CN101182129A - 一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法 - Google Patents
一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101182129A CN101182129A CNA2007101564834A CN200710156483A CN101182129A CN 101182129 A CN101182129 A CN 101182129A CN A2007101564834 A CNA2007101564834 A CN A2007101564834A CN 200710156483 A CN200710156483 A CN 200710156483A CN 101182129 A CN101182129 A CN 101182129A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glass
- silicon nitride
- iridescent
- pecvd
- alternate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 36
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 235000009508 confectionery Nutrition 0.000 claims description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 5
- 238000002242 deionisation method Methods 0.000 claims description 5
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 5
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 claims description 5
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims description 5
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 claims description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 5
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 3
- 239000007888 film coating Substances 0.000 claims 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005034 decoration Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 239000005315 stained glass Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明公开了一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法。在普通平板玻璃基底一个表面或二个表面上镀有一层氮化硅薄膜，形成相间的彩虹条纹。其生产方法是采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)镀氮化硅膜，镀出的氮化硅膜在玻璃表面形成彩色相间的条纹，并可以随着PECVD工艺参数的变化，发生明暗以及颜色变化。该方法制备氮化硅彩虹玻璃，不需采用复杂的掩膜或光栅工艺，操作简单。同时氮化硅膜硬度高、化学稳定，增强玻璃表面的耐磨性能的同时提高了玻璃的抗腐蚀性。因此可广泛用于装修、广告等一系列装璜工艺。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃材料镀膜技术，具体涉及一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法。
背景技术
在生活水平日益提高，装修越来越高档的现代社会中，普通的单一彩色玻璃已不能满足装修市场的要求。而在以前的一些专利涉及(专利号200620086035.2和92108783.7等)的彩虹玻璃都采用光栅或类似光栅工艺，不适合大面积应用，更不适合大批量生产。且这种彩虹玻璃的耐磨性及抗腐蚀性都较差(因普通玻璃没有进行表面处理)，如另外再增加工艺，则会使制造成本增加。而对于一些室外装修中，这种性能是必须具备的，特别是在一些环境比较恶劣的场所。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的问题，本发明提供了一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法。
本发明采用的技术方案是：
一、一种氮化硅彩虹玻璃：
在普通平板玻璃基底一个表面或二个表面上镀有一层氮化硅薄膜。
所述的镀氮化硅膜呈相间的彩虹条纹。
二、一种氮化硅彩虹玻璃的制备方法：
把普通平板玻璃放入到70℃铬酸钾、浓硫酸和水，质量比为6∶8∶27的混合溶液中，浸泡10～60min，再用去离子冲洗，然后用0.5％HF酸浸渍10s，最后再用去离子水冲洗干净，烘干；其中一片玻璃垂直放入PECVD工作室平台上，另外一片玻璃平放在旁边，在沉积过程中，PECVD的各种参数设置为：温度100～500℃，射频功率20～150W，SiH4/NH3流量比：1∶1～1∶30，沉积时间25～60min，沉积完毕后，垂直放置玻璃基底双面都形成了相间的彩虹条纹图案，水平放置的玻璃基底为单面的相间的彩虹条纹图案。
根据玻璃基片放置角度为0～90°，能沉积出不同宽度的彩色相间条纹，拓宽了氮化硅彩虹玻璃的应用范围。
本发明与背景技术相比，具有的有益效果是：
该方法制备氮化硅彩虹玻璃，不需采用复杂的掩膜或光栅工艺，操作简单。同时氮化硅膜硬度高、化学稳定，增强玻璃表面的耐磨性能的同时提高了玻璃的抗腐蚀性，拓宽了其应用范围。因此可广泛用于装修、广告等一系列装璜工艺。
附图说明
图1是双层膜氮化硅彩虹玻璃结构示意图。
图2是单层膜氮化硅彩虹玻璃结构示意图。
图3是玻璃基片在PECVD工作室中的摆放示意图。
图中：1、玻璃基底，2、氮化硅薄膜，3、平台。
具体实施方式
下面结合附图和实例对本发明作进一步的说明。
如图1、图2所示，本发明是在普通平板玻璃基底1一个表面或二个表面上镀有一层氮化硅薄膜2。所述的镀氮化硅膜呈相间的彩虹条纹。
本发明的氮化硅彩虹玻璃的生产方法是采用等离子增强化学气相沉积法(PECVD)沉积氮化硅膜。在普通平板玻璃上可以一次完成双面氮化硅镀膜及单面氮化硅镀膜。所镀氮化硅膜呈相间的彩虹条纹。
在本发明中，玻璃基片在PECVD真空室中的摆放是关键。其具体方法如下：取两片准备好的玻璃，其中一片玻璃垂直放入PECVD工作室平台3上，另外一片玻璃平放在旁边，如附图3所示。
在实际应用中，普通平板玻璃的清洗，由于玻璃的来源不同，可根据玻璃基片上污染物的种类、性质和污染程度采用不同的清洗方法，这样可以最小的成本达到最大的收益。
在本发明中，PECVD沉积参数设计时，随着沉积参数的不同(沉积温度：100-500℃，射频功率：20-150W，SiH4/NH3流量比：1∶1-1∶30)，沉积的氮化硅膜厚度也跟着变化，相应的条纹颜色也会发生变化；另外，根据玻璃基片放置角度的不同(0～90°)，可以沉积出不同宽度的彩色相间条纹；因此随着工艺参数的变化，可以调制出不同颜色组合的及不同宽度的条纹，大大丰富了彩虹玻璃的应用范围。
下面的实例中的氮化硅膜均采用等离子增强化学气相沉积法(PECVD)得到。该设备型号为北京微电子研究所提供的HQ-2型PECVD。真空室最大工作尺寸4″，沉积时真空度为2.2×10-2Pa。
实施例1：
把普通平板玻璃放入到70℃铬酸钾、浓硫酸和水(质量比为6∶8∶27)混合溶液中，浸泡30min，再用去离子冲洗，然后用0.5％HF酸浸渍10s，最后再用去离子水冲洗干净，烘干。其中一片玻璃垂直放入PECVD工作室中，另外一片玻璃平放在旁边，如附图3所示。在沉积过程中，PECVD的各种参数设置为：温度300℃，射频功率75W，SiH4(10％N2稀释)流量100sccm，NH3流量30sccm，沉积时间45min。沉积完毕后，垂直放置的玻璃片双面都形成了黄、紫、绿、橙相间的彩虹条纹图案，水平放置的玻璃片为单面的黄、紫、绿、橙相间的彩虹条纹图案。
实施例2：
把普通平板玻璃放入到70℃铬酸钾、浓硫酸和水(质量比为6∶8∶27)混合溶液中，浸泡30min，再用去离子冲洗，然后用0.5％HF酸浸渍10s，最后再用去离子水冲洗干净，烘干。其中一片玻璃垂直放入PECVD工作室中，另外一片玻璃平放在旁边，如附图3所示。在沉积过程中，PECVD的各种参数设置为：温度500℃，射频功率40W，SiH4(10％N2稀释)流量100sccm，NH3流量300sccm，沉积时间25min。沉积完毕后，垂直放置的玻璃片双面都形成了黄、绿、紫、橙相间的彩虹条纹图案，水平放置的玻璃片为单面的黄、绿、紫、橙相间的彩虹条纹图案。
实施例3：
把普通平板玻璃放入到70℃铬酸钾、浓硫酸和水(质量比为6∶8∶27)混合溶液中，浸泡30min，再用去离子冲洗，然后用0.5％HF酸浸渍10s，最后再用去离子水冲洗干净，烘干。其中一片玻璃与工作平台成70°放置PECVD工作平台中，另外一片玻璃平放在旁边，如附图3所示。在沉积过程中，PECVD的各种参数设置为：温度100℃，射频功率150W，SiH4(10％N2稀释)流量100sccm，NH3流量10sccm，沉积时间60min。沉积完毕后，垂直放置的玻璃片双面都形成了黄、橙、紫、绿相间的彩虹条纹图案，水平放置的玻璃片为单面的黄、橙、紫、绿相间的彩虹条纹图案。
上述具体实施方式用来解释说明本发明，而不是对本发明进行限制，在本发明的精神和权利要求的保护范围内，对本发明作出的任何修改和改变，都落入本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种氮化硅彩虹玻璃，其特征在于：在普通平板玻璃基底(1)一个表面或二个表面上镀有一层氮化硅薄膜(2)。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅彩虹玻璃，其特征在于：所述的镀氮化硅膜呈相间的彩虹条纹。
3.一种氮化硅彩虹玻璃的制备方法，其特征在于该方法的步骤如下：
把普通平板玻璃放入到70℃铬酸钾、浓硫酸和水，质量比为6∶8∶27的混合溶液中，浸泡10～60min，再用去离子冲洗，然后用0.5％HF酸浸渍10s，最后再用去离子水冲洗干净，烘干；其中一片玻璃垂直放入PECVD工作室平台(3)上，另外一片玻璃平放在旁边，在沉积过程中，PECVD的各种参数设置为：温度100～500℃，射频功率20～150W，SiH4/NH3流量比：1∶1～1∶30，沉积时间25～60min，沉积完毕后，垂直放置玻璃基底双面都形成了相间的彩虹条纹图案，水平放置的玻璃基底为单面的相间的彩虹条纹图案。
4.根据权利要求3所述的一种氮化硅彩虹玻璃的镀膜方法，其特征在于：在沉积薄膜时，根据玻璃基片放置角度为0～90°，能沉积出不同宽度的彩色相间条纹，拓宽了氮化硅彩虹玻璃的应用范围。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2007101564834A CN101182129B (zh) | 2007-11-01 | 2007-11-01 | 一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2007101564834A CN101182129B (zh) | 2007-11-01 | 2007-11-01 | 一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101182129A true CN101182129A (zh) | 2008-05-21 |
| CN101182129B CN101182129B (zh) | 2010-12-01 |
Family
ID=39447571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2007101564834A Expired - Fee Related CN101182129B (zh) | 2007-11-01 | 2007-11-01 | 一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101182129B (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016154822A1 (zh) * | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 华为技术有限公司 | 一种终端设备用彩色玻璃板及其形成方法、终端设备 |
| CN114318236A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-04-12 | 中丰田光电科技(珠海)有限公司 | 彩虹膜工艺及彩虹膜生产装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2130813Y (zh) * | 1992-06-30 | 1993-04-28 | 天津师范大学 | Hf-ⅱ型彩虹玻璃制品 |
-
2007
- 2007-11-01 CN CN2007101564834A patent/CN101182129B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016154822A1 (zh) * | 2015-03-27 | 2016-10-06 | 华为技术有限公司 | 一种终端设备用彩色玻璃板及其形成方法、终端设备 |
| CN106458720A (zh) * | 2015-03-27 | 2017-02-22 | 华为技术有限公司 | 一种终端设备用彩色玻璃板及其形成方法、终端设备 |
| CN114318236A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-04-12 | 中丰田光电科技(珠海)有限公司 | 彩虹膜工艺及彩虹膜生产装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101182129B (zh) | 2010-12-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106319446B (zh) | 一种装饰用涂膜打底真空镀膜的制备方法 | |
| CN107653744A (zh) | 一种超疏水纸及其制备方法 | |
| CN101182129B (zh) | 一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法 | |
| CN103726011A (zh) | 一种装饰塑料表面真空镀膜方法 | |
| KR20130075501A (ko) | 내흑변성 및 밀착력이 우수한 Ｚｎ-Ｍｇ 합금 코팅강판 및 그 제조방법 | |
| CN106011762A (zh) | 一种汽车装饰件及其表面涂层制备方法 | |
| CN102931289B (zh) | 一种花片太阳能电池制备方法 | |
| CN101161857B (zh) | 一种铝合金表面处理方法 | |
| KR20090019226A (ko) | 표면보호용 유리막 형성 방법 | |
| US20160137852A1 (en) | Anti-fingerprint treatment reagent and method processing the same | |
| CN103804963B (zh) | 一种具备较高饱和度的光学干涉变色颜料的制备方法 | |
| CN104513980A (zh) | 一种塑胶表面形成的金属层结构及其表面处理工艺 | |
| CN104046971B (zh) | 一种有机硅烷‑无机盐复合钝化液的制备方法 | |
| CN105154848A (zh) | 氮氧硅薄膜的制备方法 | |
| DE60203382D1 (de) | Beschichtung eines glas-substrates mit einer siliziumhaltigen schicht | |
| CN108796458A (zh) | 一种有机-无机复合透明薄膜 | |
| KR101149899B1 (ko) | 타일 코팅액 조성물 및 이를 이용한 타일 | |
| CN113136557A (zh) | 一种具有抗腐蚀耐磨的pvd薄膜以及制备方法 | |
| TWI668320B (zh) | 提高抗汙膜之附著力的方法 | |
| CN104593765A (zh) | 一种奥氏体薄壁不锈钢管耐蚀着色膜及其制备方法 | |
| KR20110073863A (ko) | 플라즈마를 이용한 건식 금속 코팅 방법 | |
| CN114395758A (zh) | 一种铝合金的无铬钝化液及钝化方法 | |
| CN108102550A (zh) | 一种超亲水涂料以及超亲水自洁涂层 | |
| CN107460448B (zh) | 一种基体表面的修饰涂层及其制备方法 | |
| CN104046975B (zh) | 一种在热镀锌层表面复合制备钝化膜的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20101201 Termination date: 20121101 |