38表示的驱动装置，用于沿轨道12推进容器2。驱动装置38包括多个独立的驱动组件40。每个驱动组件40包括多个驱动轮42，该驱动轮摩擦接触容器2的底面，以便沿驱动轨道12推进容器2至某个区域Z。如图1所示，这些驱动组件40如此沿轨道定位，即相邻的驱动组件40的最外驱动轮42之间的间隔基本上等于单个驱动组件40内的驱动轮42之间的间隔。驱动轮42竖直向上伸出驱动轨道外壳之外，从而驱动轨道12的驱动轮42直接支撑所输送的容器2。驱动轮42优选安装在大致相同的高度，以减小容器2在其沿驱动轨道12移动时产生的倾斜或摇摆。还从现有技术中知道了将从动轮43单独安装在每个驱动轮42之间(如图1所示)。

发明内容

提供下述的输送机系统将会是有利的，它改善了传统输送机的性能并且降低了自动化物料搬运系统(AMHS)的输送机系统的成本。本发明就提供这样的输送机。

附图说明

图1是表示根据现有技术的输送机的侧视图；

图2A至图2B是表示根据本发明的物料搬运系统的一个实施例的透视图以及该物料搬运系统的局部放大透视图；

图3是表示图2B所示的物料搬运系统实施例的侧视图，其中的工件容器放置在物料搬运系统上；

图4是表示用于物料搬运系统的驱动装置的一个实施例的横截面图。

图5是表示物料搬运系统的另一个实施例的透视图，其中的工件放置在该物料搬运系统上；

图7A是表示与物料搬运系统连用的容器传感器的一个实施例的透视图，图7B是表示图7A所示容器传感器的平面图；

图8是表示双光束传感器的一个实施例的横截面图，该双光束传感器用于探测在物料搬运系统上移动的工件容器的底面；

图9是根据本发明的皮带的一个实施例的横截面图；

图10是表示根据本发明的驱动装置的一个实施例的侧视图；

图11是表示与装载端口连用的输送机系统的一个实施例的透视图。

具体实施方式

图2表示输送机100系统。仅为了示范的目的，输送机100系统如图所示只有一个区域即区域Z，在该区域中安装有驱动装置130。输送机100尤其包括梁102、与梁102相间隔的梁104、以及用于在多个位置上将两根梁102和104固定在一起的多块横接板106。在输送机100的每个端部190和192上，一块横接板106被固定在梁102和104上，另一块横接板106在输送机100的中央被固定在两根梁102和104上。一块横接板106可以在其它位置被固定于两根梁102和104上。

这两根梁102和104构成输送机100系统的两侧，在优选实施例中，这两根梁由弯折的板材构成。与其它的传统输送机结构相比，梁102和104的金属板结构是一种改进。其它类型的结构(例如，机加工挤压物、机加工条坯、机加工板)可能有一些缺点。例如，其它结构可能在机加工或挤压过程中扭曲。挤压会固有地使材料在强迫通过型模时产生扭曲，因而必须尽量矫正上述扭曲。机加工消除金属中的局部应力，造成会使材料翘曲的应力失衡。这些加工问题可能造成最终的输送机部件产生会引起校准问题的弯曲或扭曲。此外，其它结构可能成本高昂，因为需要长的机加工时间。其它结构可能笨重，因为去除不需要用于构成刚性的所有材料(通过机加工)是不方便的，或是不经济的。

如图2B所示，每块横接板106被固定在每根梁102和104的两壁上，即梁的底壁109和梁的侧壁107。通过将每块横接板106固定在每根梁的两个不同的壁上，横接板106为梁102和104提供抗扭强度和精确的基准结构。在图2B中示出了横接板106与梁102和104的端部相齐平。横接板106也可以略微伸出到金属板梁102和104的端部外。在这种情况下，第二输送机区段可以被连接至横接板106上并构成一个与输送机100排成一行的相邻的输送机。

弯折的金属板结构具有几个优点。横截面基本呈C形(见图3和图4)的梁102和104具有高度为H的侧壁107和宽度为W的底壁109。比底壁109长的侧壁107提供了抵抗竖直弯曲载荷的高刚度。此外，梁102和104的一致的横截面提供了最佳的重量强度比。金属板梁102和104中的每个弯曲都沿梁的纵轴线(例如沿输送机100系统的长度)。金属板中的这些弯曲自然形成一条直线并消除弯曲和扭曲。利用简单且成本低廉的工艺，保证了每根梁102和104是笔直的。

图2B提供了输送机100的区域Z的更详细视图。在此实施例中，驱动组件130包括一对驱动轮114、从动轮116的底架129、张紧皮带轮118和驱动马达124。张紧皮带轮118可以被调整，直至达到足够的皮带张力。

如图2B所示，皮带112围绕每个驱动轮114、从动轮116和张紧皮带轮118运行。每个从动轮116之间距离、以及每个驱动轮114和相邻的从动轮116之间的距离是可以变化的。从动轮116的直径小于驱动轮114的直径。从动轮116被预装在底架129上。底架129按照以下方式被安装在梁上，每个从动轮116的中心117在梁上所处的位置高于驱动轮114中心115所处的位置(参见图10)。因此，皮带112在其跨过驱动轮114和从动轮116时基本上是水平的。

在优选实施例中，从动轮116被可旋转地安装在底架129上。该底架安装在梁104上。每个从动轮116也可以是单独安装在梁104上的。不过，底架129消除了将每个从动轮116安装于梁104上的需求。底架129也取消了在梁102和梁104之间延伸的、用于连接从动轮116的轴。如图2B所示，底架129包括8个从动轮116。在本发明的范围内，底架129可以包括任何数量的从动轮116。

与传统的输送机系统相比，从动轮116带来几个优点。其中一个优点就是，从动轮116改善了FOUP(前开口标准搬运盒)沿输送机系统输送的顺畅性，这是因为从动轮缩小了FOUP底板必须经过的轮间距离。从动轮116使得驱动组件130成为一种比要求每个轮都是驱动轮的方案更简单的机构。通常，用于传统输送机的驱动组件包括用于接触容器并沿输送机移动容器的多个独立的从动轮。

从动轮116的轮间距离越大，容器沿输送机100运动就越不稳。FOUP的底面的起伏通常随轮间距离的增大而具有更大的、偏离由从动轮和驱动轮构成的平面的偏差。在图1中，当FOUP的前边缘接触到下个驱动轮42时，因这些表面的非平面部分突然碰到驱动轮42而产生了冲击。作为改进手段，在驱动轮42之间采用更多的从动轮43。但是，每当FOUP在从动轮43之间经过，FOUP的前边缘就接触到固定不动的从动轮43，并且因FOUP碰到轮并加速从动轮43转动而出现了不希望有的刮蹭。如果传动皮带将驱动轮毂连接在一起，则皮带必然经过每个轮毂以确保正确的牵引。当增添附加的张紧皮带轮时，皮带绕轮要求使该驱动装置变得复杂，而且驱动轮越多就越复杂。

在输送机区域内的每个驱动组件如图1所示需要35个轴承。因此，每个区域需要70个轴承。当考虑到在工厂设施中有大量输送机时(成千米的输送机)，在提供出色的双侧驱动的同时减少轴承数量将会是一大进步。输送机100减少了驱动组件130所需要的轴及轴承的数量。因而如图3所示，在每个驱动轮的驱动轴120支座上定位有一个轴承180，以及在每个从动轮116上要求一个轴承(未示出)，因为这些从动轮未处于任何拉伸载荷下。在一个实施例中，张紧皮带轮118也只需要一个轴承。因此，对于两个驱动组件130来说，每个区域只需要22个轴承。

输送机100的每个区域Z包括两个驱动组件130。每个驱动组件130为皮带110和112提供简单的运行路线，并且保持皮带110和112适当张紧。每个驱动组件130也支撑并保持皮带110和112的、升至梁102和104之上的部分，以支撑容器2。多个驱动组件130构成许多个工作区域Z，每个区域Z包括一个驱动装置138。不过，在本发明的其它实施例中，这些区域Z可以分别包括多于一个的驱动组件130。每个区域的驱动速度和方向(向前或向后)是独立控制的。

图2B也示出了每个区域Z优选包括至少两个传感器122，用于探测在该区域内是否有容器2。在本发明中，这些传感器122定位在区域Z的入口和出口附近，用于探测容器何时进入和离开该区域。容器2的位置被用于启动下游区域，从而当晶片匣盒到达下游区域时，下游区域的皮带投入工作并以与在先区域内的皮带110和112相同的速度运行。这些传感器可能也使容器2刚离开的那个区域的驱动组件停止工作。当容器穿过该区域时，容器2在传感器122之间经过所花费的时间也被用以监视容器的实际速度。这些传感器122优选不要间隔如此远，即容器可能位于区域内但无法被探测到。例如，如果容器2如图5和图6所示正在输送机100上运送，这些传感器122的相互间距就优选不超过容器2的宽度。但如果容器2在输送机100上正向前或正向后运送时(例如从图5和图6所示的位置转过90度角)，这些传感器的相互间距最好不超过容器2的进深。

每个区域Z优选具有微处理器或控制器(未示出)，用于控制在该区域内的驱动组件130的工作。控制器可以被连接在用于控制输送机整体运行的控制系统上。在本发明的范围内，控制系统的配置可有相当大的改动。例如，控制系统可以具有用于控制输送机100的整体工作即控制每个区域Z的计算机。该计算机也可以监视装载端口10的状态(参见图11)，并且当装载端口已装载时，该计算机使送来的匣盒2停在已装载的装载端口上游的相互间隔的位置，以防止晶片匣盒互相碰撞。每个隔间的多台计算机可以是独立的系统，或者这些计算机可以是网络的一部分，该网络包括用于Interbay(跨隔间)输送机、库存架和制造工厂的其它自动化组成部分的控制系统。处理设备的中心控制系统也可以监视加工设备。这种控制系统的一个例子由发明名称为“分散控制系统构造和物料搬运系统方法”的美国专利6,853,876公开，该专利为阿赛斯特技术公司持有，其全文被纳入本文。

图3表示皮带110和112支撑容器2。在一个实施例中，输送机100的每个区域Z包括驱动装置138(参见图10)，用于驱动皮带110和112并用于沿输送机100推进容器2。如图3所示，罩140安装在梁102和104上，用于保护驱动组件130。罩140也有助于留住由驱动组件130产生的任何粒屑。罩140是或选的。

在一个实施例中，输送机100通过支架150高出工厂地面。图3的实施例表示安装在轨道156上的支架150。在一个实施例中，支架150可以沿轨道156滑动，以便将输送机100定位在工厂中。轨道156包括夹锁154，从而支架150可以相对轨道156被锁定到位。如图3所示，支架150通过夹锁螺栓152被固定到位。支架150可以通过本领域已知的其它机械被锁定至轨道156上。支架150也包括卡槽123，它与横接销108锁合，用于将输送机100锁定在支架150上。输送机100也可以悬吊于工厂天花板上，安装在工厂墙壁上，或是安装在将支承输送机重量的任何物体上。

在一个实施例中，横接板106包括卡入支架150卡槽123中的横接销108，由此允许在支架150的底面和输送机顶面(例如皮带110和112的升坡)之间产生坚实如一的关系。支架150的底面可以沿轨道156滑动并且可以被锁入轨道156的斜面中。在一个实施例中，其中的一个锁定面通过机加工形成在输送机支撑板150中，而夹锁构成另一个锁定面。其它锁定机构也落在本发明的范围内。如果更换输送机区段，则夹锁螺栓被拧松，输送机区段连同其支撑板被取出。随后，一个新的输送机区段通过将其支撑板150安装在轨道上被装入，接着夹锁螺栓被拧紧。精密横接板106、横接销108、支撑板卡槽123和支撑板锁具共同提供一种输送机校准精密方法，该方法允许快速更换输送机。该系统利用了典型的半导体工厂的可预测的精密地面结构。

多台输送机可以被安装在轨道156上。每台输送机的支架150滑动安装于轨道156上。一旦支架150被安放在轨道156上，输送机100就可以沿轨道滑动到其期望位置。例如，一台输送机100可以沿轨道156滑动到其第一端部192靠近前置输送机100的第二端部192的位置。将多台输送机100安装在同一轨道156上便校准了每台输送机100的端部。

图4表示驱动轮114及其周围零件的横截面图。驱动轴120通过轴承180支撑在梁104中。驱动轮114安装在驱动轴120的端部上。罩140安装在梁104上并保护驱动轮114。在此实施例中，传送皮带112包括唇缘113。唇缘113有助于将容器2保持在皮带112上。罩140的顶面141也对容器产生了附加的横向限制。例如，罩140的顶面141将阻止容器2在皮带112上转动。

传送皮带110和112也连接驱动轮114。在优选实施例中，多个驱动轮114主要承受传送皮带的张紧力(张紧皮带轮承受少量)，从动轮116基本上或根本不承受张紧力。皮带110和112分别支撑FOUP的底板8。如果皮带110和112具有足以支撑FOUP的张力(大约20磅)，则皮带110和112支撑FOUP的大部分重量，多个从动轮116之间的过渡更加顺畅并且减小了振动。

与由传统的轮支撑式AMHS输送机所产生的猛烈撞击相比，保持皮带张紧减小了容器所遇到的振动的幅度。容器振动是非常讨厌的，这是因为容器内的半导体晶片具有敏感和超洁净的性质。为了保证FOUP能精确循迹运动并得到稳定导向，可以有意识地使输送机结构向输送机的一侧倾斜(大约1/2度至5度角)，这引起重力偏力，确保FOUP依靠输送机下侧的导向结构循轨迹运动。

图5和图6表示容器2在侧向位置在输送机100上移动。皮带110和112相互间隔，用于支撑FOUP的底板8。使FOUP2按其它摆放方位沿输送机100输送也在本发明的范围内。例如，FOUP2可以在FOUP的门4朝前(沿运送方向)或朝后(与运送方向相反)的状态下沿输送机110运送。传统的300毫米FOUP的宽度与该FOUP的深度不同。因此，皮带110和112之间的距离必须依据输送机上的FOUP的摆放方位来调整。

就探测面积来说，制造厂家未对FOUP的底面实行标准化。目前存在具有微坑、深窝或锐角反射面的FOUP的底面。利用单个发射器和探测器的传感器可能难于探测到这些不规则结构中的任何一个。

图7A和图7B表示双元传感器122。传感器122具有安装在印制电路板204上的传感器外壳202。安装框架220将传感器122固定于梁上。外壳202具有四个孔206、208、212和216。图8示出了用于探测输送机上的容器的底面的传感器的横截面图。按图4所示取向的容器2具有390毫米的探测宽度。这要求为每个500毫米的输送机100区域设置两个传感器122，以保证传感器122能探测到位于输送机区域内的任何位置上的容器2。在一个实施例中，传感器122与位于梁102和104内的现有的控制电路板集成。传感器孔206、208、212和216朝上，用于探测容器2的底面。

在一排的发射器/探测器对中，可以有至少一对发射器/探测器探测一个具有合理探测特征的区域，即便另一对发射器/探测器正在一个不可探测的区域内工作。图8表示外壳202中的两对传感器E1/D1和E2/D2。如果需要，可以使用更多对的传感器。外壳202在发射器E1上方具有孔206，用于减少发射器的投射束。因此，发射器E1在角度θ1范围内发光。外壳202在发射器E2上方具有孔208，用于减少发射器的投射束。因此，发射器E2在角度θ2范围内发光。外壳202在探测器D2上方具有孔212，它允许完全接收入射光(见角度θ3)。外壳202在探测器D1上方具有孔216，它允许完全接收入射光(见角度θ4)。在一个实施例中，整个探测宽度大约为12毫米。探测宽度是可以变化的。

由发射器E1和E2发出的部分被挡光束在传感器122的任一侧产生鲜明的照明边缘218。被控照明产生精确位置，无论FOUP的运动方向如何，FOUP的前边缘在此精确位置上被探测。FOUP的底面不反射光线，直到FOUP的前边缘越过就在发射器中心的上方的点，这些发射器的鲜明的照明边缘218位于此点上。FOUP的前边缘在此越过发射器照明点的上述点位于其配对探测器的视野张角内。如果FOUP在竖向上非常靠近传感器外壳，照明点就不会位于探测器的视野张角中。

此探测方法提供了允许将FOUP2精确定位在输送机100上的可重复的探测动作。这两对传感器122分散布置，因而如果一对传感器位于一个难于探测的特征上，则另一对传感器将提供适当的探测。可以分析FOUP的底面，以期获得最佳的传感器间距。在优选实施例中，探测器D1和D2以“或”功能被逻辑控制-或是通过其快速传感电路，或是通过微处理器、微控制器或正单独接收信号的数字信号处理器。任一个接收适当的信号的探测器将被认定为是组合传感器的FOUP传感动作。

图9表示皮带112。在此实施例中，皮带112包括支撑面111和导向部或唇缘113。当皮带112向输送机100的下游推动FOUP时，FOUP的底板8放置在支撑面111上。支撑面111如图所示是平面。不过，支撑面111包括疙瘩状表面或肋纹面可能是理想的。

皮带112包含两层材料。在优选实施例中，第一层172包含肖氏硬度为80A的聚氨酯，第二层174包含肖氏硬度为70A的聚氨酯。第一层172包含S&Z缠绕克夫拉绞线176，用于增加第一层172的刚性。两种不同材料产生了一种具有刚性的第一层172和较柔软的第二层174的皮带112。较柔软的第二层174起到嵌埋的悬浮结构的作用，其有助于使FOUP比支撑面111含有更刚性材料时更顺利地沿输送机而下。皮带112也最好包含放静电的添加剂。皮带112可以包含其它材料。

图10表示驱动装置138的一个实施例。驱动装置138特别是包括与驱动轮114相连接的驱动马达124。驱动马达124的输出轴与轮139相连。轮139通过正时皮带151与驱动轮114相连接。在此实施例种，正时皮带151具有齿153，用于同轮139和驱动轮114都形成齿条齿轮式啮合。本领域中已知的其它机械也可被用于驱动该驱动轮114旋转。在输送机100的每个区段或者区域内，驱动装置138驱动皮带110和112转动。驱动马达124可以顺时针转动和逆时针转动，由此允许皮带110和112驱动输送容器2沿输送机100前移或后撤。

最好以相同值使相邻的工作区域内的驱动装置138加速和减速，从而在运送中由相邻的驱动组件130施加于输送容器8的速度在区域间转送时达致同步。当正沿输送机100推进容器2时，工作区域可以只涉及直接位于容器2的下方的区域，而一个或多个靠近容器2的区域在任何时刻投入工作。由于在预计容器何时进入区域的情况下只启用特定区域，所以输送机系统的能耗降低，驱动组件130的使用寿命得以延长。在输送机100上移动的容器优选借助于至少一个没有容器2的空载区域相互间隔开，以便在容器2之间提供缓冲并防止容器不小心相互碰撞。容器之间的距离优选随容器速度的增大而增大，以便在任何时候都能提供安全的制动距离。当容器未处于运动中时，容器可以占据输送机上的相邻的驱动区域。

所示实施例的驱动装置138提供了一种洁净的高效驱动机构，用于以精确控制的方式沿输送机100移动容器2。但应该理解到，其它类型的驱动装置也可以被用在本发明的其它实施例中。利用本发明的独立的驱动组件130，可以独立地控制几个容器的运动。利用单个驱动马达124来操作多个驱动组件130也在本发明的范围内。每个驱动组件130例如可以包括离合器机构，它能将每个驱动组件130连接至驱动马达124。图10也示出弹簧张紧机构195。

图11表示与一对装载端口10连用的输送机100。每个装载端口10具有带有开口14的板12、端口门16和可竖直调整的FOUP移动板18。在美国专利申请11/064880中描述了一个这样的装载端口10，该申请被转让给阿赛斯特技术公司，其全文被纳入本文。输送机100在装载端口10附近移动FOUP2。

位于每个装载端口10前方的输送机区段300容纳容器移动板18。每个输送机区段300包括用于支撑FOUP2的后端部的皮带302、和用于支撑FOUP2的前端部的两条皮带304和306。支撑这两条皮带304和306的梁开有缝，用于容纳使FOUP移动板18上下移动的臂20。梁的每个区段可以具有与在输送机100每个区域Z内的驱动组件130相似的驱动组件。

输送机100和输送机区段300如图所示安装在导轨或轨道400上。轨道400为输送机区段300和输送机100提供一个共用的安装结构。轨道400使输送机区段300的z轴和y轴对准输送机100，但允许输送机沿x轴移动。轨道400在此实施例中被安装在抗振底座404上。

应该认识到，用于支撑和运送容器的上述机构和方法和/或输送机皮带只是示例性的，本发明不应该受其限制。对本领域技术人员来说，显然已经获知了该系统的一些优点。还应该认识到，可以在本发明的精神和范围内完成本发明的各种不同的修改、调整和替换实施例。

Claims (5)

1.一种用于移动具有底板的半导体容器的输送机，所述输送机包括多个输送机区域，每个所述输送机区域包括：

第一皮带；

第二皮带；

驱动组件，用于使所述第一皮带和所述第二皮带以基本上相同的速度转动，其中，当所述容器在所述输送机区域中移动时，所述第一皮带和所述第二皮带可移动地支撑所述容器的底板。

2.根据权利要求1所述的输送机区域，其特征在于，所述驱动组件包括：

第一驱动轴，具有安装在所述第一驱动轴的第一端部上的第一驱动轮、和安装在所述第一驱动轴的第二端部上的第二驱动轮；

第二驱动轴，具有安装在所述第二驱动轴的第一端部上的第三驱动轮、和安装在所述第二驱动轴的第二端部上的第四驱动轮；

多个从动轮，位于所述第一驱动轮和所述第三驱动轮之间；

多个从动轮，位于所述第二驱动轮和所述第四驱动轮之间；

驱动马达，用于使所述第一驱动轴转动。

3.根据权利要求2所述的输送机区域，其特征在于，所述第一皮带围绕所述第一驱动轮、所述第三驱动轮、以及所述位于所述第一驱动轮和所述第三驱动轮之间的多个从动轮运行。

4.根据权利要求2所述的输送机区域，其特征在于，所述第二皮带围绕所述第二驱动轮、所述第四驱动轮、以及所述位于所述第二驱动轮和所述第四驱动轮之间的多个从动轮运行。

5.根据权利要求1所述的输送机区域，其特征在于，还包括至少一个传感器，用于探测在所述输送机区域内的所述容器的位置。

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