CN101138758A - 模具式涂布装置的涂布方法 - Google Patents

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CN101138758A CNA2007101497740A CN200710149774A CN101138758A CN 101138758 A CN101138758 A CN 101138758A CN A2007101497740 A CNA2007101497740 A CN A2007101497740A CN 200710149774 A CN200710149774 A CN 200710149774A CN 101138758 A CN101138758 A CN 101138758A
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Abstract

本发明通过确立模具式涂布装置中的非接触型模具前端的初始化的方法，以获得异物比较少的涂布膜。本发明的模具式涂布装置的涂布方法，其特征在于：由使涂布液干燥、硬化而得到的刮刀或块体所构成的刮除装置，与模具前端接触，以进行模具前端的液滴刮除(初始化)。

Description

模具式涂布装置的涂布方法
技术领域
本发明是关于一种模具式涂布装置的涂布方法，尤其是关于以模具式涂布装置进行涂布的开始。
背景技术
采用模具式涂布装置(die coater)(也有人称之为淋幕式涂布机(curtainflow coater)，或狭缝式涂布机(slit coater或slit die coater))以进行的涂布，是一种被广泛使用来作为形成均等厚度的涂膜的涂布方法。例如，此种涂布技术，可以被用来作为在液晶面板或PDP的彩色显示器或固体摄影组件等所使用的彩色滤光片(color filter)，或是光阻等的涂膜的形成过程。
采用模具式涂布装置以进行涂布的方法，与采用旋转涂布(spin coater)的方法相较之下，其所具备的特征在于因为其所使用的涂布液的浪费较少，因此特别是对于大型平板所进行的涂布，可以较低的成本进行。
采用模具式涂布装置以进行涂布的方法，在开始涂布程序之前，必须先进行初始化。所谓的初始化，是指去除在模具(die，压铸模)的前端所附着的液滴(有时可能会干燥、硬化)，以使待涂布物与涂布液之间的关系正常化。如果在模具前端有涂布液呈液滴状杂乱地附着的话，会因而导致珠粒成形(bead formation)无法达成。甚至在液滴干燥、硬化的情况时，亦会因为这个原因而导致产生纹路、斑点的情况。
截至目前为止，产业界提出了各式各样将模具前端初始化的方法。例如，在涂布涂料(涂布液)之前，在前述的淋幕式涂布机的套圈的唇缘部，使其紧密附着清洁构件(块体)。而此清洁构件的顶面形成为可与套圈的唇缘部前端部紧密附着的形状，且清洁构件的表面，是由具有橡胶弹性的高分子树脂所构成。然后使此清洁构件沿着唇缘部移动，以将附着的涂料(涂布液、液滴)予以刮除的清洁方法(请参照专利文件1)。
此外，另外一种现有技术，是使模具本体接触的唇缘部硬质橡胶板、塑料板等的刮刀(blade)，并通过移动此刮刀的方式，以刮下除去被固持在唇缘部的涂布液的方法(请参照专利文件2)。
然而，在此种方法中，当液滴的量比较多，尤其是已经干燥、硬化的情况时，如果要将液滴从模具的前端完全去除的话，就必须施加某种程度的压力，才能使这些清洁构件或刮刀(以下，将此两者合称为刮除装置)移动。
因此，通过与模具之间的摩擦，此等刮除装置本身也会被略为磨损。被磨损削除的刮除装置其构成材料的细粉，会附着在模具前端的表面，而成为残留在模具前端的异物。
若在这种状态中进行涂布的话，随着液体的吐出，此等附着异物也会从模具的表面被剥离，而使在涂布所得到的涂膜表面残留成点状。而当异物比较细微的时候，有时候则会溶解于涂布液中的溶媒而混入，而形成在涂膜中组成内容不同的部份。
除了此等方法之外，另外，也有人提出与模具本身未接触，而使此模具初始化的方法。例如，通过对滚筒状的物体先进行预备吐出，而修整模具前端，以进行初始化的方法(请参照专利文件3)。此时，同时地，亦可使模具前端的异物被去除。
在此种方法之中，因为在初始化时，刮除装置等不会与模具直接接触，因此可以期待获得异物比较少的涂布膜。
然而，由于此种方法本来的目的，即，为了要修整液珠前端，因此去除异物的作用较小。如果要使异物完全减少，则只有采用不断反复涂布在滚筒状物体的方式。
因此，采用此种方法的话，在完成之后的涂布膜上异物会附着至何种程度，就必须凭借运气。尤其是当维修等在碰触模具前端(予以污染)的时候，在一段期间之内，会有异物持续附着。
又，虽然在每次初始化时，涂料会从模具前端吐出的滚筒，于使用时都会进行清洁、重整，但是因为在滚筒的表面所残存的异物与涂布材料，并无法在清洁、重整程序被完全去除，因此往往会造成异物、涂布材料的干燥物与固态物质会从滚筒再度附着于涂布膜。
甚至，在长时间的使用后，在吐出狭缝的四周容易有涂布材料的干燥物与固态物质附着，因此要进行初始化操作也会变得困难。而且这些干燥物与固态物质也往往会剥离而变成异物。
鉴于以上所述的各种理由，在使用模具式涂布装置的涂布方法中，无法获得一种可充分满足不会有异物附着，且模具前端初始化的技术。因此，要稳定地获得一种异物极少的涂布膜可说并不容易。
本发明的发明人，针对后者的非接触型的模具前端的初始化的方法，曾经提出了一种技术。此种技术在涂布作业的中断、休止时，使模具前端浸泡或接触储放在容器等的涂布液，而在使用的时候才缓慢地往上升(请参照专利文件4)。然而，此技术虽然能够解决非接触型的模具前端的初始化方法，然而对于接触型的模具前端的初始化方法仍无法予以解决。
专利文件1日本专利3306838号公报
专利文件2日本特开平11-147062号公报
专利文件3日本特开2001-310147号公报
专利文件4日本特开2006-55775号公报
发明内容
鉴于上述现有技术的问题点，本发明的课题即在于通过确立在模具式涂布装置中，使非接触型的模具前端的初始化方法，能够确立一种依据模具式涂布装置的涂布方法，而依据此方法所得的涂膜中，异物数量极为稀少。
本发明的模具式涂布装置的涂布方法，其特征在于：由使涂布液干燥、硬化而构成作为刮除装置的刮刀或块体，再将此刮除装置，与模具前端接触，以进行模具前端的液滴刮除(初始化)。
根据本发明可获得以下的效果。在本发明中，因为在对模具前端的液滴进行刮除(初始化)之际会有所接触的刮除装置，由使涂布液干燥、硬化而构成的刮刀或块体所构成，因此即使在液滴刮除(初始化)时，会有模具前端与刮除装置之间的接触所伴随而来，而产生细微粉尘的现象，但是因为该粉尘会溶解、灭失于涂布液中的溶媒，而恢复成本来的涂布液，因此不会造成涂布膜在组成上与厚度上产生不均匀的情况。
附图说明
图1是说明通过模具式涂布装置进行涂布的方法的说明图。
图2是采用刮刀作为本发明的刮除装置之一实施型态的说明图。
图3是采用块体作为本发明的刮除装置的其它实施型态的说明图。
附图标记说明
1～模具本体
2～歧管
3～狭缝部
4～唇缘部
5～涂布液供给泵
6～涂布液供给槽
7～(吸附型的)桌子
8～待涂布物
10～刮刀
11～驱动部
12～刮除废料储存部
13～涂布液液滴
14～块体
A～模具式涂布装置
B～液珠
S～涂布液
W～待涂布物
具体实施方式
本发明基本上是一种在模具式涂布装置的模具前端部进行初始化时，通过利用使涂布液干燥、硬化的材质，作为所使用的刮刀或块体的刮除装置。因此，即使在模具的前端部与刮除装置之间因为摩擦而产生细微粉体，但此粉体仍会溶解于涂布液中的溶媒，而恢复成本来的溶媒，因此不会成为在涂布膜中的异物。
以下将参照附图详细说明依据本发明的较佳实施形态。
图1是显示说明依据本发明的模具式涂布装置的涂布方法的说明图。图2是显示作为本发明的刮除装置，采用刮刀的一实施型态的说明图。而图3则是显示作为本发明的刮除装置，采用块体的其它实施型态的说明图。
如图1所示，模具式涂布装置A具备歧管(manifold)2，设置于可升降的模具本体1；以及唇缘部4，位于通连的狭缝部3的前端。以涂布液供给泵5将置于涂布液供给槽6内的涂布液S，经由该狭缝部3而供应。在被载放于吸附型的桌子7上的待涂布物W上形成液珠B之后，通过使本体1往箭头方向行进的方式，在待涂布物W上进行涂布。然后，在涂布完成时，停止该涂布液供给泵5，同时并使模具本体1往上升，与液珠B分离，以待下一次的涂布作业。
当涂布作业期间中，如果花费许多时间的话，有可能导致残留于唇缘部前端的涂布液的溶媒蒸发而硬化。为了要去除此硬化体；或者是，即使是尚未硬化的情况，但因为此种涂布技术是通过调整唇缘部与待涂布物之间的间隔，而控制涂布膜的厚度。因此，为了要设定唇缘部前端的涂布液突出量在所希望的值，故通常都会在涂布作业开始时进行初始化。
一般而言，在模具式涂布装置的唇缘部的初始化，是以由刮刀或块体所构成的刮除装置抵于唇缘部，并予以擦拭(刮去)。
图2是显示使用刮刀作为刮除装置的例。
在图2中是显示在驱动部11上，具备有刮除废料储存部12的刮刀10一边往箭头方向移动，一边刮除残留于模具本体1的唇缘部4的前端的涂布液液滴13；基本上被刮除的液滴则收纳于刮除废料储存部12。
然而，在此时，由于唇缘部4与刮刀10之间的摩擦滑动，因此刮刀10本身亦会慢慢磨损，并产生细微的粉末，而分散在涂布膜中。
传统上，都是使用橡胶等的弹性材料来作为刮刀10的材质，因此，在涂布膜中被分散的磨损部份的刮刀微细粉末，就会成为化学上的污染物质(contamination)，而影响涂布膜的均匀程度。然而，在本发明之中，因为是采用从涂布液将溶媒蒸发去除后，硬化的材料所制造的刮刀，并配合微细粉末，故容易溶解于涂布液中的溶媒。因为其与原本的涂布液并无相异之处，因此不会影响涂布膜的均匀程度。
在图示的例中，是显示将刮刀的前端修整成适合唇缘部的形状的例，但是本发明并不限定于此种实施形态。例如，使唇缘部的两侧斜面适于前端面，基本上前端部是由呈平面的三片刮刀所组合而成等，在不脱离本发明的要旨范围内的设计变更，均包含于本发明的技术思想的范围内。
图3是显示使用块体作为刮除装置的例。
在图3中，为了将模具本体1的唇缘部4予以初始化，使用附属在驱动部11上的刮除废料储存部12的块体14。块体14虽然亦可采用单数，不过依循往例，大多是采取配置复数个，但无论为单数个复数个皆无影响。被擦拭而刮除掉的废料，基本上被收纳于刮除废料储存部12。
然而，在此种时候，由于唇缘部与块体之间的摩擦滑动，因此块体会慢慢磨损，并产生细微的粉末，而分散在涂布膜中。
就使用块体的情况而言，与采用刮刀的情况相同，传统上，都是使用橡胶等的弹性材料来作为块体的材质，因此作为在涂布膜中被分散的磨损部份的块体的微细粉末，就会成为化学上的污染物质，而影响涂布膜的均匀程度。然而，在本发明之中，因为是采用从涂布液将溶媒蒸发去除，并使用以硬化的材料制造的块体，并配合微细粉末，而成为容易溶解于涂布液中的溶媒。因为与原本的涂布液并无相异之处，因此不会影响涂布膜的均匀程度。
因为无论是刮刀还是块体，都会随着使用的过程而渐渐磨损，因此必须适度地交换。
用从涂布液将溶媒蒸发去除而硬化的材料所制成的刮刀或块体，可通过硬化(cure)的过程，而更进一步强化其硬化的程度。
根据本发明，因为可使模具式涂布装置的唇缘部的初始化能够更为简便且确切地进行，因此对于形成均匀的薄层的技术领域，尤其是利用大型的模具式涂布装置的技术领域，可谓有相当大的贡献。

Claims (1)

1.一种模具式涂布装置的涂布方法，其特征在于：由使涂布液干燥、硬化而得到的刮刀或块体所构成的刮除装置，与模具前端接触，以进行模具前端的液滴刮除(初始化)。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103496250A (zh) * 2013-08-29 2014-01-08 江苏宇天港玻新材料有限公司 一种狭缝式涂布机
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105413922A (zh) * 2015-12-08 2016-03-23 无锡万能胶粘剂有限公司 一种高均匀度喷胶机

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103085381A (zh) * 2013-02-05 2013-05-08 浙江德钜铝业有限公司 同基面多色切分彩涂金属板、同基面多色切分涂装方法及涂装系统
CN103085381B (zh) * 2013-02-05 2015-10-28 浙江德钜铝业有限公司 同基面多色切分彩涂金属板、同基面多色切分涂装方法及涂装系统
CN103496250A (zh) * 2013-08-29 2014-01-08 江苏宇天港玻新材料有限公司 一种狭缝式涂布机
CN103496250B (zh) * 2013-08-29 2015-03-04 江苏宇天港玻新材料有限公司 一种狭缝式涂布机
TWI784108B (zh) * 2018-04-25 2022-11-21 日商日東電工股份有限公司 塗布裝置及塗布膜之製造方法

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