CN101054714A - 表面处理装置、搬送用吊具和搬送用吊具的搬送方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种表面处理装置、搬送用吊具和搬送用吊具的搬送方法。本发明使用不同的金属材质形成被处理物保持臂和与被处理物保持臂滑动接触的部件，防止了胶合的发生。滑动部件(35)的材质使用与构成导轨(10～13)的需要通电的部位的金属不同的金属。作为一对被处理物保持臂(46a、46b)的材质，分别使用不同的金属，被处理物保持臂(46a、46b)和连接部件(44)的材质也使用不同的金属。

Description

表面处理装置、搬送用吊具和搬送用吊具的搬送方法

技术领域

本发明涉及一种具有搬送进行镀处理等的基板的搬送用吊具的表面处理装置的技术。

背景技术

首先，下面使用图3和图4说明表面处理装置的结构。图3是从上方观察到的表面处理装置100的俯视图。图4是从α方向观察到的图3中所示的表面处理装置100的侧视图。

如图3和图4所示，表面处理装置100具有导轨10～13，所述导轨10～13用于搬送保持有印刷基板等被处理物的搬送用吊具15，沿着这些导轨设有：用于进行镀前处理工序的前处理槽1；用于进行电镀工序的镀槽2；用于进行镀后处理工序的回收槽3和水洗槽4；用于卸下被处理物的卸载部5；用于进行除去并剥离附着在搬送用吊具15上的镀层的工序(剥离工序)的剥离槽6；进行吊具剥离后处理工序的水洗槽7；和进行被处理物的安装的装载部8。

图3中所示的升降导轨10、12是在将被处理物W(印刷基板等)相对于搬送用吊具15进行安装和卸下、或者将被处理物W浸渍在槽(前处理槽1、镀槽2、回收槽3、水洗槽4和剥离槽6等)内时进行升降的导轨。固定导轨11、13分别是为了搬送下降到镀槽2、剥离槽6中的搬送用吊具15而固定的导轨。在图4中所示的升降导轨10、12下降了的状态下，导轨10、12和导轨11、13连续，构成一个环状导轨。

如图3所示，表面处理装置100在装载部8将搬送用吊具15的吊具宽度调节为被处理物W的搬送方向宽度，并安装被处理物W，然后沿着上述导轨10、11、12依次向前处理槽1、镀槽2、回收槽3和水洗槽4搬送搬送用吊具15并进行浸渍处理，然后在卸载部5卸下被处理物W并且缩短搬送用吊具15的吊具宽度，之后在剥离槽6内沿着上述导轨13进行搬送，除去附着在搬送用吊具上的镀层，然后再次沿着导轨10进行搬送，使搬送用吊具15返回装载部8。

表面处理装置100始终搬送恒定数量的搬送用吊具15，以省去从导轨10～13卸下和保管不用于表面处理的搬送用吊具15的麻烦，剥离槽6兼用作存放不用于表面处理的搬送用吊具15的场所(存放场所)。

另外，本着防止电流集中在被处理物W上而使镀层膜厚不均的目的，表面处理装置100利用第一定位搬送组件18在镀槽2的入口部将搬送用吊具15向前送出，并使被处理物W的前后间隔在镀槽2内为预定距离(例如5mm)。在此，由于镀槽2的长度确定，所以在被处理物W的尺寸较小的情况下，要增加在镀槽2内搬送的搬送用吊具15的数量，在被处理物W的尺寸较大的情况下，要减少在镀槽2内搬送的搬送用吊具15的数量。

即，根据被处理物W的尺寸来改变用于表面处理的搬送用吊具15的数量，由此，要增减在兼用作搬送用吊具15的存放场所的剥离槽6内搬送的搬送用吊具15的数量。表面处理装置100以与此对应地实现装置的顺利运转为目的，在图3中的剥离槽6的吊具浸渍部(图3中的(1)位置)，第二定位搬送组件23将搬送用吊具15向前送出，并使搬送用吊具之间的前后间隔为预定距离。

下面使用图20a、20b、20c说明通过图3中所示的表面处理装置100搬送的搬送用吊具15的结构(参照专利文献1)。图20a是详细表示图4中所示的搬送用吊具15的结构的图，图20b是搬送用吊具15的沿β-β线的截面图。图20c是搬送用吊具15的中央附近截面图。

如图20a所示，搬送用吊具15具有：一对被处理物保持臂46；具有保持被处理物W的夹钳48的竿47；与固定导轨11滑动接触的滑动部件35；和将这些部件连接起来的连接部件44。此外，旋钮49用于在将被处理物保持臂46调节成被处理物W的宽度时，通过吊具宽度调节机构来调节宽度。

如图20b所示，被处理物保持臂46分别能够滑动(在附图上沿纸面眼前-里面的方向滑动)地容纳在设于连接部件44的两个孔中。该连接部件44和被处理物保持臂46由同种金属材质形成。另外，如图20c所示，滑动部件35与固定导轨11的上表面、附图上的右侧面和下表面滑动接触。

另外，在图20c中，标号45是锁定杆，当利用锁定杆45锁定被处理物保持臂46时(如图20c中的虚线所示)，搬送用吊具15的吊具宽度被固定。由于被处理物保持臂46分别容纳在单独的孔中，所以锁定杆45在连接部件44的正面(图2c中的右侧面)和后表面(图2c中的左侧面)各安装一个，以便能够锁定各个被处理物保持臂46。

在图3中的装载部8中，吊具宽度调节机构在将上述锁定杆45向上侧抬起从而解除被处理物保持臂46的锁定之后，调节旋钮49的位置以调节吊具宽度，然后利用夹钳开闭机构开闭搬送用吊具15的夹钳48，将被处理物W安装到搬送用吊具15上。

专利文献1：日本特开2002-363796号

但是，在如上所述的表面处理装置100中，升降导轨10、12的升降周期大约是20～30秒。如果升降周期大约是20～30秒，则在预定时间内搬送的被处理物的数量减少，使生产率劣化。因此，希望缩短上述升降周期以提高生产率。

然而，在上述的表面处理装置100的情况下，不能缩短该升降导轨的升降周期，就不能提高处理能力。其影响体现在下述各点。

(i)被处理物保持臂46和连接部件44在通电时成为焊接在一起的状态，有时在装载部8中不能顺利地调节吊具宽度，需要在升降导轨停止时间中加入用于再度调节进行修正的富余时间。

(ii)在装载部8处的吊具宽度调节中，由于锁定杆45安装在连接部件44的正面和后表面，所以吊具宽度调节机构的动作增多，使得吊具宽度调节机构所需的时间变长。

(iii)在装载部8中，在一次中进行吊具宽度调节动作和被处理物的安装，如果吊具宽度调节不结束则不能把被处理物安装到搬送用吊具上，因此不能缩短升降导轨在下降位置的停止时间。

(iv)特别是在由作业人员进行被处理物的安装的情况下，由于缩短被处理物的安装作业本身存在极限，所以不能将升降导轨的停止时间缩短预定以上，结果为不能缩短升降周期。

(v)如果使剥离槽6增长以确保用于充分除去附着在搬送用吊具15上的镀层所需的时间，则在剥离槽6内搬送用吊具15的间隔调整动作所需的时间加长，使得吊具间隔调整动作不能在升降导轨的升降周期内完成。

发明内容

本发明是鉴于上述状况而完成的，其目的在于解决上述(i)～(v)的问题，提供一种能够缩短升降导轨的升降周期以提高生产率的表面处理装置、搬送用吊具的搬送方法和搬送用吊具。

下面表示本发明的多个独立侧面。

(1)本发明的搬送用吊具具有被处理物保持臂，该被处理物保持臂设置成能够滑动以便能够调节吊具宽度，并且在该被处理物保持臂上设有夹持被处理物的被处理物保持组件，其特征在于，

使用不同的金属材质形成上述被处理物保持臂和与上述被处理物保持臂滑动接触的部件。

由此，能够防止被处理物保持臂在镀处理等的通电时成为被焊接的状态而不能滑动、或不能顺利地滑动，在升降导轨的升降周期较短的情况下，也能够可靠地完成搬送用吊具的吊具宽度调节。

(2)本发明的搬送用吊具包括：

一对被处理物保持臂，其设置成能够滑动以便能够调节吊具宽度，并且在该被处理物保持臂上设有夹持被处理物的被处理物保持组件，

滑动部件，其与导轨滑动接触；和

连接部件，其将上述滑动部件和上述被处理物保持臂连接起来，并且使上述被处理物保持组件对被处理物的保持位置在上述导轨的侧方，

其特征在于，

上述一对被处理物保持臂构成为插入在设于上述连接部件的孔中，并以相互重叠的状态滑动，

上述一对被处理物保持臂和上述连接部件分别使用不同的金属材质。

由此，能够防止被处理物保持臂彼此或被处理物保持臂和连接部件在镀处理等的通电时成为被焊接的状态，而使被处理物保持臂不能滑动或者不能顺利地滑动，在升降导轨的升降周期较短的情况下，也能够可靠地完成搬送用吊具的吊具宽度调节。另外，因导轨和搬送用吊具滑动而产生的粉尘不易混入处理槽内，从而能够进行安全的处理。

(3)本发明的搬送用吊具的特征在于，上述滑动部件与上述导轨的上表面滑动接触，并与上述导轨的侧面滚动接触。

由此，能够进一步抑制因导轨和搬送用吊具滑动而产生的粉尘，并且在需要通电的处理中，防止了通电不良，从而能够实现稳定的处理。另外，能够防止因导轨和搬送用吊具的滑动部件的加工精度差而产生的搬送堵塞，能够减轻表面处理装置在制作中的加工精度的负担。

(4)本发明的搬送用吊具的搬送方法是表面处理装置的搬送用吊具的搬送方法，该表面处理装置具有能够根据被处理物的尺寸调节吊具宽度的搬送用吊具、和引导该搬送用吊具的升降导轨，其特征在于，

设置固定导轨，并在该固定导轨的中央部配置装载部，当上述升降导轨降下时，该固定导轨的起始端部和终端部与上述升降导轨连续，

并且当上述升降导轨降下时，通过吊具宽度调整部调节搬送用吊具的吊具宽度，然后将该搬送用吊具从上述固定导轨的起始端部转移至上述固定导轨并送至上述装载部，

然后在上述升降导轨降下时，把送至上述装载部的搬送用吊具从上述固定导轨的终端部转移至上述升降导轨。

由此，即使缩短了升降导轨的升降周期，也能够在上述升降周期内完成吊具宽度的调节和被处理物的安装，能够使表面处理装置安全地运转，同时能够提高表面处理装置的生产率。

(5)本发明的搬送用吊具的搬送方法是表面处理装置的搬送用吊具的搬送方法，该表面处理装置具有能够根据被处理物的尺寸调节吊具宽度的搬送用吊具、和引导该搬送用吊具的升降导轨，其特征在于，

设置固定导轨，并在该固定导轨的中央部配置吊具宽度调整部，当上述升降导轨降下时，该固定导轨的起始端部和终端部与上述升降导轨连续，

并且在上述升降导轨降下时，在卸载部调节搬送用吊具的吊具宽度，然后将该搬送用吊具从上述固定导轨的起始端部转移至上述固定导轨并送至上述吊具宽度调整部，

然后在上述升降导轨降下时，把送至上述吊具宽度调整部的搬送用吊具从上述固定导轨的终端部转移至上述升降导轨。

由此，即使缩短了升降导轨的升降周期，也能够在上述升降周期内完成吊具宽度的调节和被处理物的卸下(作业人员容易弄伤的薄板基扳等的卸下)，能够使表面处理装置安全地运转，同时能够提高表面处理装置的生产率。

(6)本发明的表面处理装置沿着环状导轨搬送搬送用吊具，该环状导轨由升降导轨和固定导轨构成，当升降导轨降下时，升降导轨与固定导轨连续，其特征在于，

上述表面处理装置包括：

换载组件，其在升降导轨降下时将搬送用吊具转移至固定导轨并将其存放在固定导轨上；

前靠搬送组件，其将通过上述换载组件存放的搬送用吊具搬送至与先行的搬送用吊具隔开预定距离的位置；和

固定导轨搬送组件，其在维持了上述预定距离的状态下搬送上述固定导轨上的搬送用吊具。

由此，即使升降导轨的升降周期较短，也能够顺利地调节搬送用吊具的距离，而不会在兼用作存放场所的吊具返回工序的入口部产生搬送用吊具的搬送堵塞，从而能够使表面处理装置安全地运转，同时能够提高生产率。

(7)本发明的表面处理装置的特征在于，上述换载组件隔开上述预定距离地存放多个搬送用吊具，上述前靠搬送组件在维持了上述预定距离的状态下搬送上述多个搬送用吊具。

由此，即使升降导轨的升降周期进一步变短，也能够顺利地调节搬送用吊具的距离，而不会在兼用作存放场所的吊具返回工序的入口部产生搬送用吊具的搬送堵塞，从而能够使表面处理装置安全地运转，同时能够提高生产率。

本领域的技术人员参照以下的附图和详细说明将会自然会明白本发明的其他目的、使用和效果。

附图说明

图1是表示本发明的搬送用吊具15的结构的图。

图2a是从β方向观察到的图1中所示的搬送用吊具15的β-箭头方向视图。

图2b是搬送用吊具15的中央截面图。

图3是从上方观察到的表面处理装置100的俯视图。

图4是从α方向观察到的图3中所示的表面处理装置100的侧视图。

图5是表示设在升降导轨上部的间歇搬送组件的结构的俯视图。

图6是表示定位搬送组件18的结构的图。

图7是表示改良型表面处理装置102的结构的图。

图8是表示配设在卸载部5和装载部8上的夹紧解除组件的结构的图。

图9是表示在固定导轨91附近的搬送动作的图。

图10是表示换载组件80和前靠搬送组件82的结构的图。

图11是详细表示换载组件80和前靠搬送组件82的图。

图12是表示换载组件80和前靠搬送组件82的搬送动作的图。

图13是表示换载组件80和前靠搬送组件82的搬送动作的图。

图14是表示在固定导轨71附近的搬送动作的图。

图15是表示从正面观察到的图16中所示的搬送用吊具15a的图。

图16是表示在升降导轨10上搬送的搬送用吊具15a的侧视图。

图17是表示吊具宽度调节装置的结构的侧视图。

图18是表示吊具宽度调节装置的结构的主视图。

图19是从上方观察到的吊具宽度调节装置的图。

图20a是表示现有的搬送用吊具15的结构的图。

图20b是从γ方向观察到的图20a中所示的搬送用吊具15的γ-箭头方向视图。

图20c是搬送用吊具15的中央截面图。

图21是表示锁定杆操作组件204的结构和动作的图。

图22是表示固定组件205的结构和动作的图。

图23是表示旋钮操作组件203的结构和动作的图。

图24是表示吊具宽度调节单元201的结构的图。

标号说明

1：前处理槽；2：镀槽；3：回收槽；4、7：水洗槽；5：卸载部；6：剥离槽；8：装载部；10、12：升降导轨；11、13：固定导轨；15、15：搬送用吊具；17、22：间歇搬送组件；19、24：固定导轨搬送组件；20、25：送出搬送组件；35：滑动部件；44：连接部件；47：被处理物保持部件；100：电镀装置。

具体实施方式

1.表面处理装置和搬送用吊具的结构

本发明的搬送搬送用吊具的表面处理装置的结构与上述图3和图4中所示的结构相同。

如图3和图4所示，表面处理装置100具有导轨10～13，所述导轨10～13用于搬送把持有印刷基板等被处理物的搬送用吊具15，沿着这些导轨设有：用于进行镀前处理的前处理槽1；用于进行电镀处理的镀槽2；用于进行镀后处理的回收槽3和水洗槽4；用于卸下被处理物和缩短吊具宽度的卸载部5；用于除去附着在搬送用吊具15上的镀层的剥离槽6；对结束了剥离处理的搬送用吊具15进行水洗的水洗槽7；和进行被处理物的安装和扩大吊具宽度的装载部8。图3中所示的升降导轨10、12是在将被处理物W(印刷基板等)相对于搬送用吊具15进行安装和卸下、或者使被处理物W浸渍在镀槽2内等时升降的导轨。固定导轨11、13分别是为了依次搬送下降到镀槽2、剥离槽6中的搬送用吊具15而固定于各槽的导轨。作为导轨10～13的材质，在需要通电的部位使用铜和黄铜等金属，在不需要通电的部位使用不锈钢等。

下面使用图2a等说明本发明的搬送用吊具15的结构。如图1所示，本发明的搬送用吊具15除了锁定杆45的配设位置不同以外，从正面观察是与图20a中所示的现有的搬送用吊具相同的结构。即，如图1所示，搬送用吊具15具有：包括保持被处理物W的夹钳48的竿47；一对被处理物保持臂46；与固定导轨11滑动接触的滑动部件35；以及将这些部件连接起来的连接部件44。

作为滑动部件35的材质，是与构成导轨10～13的需要通电的部位的金属不同的金属，并且使用具有导电性的金属材料或镀上了该金属的部件。例如可以举出金、白金、银、不锈钢、铝、铜、青铜或黄铜等各种铜合金等。优选使用耐磨损性好的材质，优选在导轨10～13的需要通电的部位使用铜，滑动部件35优选使用青铜。

图2a是从β方向观察到的图1中所示的本发明的搬送用吊具15的β-箭头方向视图。如图2a所示，被处理物保持臂46由能够调节在搬送方向上的长度(图1中所示的L0)的一对被处理物保持臂46a、46b构成。具体来讲，如图2a所示，一对被处理物保持臂46a、46b插入在设于连接部件44的一个孔中，并且以在相互重叠的状态下滑动接触的方式被容纳。

另外，作为这一对被处理物保持臂46a、46b的材质，分别使用不同的金属(例如铜和黄铜的组合、或含铜率不同的金属)，以便在通电时不会形成胶合或焊接的状态，被处理物保持臂46a、46b和连接部件44的材质也使用不同的金属。作为金属材质，例如连接部件44使用青铜，被处理物保持臂46a使用黄铜，被处理物保持臂46b使用铜。

如图2a所示，由于被处理物保持臂46a、46b以相互重叠的状态被容纳，所以锁定杆45只设在连接部件44的正面(附图中的下侧)，被处理物保持臂46b通过被处理物保持臂46a承受锁定杆45产生的锁定压力。

此外，根据被处理物W的宽度W0和夹持量W1来计算出图1中所示的搬送用吊具15的宽度L0。例如如图1所示，当在被处理物W(宽度为W0)的两端设置夹持量W1的情况下，搬送用吊具15的宽度L0通过L0＝W0-2×W1来计算出。

在滑动部件35的上部固定安装有轴承36，该轴承36安装有与链带39(构成图3中所示的固定导轨搬送组件19)啮合的单向离合器方式的齿轮40。因此，在固定导轨11、13上与链带39啮合的齿轮40能够在前送等时仅向图1中所示的B方向旋转。

图2b中所示的推杆(pusher)抵接面37是与作为搬送用吊具15的搬送组件的间歇搬送组件17、22的推杆16、21(图4)抵接的部分。图2b中的爪抵接部32是与作为搬送用吊具15的搬送组件的定位搬送组件18的搬送爪30(图3)抵接的部分。下面说明所述搬送用吊具15的各搬送组件。

2.搬送用吊具15的各搬送组件

图1中所示的搬送用吊具15在表面处理装置100中由以下的间歇搬送组件17、22、固定导轨搬送组件19、24、定位搬送组件18、23和送出组件20、25搬送(参照图3和图4)。

首先图4中所示的设在升降导轨10、12的上部的间歇搬送组件17、22通过图5中所示的推杆16、21一个节距一个节距地间歇搬送分别位于升降导轨10(c)～(f)、(h)～(k)的位置上的搬送用吊具15。图5是表示设在升降导轨10和12上部的间歇搬送组件17、22的结构的俯视图。

图3中所示的定位搬送组件18沿着固定导轨11设置，定位搬送组件18将从镀槽2的上方下降到被处理物浸渍部2a内的搬送用吊具15(图4中的(x)位置)转移至固定导轨11并前送到(b)的位置，并且将镀槽2内的被处理物W和位于其之前(图4中的左侧)的(a)位置的被处理物W之间的间隔调整为L1(例如L1＝5mm)。

图6表示定位搬送组件18的结构。图6中所示的定位搬送组件18能够沿着沿固定导轨11另外设置的轨道在X、Y方向上前后移动，并且具有在图6A中所示的状态下被弹簧向Z方向施力的搬送爪30。由此在搬送搬送用吊具15时，首先在定位搬送组件18向X方向移动时弹簧缩短，在通过了图2b中所示的爪抵接部32上(图6B的状态)之后，向反方向(图6C中的Y方向)移动，这样搬送爪30勾住搬送用吊具15的爪抵接部32，从而将搬送用吊具15向图3中所示的C方向搬送。这时，定位搬送组件18的移动速度必须比固定导轨搬送组件19的移动速度(即链带39的移动速度)快。此外，剥离槽6侧的定位搬送组件23也具有与图6中所示的上述镀槽2侧的定位搬送组件13相同的结构并进行相同的动作。

固定导轨搬送组件19、24将由定位搬送组件18、23向前送出的搬送用吊具15以维持预定间隔(图4中的L1)的状态(向图3中的箭头C的方向)搬送。

送出搬送组件20、25(图3)将由固定导轨搬送组件19、24分别搬送至(g)(o)位置的搬送用吊具15分别送出转移至升降导轨12、10的(h)、(f)位置。此外，送出搬送组件20、25的结构和动作与图6中所示的定位搬送组件18相同。

3.改良型表面处理装置102的概要

下面使用图7等详细说明对图3中所示的表面处理装置100进行改良后的改良型表面处理装置102。此外，图7中所示的改良型表面处理装置102与图3中所示的表面处理装置100的不同点在于，(i)在剥离槽6的下降位置(相当于图3中所示的(1)的位置)设置换载搬送组件80和前靠搬送组件82，固定导轨搬送组件13不是连续搬送的组件而是间歇搬送的组件，(ii)切除升降导轨10、12的一部分，并另外分别设置切口固定导轨71、91，在装载部8的前方和卸载部5的后方分别设置吊具宽度调整部72、93，(iii)在升降导轨10、12的内侧设置防止搬送用吊具上跳和晃动的卡定导向件110，(iv)改变了搬送用吊具15的连接部件44和滑动部件35等的结构等。

首先说明上述(iv)的改良。通过改变了搬送用吊具15的连接部件44和滑动部件35等的结构的(iv)的改良，能够在抑制因搬送用吊具和导轨的滑动引起的粉尘的产生的同时，还抑制电镀处理时的通电不良，从而能够提高电镀品质。

图16是表示在升降导轨10上搬送的搬送用吊具15a的侧视图。如图16所示，滑动部件35a在升降导轨10的右侧具有引导辊子35b，在升降导轨10的左侧具有引导辊子35c。引导辊子35b与升降导轨10右侧面的下端部滚动接触，引导辊子35c与升降导轨10左侧面的上端部滚动接触，滑动部件35a构成为与升降导轨10仅在升降导轨10的上表面滑动接触。另外，滑动部件35a与升降导轨10的下表面不接触。

通过设置引导辊子35b、35c，减少了滑动部件35a和升降导轨10的滑动接触面积，所以抑制了粉尘的产生。另外，除了设有引导辊子35b、35c，还使滑动部件35a与升降导轨10的下表面不接触，由此，即使升降导轨10的面加工精度不高也不会引起搬送不良，从而能够进行稳定的搬送。

此外，本发明的搬送用吊具15a在镀槽2中进行电镀处理时，从镀槽2的固定导轨11向滑动部件35a通电，该电对连接部件44a、竿47和夹钳48通电。但是，当滑动部件35a和固定导轨11全部是滚动接触时，有时接触部件35a与固定导轨11的接触不充分而产生通电不良。通过使滑动部件35a与导轨的上表面滑动接触，搬送用吊具15a确保了滑动部件35a和固定导轨11的接触面积，从而防止了通电不良。

另外，如图16所示，搬送用吊具15a构成为连接部件44a沿大致水平方向延伸。由此，能够将各处理槽远离导轨10～13进行设置，以使导轨10～13不在各处理槽的开口部上通过，从而能够防止因滑动部件35a和导轨10～13的滑动而产生的粉尘混入处理槽内。

此外，图15是从正面观察到的图16中所示的搬送用吊具15a的图。如图15所示，在本实施方式中，在搬送用吊具15a中，竿47为四根，比图1中所示的搬送用吊具15多了一根竿47。

下面说明上述(i)(iv)的改良。

根据上述(i)的改良，通过由换载组件80和前靠搬送组件82分担在兼用作搬送用吊具15a的存放场所的剥离槽6内进行的搬送用吊具间隔调整作业，即使在缩短了改良型表面处理装置102的升降导轨10、12的升降周期的情况下，也不会引起搬送用吊具15a在剥离槽6的入口部出现搬送堵塞，能够顺利地进行搬送。

另外通过上述(iv)的改良，即使在缩短了表面处理装置102的升降导轨10、12的升降周期的情况下，也能够有富余地进行被处理物(工件)的安装等作业，从而能够可靠地完成被处理物的安装。

如图7所示，改良型表面处理装置102具有导轨10～13(包括切口固定导轨71、91)，所述导轨10～13用于搬送夹持有印刷基板等被处理物的搬送用吊具15a，沿着这些导轨设有：用于进行镀前处理的前处理槽1；用于进行电镀处理的镀槽2；用于进行镀后处理的回收槽3和水洗槽4；用于卸下被处理物的卸载部5；用于进行吊具宽度的缩小调整的吊具宽度缩小部91；用于除去附着在搬送用吊具15a上的镀层并且兼用作搬送用吊具15a的存放场所的剥离槽6；对结束了剥离处理的搬送用吊具15a进行水洗的水洗槽7；进行吊具宽度扩大调整的吊具宽度扩大部71；和进行被处理物的安装的装载部8。此外，在图7中，为了容易理解，只用斜线表示升降导轨10、12。

图7中的局部被切除的升降导轨10一体地升降。此外，在这点上升降导轨12也是同样的。

图8表示配设在卸载部5和装载部8上的夹紧解除组件的结构。如图8所示，夹紧解除组件50由以下部件构成：设在基架40上且位于搬送用吊具15a的右侧的夹钳按压部件50a、按压缸50b；和设在基架42上且位于搬送用吊具15a的左侧的支承板50c和支承缸50d。夹紧解除组件50在搬送用吊具15a和升降导轨12一起下降的状态(图8中所示的位置)下，进行夹持被处理物W的夹钳48的解除。具体来讲，通过使图8中所示的支承缸50d动作来使支承板50c成为与搬送用吊具15抵接的状态，在该状态下通过使按压缸50b动作来使夹钳按压部件50a按压夹钳48，从而解除夹钳48。

此外，在改良型表面处理装置102中，如图7所示，在卸载部5的后方和装载部8的前方分别设有吊具宽度调整部91、71，这在表示表面处理装置100的结构的图3中省略了图示。

使用图17、18和19说明配设在吊具宽度调整部91、71上的吊具宽度调整装置的结构。图17是表示吊具宽度调整装置的结构的侧视图。如图17所示，吊具宽度调整装置由以下部件构成：吊具宽度调节单元201，其设置在基架210a上，该基架210a设在搬送用吊具15a的右侧；和吊具支承组件202，其安装在设于搬送用吊具15a左侧的基架210b上。吊具支承组件202与上述夹紧解除组件50的由支承板50c和支承缸50d构成的吊具支承组件具有相同的结构。

如图17所示，吊具宽度调节单元201由以下部件构成：旋钮操作组件203，其引导着搬送用吊具15a的旋钮49进行吊具宽度的调节；锁定杆操作组件204，其操作搬送用吊具15a的锁定杆45a；固定组件205，其夹持搬送用吊具15a的连接部件44a从而固定搬送用吊具15a；和设置组件206，其将旋钮操作组件203、锁定杆操作组件204和固定组件205设置在相对于搬送用吊具15a能够动作的位置。

如图17所示，设置组件206由以下部件构成：移动台206a，其安装有上述旋钮操作组件203、锁定杆操作组件204和固定组件205；导轨206b，其平滑地引导该移动台206a的移动；和设置缸206c，其使移动台206a移动。

如图18所示，锁定杆操作组件204安装在移动台206的中央上端部，且由开闭缸204a和杆操作件204b构成。

如图21A所示，利用开闭缸204a使杆操作件204b上下动作，如图21B所示，杆操作件204b当克服弹簧的力举起搬送用吊具15a的锁定杆45a时解除锁定。

如图19所示，固定组件205由在移动台206a上夹着上述锁定杆操作组件204安装的一对夹持缸205a和夹持件205b构成。

如图22所示，该固定组件205通过夹持缸205a的动作，使夹持件205b进行缩小或扩大间隔的运动，并夹持搬送用吊具15a的连接部件44a从而将搬送用吊具15a固定。

如图23所示，旋钮操作组件203由以下部件构成：一对旋钮导向件203a，其操作搬送用吊具15a的旋钮49；正时带203b，其使一对旋钮导向件203a进行相互接近或远离的运动；和辊子204b，其驱动该正时带203b以将旋钮导向件203a调整为预定宽度。一个旋钮导向件203a固定安装于在上述正时带203b的上侧行进的部分，另一个旋钮导向件203a固定安装于在正时带203b的下侧行进的部分。此外，203d是导向件，旋钮导向件203a在后端能够移动地与该导向件203d卡合，从而被支承为不会变成前倒状态。

当通过驱动电动机使辊子204b向图23中的C方向旋转时，旋钮导向件203a相互接近地移动，当辊子203c向相反方向旋转时，旋钮导向件203a彼此远离地移动。

当升降导轨10下降、搬送用吊具15a成为图17中所示的状态时，设置组件206的设置缸206c和吊具支承组件202的支承缸202a动作。

这样，吊具支持组件202、旋钮操作组件203、锁定杆操作组件204和固定组件205相对于搬送用吊具15a处于图24中所示的位置。

然后，固定组件205的夹持缸205a动作，夹持件205b夹持并固定搬送用吊具15a的连接部件44a，接着锁定杆操作组件204的开闭缸204a动作，杆操作部204b抬起锁定杆45a以解除锁定，然后旋钮操作组件203的辊子203c旋转，旋钮导向件203a将搬送用吊具15a的旋钮49的间隔调节为预定间隔。

然后，锁定杆操作组件204的开闭缸204a动作，杆操作件204b使搬送用吊具15a的锁定杆45a下降进行锁定，接着固定组件205的夹持缸205a动作，夹持件205b解除对搬送用吊具15a的夹持。这之后，设置组件206的设置缸206c和吊具支承组件202的支承缸202a动作，吊具支承组件202、旋钮操作组件203、锁定杆操作组件204和固定组件205从搬送用吊具15a退避。此外，在下一个搬送用吊具15a搬送来之前，旋钮操作组件203的旋钮导向件203a返回至初始时的间隔，并在以后重复相同的动作。

最后说明上述改良(iii)。根据改良(iii)，当搬送用吊具15a通过升降导轨10的角部时，防止了晃动和上跳，从而能够进行稳定的搬送。

如图16所示，卡定导向件110安装在安装有升降导轨10的框架上。搬送用吊具15a的爪抵接部32被该卡定导向件110压住，当搬送用吊具15a通过升降导轨10的角部时，防止了晃动和上跳。

4.改良型表面处理装置102的搬送方法

由于图7中所示的从前处理槽1到水洗槽4的搬送方法与图3中所示的上述实施方式相同，所以下面说明从卸载部5到装载部8的搬送方法。

首先，下面使用图9说明图7中所示的切除升降导轨12后而设置的固定导轨91附近的搬送动作。

从图7中所示的水洗槽4中拉上来的搬送用吊具15a沿着升降导轨12被搬送至卸载部5的上方(参照图9A)，然后与升降导轨12一起下降。

当在卸载部5卸下被处理物W时，切口位置搬送组件90向图9A中的右方移动，然后在由搬送爪93b勾住了搬送用吊具15a的状态下向左方(图3中所示的搬送方向C)移动，将搬送用吊具15a转移至固定导轨91，然后送至吊具宽度调整部91停止。此外，切口位置搬送组件90是与图6中所示的定位搬送组件18具有相同结构的装置，如图9A所示，切口位置搬送组件90具有两个搬送爪93a、93b。

然后，切口位置搬送组件90向右方移动以便不与上升的升降导轨12接触，然后停在图9A中所示的位置。

之后升降导轨12上升并再次进行与上述相同的动作，如图9B所示，当升降导轨12下次下降时，搬送用吊具15a已经调整了在搬送方向上的宽度(例如将吊具宽度缩小至临时增大后最小的宽度，以去掉附着在被处理物保持臂46上的镀层和污物)，利用另一个搬送爪93a使搬送用吊具15a移至升降导轨12。

如上所述，通过将在卸载部5卸下了被处理物W后的搬送用吊具15a转移至固定导轨91，不再需要根据升降导轨的升降周期来调整搬送用吊具15a的吊具宽度，能够有富余地顺利进行该作业。

转移至升降导轨12的搬送用吊具15a接着由间歇搬送组件搬送一个节距而被搬送至图6中所示的剥离槽6的浸渍位置。下面说明换载组件80和前靠搬送组件82的结构，然后说明在剥离槽6的浸渍位置的搬送动作。

图10是表示图7中所示的换载组件80和前靠搬送组件82的结构的图。图11A是详细表示图10中所示的换载组件80的λ-箭头方向视图，图11B是图10中所示的前靠搬送组件82的详细图。

如图7所示，换载组件80设在剥离槽6的浸渍位置，如图11A所示，换载组件80具有用于将搬送用吊具15a向前送出的两个搬送爪801。另外，设有搬送爪801的移动板802与电动机机构803连接，并能够沿着导轨12、13移动。

另外，如图10所示，本实施方式中的搬送用吊具15a的连接部件44a形成为沿着水平方向向外侧延伸。因此，通过换载组件80的移动，与图6中所示的搬送爪30具有相同结构的搬送爪801能够以勾住连接部件44a的状态搬送搬送用吊具15a。

另一方面，如图11B所示，前靠搬送组件82由驱动链86、固定在驱动链86上的行进台85和防止行进台85成为前倒状态的卡定轨道83构成。如图11B所示，行进台85构成为能够沿着固定导轨13移动，且具有三个与图6中所示的搬送爪30具有相同结构的搬送爪84(以勾住图2b中的爪抵接部32的方式使搬送用吊具15a移动的搬送爪)。另外，在图11B中所示的行进台85的下侧设有用于防止移动时的晃动等的导向辊子87a、87b。

如图12A所示，当通过传感器检测到搬送用吊具15a在剥离槽6的浸渍位置和升降导轨12一起下降时，图10中所示的换载组件80向右方移动，爪801以勾住搬送用吊具15a的状态向左方(搬送方向)移动，将搬送用吊具15a从升降导轨12上向固定导轨13上搬送一个节距并存放。此外，搬送一个节距后的搬送用吊具15a和与升降导轨12一起下降的搬送用吊具15a之间的间隔距离L2在此是20mm。

如图12B所示，当下一个搬送用吊具15a在剥离槽6的浸渍位置和升降导轨12一起下降时，换载组件80同样向右移动并将两个搬送用吊具15a一起移动一个节距。这时通过传感器检测到存放有两个搬送用吊具15a。

然后，当通过传感器检测到下一个搬送用吊具15a从图12C中所示的位置下降至剥离槽6的浸渍位置时，如图13D所示，前靠搬送组件82向右方移动，搬送爪82a、82b、82c分别成为勾住搬送用吊具15a的状态，如图13E所示，搬送用吊具15a以维持预定距离L2的间隔的状态向左方移动，从而使搬送用吊具15a移动到固定导轨搬送组件24上。

如图13F所示，当由传感器检测到搬送用吊具15a已被搬送到与先前的搬送用吊具的间隔为预定距离L2的位置上时，前靠搬送组件82停止。然后，固定导轨搬送组件24使搬送用吊具15a移动至下降了的升降导轨10以进行转移。此外，在图7所示的改良型表面处理装置102中，没有像图3所示的表面处理装置100那样在剥离槽6的上拉位置设置送出搬送组件25，但是也可以设置该送出搬送组件25。由此能够根据升降导轨10的升降周期可靠地进行搬送用吊具15a的转移。

如上所述，在将搬送用吊具15a向前送出到成为预定距离L2的位置的前靠搬送组件82返回之前，换载组件80将搬送至剥离槽6的浸渍位置的搬送用吊具15a临时从升降导轨12转移至固定导轨13存放，因此即使升降导轨12的升降周期缩短，也能够容易地防止搬送用吊具在剥离槽6的入口部堵塞。

另外，虽然换载组件80和前靠搬送组件82分别设有多个搬送爪，但是也可以只设置一个搬送爪。

然后，在下面使用图14说明在图7中所示的将升降导轨10切除后设置的固定导轨71附近的搬送动作。

在上述剥离工序后，从进行吊具剥离后处理的水洗槽7拉上来的搬送用吊具15a沿着升降导轨10被搬送到吊具宽度调整部72的上方(参照图14A)，然后和升降导轨10一起下降。

当通过吊具宽度调整部72将搬送用吊具15a的吊具宽度调整为预定的宽度时，切口位置搬送组件70向图14A中的右方移动，并在通过搬送爪73b勾住搬送用吊具15a的状态下向左方(图3中所示的搬送方向C)移动以便转移至固定导轨71然后停止。此外，切口位置搬送组件70是与图6中所示的定位搬送组件18具有相同结构的装置，如图9所示，切口位置搬送组件70具有两个搬送爪73a、73b。

接着，切口位置搬送组件70向右方移动以便不与上升的升降导轨10接触，然后停在图14A中所示的位置。

然后，升降导轨10上升并再次进行与上述相同的动作，如图14B所示，当升降导轨10下一次下降时，被处理物W已经被安装在搬送用吊具15a上，利用另一个搬送爪73a使搬送用吊具15a转移至升降导轨10。

如上所述，通过将由吊具宽度调整部72把吊具宽度调整成预定宽度的搬送用吊具15a转移至固定导轨71，能够使向装载部8搬送搬送用吊具15a时的升降时间充当被处理物W的安装时间，即使缩短升降导轨的升降周期，也能够有富余地进行被处理物W的安装作业。因此，在由作业人员进行被处理物W的安装的情况下，也能够防止被处理物W的安装不能完成，或者能够相对于搬送用吊具15a提高被处理物W的安装位置的精度。

相关申请的交叉参考

将日本专利申请特愿2006-75978的专利请求的范围、说明书、附图和摘要的内容组合到本申请中。

Claims (7)

1、一种搬送用吊具，其具有被处理物保持臂，该被处理物保持臂设置成能够滑动以便能够调节吊具宽度，并且在该被处理物保持臂上设有把持被处理物的被处理物保持组件，其特征在于，

使用不同的金属材质形成上述被处理物保持臂和与上述被处理物保持臂滑动接触的部件。

2、一种搬送用吊具，其包括：

一对被处理物保持臂，其设置成能够滑动以便能够调节吊具宽度，并且在该被处理物保持臂上设有把持被处理物的被处理物保持组件，

滑动部件，其与导轨滑动接触；和

连接部件，其将上述滑动部件和上述被处理物保持臂连接起来，并且使上述被处理物保持组件对被处理物的保持位置在上述导轨的侧方，

其特征在于，

上述一对被处理物保持臂构成为插入在设于上述连接部件的孔中，并以相互重叠的状态滑动，

上述一对被处理物保持臂和上述连接部件分别使用不同的金属。

3、根据权利要求2所述的搬送用吊具，其特征在于，

上述滑动部件与上述导轨的上表面滑动接触，并与上述导轨的侧面滚动接触。

4、一种搬送用吊具的搬送方法，其是表面处理装置的搬送用吊具的搬送方法，该表面处理装置具有能够根据被处理物的尺寸调节吊具宽度的搬送用吊具、和引导该搬送用吊具的升降导轨，其特征在于，

设置固定导轨，并在该固定导轨上配置装载部，当上述升降导轨降下时，该固定导轨的起始端部和终端部与上述升降导轨连续，

并且当上述升降导轨降下时，通过吊具宽度调整部调节搬送用吊具的吊具宽度，然后将该搬送用吊具从上述固定导轨的起始端部转移至上述固定导轨，并送至上述装载部，

然后在上述升降导轨降下时，把送至上述装载部的搬送用吊具从上述固定导轨的终端部转移至上述升降导轨。

5、一种搬送用吊具的搬送方法，其是表面处理装置的搬送用吊具的搬送方法，该表面处理装置具有能够根据被处理物的尺寸调节吊具宽度的搬送用吊具、和引导该搬送用吊具的升降导轨，其特征在于，

设置固定导轨，并在该固定导轨上配置吊具宽度调整部，当上述升降导轨降下时，该固定导轨的起始端部和终端部与上述升降导轨连续，

并且在上述升降导轨降下时，在卸载部调节搬送用吊具的吊具宽度，然后将该搬送用吊具从上述固定导轨的起始端部转移至上述固定导轨，并送至上述吊具宽度调整部，

然后在上述升降导轨降下时，把送至上述吊具宽度调整部的搬送用吊具从上述固定导轨的终端部转移至上述升降导轨。

6、一种表面处理装置，其沿着环状导轨搬送搬送用吊具，该环状导轨由升降导轨和固定导轨构成，当升降导轨降下时，升降导轨与固定导轨连续，其特征在于，

上述表面处理装置包括：

换载组件，其在升降导轨降下时将搬送用吊具转移至固定导轨并将其存放在固定导轨上；

前靠搬送组件，其将通过上述换载组件存放的搬送用吊具搬送至与先行的搬送用吊具隔开预定距离的位置；和

固定导轨搬送组件，其在维持了上述预定距离的状态下搬送上述固定导轨上的搬送用吊具。

7、根据权利要求6所述的表面处理装置，其特征在于，

上述换载组件隔开上述预定距离地存放多个搬送用吊具，上述前靠搬送组件在维持了上述预定距离的状态下搬送上述多个搬送用吊具。

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