CN101191962A - 液状体的喷出方法及喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种喷出方法，其从液滴喷出头向基样玻璃基板喷出液晶。该喷出方法包括：当所述液滴喷出头在待机位置待机时，使所述液滴喷出头的周边的温度与所述液滴喷出头向所述基样玻璃基板喷出所述液晶时的所述液滴喷出头的周边的温度形成为大致相同，和为向所述基样玻璃基板喷出所述液晶，使所述液滴喷出头从所述待机位置向载置有所述基样玻璃基板的位置移动。

Description

液状体的喷出方法及喷出装置

本申请基于2006年11月30日申请的日本专利2006-323646及2007年10月23日申请的日本专利2007-275460优先权主张，并参照和引入本申请的所有内容

技术领域

本发明涉及液状体的喷出方法及喷出装置

背景技术

取代以往的注入法，使用液滴喷出装置向贴合前的玻璃基板上的密封件的框内喷出液晶材料的液滴的方法为人所知。

此种液晶喷出装置具备：载置在载置台上的基样玻璃(mother glass)基板；向在基样玻璃基板上形成为矩阵状的各单元内喷出液滴状的液晶的液滴喷出头；使基样玻璃基板及液滴喷出头二维地相对移动的机构。从液滴喷出头喷出的规定量的液滴状的液晶配置在各单元内形成为四角框状的密封部件内。此时，需要配置在各单元内的液晶的量相对于所有的单元都相同。使基样玻璃基板与相对基板贴合后，通过按单元切断两基板，从而制造多个液晶面板。

因为常温下的液晶的粘度高，所以在液晶为常温的状态下从液滴喷出头喷出液晶时，由一次喷出动作喷出的液晶的喷出重量不稳定。其结果，配置在各单元内的液晶的量不均匀，此外，液滴喷出头由于液晶引起塞堵。

特开2003-19790号公报中公开的液滴喷出装置具有加热供给液滴喷出头的液晶的加热部件。液滴喷出装置利用加热部件的加热，喷出粘度下降的状态的液晶。利用控制装置控制加热部件，以使液滴喷出头内的液晶总在规定的温度。

但是，在使液滴喷出头从离开基样玻璃基板的待机位置移动到基样玻璃基板上的规定位置，并在该状态下，向基样玻璃基板的单元喷出液晶的情况下，关于供给各单元的液晶的量在初始阶段供给液晶的单元少于其后供给液晶的单元。

以下说明其理由。液滴喷出头内的液晶的温度根据该喷出头的周围的温度被控制，以维持规定的温度。待机位置的周围的温度变化小，所以液滴喷出头在待机位置待机的时间越长，该液滴喷出头内的液晶的温度越稳定被控制。

但是待机位置气氛与基样玻璃基板上的气氛不同。从而，液滴喷出头从待机位置向基样玻璃基板上移动，并开始向各单元喷出液滴时，液滴喷出头的温度下降。待机位置时，液滴喷出头与其周边之间的热收支稳定地进行，但由于液滴喷出头移动到基样玻璃基板上，液滴喷出头与其周边之间的热收支的变动急剧变大。如果在基样玻璃基板上长时间配置液滴喷出头，则液滴喷出头与其周边之间的热收支变得稳定，所以在基样玻璃基板上进行稳定的液滴喷出头的温度控制。但是，在初始阶段，因为热收支的急剧变动，液晶的粘性变动也很大。其结果，在初始阶段，向单元供给的液晶的量减少。

此外，因为液滴喷出头的喷嘴板由非常薄的金属板形成，所以易由喷嘴板夺去液滴喷出头内的液晶的热量。其结果，在初始阶段，供给单元的液晶的量具有进一步减少的倾向。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够在基板上以同样的量供给液滴的量的液状体的喷出方法及喷出装置。

为达到上述目的，在本发明的第一方式中，提供一种喷出方法，其从喷出部件向基板上喷出液状体，所述喷出方法的特征在于，包括：所述喷出部件在待机位置待机时，使所述喷出部件的周边的温度与所述喷出部件向所述基板喷出液状体时的所述喷出部件的周边的温度形成为大致相同，和为向所述基板喷出所述液状体，使所述喷出部件从所述待机位置向载置有所述基板的位置移动。

在本发明的第二方式中，提供一种喷出装置，其从喷出部件向基板上喷出液状体，该喷出装置具备待机载置台和控制部。待机载置台配置在所述喷出部件待机的待机位置的下方。控制部设置在所述待机载置台上，并将所述待机载置台的周边的温度调整至与所述喷出部件向所述基板喷出所述液状体时的所述喷出部件的周边的温度大致相同。

在本发明的第三方式中，提供一种喷出装置，其从喷出部件向基板上喷出液状体。该喷出装置具备：第一温度检测器；第一温度控制部；待机载置台；第二温度检测器；第二温度控制部。第一温度检测器输出表示所述喷出部件内的液状体的温度的检测信号。第一温度控制部基于来自所述第一温度检测器的检测信号，将所述喷出部件内的液状体的温度调整至第一目标温度。待机载置台配置在所述喷出部件待机的待机位置的下方。第二温度检测器输出表示所述待机载置台的周边的温度的检测信号。第二温度控制部基于来自所述第二温度检测器的检测信号，将所述待机载置台的周边的温度调整至第二目标温度。

在本发明的第四方式中，提供一种喷出装置，其从喷出部件向基板上喷出液状体。该喷出装置具备：输送载置台；第三温度控制部；待机载置台；第四温度控制部。输送载置台使所述基板相对于所述喷出部件相对移动。第三温度控制部设置在所述输送载置台上，并将所述基板加热至第三目标温度。待机载置台配置在所述喷出部件待机的待机位置的下方。第四温度控制部设置在所述待机载置台上，并将所述待机载置台的周边的温度调整至与所述喷出部件向所述基板喷出所述液状体时的所述喷出部件的周边的温度大致相同的第四目标温度。

本发明的其他的特征及优点由以下的详细说明及用于说明本发明的特征的附图应该可以很清晰。

附图说明

本发明被认为新颖的特征特别在权利要求的范围内，应该变得清楚。关系目的及利益的本发明通过参照以下表示的优选的实施方式的说明和附图，应该被理解。

图1是本发明的第一实施方式所述的液滴喷出装置的立体图。

图2是基样玻璃基板的俯视图。

图3是从基样玻璃基板侧观察图1的喷出装置的液滴喷出头的图。

图4是图3的液滴喷出头的要部侧剖面图。

图5是表示图3的液滴喷出头与待机载置台之间的位置关系的图。

图6是用于说明图1的液滴喷出装置的电结构的方框回路图。

图7是由本发明的第二实施方式所述的液滴喷出装置制作的回路模块的侧视图。

图8是第二实施方式所述的喷出装置的立体图。

图9是图8的喷出装置的液滴喷出头的要部侧剖面图。

图10是用于说明图8的喷出装置的电结构的方框回路图。

具体实施方式

以下参照附图，对具体化本发明的第一实施方式进行说明。

如图1所示，液滴喷出装置10具有形成为长方体状的基台11。在基台11的上面形成沿该基台11的长度方向，即Y方向延伸的一对引导槽12。在基台11上，具备沿引导槽12，即主扫描方向(图1中的Y方向)移动的载置台13。载置台13的上表面具有作为载置部14的功能，在该载置部14上载置作为基板的基样玻璃基板MS。

载置部14相对于载置台13定位并固定基样玻璃基板MS。载置台13沿Y方向及Y方向的反方向输送基样玻璃基板MS。基样玻璃基板MS是与相对基板贴合前的可切割出多片液晶面板(单元S)的一片大张的玻璃基板。如图2所示，在本实施方式中，从基样玻璃基板MS得到63(7×9)片的液晶面板(单元S)。

如图2所示，一片基样玻璃基板MS具有形成单元S的区域(以下称为描绘区域)Z和未形成该单元S的区域(以下称为非描绘区域)。各描绘区域Z具有被密封部件包围的四角形状。

以下，为说明的便利，将基样玻璃基板MS的纵向定义为Y方向，基样玻璃基板MS的横向定义为X方向。

以沿与主扫描方向正交的副扫描方向，即X方向跨过基台11的方式配设门形的引导部件15。在该引导部件15上配设沿X方向延伸的盒16。在该盒16内收容作为液状体的液晶F(参照图4)。

在引导部件15上，贯穿X方向的引导部件15的全长地形成沿X方向延伸的上下一对的导轨18。在该导轨18上安装滑架19。滑架19可沿导轨18在X方向及X方向的反方向上移动。在滑架19上搭载作为喷出部件的液滴喷出头20。喷出头20与盒16经由如图4所示的供给管T连接。收容在盒16内的液晶F经由供给管T以规定的压力供给到喷出头20。

如图3所示，喷出头20在与基样玻璃基板MS相对的面上具备喷嘴板25。在喷嘴板25的喷嘴形成面25a上形成整体配置为锯齿状的一对喷嘴列NL。一侧的喷嘴列NL的各喷嘴N沿X方向，另一侧的喷嘴列NL中的喷嘴配置于相邻的两喷嘴N之间。本实施方式的喷出头20沿X方向每英寸具有180个×2＝360个喷嘴N。换言之，本实施方式的喷出头20的最大解析度为360dpi。

如图4所示，喷出头20在喷嘴板25的各喷嘴N的上侧具有与各供给管T连通的内腔26。这些内腔26收容由供给管T输送的液晶F。在各内腔26的上侧配设振动板27。在振动板27的上侧与喷嘴N相对应地配设压电元件PZ。压电元件PZ在上下方向上收缩及伸张，从而使振动板27在上下方向(Z方向及Z方向的相反方向)振动。由此，使各内腔26内的容积扩大及缩小，由此向内腔26内的液晶F施加压力。振动板27使液晶F形成规定尺寸的液滴Fb从对应的喷嘴N喷出。喷出的液滴Fb从对应的喷嘴N作为液滴Fb向位于喷出头20的正下方的基样玻璃基板MS的被喷出面MSa喷出，并附着在被喷出面MSa上。即，基样玻璃基板MS沿主扫描方向在喷出头20的正下方移动时，对于基样玻璃基板MS的各单元S依次地从喷出头20喷出液滴Fb。

在喷出头20的指向Y方向的侧面上安装构成第一温度控制部的橡胶加热器H。橡胶加热器H将收容在内腔26内的液晶F加热到预定的第一目标温度。此处，第一目标温度是指形成喷出头能够将液晶F作为液滴Fb喷出的粘性的液晶F的温度，在本实施方式中，为70℃。在喷出头20的与橡胶加热器H相对的侧面上安装作为第一温度检测器的第一温度检测传感器SE1。第一温度检测传感器SE1检测收容在内腔26中的液晶F的温度。

此外，如图1所示，液滴喷出装置10在比载置台13更向X方向相反侧具有待机载置台30。待机载置台30的上表面30a具有四角形状。待机载置台30与喷出头20相对地配置。将喷出头20与待机载置台30相对的位置称为待机位置。如图5所示，在待机载置台30的上表面30a上形成凹部，在该凹部内，以与上表面30a构成同一面的方式，配设构成第二温度控制部的珀尔帖(peltier)元件PT。调整待机载置台30，以使喷出头20的喷嘴板25(喷嘴形成面25a)与待机载置台30的上表面30a(珀尔帖元件PT)的间隔和该喷嘴板25(喷嘴形成面25a)与载置台13上的基样玻璃基板MS(喷出面MSa)的间隔相同。

珀尔帖元件PT在喷出头20位于待机位置时，调节待机载置台30的周边温度，从而控制喷出头20与该喷出头20的周边的温度状态。详细地，珀尔帖元件PT将待机载置台30的周边的温度控制在预定的温度(第二目标温度)。第二目标温度是可将喷出头20及该喷出头20的周边的温度状态，在喷出头20位于待机位置时和喷出头20向基样玻璃基板MS的各单元S依次喷出液滴Fb时变得相同的温度。而且，该第二目标温度通过实验、试验或计算求得。

在待机载置台30的上表面30a上设置作为第二温度检测器的第二温度检测传感器SE2。第二温度检测传感器SE2检测待机载置台30(换言之，待机位置)的周边温度，即喷出头20位于待机位置时的该喷出头20的周边温度。

接下来，参照图6说明形成如上述结构的液滴喷出装置10的电结构。

图6中，构成第一温度控制部及第二温度控制部的控制装置50具有CPU50A、ROM50B、RAM50C等。控制装置50根据存储在ROM50B或RAM50C等中的各种数据及各种控制程序执行载置台13的输送处理、滑架19的输送处理、喷出头20的液滴喷出处理。控制装置50执行橡胶加热器H的驱动控制、珀尔帖元件PT的驱动控制等。

在控制装置50上连接具有各种操作开关和显示器的输入输出装置51。输入输出装置51显示液滴喷出装置10执行的各种处理的处理状况。输入输出装置51生成用于在基样玻璃基板MS上以液滴Fb形成图案的位图数据(bit map data)BD，并向控制装置输出该位图数据BD。

位图数据BD是根据各位的值(0或1)，确定各压电元件PZ的导通或截止的数据。位图数据BD是确定是否向喷出头20(各喷嘴N)通过的描绘平面(被喷出面MSa)上的各位置喷出液滴Fb的数据。即，位图数据BD是用于向在被喷出面MSa上规定的目标位置喷出液滴Fb的数据。

本实施方式的位图数据BD，如图2所示，是为向基样玻璃基板MS上的所有的描绘区域Z供给预先确定的相同量的液晶F，确定各描绘区域Z内的液滴Fb的多个目标附着点位置的数据。

在控制装置50上连接X轴电动机驱动回路52。控制装置50向X轴电动机驱动回路52输出驱动控制信号。X轴电动机驱动回路52响应来自控制装置50的驱动控制信号，使用于移动滑架19的X轴电动机MX正转或反转。在控制装置50上连接Y轴电动机驱动回路53。Y轴电动机驱动回路53响应来自控制装置50的驱动控制信号，使用于移动载置台13的Y轴电动机MY正转或反转。

在控制装置50上连接头驱动回路54。控制装置50向头驱动回路54输出与规定的喷出频率同步的喷出时序信号LTa。控制装置50将用于驱动各压电元件PZ的驱动电压COMa与喷出频率同步地向头驱动回路54输出。

控制装置50基于位图数据BD生成与规定的频率同步的图案形成用控制信号SIa，并向头驱动回路54串行传送图案形成用控制信号SIa。头驱动回路54依次串行/并行变换来自控制装置50的图案形成用控制信号SIa，以与各压电元件PZ对应。头驱动回路54每次接受来自控制装置50的喷出时序信号LTa时，锁存串行/并行变换后的图案形成用控制信号SIa，并向由图案形成用控制信号SIa选择的压电元件PZ供给驱动电压COMa。

在控制装置50上连接构成第一温度控制部的橡胶加热器驱动回路55。控制装置50向橡胶加热器驱动回路55输出驱动控制信号。橡胶加热器驱动回路55响应来自控制装置50的驱动控制信号，驱动控制橡胶加热器H。橡胶加热器H将喷出头20内的液晶F加热到预先确定的目标温度。即，供给喷出头20的液晶F利用橡胶加热器H加热到预定目标温度、即在本实施方式中70℃。

在控制装置50上连接构成第二温度控制部珀尔帖元件驱动回路56。控制装置50向珀尔帖元件驱动回路56输出驱动控制信号。珀尔帖元件驱动回路56响应来自控制装置50的驱动控制信号，驱动控制珀尔帖元件PT。

珀尔帖元件PT将待机载置台30的周边的温度控制在第二目标温度。即，控制装置50控制珀尔帖元件PT，以使待机载置台30的周边的温度(换言之，位于待机位置的喷出头20的周边的温度)为第二目标温度。

在控制装置50上连接第一温度检测传感器SE1。控制装置50输入来自第一温度检测传感器SE1的检测信号，并求得每时的喷出头20内的液晶F的温度。控制装置50比较求得的液晶F的温度与所述预先设定的第一目标温度，并经由橡胶加热器驱动回路55驱动控制橡胶加热器H，以使液晶F的温度构成第一目标温度。

在控制装置50上连接第二温度传感器SE2。控制装置50输入来自第二温度传感器SE2的检测信号，并求得每时的待机载置台30的周边的温度，即位于待机位置的喷出头20的周边的温度。控制装置50比较求得的待机载置台30的周边的温度与所述第二目标温度，并经由珀尔帖元件驱动回路56驱动控制珀尔帖元件PT，以使待机载置台30的周边的温度构成第二目标温度。

接下来，使用上述液滴喷出装置10向基样玻璃基板MS的各单元S供给预定量的液晶F的方法进行说明。

如图1所示，喷出头20在待机位置待机。在该待机状态下，控制装置50输入来自第一温度检测传感器SE1的检测信号，并经由橡胶加热器驱动回路55控制橡胶加热器H，以使喷出头20内的液晶F的温度构成第一目标温度(70℃)。控制装置50输入来自第二温度传感器SE2的检测信号，并经由珀尔帖元件驱动回路56控制珀尔帖元件PT，以使待机载置台30的周边的温度构成第二目标温度。

从而，位于待机位置的喷出头20与该喷出头20的周边的温度状态与喷出头20向基样玻璃基板MS的各单元S依次喷出液滴Fb时的温度状态相同。

其结果，待机状态的喷出头20与该喷出头20的周边的热收支与向基样玻璃基板MS的各单元S喷出液滴时的热收支相同。换言之，即使在待机位置，橡胶加热器驱动回路55以与向基样玻璃基板MS的各单元S喷出液滴Fb时相同的输出(电力)加热橡胶加热器H1至第一目标温度。

从输入输出装置51向控制装置50输入位图数据BD。即，控制装置50存储来自输入输出装置51的位图数据BD。

接下来，在载置台13上载置基样玻璃基板MS。此时，如图1所示，比滑架19更向Y方向的相反侧配置载置台13。输入输出装置51向控制装置50输出作业开始的指令信号。

控制装置50经由X轴电动机驱动回路52驱动X轴电动机MX，并从待机位置沿X方向移动喷出头20。如果喷出头20移动到位于基样玻璃基板MS中的X方向的相反方向的端部的单元S(描绘区域Z)的正下方，则控制装置50经由X轴电动机驱动回路52停止X轴电动机MX，并且经由Y轴电动机驱动回路53驱动Y轴电动机MY，以使基样玻璃基板MS沿Y方向移动。

如果基样玻璃基板MS开始向Y方向移动，则控制装置50基于位图数据BD生成图案形成用控制信号SIa，并向头驱动回路54输出图案形成用控制信号SIa和驱动电压COMa。即，控制装置50经由头驱动回路54驱动各压电元件PZ，每当各单元S内的目标附着位置位于喷出头20的正下方时，由选择的喷嘴N喷出液滴Fb。

在待机位置，控制待机载置台30的周边的温度，以形成第二目标温度，即与依次向基样玻璃基板MS的各单元S喷出液滴Fb时的、喷出头20及该喷出头20的周边的温度相同。从而，从喷出头20位于待机位置时开始至载置台13(基样玻璃基板MS)沿Y方向移动为止，喷出头20和该喷出头20的周边的热收支的平衡没有破坏。其结果，因为控制装置50较小地抑制对橡胶加热器驱动回路55的控制量，所以橡胶加热器驱动回路55以小的电力加热橡胶加热器H。因此，在喷出的开始时刻，因为液晶F已经在喷出头20内稳定并被调整到第一目标温度，所以稳定地向最初需喷出液滴Fb的单元S喷出被低粘度化的液晶F的液滴Fb。其结果，供给各单元S的液滴Fb的量在所有的单元S上相同。

如果完成向位于基样玻璃基板MS的X方向的相反方向侧的端部的各单元S(描绘区域Z)的液晶(液滴Fb)的供给，则控制装置50经由Y轴电动机驱动回路53停止Y轴电动机MY，并且经由X轴电动机驱动回路52，驱动X轴电动机MX，使喷出头20移动到位于比配置有液晶F的单元S的更靠近X方向侧的各单元S(描绘区域Z)的正上。

如果喷出头20移动到各单元S(描绘区域Z)的正上，则控制装置50经由Y轴电动机驱动回路53驱动Y轴电动机MY，以使载置台13沿Y方向的反方向移动。如果载置台13的移动开始，则控制装置50基于位图数据BD，生成图案形成用控制信号SIa，并且向头驱动回路54输出该图案形成用控制信号SIa和驱动电压COMa。即，控制装置50每当各单元S内的目标附着位置位于喷出头20的正下时，经由头驱动回路54，驱动各压电元件PZ，从选择的喷嘴N喷出液滴Fb。

以后，通过重复同样的操作，向基样玻璃基板MS的所有的单元S供给相同量的液晶F，完成向一个基样玻璃基板MS的所有的单元S的液晶的供给。然后，喷出头20移动到待机位置，等待下次新的基样玻璃基板MS设置在载置台13上。

此时，与所述同样，控制装置50输入来自第二温度检测传感器SE2的检测信号，并经由珀尔帖元件驱动回路56驱动珀尔帖元件PT，以使待机载置台30的周边形成第二目标温度。

本实施方式具有以下的优点。

(1)将待机载置台30的周边的温度控制在预定的温度(第二目标温度)。从而，在喷出头20从待机位置移动到基样玻璃基板MS前后，喷出头20与该喷出头20的周边的热收支的平衡没有大的破坏。其结果，在向各单元S供给液滴Fb的初始阶段，能够预先抑制用于加热喷出头20的控制量发生大的变动，所以在初始阶段，能够防止由于液晶Fb的加热温度发生大的变动而导致的喷出量的变动。

(2)在将待机载置台30的周边的温度形成为第二目标温度的状态下，喷出头20在待机载置台30上待机。从而，喷出头20能够立即向基样玻璃基板MS的各单元S供给相同量的液晶F。其结果，液晶面板的生产率提高。

(3)利用珀尔帖元件PT进行待机载置台30(喷出头20)的周边的温度的调整。从而，能够以一个珀尔帖元件PT将待机载置台30的周边的温度调整到第二目标温度。

(4)第二目标温度是可将喷出头20及该喷出头20的周边的温度状态，在喷出头20位于待机位置时和喷出头20向基样玻璃基板MS的各单元S依次喷出液滴Fb时变得相同的温度。从而，在待机位置实现与向基样玻璃基板MS喷出液滴Fb时非常接近的条件。

接下来，参照附图，说明具体化本发明的第二实施方式。本实施方式所述的液滴喷出装置60是在构成LTCC(Low Temperature Co-firedCeramics)多层基板2的多个低温烧成基板(印刷电路基板，green sheet)上形成配线图案。

首先，对在LTCC多层基板2上安装有半导体芯片3的回路模块进行说明。图7表示回路模块1的剖面图，回路模块1具有形成为板状的LTCC多层基板2，和在该LTCC多层基板2的上侧引线接合连接的半导体芯片3。

LTCC多层基板2是形成为片状的多个低温烧成基板4的叠层体。各低温烧成基板4是玻璃陶瓷系材料(例如，硼硅酸碱氧化物等的玻璃成分和氧化铝等的陶瓷成分的混合物)的烧结体，其厚度形成为数百μm。即，低温烧成基板4为多孔质性基板。

烧结前的低温烧成基板4被称作印刷电路基板4G(参照图8)。印刷电路基板4G是将玻璃陶瓷系材料的粉末与分散剂和粘合剂及整泡剂等混合而成的生料形成板状，然后使其干燥。本实施方式印刷电路基板4G具有通气性。

在各低温烧成基板4上基于回路设计，形成有阻抗元件、电容元件及线圈元件等各种回路元件5、相互电连接回路元件5的内部配线6、具有呈现堆孔(スタツクビァ)构造或热通孔(サ一マルビァ)构造的规定的孔径的多个通孔7，和填充该通孔7的通孔(via)配线。

各低温烧成基板4上的各内部配线6是银或银合金等金属微粒子的烧结体，利用图8所示的液滴喷出装置80形成。

图8是说明液滴喷出装置60的整体立体图。在本实施方式中，为说明的方便，与第一实施方式的液滴喷出装置10相同的部件标注与第一实施方式相同的标记，并省略其说明，详细地说明与第一实施方式不同的结构。

图8中，在载置台30的上表面即载置部14上载置作为烧成前的基板的低温烧成基板4(印刷电路基板4G)。载置部14相对于载置台13定位并固定印刷电路基板4G。载置台13向Y方向及Y方向的相反方向输送印刷电路基板4G。在所述载置台13的上表面上配设构成第三温度控制部的橡胶加热器H1。载置于载置部14的印刷电路基板4G通过上表面整体构成第三温度控制部的橡胶加热器H1，被加热到规定的温度(第三目标温度)。

在引导部件15的上侧配设的墨盒16存储作为液状体的金属墨MF(参照图9)，并以规定的压力向喷出头20供给存留的金属墨MF。供给到喷出头20的金属墨MF由喷出头20变为液滴Fb并向位于喷出头20的正下方的印刷电路基板4G喷出。

金属墨MF是使作为功能材料的金属微粒子分散在溶剂中的分散系金属墨。用于金属墨MF的金属微粒子例如粒径为数nm。

金属微粒子例如金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)、铝(Al)、钯(Pd)、锰(Mn)、钛(Ti)、钽(Ta)及镍(Ni)等材料，或他们的氧化物，或超电导体的微粒子等。金属微粒子的粒径优选1nm以上，0.1μm以下。如果金属微粒子的粒径大于0.1μm，则喷出头20的喷嘴N有产生堵塞之虞。此外，金属微粒子的粒径如果小于1nm，则分散剂相对于金属微粒子的体积比变大，得到的膜中的有机物的比例过多。

作为分散介质，只要是能分散上述金属微粒的分散介质就不特别限定。分散介质例如是甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等醇类、正己烷、正辛烷、癸烷、十二烷、十四烷那、甲苯、二甲苯、异丙基甲苯、杜烯、茚、二戊烯、四氢萘、十氢萘、环己苯等烃系化合物、以及乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、甘油、1，3-丙二醇等多元醇、聚乙二醇、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇甲乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚、1，2-二甲氧基乙烷、双(2-甲氧基乙基)醚、对二噁烷等醚系化合物、以及丙烷碳酸酯、γ-丁内酯、正甲基-2-吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、环己酮、乳酸乙酯等极性化合物。从微粒的分散性和分散液的稳定性、和向液滴喷出法的应用容易度的观点来说，分散介质优选水、醇类、烃系化合物、醚系化物，分散介质更优选水、烃系化合物。

因为加热印刷电路基板4G，所以促进附着于印刷电路基板4G上的金属墨MF中的溶剂或分散剂的蒸发。附着于印刷电路基板4G上的金属墨MF干燥并从其表面的外周缘增粘。即，金属墨MF的外周部与中央部相比固态成分(粒子)浓度快速达到饱和浓度，所以表面的外缘比中央部先增粘。外缘增粘后的金属墨MF停止沿印刷电路基板4G的面方向上的自身的浸润扩展(将其称为扭住(pinning))。扭住状态的金属墨MF变为固定在印刷电路基板4G上的状态，液滴Fb的外径不变化。因此，不会引起下面的液滴Fb被先附着在印刷电路基板4G上的液滴Fb拖拽的情况。

本实施方式的喷出头20如图9所示，未设置安装在第一实施方式的喷出头20的橡胶加热器H及第一温度检测传感器SE1。

如图8所示，在待机载置台30的上表面30a上形成凹部，在该凹部内，以与上表面30a构成同一面的方式，配设构成第四温度控制部的珀尔帖元件PT。在本实施方式中，调整待机载置台30，以使喷出头20的喷嘴板25与待机载置台30的上表面30a(珀尔帖元件PT)的间隔和该喷嘴板25与载置台13上载置的印刷电路基板4G的间隔相同。

珀尔帖元件PT在喷出头20位于待机位置时，调节待机载置台30的周边温度，从而控制喷出头20与该喷出头20的周边的温度状态。详细地，珀尔帖元件PT将待机载置台30的周边的温度控制在预定的温度(第四目标温度)。第四目标温度是可将喷出头20及该喷出头20的周边的温度状态，在喷出头20位于待机位置时和喷出头20向印刷电路基板4G喷出液滴Fb时变得相同的温度。而且，该第四目标温度通过实验、试验或计算求得。

接下来，参照图10说明形成如上述结构的液滴喷出装置60的电结构。

图10中，液滴喷出装置60具备构成第三温度控制部及第四温度控制部的控制装置70，该控制装置70具有CPU70A、ROM70B、RAM70C等。控制装置70根据存储在ROM70B或RAM70C等中的各种数据及各种控制程序执行载置台13的输送处理、滑架19的输送处理、喷出头20的液滴喷出处理、橡胶加热器H1的驱动处理、珀尔帖元件PT的驱动处理等。

在控制装置70上连接具有各种操作开关和显示器的输入输出装置71。输入输出装置71显示液滴喷出装置60执行的各种处理的处理状况。输入输出装置71生成用于形成内部配线6的位图数据BD，并向控制装置输出该位图数据BD。

位图数据BD是根据各位的值(0或1)，确定各压电元件PZ的导通或截止的数据。位图数据BD是确定是否向喷出头20(各喷嘴N)通过的描绘平面(喷出面4Ga)上的各位置喷出配线用的液滴Fb的数据。即，位图数据BD是用于向在被喷出面4Ga上规定的内部配线6的目标位置喷出配线用的液滴Fb的数据。

在控制装置70上连接X轴电动机驱动回路72。控制装置70向X轴电动机驱动回路72输出驱动控制信号。X轴电动机驱动回路72响应来自控制装置70的驱动控制信号，使用于移动滑架19的X轴电动机MX正转或反转。在控制装置70上连接Y轴电动机驱动回路73。Y轴电动机驱动回路73响应来自控制装置70的驱动控制信号，使用于移动载置台13的Y轴电动机MY正转或反转。

在控制装置70上连接头驱动回路74。控制装置70向头驱动回路74输出与规定的喷出频率同步的喷出时序信号LT。控制装置70将用于驱动各压电元件PZ的驱动电压COM与喷出频率同步地向头驱动回路74输出。

控制装置70基于位图数据BD生成与规定的频率同步的图案形成用控制信号SI，并向头驱动回路74串行传送图案形成用控制信号SI。头驱动回路74依次串行/并行变换来自控制装置70的图案形成用控制信号SI，以与各压电元件PZ对应。头驱动回路74每次接受来自控制装置70的喷出时序信号LT时，锁存串行/并行变换后的图案形成用控制信号SI，并向由图案形成用控制信号SI选择的压电元件PZ分别供给驱动电压COM。

在控制装置70上连接构成第三温度控制部的橡胶加热器驱动回路75。控制装置70向橡胶加热器驱动回路75输出驱动控制信号。橡胶加热器驱动回路75响应来自控制装置70的驱动控制信号，驱动控制橡胶加热器H1。橡胶加热器H1将载置在载置台上的印刷电路基板4G加热到预先确定的第三目标温度。

在本实施方式中，第三目标温度是从喷出头20喷出时的金属墨MF的温度以上，且小于包含在金属墨MF中的液体组成的沸点(小于液体组成中的最低沸点)的温度。

从而，控制装置70经由橡胶加热器驱动回路75，将印刷电路基板4G的温度控制在第三目标温度。附着在印刷电路基板4G上的液滴Fb被迅速加热干燥而不突然沸腾。

在控制装置70上连接构成第四温度控制部的珀尔帖元件驱动回路76。控制装置70向珀尔帖元件驱动回路76输出驱动控制信号。珀尔帖元件驱动回路76响应来自控制装置70的驱动控制信号，驱动控制珀尔帖元件PT。珀尔帖元件PT将待机载置台30的周边的温度控制在第四目标温度。即，控制装置70控制珀尔帖元件PT，以使待机载置台30的周边的温度(换言之，位于待机位置的喷出头20的周边的温度)为第四目标温度。

其结果，在待机状态下喷出头20与该喷出头20的周边的热收支与向印刷电路基板4G喷出液滴Fb时的热收支相同。

换言之，即使在待机位置，橡胶加热器驱动回路75以与向印刷电路基板4G喷出液滴Fb时相同的输出(电力)将橡胶加热器H加热到第三目标温度。

接下来，对使用上述液滴喷出装置60在印刷电路基板4G上形成配线图案的方法进行说明。

如图8所示，以使喷出面4Ga向上侧地将印刷电路基板4G载置于载置台13上。此时，比滑架19更靠近Y方向的相反方向地配置载置台13。液滴喷出装置60是在预先形成有通孔7及通孔配线8的印刷电路基板4G的喷出面4Ga上形成内部配线6的配线图案的装置。

位图数据BD从输入输出装置71输入控制装置70。即，控制装置70存储来自输入输出装置71的位图数据BD。此时，控制装置70经由橡胶加热器驱动回路75驱动橡胶加热器H，以将载置于载置台13上的印刷电路基板4G整体均匀地加热到第三目标温度。

此外，控制装置70经由珀尔帖元件驱动回路76驱动珀尔帖元件PT，以使位于待机位置的喷出头20的周边温度变为第四目标温度。其结果，在待机状态下，喷出头20与该喷出头20的周边的热收支与向印刷电路基板4G喷出液滴时的热收支相同。

接下来，控制装置70经由Y轴电动机驱动回路73驱动Y轴电动机MY而输送载置台13，以使喷出头20在Y方向上通过印刷电路基板4G的规定的正上位置。控制装置70经由X轴电动机驱动回路72驱动X轴电动机MX从而使喷出头20开始移动。

控制装置70如果使喷出头20开始移动，则基于位图数据BD生成图案形成用控制信号SI，并向头驱动回路74输出图案形成用控制信号SI和驱动电压COM。即，控制装置70经由头驱动回路74驱动各压电元件PZ，每当用于形成配线6的附着位置位于喷出头20的正下方时，由选择的喷嘴N喷出液滴Fb。

在待机位置，控制待机载置台30(喷出头20)的周边的温度，以形成第四目标温度，即与向印刷电路基板4G依次喷出液滴Fb时的、喷出头20及该喷出头20的周边的温度相同。从而，从喷出头20位于待机位置时开始至载置台13(印刷电路基板4G)沿Y方向移动为止，喷出头20和该喷出头20的周边的热收支的平衡没有破坏。其结果，因为控制装置70较小地抑制对橡胶加热器驱动回路75的控制量，所以橡胶加热器驱动回路75以小的电力加热橡胶加热器H1。因此，在喷出的开始时刻，已经在喷出头20内的金属墨被调整到与向印刷电路基板4G喷出液滴Fb时相同的温度，并被低粘度化。从而，喷出头20稳定地喷出最初被喷出的液滴Fb。其结果，供给印刷电路基板4G的液滴Fb的量相同。

因为印刷电路基板4G被加热到第三目标温度，所以附着于印刷电路基板4G上的液滴Fb快速地被干燥。其结果，附着在印刷电路基板4G上的液滴Fb不从其附着位置偏离地被干燥，从而形成用于内部配线6的配线用图案。

并且，因为印刷电路基板4G具有通气性，所以附着的液滴Fb快速地干燥并固定。其结果，能够缩短接下来附着的液滴Fb的喷出时刻，从而能够在短时间内形成用于内部配线6的配线用图案。此外，因为印刷电路基板4G的温度(第三目标温度)被控制在低于液滴Fb沸点的温度，所以附着的液滴Fb不会突然沸腾。其结果，不会产生不能形成配线用图案的情况。

喷出头20如果完成从印刷电路基板4G的端到端的移动，则控制装置70为了使液滴向用于形成内部配线6的印刷电路基板4G上的新的位置喷出液滴Fb，经由Y轴电动机驱动回路73驱动Y轴电动机MY，使载置台13沿Y方向输送规定的量，然后使喷头20向X方向的反方向移动。

如果喷出头20开始移动，则控制装置70基于位图数据BD，经由头驱动回路74，驱动各压电元件PZ，每当用于形成内部配线6的附着位置位于喷出头20的正下时，从选择的喷嘴N喷出液滴Fb。在此情况下，与上述相同，先附着在印刷电路基板4G上的液滴Fb马上开始干燥且被快速地干燥。

以后，重复同样的动作，在印刷电路基板4G上描绘内部配线6的配线用图案。

如果对于一个印刷电路基板4G的内部配线6的配线用图案的描绘完成，则控制装置70控制滑架19(X轴电动机MX)，使喷出头20移动到待机位置，并暂时使其停止。如果喷出头20在待机位置停止，则控制装置70驱动珀尔帖元件PT，以使位于待机位置的喷出头20的周边的温度构成第四目标温度。在该状态下，准备下次新的印刷电路基板4G的配线用图案的描绘。

从而，每当完成对于一个印刷电路基板4G配线用图案的描绘，喷出头20在待机位置暂时待机，并通过珀尔帖元件PT调整位于喷出头20的周边的温度。

本实施方式具有以下的优点。

(1)根据上述实施方式，在向加热到第三目标温度的印刷电路基板4G上喷出金属墨MF的液滴前，利用第一温度控制部(珀尔帖元件PT)将待机位置处的该液滴喷出头20的周边温度控制在与向该印刷电路基板4G喷出液滴Fb时的液滴喷出头20的周边的温度相同的第四目标温度。

从而，在液滴喷出头20从待机位置移动到印刷电路基板4G的前后，喷出头20与该喷出头20的周边的热收支平衡没有大的破坏。其结果，在液滴Fb的供给的初始阶段，能够预先抑制用于加热印刷电路基板4G的控制量发生大的变动，所以在初始阶段，能够减少印刷电路基板4G的温度变动。此外，能够防止由于喷出头20内的金属墨MF的温度的变动导致的喷出量的变动。

(2)根据上述实施方式，因为将印刷电路基板4G加热到从喷出头20喷出时的金属墨MF的温度以上，所以附着在印刷电路基板4G上的液滴Fb被快速地加热干燥。其结果，因为能够缩短接下来附着的液滴Fb的喷出时刻，所以能够在短时间内形成配线用图案。

(3)根据上述实施方式，印刷电路基板4G的温度因为被控制在低于液滴Fb的沸点的温度，所以附着的液滴Fb不会突然沸腾。从而，液滴喷出装置60能够形成高密度且高精细的配线用图案。

而且，上述实施方式也可如以下地变更。

在上述第一实施方式中，第二温度控制部也可是珀尔帖元件PT以外的元件(例如，橡胶加热器)。

在上述第二施方式中，第四温度控制部也可是珀尔帖元件PT以外的元件(例如，橡胶加热器)。

在上述第一实施方式中，第二目标温度也可是载置于载置台13上的基样玻璃基板MS的温度。

在上述第一实施方式中，第一温度控制部也可是橡胶加热器H以外的元件(例如，珀尔帖元件的发热部)。

在上述第二实施方式中，第三温度控制部也可是橡胶加热器H1以外的元件(例如，珀尔帖元件的发热部)。

在上述第一实施方式中，第一目标温度并不限定于70℃，只要液晶F形成可从喷出头20喷出的粘度的温度即可。

在上述第二实施方式中，液滴喷出装置60可设置进一步检测待机载置台30的周边的温度的温度检测传感器。液滴喷出装置60基于该温度检测传感器检测的待机载置台30的周边的温度，将该待机载置台30的周边的温度反馈控制为第四目标温度。

在上述第二实施方式中，液滴喷出装置60可进一步设置检测印刷电路基板4G的温度的温度检测传感器。液滴喷出装置60基于由该温度检测传感器检测的温度，反馈控制印刷电路基板4G的温度。

也可在使载置台13(基样玻璃基板MS或印刷电路基板4G)停止的状态下，移动喷出头20，从该喷出头20中喷出液滴Fb。

在上述第一实施方式中，将液状体具体化为液晶，但并不限定于此。液状体也可用于例如向基板进行的抗蚀剂的形成、层间膜的形成、或配线层的形成。此外，基于液状体的此种各种要素的形成也可适用于液晶显示装置以外的显示装置，例如有机EL显示装置。

将液滴喷出装置具体化为压电元件驱动方式的喷出头20。并不限于此，也可将喷出头20具体化为电阻加热方式或静电驱动方式的喷出头。

Claims (12)

1.一种喷出方法，其从喷出部件向基板上喷出液状体，

所述喷出方法的特征在于，包括：

所述喷出部件在待机位置待机时，使所述喷出部件的周边的温度与所述喷出部件向所述基板喷出液状体时的所述喷出部件的周边的温度形成为大致相同，和

为向所述基板喷出所述液状体，使所述喷出部件从所述待机位置向载置有所述基板的位置移动。

2.根据权利要求1所述的喷出方法，其特征在于，

所述液状体为液晶，所述喷出部件为形成液晶面板，向所述基板喷出所述液晶。

3.根据权利要求1所述的喷出方法，其特征在于，

所述液状体为金属墨，所述喷出部件为在所述基板的表面上形成配线图案，向所述基板喷出所述金属墨。

4.一种喷出装置，其从喷出部件向基板上喷出液状体，

所述喷出装置的特征在于，具备：

待机载置台，其配置在所述喷出部件待机的待机位置的下方；

控制部，其设置在所述待机载置台上，并将所述待机载置台的周边的温度调整至与所述喷出部件向所述基板喷出所述液状体时的所述喷出部件的周边的温度大致相同。

5.根据权利要求4所述的喷出装置，其特征在于，

所述液状体为液晶，所述喷出部件为形成液晶面板，向所述基板喷出所述液晶。

6.根据权利要求4所述的喷出装置，其特征在于，

所述液状体为金属墨，所述喷出部件为在所述基板的表面上形成配线图案，向所述基板喷出所述金属墨。

7.一种喷出装置，其从喷出部件向基板上喷出液状体，

所述喷出装置的特征在于，具备：

第一温度检测器，其输出表示所述喷出部件内的液状体的温度的检测信号；

第一温度控制部，其基于来自所述第一温度检测器的检测信号，将所述喷出部件内的液状体的温度调整至第一目标温度，

待机载置台，其配置在所述喷出部件待机的待机位置的下方；

第二温度检测器，其输出表示所述待机载置台的周边的温度的检测信号；

第二温度控制部，其基于来自所述第二温度检测器的检测信号，将所述待机载置台的周边的温度调整至第二目标温度。

8.根据权利要求7所述的喷出装置，其特征在于，

所述第二目标温度作为与所述喷出部件向所述基板喷出所述液状体时的所述喷出部件的周边温度相当的值被预先确定。

9.根据权利要求7所述的喷出装置，其特征在于，

所述第二目标温度作为与所述喷出部件向所述基板喷出所述液状体时的所述基板的温度相当的值被预先确定。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的喷出装置，其特征在于，

所述液状体为液晶，所述喷出部件为形成液晶面板，向所述基板喷出所述液晶。

11.一种喷出装置，其从喷出部件向基板上喷出液状体，

所述喷出装置的特征在于，具备：

输送载置台，其使所述基板相对于所述喷出部件相对移动；

第三温度控制部，其设置在所述输送载置台上，并将所述基板加热至第三目标温度；

待机载置台，其配置在所述喷出部件待机的待机位置的下方；

第四温度控制部，其设置在所述待机载置台上，并将所述待机载置台的周边的温度调整至与所述喷出部件向所述基板喷出所述液状体时的所述喷出部件的周边的温度大致相同的第四目标温度。

12.根据权利要求11所述的喷出装置，其特征在于，

所述液状体为金属墨，所述喷出部件为在所述基板的表面上形成配线图案，向所述基板喷出所述金属墨。

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