CN101052859B

CN101052859B - 输出测量值的方法和显示装置

Info

Publication number: CN101052859B
Application number: CN2005800329094A
Authority: CN
Inventors: H·费希尔
Original assignee: Immobiliengesellschaft Helmut Fischer GmbH and Co KG
Current assignee: Immobiliengesellschaft Helmut Fischer GmbH and Co KG
Priority date: 2004-09-30
Filing date: 2005-09-30
Publication date: 2010-09-29
Anticipated expiration: 2025-09-30
Also published as: JP2008514935A; US8560269B2; CN101052859A; DE102004052302B4; EP1797398B1; WO2006034874A1; DE102004052302A1; US20080262792A1; EP1797398A1; JP4856647B2

Abstract

本发明涉及在显示装置的显示器(27)上输出测量值的方法。依据所述方法，由至少一个检验主题(11)的测量装置(24)记录的测量值被传送至信号处理装置；在检验主题(11)的每一个测量点(14-21)处检测测量值，或者在检验主题(11)的每一个测量点(14-21)处检测多个测量值；从被检测的多个测量值确定在每一个测量点(14-21)的平均值；依据包括电子计算机的分析装置中的平均值等级对至少一个检验主题(11)的各测量点(14-21)的平均值进行分类，并且在显示器(27)上与上、下边界线一起显示所述平均值。

Description

输出测量值的方法和显示装置

技术领域

本发明的主题涉及输出测量值的方法以及显示装置，尤其涉及在进行质量检验时输出测量值的方法。

背景技术

对于客户的满意度而言在以下的制造过程中实施质量控制具有十分重要的意义，例如：在交货之前用油漆对主体进行涂覆，而在某些情况下，也是为了产品的安全性。此外，对交付产品实施严格的入口控制，以确保所交付的是符合质量要求的产品部分，以及在某些情况下交付的符合安全性的产品部分，而没有去进一步处理存在问题的产品。这种质量控制必须在很短的时间实施。同时必须能够快速报告检验主题的质量，以便降低质量控制的成本。有用的方法是获取来自通过以被处理和输出的检验主题的一个或多个测量值。获取确定的数据，并以清单输出。然而，用户可以简单和快速地了解获取的测量值是否参照公差符合规定。存在对确定值和需要值的复杂的各个比较的需要，以便将坏的部分与好的部分分离。这具体地是以下情况：利用该测量方法，其中经由测量装置电获取测量信号，并在显示器中通过信号获取输出。然而，不可能用于被分配至测量点或测量表面的单独的测量值。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种用于输出测量值的方法，以及用于实施该方法的显示装置，该方法在实施多个单独测量之后可以立即报告检验主题的质量。

根据本发明的在显示装置的显示器中输出测量值的方法，其中通过测量设备获取一或多个检验主题的测量值，在检验主题的多个测量点获取一个测量值或者在检验主题的多个测量点获取多个测量值，为从所获取的测量值数目中的每一个测量点确定平均值，并在一个包含电子计算机的分析装置中对一或多个检验主题的各测量点的平均值按照等级进行分类，并在轴上标绘出平均值。

根据本发明的显示装置，用于实施上述的方法的显示装置，其特征在于：设置针对一测量设备的连接端子以实施单独测量，以及针对单独测量的测量信号的测量值的信号获取装置，该单独的测量分别与检验主题的测量点相关，并具有分析装置，该分析装置包括电子计算机并获取具有一个或多个检验主题的一个或多个测量点处的一个或多个测量值的多个测量序列，该分析装置从在测量点处的多个测量值中确定平均值，并以在图上投影于直线的方式输出所述平均值，在所述图中通过辅助轴标出了这些平均值，而且按照等级分类这些平均值；一测量设备设置在所述的连接端子处，该测量设备被设计成测量探针并用于测量薄层的厚度。本发明的方法具有非常快速地允许对检验主题的质量报告的优点。实施检验的人员可以在实施测量之后立即认识到依据预定的质量条件，检验主题或检验主题的单元是否满足各种需要。

在已经实施测量，并且通过经多个步骤的运行已经检验测量值之后，在显示器中输出其中将单独的测量序列的平均值分配至轴的图。因此为了简单的分析而提供测量结果的第一可视化。

依据该方法的优选的实施方案，提出在轴上标记之后，将平均值投影于直线上。经由最小和最大平均值之间的辅助轴形成该直线，在辅助轴上标绘等级值或测量序列和/或随机采样。同时，该平均值具有对上和下极限值或极限线的比率。因此，立即实施检验，检验主题是否满足事先规定的需要，也就是说，平均值是否位于极限值内部，部分位于极限值之外，或极限值之外。直线上平均值的表示允许通过多个并列平均值均匀产品的识别。通过从平均值或一组平均值沿着直线平均值的较大距离同样标绘偏差，并因此立即可识别。

依据本发明的优选的实施方案提出关于依据等级值或通过测量序列的规格标绘的直线上的每一个平均值显示置信区间。置信区间例如对应于三倍的标准偏差。因此，关于直线双曲线运行置信区间的上和下边界，在该直线上标绘等级平均值。因此，在上和下极限线附近，具体地，除了置信区间的检测期望值或极限值之外，可以检测单独的测量仍然位于置信值或极限线之内或之外的程度。此外，通过回归线可以显示置信区间。

依据本发明的进一步优选的实施方案，提出在显示器上显示位于置信区间的极限范围中或置信区间之外的检验主题的测量值，优选自动地，或基于来自用户的请求，通过激励操作员面板上的键。一旦显示位于极限范围中或置信区间之外的检验主题的测量点，人员可以立即识别有问题的位置，并如合适地组成进一步的测量。例如，在其中外壳或主体被油漆的正在进行的制造过程中，当测量多个单元以直接检测单元时，它变得可能，其例如具有过度厚或过度薄的油漆层。因此可能用于被直接作为合适直接被重新调整的各个工艺参数，同时运行制造。如果被包括的是被检验的供给部分，供给者可以立即通知被再制的位置或区域。如果检验主题仅包括一个测量点，并且已经在检验序列或随机采样中连续地检验多个检验主题，以及平均值的至少一个等级值位于邻近区域的极限范围之外或邻近区域之外，可以精确地确定和拒绝检验主题或单元，或可以对应地校正和重新调节产品。类似的报告适用于位于上和下极限值之外的测量值。

依据本方法的优选的实施方案，提出以来自位于置信区间或上和下极限线内部的等级值的颜色和/或形状的偏离形式在显示器中将位于上和下极限值之外或置信区间之外的等级值显示给用户。人员具有通过等级值的光学高亮发信号的附加模式，或者与其相关的单独的测量值，位于范围之内或之外。有利地提出通过颜色加信号高亮位于置信区间之外的等级值，例如通过颜色和/或阴影的红色和/或对应的背景，通过对应的显示识别位于置信区间或上和下极限线内部的等级值，阴影和/或背景，例如以绿色形式。通过第三颜色，阴影或其它识别可以附加显示上和下极限线。

依据本发明的进一步优选的实施方案，提出显示关于各个平均值的测量值的分散。通过在平均值上和下延伸的条显示该分散，并包括测量序列的最大和最小测量值。因此可能允许更精确的分析和分析。当通过一点一点优化其质量的产品在途中时，为了通过扩大或减小这种条的设置可以更精确地推断和访问各个参数。

置信区间或标准偏差有利地被设置成预定的百分比。因此确定全部测量值的百分比被采用为“好的部分”，并且剩余的百分比位于预先描述的公差之外。置信区间因此规定被认为是可允许的平均值中的分散。

在用于确定结果的进一步的方法步骤中，提出对单独的测量值的正态分布检测每一个测量序列。这种检验确定是否存在测量序列的测量值之间的显著差别，并且用于分析测量结果的随后步骤具有一个基础，该基础是假定以高概率将测量序列的平均值分配给每一个测量值。

在用于分析测量结果的进一步有利的步骤之后，提出检验测量序列的方差的同质性。用于测量序列的测量值的正态分布的该检验和之前检验可以形成预处理，是否可能实施方差分析或分散分解。在同质性方差的情况中，也就容易说还没有确定显著的差别，随后可能实施方差分析，从而形成同质子集合。当在平均值之间确定显著的差别时，形成同类集合，其被进一步的方法分成这种子集合。通过这种集合形成可能进行简单的报告：平均值是否是可比较的，可以说是否基于比较多个被涂敷的主题或施加层厚度的系统，发现可比较的层厚度或条件，以及是否需要任何调节或校正。

依据本方法的进一步优选的实施方案，提出在进一步的步骤中，在测量值的正态分布的检验和方差的同质性的检验之后，对单独的测量序列或测量点的平均值实施显著性检验。显著性是可变的，属于置信水平，并允许进行报告：每一个测量序列的平均值是否属于彼此。只要条件一满足F_Beob＞F_tab，就获得显著性，F_Beob源自方差II

(相对于取决于测量

序列数量的全部测量序列的平均值的每一个测量序列的平均值的和)和方差I(取决于单独测量的数目的各个平方标准偏差的和)

的商。通过各种方法可以实施该显著性检验，服务形成同质性子集合的用途。利用相同的标记和/或颜色可以显示被赋分配子集合的这种平均值，以使集合中的各个平均值的组成全体立即变得对浏览者明显。

依据本方法的进一步优选的实施方案，提出检验时间的测量点的单独的测量的数目是相同的。平衡分析涉及给出对检验主题的每一个测量点的单独的测量的相同数目。可替代地，可以提出每一个测量点需要单独的测量的不同数目是涉及的。无论什么时候最需要未平衡的分析，例如结合相同外壳上的大表面检验外壳上非常小的表面，并且小表面仅允许测量点的小的数目。

在显著性检验之后，通过输出彼此并非明显不同的平均值，可以立即对用户显示，单元，具体地，不同的检验主题，或者属于对应的等级值的子区域。进一步地，显著性检验可以确定平均值形成子集合，并且依次本质上同质。各种子集合因此被用于去除干扰，以使具有涂层的部分位于公差之内，并且系统误差是否存在。

同时，通过规定极限，可以确定哪一个单元或产品需要校正，例如在控制卡片的基础上。根据等级在其上标绘平均值的直线的梯度可以管理产品。制造方法理想地在控制下，只要在各个单元或子区域之间可以证明没有进一步显著的差别。因此可能消除单元之间的系统差别。这意味着在检验油漆层的情况中，例如单元具有区域，该区域具有相同厚度的油漆层，考虑随机采样，通常，不对应于各个目标的相同单元，或者部分对应。

在起动一系列制造之前，最好以试运行或初步运行的方式进行显著性检验。因此可能为了制造主题而优化工艺过程的设置。因此，当起动或运行一系列制造的时候避免损失。通过在沿着Y-轴的公共区域中按照相同标记或者颜色显示彼此并非明显不同的平均值，使得检验人员立即识别出上述工艺处于哪一个质量级别。一旦以相同的颜色或在公共区域中显示出这些平均值，那么对将要检验的工艺过程、一系列制造等等的初步运行进行优化设置。如果显示平均值被赋予的不同颜色或不同区域，存在重新调整的需要，通过适应显著不同的平均值，其可能有助于提升工艺能力，并因此把损失降到最低。

通过如上所述的显示装置实现本发明的目的。该显示装置包括可将测量设备连接至其上的连接端子，从而实现单独的测量。在分析装置中获取单独的测量值，在显示装置中提供该分析装置，并具有电子计算机，并且被分别分配给测量序列。分析单元利用测量序列的多个单独的测量，以确定在辅助轴上标绘平均值的情况中，以投影于在图中的直线上的形式输出平均值。质量检验的结果因此对操作人员或检验人员清楚可见。

依据本发明的优选的实施方案，提出被设计成测量探针的测量设备，用于测量设置在连接端子处的薄层的厚度。可以实施层厚度测量，例如通过磁感应方法，其中例如检测铁磁基础材料上的非磁层，例子是锌，铬，铜，锡和/或油漆，清漆，塑料，搪瓷，铁或钢等。类似地，可以实施所谓的涡电流方法，其中确定不含铁金属上的非电传导层，比如油漆，清漆或铝上的塑料，黄铜或锌以及铝上的阳极氧化层。本发明的显示装置不局限于此，并且可以同样地包括利用X-射线荧光方法或进一步的辐射方法以及微硬度测量系统等用于测量层厚度的测量设备。用于获取测量值的进一步的检验探针或检验单元可以同样被连接至显示装置。

依据显示装置的进一步优选的实施方案，提出测量设备被集成进入显示装置中。测量设备适于单独的测量任务。结果，提供测量单元，其允许简单的处理和检验主题的质量的合格声明。

附图说明

下面借助在附图中描述的例子的帮助更详细地描述和解释本发明和进一步优选的实施方案和其发展。依据本发明的各个本质可以应用从描述和附图中收集的特征，或分别以任何期望的组合。在附图中：

图1示出了检验主题的示意性描述，

图2示出了来自单独的测量的获取的测量值的图，

图3示出了依据图2单独的测量的表，

图4示出了按照等级顺序表示的图3单独测量的平均值，

图5a示出了图，其中通过相同的标记表示并非明显不同的平均值，

图5b示出了进一步的图，其中减小了并非明显不同的平均值，以及

图6示出了图，其中依据对于多个检验主题的等级描述平均值。

具体实施方式

以示例的方式，在图1中示出以外壳为形式的检验主题11。这也可以例如是水的主体，陆地或空中交通工具或其它主题。该检验主题11例如被涂敷，并且该检验主题11的质量检验需要预先描述的均匀层厚度在公差范围中被施加至检验主题11。提出为了检验检验主题11的用途，监控多个测量范围或测量点，例如六个。这些包括前侧14，上侧16，横向表面17和开口21中的卷边18和19，以及上侧16上的保持凸缘22。依据包括被检验的各个表面的蝴蝶图，以预先描述的顺序一个接一个地检验各个表面或测量范围。例如，目的是为了获取测量值而在每一个测量点14，16，17，18，19，21处实施十个单独的测量。通过交叉描述测量点。通过用于测量层厚度的测量设备24的测量探针23实施单独的测量。也可以实施相同测量点处测量序列的单独的测量的数目。测量设备24经由连接端子被连接至显示装置26，或被连接进显示装置26，或被集成进显示装置26中，或反之亦然。显示装置26包括具有电子计算机的至少一个分析装置，显示器27，其中与进一步的数据一起分析从单独的测量确定的测量值，从而分析质量检验，并在显示器27中获取和显示，并且也可以为了各种参数而被询问。为了起动显示装置26而提供操作员界面28。

通过以μm的层厚度的例子，图2描述了通过在x-轴上标绘单独的测量的数目，以及在y-轴上标绘获取的测量值，在显示装置26上的显示器27中被输出的图。所述的测量序列1在前侧14上示出了测量，在上侧16上的测量序列2等。

在图3中，通过例子示出的测量序列1至6中的单独的测量值以表格的形式被分配给每一个测量点14至21。关于测量序列是否满足正态分布，在第一步骤中进行检验。从每一个测量序列1至n确定平均值和相关的标准偏差。标准偏差被用于确定例如等级1和等级2是否彼此显著不同，或它们是否并非明显不同，并且可以形成均匀的子集合。优选对每一个测量点14至21获取测量值的相等数值，从而形成平均值。等级的确定因此根据被平衡的平均值。可替代地，也可以从未平衡的平均值形成等级值。偏差的显著性作为其函数而被分析。

为了获得对检验主题11的表面上层厚度的质量或被检验的参数和/或变量的报告，在进一步的步骤中，通过等级分类每一个测量点14至21处单独的测量值的平均值，并被投影于直线30之上。最高和最低平均值对延伸于其之间的直线30形成起始点。在显示器27中输出依据图4的图的描述。x-轴可以示出等级1...n，并且y-轴示出层厚度。x-轴优选表示特征轴，也就是说在它上面标绘测量序列的数目。这允许简单的结论。

显示器27也描述了形成关于依据特征35的预先描述的期望层厚度的公差带的上极限值32和下极限值33。这些上和下极限值32，33是关于可允许的百分比或绝对偏差的规定的函数。

对于每一个平均值，通过垂直条37描述关于从那里确定的平均值的测量点14至21处单独的测量值的分散区。在这种情况中，沿着条37交替地描述形成测量点的测量值的各个点。等级值3和7的条37示出存在单独的测量的非常大的分散区，其甚至部分位于置信区间之外。

来自彼此的各个等级值或一组等级值的各个间隔显示出在单独的测量点14至21处确定的层厚度的高或低均匀性。例如，范围I中的等级值1示出所述等级值明显地偏离范围II中的等级值2至7。因此可以直接确定等级值1涉及明显地偏离剩余测量点的测量点。根据假定，以各种方式执行对各个子集合的各个平均值的分配。例如，如果对全部测量序列获得单独的测量的正态分布，对单独的测量序列的方差的同质性随后进行检验。如果在该检验中没有确定显著性，随后执行未平衡的方差分析。如果通过该未平衡的方差分析确定显著性，执行划分集合。再划分集合不再另外发生。如果检验确定测量序列的方差的同质性的显著差别，实施进一步的检验，其依次根据显著性的确定固定子集合。

如果在检验全部测量序列的正态分布时，有至少一个测量序列不是正态分布的，那么执行进一步的检验以确定显著性。如果在测量序列的情况下确定了显著差别，对检验系列的方差的同质性执行更新检验。在确定了显著性和确定不存在显著性的情况下，利用其之后的交叉表方法实施再划分集合。在被制备的成品的情况中，固定子集合使得可以在制造产品时更容易对系统误差的产生或确定过程中的各个参数进行再调整。

通过等级值对平均值的分配和通过依次对测量序列的后者的分配，测量点被概括，该结果产生简单和快速的分析。因此可能例如以简单的方式确定外壳的前侧具有过度薄的清漆层，并且等于零的位置因此被重新设置。

范围II示出基本上在从彼此规则的间隔处设置等级值，以便存在参照层厚度的平均值的高均匀性。平均值因此被带进彼此的关系，当被分析，并且不彼此显著不同时。从直线30的梯度可以看出，平均值全部位于上和下极限值32和33中。直线30的梯度越平坦，相对于期望值彼此中平均值的公差就越低，并且制备的产品的均匀性就越高。

如果平均值位于期望值附近，并且具有平坦或等于零的梯度，在检验主题11的制造中获得高质量步骤。

通过例子，在等级值1的情况中附加描述正态分布。对每一个等级值1至n分类该正态分布，并且可有利地被分别询问。因此，通过正态分布可以附加描述平均值周围的分散区。

对于单独的测量值的置信区间可以形成对每一个中点的基础。各个值的置信区间显示出通过特征38，39被描述的双曲线形状。这例如对应于三倍的标准偏差，并关于各个平均值被标绘。

图5a描述了线图，其中通过相同的标识符A，B，C等描述彼此并非明显不同的平均值。例如通过不同的颜色或符号沿着直线标记平均值。因此可以看出，等级1至3的平均值，等级4和5的平均值，等级6和7的平均值和等级8和9的平均值不彼此显著不同，但是等级值的各个集合A，B，C，D本身明显彼此不同。取代着色，也可以利用沿着直线30的不同符号描述。提出依据优选可替代的实施方式，沿着纵座标示出以条为形式的表示将其提供；它在来自不彼此显著不同的平均值的范围上延伸。此外，它可以有利地提供：作为水平直线的相同颜色的定向帮助，对各个子集合描述子集合平均值，并且在测量值轴上作为相同颜色的条输出子集合的测量值范围。通过例子，沿着图5a中的纵坐标输出四个集合A至D。操作人员因此立即示出没有最佳设置工艺。当最佳设置该工艺时，对等级值显示仅一个标识符、条、或仅一种颜色。

可以实现依据图5a的这种结果，例如对于预先成品制备或初步运行。为了提高工艺可靠性，例如从上范围向下控制等级8或9。这意味着向下校正负责等级8或9的平均值基于的测量点的工艺参数，以使在清漆层厚度的测量的例子中，提供具有较小清漆厚度的测量点。当一旦再次实施测量时，例如依据图5b中的显示的结果，可以从那里获得结果。从那里清楚地，不彼此显著不同的平均值已被减小至三个子区域B，C，D或三个相关的单元。直线30的梯度连续减小。这直接清楚表示已经提高了工艺能力。

在下一个步骤中可以对应地提高等级1，2和3。这意味着清漆层具有增加的层厚度。该系统方法使其清楚：可以精确地推断引起被分析的各个工艺参数，并且其因此引起工艺参数的快速设置。

此外，通过这种表述可以进行报告：直线30的整个过程是否太高或太低。直线30的梯度和涉及期望的平均值的其位置的表述允许对其的快速报告。

也可以为了实施随机采样而选择在图5a和5b中选择的显示，从而显示哪一个相同的单元或不同单元的子区域，或者检验主题包括彼此并非明显不同的各个值。可以因此检测需要被校正的制备周期中的倾向或趋向。

通过这种显示来自它们的组合的类似单元的整体图，或者换句话说，以明显的方式显示彼此不同的单元，以使用户有针对性地介入制备工艺，并且如果合适就进行优化和重新调整。

依据图6的显示示出依据在以图组合并在显示器27中显示的多个检验主题11的图4的特征的情况中的图。这允许不同的检验主题11之间如此比较：常常涉及单独的测量点。在图中的x-轴上标绘等级顺序，同时不在依据图4的显示器中，y-轴标绘来自小于期望值确定的实际值的以μm的偏差。零线对应于依据图4中的特征35的期望值。可替代地，等级值也可作为特征轴或作为中性轴被输出。

显示器27通过例子示出四个特征42，43，44和46，该四个特征42，43，44和46通过例子分别显示对四个不同的检验主题11的十一个测量序列。从特征42，43，44和46的不同过程可以看出：检验主题11满足需要，并且检验主题或者它们的单独的测量点位于可允许的公差之外。特征43具有非常平坦的梯度，并因此仅包括来自期望值的平均值的稍微偏差。该特征43以及特征42和44分别位于上和下极限值32，33之间的公差内。特征46示出等级值10位于上极限值32上，并且等级值11位于上极限值32之外。在等级值10的情况中，依据正态分布，测量值的范围位于公差带中，而置信区间的另一半位于上极限值32之外。

附加信息的主题是等级值10和11是被定义为不良部分的异常值。从涉及平均值的分散区的显示清楚地，等级11的测量值不位于可允许的极限线32，33之内。显示器27可以用于直接推断：引起特征43的检验主题11源自供给该质量产品的供给器。依据特征42和44，检验主题11被分类为比依据特征43的检验主题更不良的质量。然而，从置信区间的考虑，这些仍然位于上和下极限值32，33中。依据特征46的检验主题11位于质量范围之外，并被分类为不良部分。

如果关于被确定的平均值，通过特征38和39描述的置信区间分别位于上和下极限值32，33中，可以假定好的部分。这种显示器27允许对考虑产品的一个或多个测量点处单独的测量的产品性能的快速报告。通过来自公差的商的参数c_p或上和下极限值32，33，以及置信区间进一步特征化产品性能。对特征值c_p＜1获得不可预测的过程结果。该目的因此是获得等于或大于一的特征值。然后可以统计地预测过程结果。这提出可能去除涉及误差的原因的具体结论。该目的优选是c_p＞3的特征值。

能够从测量序列获得的进一步的质量标准是类似检验主题11的单独的测量点的等级交替频率。来自对于各个检验主题11的单独的测量点的平均值的等级顺序的等级交替频率越低，检验主题11的质量越均匀。在涂敷的检验主题11的情况中然后可能去除干扰，通过具有基本上相同的层厚度的检验主题的具体测量点获得实质上相同的工艺环境。

根据来自单独的测量的平均值的前面的形成，以及通过等级值的分类，依据图4和5的值的输出允许各个检验主题11的快速和简单的分析。

本发明的方法也具体用于统计过程控制。例如，通过利用预定时间间隔中的随机采样检验预定数量的部分。

可以在完全不同的领域中应用检验主题11和测量任务或监控。例如在测量目标处可以获得取决于时间的变化。这允许是这种情况，例如对通过UV光或介质的涂敷的作用。状态的这种改变或状态的进一步的改变可同样被确定和检验。因此也可以找到对分析的时间因素的开口，除了仅实际被确定的因素之外。

作为应用的进一步的例子可以检验和监控设备或系统的同步性。同样适用于运动路径的检验或操纵者的重复精确度，或自动装配工亿的精确度。

通过实施单独的测量和一个或多个测量目标的测量序列的多个连续的分析步骤，上面指定的方法以非常简单的方式描述了随机采样的平均值可彼此进行比较，并因此合成整体，并且该平均值形成位于预先描述的公差之外的各个子集合。涉及子集合的相关值可被容易地校验，以相应地进行校正。

上面描述的所有特征分别对于本发明而言是必需可少的，并且可彼此可以进行任意的组合。

Claims

1.在显示装置(26)的显示器(27)中输出测量值的方法，其中通过测量设备(24)获取一或多个检验主题(11)的测量值，在检验主题(11)的多个测量点(14至21)获取一个测量值或者在检验主题(11)的多个测量点(14至21)获取多个测量值，为从所获取的测量值数目中的每一个测量点(14至21)确定平均值，并在一个包含电子计算机的分析装置中对一或多个检验主题(11)的各测量点(14至21)的平均值按照等级进行分类，并在轴上标绘出平均值。

2.如权利要求1所述的方法，

其特征在于，

在轴上标绘出平均值之后，把这些平均值投影于形成在最小和最大平均值之间的直线(30)上，所述最小和最大平均值通过测量点或测量序列的等级值标绘出。

3.如权利要求2所述的方法，

其特征在于，

对在直线(30)上的每一个平均值显示一置信区间，在所述置信区间上依据等级顺序标绘出平均值。

4.如权利要求3所述的方法，

其特征在于，

在显示器(27)上显示位于置信区间的极限范围中或置信区间之外的检验主题(11)的测量点或测量值。

5.如权利要求3所述的方法，

其特征在于，

为了在显示器(27)中获取上和下极限线(32，33)之外或置信区间之外的等级值，而以与处于置信区间内或上和下极限线(32，33)内的至少一个等级值偏离的方式向用户显示和表示。

6.如权利要求1所述的方法，

其特征在于，

显示对于涉及各个平均值的测量值的分散情况。

7.如权利要求3所述的方法，

其特征在于，

所述置信区间被设置为一预定的百分比。

8.如权利要求1所述的方法，

其特征在于，

按照单独测量值的正态分布检验每一个测量序列。

9.如权利要求1所述的方法，

其特征在于，

检验这些测量序列的方差同质性。

10.如权利要求1所述的方法，

其特征在于，

一个检验主题(11)的每一个测量点的测量值的数目相同。

11.如权利要求1所述的方法，

其特征在于，

对各个单元或测量点(14至21)的平均值进行显著性检验，而且把并非彼此明显不同的平均值形成一同类集合，并在沿着Y-坐标的区域中利用相同的标识符和颜色进行显示，或以投影于直线(30)上的形式进行显示。

12.如权利要求1所述的方法，

其特征在于，

在启动一系列制造之前的试运行中实施平均值的显著性检验。

13.显示装置，用于实施如权利要求1至11之一所述的方法的显示装置，

其特征在于：

设置针对一测量设备(26)的连接端子(29)以实施单独测量，以及针对单独测量的测量信号的测量值的信号获取装置，该单独的测量分别与检验主题(11)的测量点(14至21)相关，并具有分析装置，该分析装置包括电子计算机并获取具有一个或多个检验主题(11)的一个或多个测量点(14至21)处的一个或多个测量值的多个测量序列，该分析装置从在测量点(14至21)处的多个测量值中确定平均值，并以在图上投影于直线的方式输出所述平均值，在所述图中通过辅助轴标出了这些平均值，而且按照等级分类这些平均值；

一测量设备(24)被设置在所述的连接端子(29)处，该测量设备(24)被设计成测量探针(23)并用于测量薄层的厚度。

14.如权利要求13所述的显示装置，

其特征在于，

所述测量设备(24)被集成在显示装置(26)中。