CN101024212A - 涂胶装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种涂胶机，在设置多个能沿着一个方向往复移动的门型框和沿着门型框的长边方向移动的涂敷头，在设置成与涂敷头上设置的喷嘴的喷射口相对的台上放置基板，从喷射口向基板上喷胶的同时，使基板与喷嘴的相对位置关系发生变化，在基板上涂敷所希望形状的胶图形的涂胶机中，具有在台架一侧直线形地配置的馈电线与门型框一侧设置的受电芯子之间利用电磁耦合进行非接触馈电的结构，为了与移动的门型框进行控制信号的传输，在地面一侧的光通信单元与可动一侧的光通信单元之间设置半反射镜，使得能够与移动方向不同的可动部分之间进行信号的收发。

Description

涂胶装置

技术领域

本发明涉及在平板的制造工艺中，在基板上涂敷所希望形状的胶的涂胶装置。

背景技术

作为现有技术，如在特开2002-346452号公报中所示的那样，把玻璃基板放置在固定台上，且配置成使得对于玻璃基板的主面，与安装在能够沿着X轴方向移动的门型框上的、能够沿着YZ轴方向移动的涂敷头的喷嘴喷射口相对，通过从该喷射口向该基板上喷射充填在胶收容筒中的胶的同时，使该基板与该喷嘴的相对位置关系发生变化，从而在该基板上涂敷所希望形状的胶图形。在该特开2002-346452号公报中，具有玻璃基板尺寸向大型化发展，涂敷头的涂敷范围也在扩大，且设置有多个涂敷头的结构。由此，从固定外部控制盘连接到门型框的动力线、信号线等电线束、空气压式管路增加，跟随门型框的电缆根数也增加。

另外，如在特开2001-211501号公报中所示的那样，公开了为了令电力布线非接触地使传送车移动，而把馈电区间分割成多个，在把其连接部分搭载在传送车上的受电线圈移送时，将邻接的馈电区间的馈电相位以相同相位进行馈电。

在如上述现有的特开2002-346452号公报所述那样，伴随着基板的大型化，由于从固定外部控制盘连接到门型框的动力线、信号线等电线束、空气压式管路增加，跟随门型框的电缆根数也增加，因此由于电缆的磨损或者电缆之间的摩擦引起的灰尘，因而出现不适合在清洁环境中使用的状况。

另外，即使如特开2001-211501号公报那样使用非接触馈电方式，然而关于在可动体上设置在该可动体上移动的其它可动体，并对该其它可动体供电，以及从固定部分向可动体以及涂敷头那样的多个可动体上传送控制信号的内容却没有任何记载。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有通过增加涂敷头个数，减少连接外部电源或者外部控制单元和作为可动体的门型框的电源以及信号电缆的根数，减少由电缆的磨损或者电缆之间的摩擦产生的灰尘，而且能够对多个涂敷头的驱动单元应用光通信技术，无错误地收发控制信号的结构的涂胶机。

为了达到上述目的，本发明在具备在一个方向上在台架上往复移动的门型框、以及安装在门型框上且在门型框上移动的多个涂敷头的装置中，由于在涂敷头内部设置有被设置在装置外部的涂敷头驱动用电机驱动器，使向电机驱动器的馈电采用基于电磁耦合的非接触馈电方式，并经由光通信单元传输电机驱动器的输入输出信号和各种传感器信号或者来自位置修正图像诊断用照相机的图像信号，因此能够在地面一侧的光通信单元与设置在门型框上的光通信单元、以及地面一侧的光通信单元与设置在涂敷头上的光通信单元之间，设置半反射镜进行通信。

依据本发明，能够减少从固定部分到可动部分、以及从可动部分到可动部分的电力布线和信号布线，在基板主面上涂覆描绘胶图形时，由于能够减少跟随门型框移动的电缆根数，因此能够提供电缆之间的摩擦或者电缆磨损少的低灰尘的涂胶机。另外，通过在信号的交换中利用半反射镜，可不需要设置多个光通信单元，在减轻门型框的重量的同时，由于能够从固定部分一侧直接向涂敷头传送控制信号，因此能够降低信号错误，进行高精度的涂敷。

附图说明

图1是表示本发明的涂胶机的一个实施方式的侧视图。

图2a和图2b是表示图1所示的实施方式中的涂敷头的构造的侧视图和涂敷头内的系统图。

图3是一次侧受电线圈部分的详细侧视图。

图4是表示图1所示的实施方式中的整体动作的流程图。

图5是光通信的结构的放大图。

图6a和图6b是一次侧受电线圈部分的其它实施例的图。

具体实施方式

本发明是节省向驱动涂敷头部分的电机进行动力供给或者为了传送传感器信号而连接到门型框上的馈电线或者信号布线的技术。即，把电机驱动器设置在架台(ガントリ)上，使向该驱动器的馈电方式设为由在门型移动方向上敷设的馈电线和安装在门型框上的受电拾取器(受电芯子)构成的非接触馈电方式，同样在各涂敷头中也设置馈电拾取头，使得从布线在门型框上的馈电线受电。进而，使从主控制单元向驱动器的信号线为光无线通信方式。由此，减少跟随门型框的可动电缆，从而实现了低灰尘和降低布线作业工时。以下，用实施例详细地说明其结构和动作。

以下，使用附图说明本发明的一个实施例。

图1是应用了本发明的涂胶机的斜视图。把与门型框的延伸方向相垂直的方向作为X轴，把门型框的延伸方向作为Y轴，把上下方向作为Z轴。门型框基本上沿着X轴方向直线地往复运动，涂敷头沿着Y轴方向往复运动。在台架1上，设置有两个门型框2A、2B。本图中，由于在右侧的门型框2A和左侧的门型框2B中，相同数字的部分表示相同的部件，因此有时省略脚注进行说明。

通过驱动未图示的X轴线性电机，使两个门型框2A、2B能够分别沿着X轴方向移动。在门型框2A、2B的上部设置有覆盖门型框的罩3A、3B。在门型框2A、2B的一侧的底脚部分上设置有具备2个贯通孔的一次侧受电芯子6A、6B。以在设置在该芯子上的贯通孔内不接触芯子的方式，沿着台架1朝向X轴方向敷设一次侧馈电线5。该一次侧馈电线5为了流过高频电流而使用带有被覆线的线。另外，一次侧馈电线5与设置在地面一侧的高频电源4连接，由该电源提供高频电压。另外，在一次侧受电芯子6A、6B中，分别设置有兼做二次侧绕组和向门型框内馈电的馈电线的二次侧馈电线7A、7B。二次侧馈电线7具有缠绕在一次侧受电芯子6A上，在门型框2A的罩3A上沿着Y轴方向敷设，并且还向安装在门型框2A上的设备馈电的结构。同样，二次侧馈电线7B具有缠绕在一次侧受电芯子6B上，在门型框2B的罩3B上沿着Y轴方向直线形地敷设，并且还向安装在门型框2B中的设备馈电的结构。

在门型框2A上支撑4个涂敷头8A～8D，门型框2B上也同样支撑4个涂敷头8E～8H。各涂敷头将在后面详细叙述，通过驱动Y轴线性电机而沿着Y轴方向移动。另外，设置在涂敷头上的涂敷喷嘴等的包含胶收容筒在内的一部分通过Z轴电机驱动在Z轴方向移动。

另外，在各涂敷头8A～8H中分别设置有二次侧受电芯子9A～9H，以通过缠绕在该二次侧受电芯子9A～9H上的馈电线受电的电压来驱动Z轴电机或者间隙传感器等。另外，在二次侧受电芯子9A～9H中，沿着Y轴方向以贯通各芯子的方式敷设前面叙述过的二次侧馈电线7A、7B(二次侧受电芯子9A～9D是对应二次侧馈电线7A，二次侧受电芯子9E～9H是对应二次侧馈电线7B)。具有从二次侧馈电线7A、7B提供的高频电压由分别设置在各二次侧受电芯子9A～9H上的所缠绕的馈电线来受电的结构。

主控制单元10进行各门型框2A、2B和各涂敷头8A～8H的位置控制，或者各种传感器信号和图像信号的处理，以及电源的ON、OFF控制。另外，虽然没有图示，但在主控制单元10的内部具备微机和RAM。

在门型框2A、2B的另一侧底脚部分中分别设置为了在门型框与台架1之间发送和接收控制信号等的在台架一侧(固定一侧)的光通信单元11A～11J和在门型框一侧的光通信单元12A、12B(在本图中设置在门型框2B中的12B没有图示)、以及针对每个涂敷头的光通信单元14A～14H(在本图中门型框2B一侧的光通信单元14E～14H没有图示)。

图5表示与光通信单元的一个涂敷头8A相对应的放大图。固定一侧的光通信单元11I、11J和可动一侧的各门型框上的光通信单元12A、12B具有沿着X轴方向收发光的结构(具有使用半反射镜13A、13B的透射光的结构)。另外，各涂敷头的光通信单元114A～14H为了沿Y轴方向收发光，采取使用在与地面一侧的光通信单元11A～11H之间设置的半反射镜13A、13B的反射光的结构。即，在台架一侧设置的光通信单元11I、11J和门型框一侧设置的光通信单元12A、12B之间，以及在台架一侧设置的光通信单元11A～11H与各涂敷头一侧的光通信单元14A～14H之间进行通信。

另外，如图1所示，该通信单元以台架一侧的光通信单元11E～11H、11J位于下部，以光通信单元11A～11D、11I位于上部的方式进行上下进行配置。即，通过配置成门型框2B一侧的光通信单元位于下侧，门型框2A一侧光通信单元位于上侧，使得即使沿着相同方向配置也不会遮挡光。另外，对每组改变调制频率，以使得不会发生相互干扰。

另外，图面中示出4组通信机在相同方向之间进行通信，但如果把台架一侧的光通信单元11A～11D分割成设置在台架前面一侧的部分和设置在台架背面一侧的部分，并设置成涂敷头一侧的光通信单元也与前面一侧、背部一侧进行通信，则能够在同一条直线上设置两组光通信单元，从而能够节省安装空间。

另外，如上所述，在台架一侧设置的光通信单元11A～11J与门型框一侧设置的光通信单元12A、12B以及各涂敷头一侧的通信单元14A～14H之间设置了半反射镜13A、13B。通过该半反射镜，在来自固定一侧的光通信单元11A～11J的光信号中，光通信单元11I、11J使直进光(透射光)入射到光通信单元12A、12B的感光元件上来感光，并使固定一侧的光通信单元11A～11H的出射光通过半反射镜产生的反射光入射到在每一个涂敷头上设置的光通信单元14A～14H中。或者反之，具有来自设置在门型框的光通信单元12A、12B的出射光沿着半反射镜13A、13B直进的光入射到固定一侧的光通信单元11I、11J，来自设置在各涂敷头上的光通信单元14A～14H的出射光由半反射镜13A、13B反射，发送给固定一侧的通信单元11A～11H的结构。

另外，为了可靠地避免光通信单元11A～11D、11I与11E～11H、11J之间、以及光通信单元12A、14A～14D与12B、14E～14H之间的干扰，可以使光通信单元11A～11D、11I位于当前的位置，把光通信单元11E～11H、11J设置在台架相反一侧的端部，而设置在门型框2B上的光通信单元12B与门型框2A的光通信单元12A相反向配置，而且，经由半反射镜13A、13B，向在各个门型框2A、2B上设置的涂敷头的光通信单元14A～14H发送。

即，在本实施例中，把台架与门型框、门型框与涂敷头之间的馈电分为两级，采用非接触馈电方式，并且信号的交换也采用了在地面一侧的光通信单元和经由半反射镜配置在各个部位上的光通信单元之间直接传输的方式。即，在固定一侧的光通信单元11A～11J、与门型框一侧的光通信单元12A、12B和各涂敷头一侧的光通信单元14A～14H之间设置了半反射镜13A、13B。根据该结构，不需要在门型框一侧把光通信单元分别设置成固定一侧用和头一侧用的2个光通信单元，从而可以谋求装置的小型化。

基板16上具有通过设置在台架1上的移动台(未图示)上所设置的基板保持机构15来吸附保持的结构。该基板保持机构15具有通过旋转驱动未图示的θ轴伺服电机，能够修正在X、Y平面中的倾斜的构造。另外，为了把基板16搬入到基板保持机构15上，设置了未图示的移动台，其搬入方向既可以是X轴方向，也可以是Y轴方向。

图2表示图1中的涂敷头的部分的图。图2(a)是从Y轴方向观看的侧面图，图2(b)是涂敷头内部系统图。为了避免繁杂，在(a)中没有图示设备之间的电缆。图2作为代表性的例子，示出门型框2A的一个涂敷头8A，而关于其它的涂敷头也是相同的结构。

在图2(a)中，在门型框2A的上面设置磁铁2a1，在门型框2A的一个侧面上设置有线性标尺(ニリアスケ一ル)2a2。另外，在门型框2A上设置有Y轴限制传感器2a3。进而，在门型框2A中，在另一个侧面的一个位置、上面的两个位置上，以夹住磁铁2a1的方式设置了线性导轨2a4。

在涂敷头8A中，以夹住罩3A的方式，设置了下面基台8a8和上面基台8a9，上面基台(日文：基台)和下面基台用喷嘴支撑构件8ab连接。在上面基台8a9上设置有二次侧受电芯子9A。以使贯通该二次侧受电芯子9A的方式，设置二次侧馈电线7A，在二次侧受电芯子9A上缠绕馈电线9a1。该馈电线9a1被连接到受电单元8a1上。

在下面基台8a8的门型框面对的面上设置能够沿着线性导轨2a4移动的导轨。另外，设置有与在下面基台8a8的门型框上面所设置的磁铁2a1相对的Y轴子电线圈8a4。另外，在下面底盘8a8的上部，设置有把从二次侧受电芯子9A经由涂敷头部分的馈电线9a1提供的高频电力进行整流、并进行电压调整的受电单元8a1。进而，在下面底盘8a8的上面一侧设置有控制向Y轴子电线圈8a4流动的电压，控制在Y轴方向移动的Y轴电机驱动器8a2、控制Z轴电机8a5的Z轴电机驱动器8a3。进而，在下面底盘8a8的下面一侧，在与门型框一侧设置的线性标尺2a2相对的位置上，设置了Y轴位置检测器8a6。另外，头一侧的光通信单元14A设置在下面底盘8a8上能够接收固定一侧的光通信单元11A的信号光的位置处。

在喷嘴支撑构件8ab上设置有Z轴导轨8a10，在该Z轴导轨8a10上设置有Z轴台8a11，驱动Z轴电机8a5来移动Z轴台8a11。该Z轴台8a11的移动量由Z轴位置检测器8a7检测，其检测结果被用于在Z轴电机驱动器8a3的控制上。在该Z轴台8a11上设置了具备胶喷射喷嘴8a13的胶收容筒8a12、测定基板与喷嘴的间隔的测距仪8a14、用于检测基板位置的位置识别照相机8a15。

在图2(b)中，缠绕在二次侧受电芯子9A上的二次侧绕组兼涂敷头部分的馈电线9a1用于通过二次侧受电芯子9A从二次侧馈电线7A接受高频电力，并送电给受电单元8a1。从受电单元8a1连接有经由Y轴电机驱动器动力线9a2向Y轴电机驱动器8a2送电的线、以及向Z轴电机驱动器8a3送电的Z轴电机驱动器动力线9a3。从Y轴电机驱动器8a2设置有向Y轴子电线圈8a4连接的Y轴电机动力线9a4、用于接收来自Y轴位置检测器8a6的信号的Y轴线性编码器信号线14a5。从Z轴电机驱动器8a3连接有向Z轴电机8a5供电的Z轴电机动力线9a5、用于接收来自在Z轴电机8a5上设置的编码器的信号的Z轴编码器信号线14a6。另外，从受电单元8a1连接有向测距仪8a14或者位置识别照相机8a15供电的传感器驱动用动力线9a6。另外，从光通信单元14A连接有去往Y轴电机驱动器8a2、Z轴电机驱动器8a3以及未说明的各检测传感器的Y轴电机驱动器信号线14a1、Z轴电机驱动器信号线14a2、Y轴位置传感器信号线14a3、Z轴位置传感器信号线14a4、测距仪用信号线14a7、位置识别照相机用信号线14a8等。通过这样布线，降低连接线的可动部分，防止由布线的摩擦等引起灰尘。另外，信号的交换也通过分别对每一个相对应的设备中改变调制频率，从而能够无干扰地可靠地传输信息。

图3是一侧的一次侧受电芯子6A部分的详细图。另一侧的一次侧受电芯子6B也是大致相同的结构。一次侧受电芯子6A为在长方体上开设了两个窗口(贯通口)的形状，沿着其窗口部分贯通一次侧馈电线5。一次侧馈电线5为往复电线，具有从高频电源4通过设置在台架端部的第1馈电线支撑构件19a，并通过一次侧受电芯子6A的一侧的窗口，然后在台架另一端的第2馈电线支撑构件19b折回，贯通一次侧受电芯子6A的另一侧窗口，然后通过第1馈电线支撑构件19a，返回到高频电源这样的构造。成为二次侧馈电线7A的二次侧绕组缠绕在一次侧受电芯子6A的窗口上部。如图所示，通过以沿着一侧的窗口右旋缠绕，沿着另一侧的窗口左旋缠绕的方式，缠绕串联地连接，能够把在2个窗口的绕组中所感应的电压无抵消地传递到二次侧馈电线上。另外，如图3那样，通过集中在窗口上部来绕线，能够广泛地使用窗口部分的空间，还能够降低一次侧馈电线5与一次侧受电芯子6A相接触的危险性。二次侧受电芯子9A、9B也做成与一次侧受电芯子6A、6B相同的形状，图3中，如果把5替换成7A，把7A替换成9a1，则成为表示二次侧受电芯子9A的图。另外，图中的箭头表示电流的流动方向。

下面说明涂胶机的动作。图4中表示本实施例中的装置的动作流程。图4中，首先接入电源(步骤100)。接着，执行涂敷机的初始设定(步骤200)。在该初始设定过程中，在图1上，通过来自各电机驱动器的指令来驱动各轴移动用的电机以及Z轴电机，使基板保持机构15沿着θ方向移动，定位到规定的基准位置处。另外，把喷嘴8a13(图2)设定在规定的原点位置，使得其胶喷射口位于开始涂胶的位置(即，涂胶开始点)。进而，设定胶图形数据或者基板位置数据、胶喷射结束位置数据等。

这种数据输入从未图示的键盘输入到主控制单元10中(图1)，从主控制单元向各电机驱动器等进行指示，这些数据被保存在内置于主控制单元10内的微机中的RAM中。

如果该初始设定工序(步骤200)结束，则接着将基板16搭载在吸附保持的基板保持机构15(图1)中使其保持(步骤300)。接着，进行基板预备定位处理(步骤400)。在该处理中，用图像识别照相机8a15拍摄搭载在基板保持机构15上的基板中所设置的定位用标记，通过图像处理求出定位用标记的重心位置，然后检测出基板16在θ方向的倾斜，根据该倾斜，驱动未图示的θ轴伺服电机，修正在该θ方向的倾斜。通过以上动作，结束基板预备定位处理(步骤400)。

接着，进行胶图形描绘处理(步骤500)。在该处理中，使喷嘴8a13的喷射口位移到基板的涂敷开始位置，进行喷嘴位置的比较和调整移动。接着，使Z轴电机8a5以及Z轴台8a11动作，把喷嘴8a13的高度设定为胶图形描绘高度。根据喷嘴的初始移动距离数据，使喷嘴8a13下降初始移动距离大小。在后续的动作中，由测距仪8a14测定基板表面高度，确认喷嘴8a13的顶端是否设定成描绘胶图形的高度。然后，在没能设定成描绘高度的情况下，使喷嘴8a13下降微小距离，反复进行上述的基板16表面计测和喷嘴8a13下降微小距离的动作，将喷嘴8a13顶端的高度设定成涂敷描绘胶图形的位置。

当以上的处理结束，则接着根据保存在主控制单元10的微机的RAM中的胶图形数据，驱动X、Y轴线性电机。由此，喷嘴8a13的胶喷射口在与基板7相对的状态下，根据该胶图形数据，在X、Y方向上移动。同时，在胶收容筒8a12上施加设定的气压，从喷嘴8a13的胶喷射口开始喷射胶。由此，开始向基板16涂敷胶图形。

然后，如在前面所述那样，主控制单元10的微机输入来自测距仪8a14的、喷嘴8a13的胶喷射口与基板16表面之间的间隔的实测数据，并测定基板16表面的波纹(日文：ぅねり)，根据该测定值驱动Z轴电机8a5，把从基板7的表面起至喷嘴8a13的设定高度维持为恒定。由此，能够按照所希望的涂敷量涂敷胶图形。

如以上那样，进行胶图形描绘，根据喷嘴8a13的胶喷射口是否是处于由基板16上的上述胶图形数据决定的描绘图形的末端的判断，如果不是终端则再次返回到基板表面波纹的测定处理。然后，反复进行上述喷涂描绘，持续到胶图形形成到达描绘图形的末端为止。如果到达描绘图形的末端，则驱动Z轴电机8a5使喷嘴8a13上升，胶图形描绘工序结束(步骤500)。

接着，进入到基板排出处置(步骤600)，解除基板16的保持，排出到装置以外。然后判定是否停止以上的全部工序(步骤700)，在多片基板上以相同的图形形成胶膜的情况下，从基板搭载处理(步骤300)开始反复，如果对于所有的基板，这些一系列的处理都结束了，则作业将全部结束(步骤800)。

然后，说明使用了非接触馈电的动力系统的动作。在图1、图2中，在一次侧馈电线5中流动的高频电流在一次侧馈电线5的周围产生高频磁场。该高频磁场集中在高磁导率的一次侧受电芯子6A中，在芯子内产生磁通。该磁通与缠绕在一次侧受电芯子6A上的二次侧馈电线7A交链。通过电磁感应，在二次侧馈电线7A中感应出高频电压，从而在二次侧馈电线7A中产生高频电流。在二次侧受电芯子9A中也同样在受电芯子内产生高频的磁通，通过电磁感应，在二次侧受电芯子9A上缠绕的涂敷头部分的馈电线9a1中感应出高频电压，在馈电线9a1中产生高频电流。由涂敷头8A上具备的受电单元8a1把所提供的高频电力整流变换成直流，并将电压调整到各电机驱动器的额定电压范围内。从该受电单元8a1向Y轴电机驱动器8a2、Z轴电机驱动器8a3，通过Y轴电机驱动器动力线9a2、Z轴电机驱动器动力线9a3提供必要的电力。从各电机驱动器向Y轴子电线圈8a4、Z轴电机8a5，通过Y轴电机动力线9a4、Z轴电机动力线9a5提供必要的电力。另外，提供给位置识别用照相机8a15的电力或者将激光提供给测距仪8a14的电力由于所需要的电压低，因此由受电单元8a1使电压比电机驱动用电压进一步降低，由传感器驱动用电力线9a6来提供。这样，能够节省在台架-门型之间、门型-涂敷头之间的可动部分中动力电缆布线。

其次，说明使用了光通信单元的信号系统。首先，把来自主控制单元10的信号经由控制信号电缆发送给台架一侧的光通信单元11A～11J。接着，由11I、11J把上述信号变换成光信号进行调制，经由半反射镜14A、14B，向设置在相对的门型框上的光通信单元12A、12B投射其直进光(透射光)。在光通信单元12A、12B中，感光到的光信号被变换成电信号，传送到用于驱动门型框等Y轴电机驱动器等中。另外，由主控制单元10，从台架一侧光通信单元11A～11H，向头一侧的光通信单元13A～D、13E～H传送由半反射镜14A、14B反射的光。在头一侧的光通信单元13A～13H中，解调感光到的光信号，变换成电信号，通过Y轴以及Z轴电机驱动器信号线14a1、14a2，向涂敷头部分内的Y轴以及Z轴电机驱动器8a2、8a3通信。在向主控制单元10返回来自Y轴、Z轴电机驱动器8a2、8a3的电机准备完毕信号、报警信号等控制信号、Y轴位置检测器8a6和Z轴位置检测器8a7的信号、来自位置识别照相机8a15的图像信号、以及测距仪8a14的距离信号的情况下，通过与上述路径相反的路径发送给主控制单元10。这样，能够节省在台架-门型框之间、门型框-涂敷头之间的通信部分中信号电缆的布线。

如上所述，涂胶装置的可动部分为了沿着X轴方向或者Y轴方向直线移动，而具有大致直线地配置馈电线，馈电芯子能够在其上移动的结构。从而，能够减少跟随可动部分的电缆根数。进而，具有替换以往使用的信号线，将光通信单元经由半反射镜配置在固定部分一侧以及可动部分一侧的结构。由此，能够有效地传输光信号，通过配置半反射镜，不需要在可动框一侧配置固定部分一侧用和涂敷头一侧用的2个光通信单元，因而能够谋求装置的小型化。从而，由于能够大幅度减少电源线、信号线，因此能够防止由电缆之间的摩擦发生的灰尘扩散，并且能够防止由跟随可动部分的电缆重量引起的位置控制精度的下降。由此，可实现不会在基板面上涂敷的胶中混入灰尘、且精度良好的涂敷。进而，本发明是以在多个可动部分中能够以非接触方式馈电、通信为特征，但在具有多个可动部分的装置中，当然也能够应用于仅为一个可动部分的情况。

进而，另外在至此为止的说明中，具有在来自地面一侧的光通信单元的光中向门型框的光通信单元收发半反射镜的透射光，向涂敷头的光通信单元收发反射光的结构，当然也能够通过改变地面一侧的光通信单元的配置，向涂敷头一侧的光通信单元发送半反射镜的透射光，向门型框的光通信单元发送反射光。

图6中表示使馈电线的支撑方式为其它方式时的芯子部分的图。

在图3中，使贯通芯子的贯通口内的馈电线5仅以张力扩张成不与芯子接触。对此，在本实施例中，设置直线形刚体支撑构件(第3馈电支撑构件)17，在其第3馈电线支撑构件17上固定(捆绑)支撑馈电线。

图6(a)是一侧的一次侧受电芯子6B部分的详细图。图6(b)是表示对于芯子，馈电线以及受电线的配置和第3馈电线支撑构件17的形状的剖面图。另一侧的一次侧受电芯子6A也是大致相同的结构。另外，设置在门型框上的馈电线和设置在每个头中的受电芯子也具有同样的结构。一次侧馈电线5在由绝缘体形成且具有所希望的刚性的棒状的第3馈电线支撑构件17上在多个位置上以固定用线18进行固定。第3馈电线支撑构件17具有用螺栓固定在台架1上的门型框2A、2B的移动方向的两个端部上设置的第1及第2馈电线支撑构件19a、19b上的构造。该第1以及第2馈电线支撑构件19a、19b也由绝缘材料构成。这样，通过在第3馈电线支撑构件17上固定一次侧馈电线，使得其贯通设置在一次侧受电芯子中的窗内的空间，即使一次侧受电芯子6A移动加入一些振动，一次侧馈电线5也不会与受电芯子6B接触，不存在一次侧馈电线接触到一次侧受电芯子从而破坏绝缘导致短路的情况，能够进行稳定的馈电。另外，如图6(b)所示，第3馈电线支撑构件17的形状不是圆柱形而是具备凹部的四角形，通过形成为使得馈电线能够收容在凹部中，也能够稳定地支撑馈电线。

另外，一次侧受电芯子6A具有在长方体上打开两个窗口的形状，一次侧馈电线5贯通该窗口部分。一次侧馈电线5成为往复电线，具有从高频电源4通过设置在台架端部的第1馈电线支撑构件19a，然后通过一次侧受电芯子6A的一侧窗口，在台架相反一端的第2馈电线支撑构件19b处折返，然后贯通一次侧受电芯子6A的另一个窗口，再通过第1馈电线支撑构件19a，返回到高频电源的构造。成为二次侧馈电线7A的二次侧绕组缠绕在一次侧受电芯子6A的窗口上部。如图所示，通过在一侧的窗口右旋缠绕，在另一侧的窗户左旋缠绕方式缠绕串联地连接，从而可不抵消在两个窗口的绕组中感应出的电压地传递给二次侧馈电线。另外，如图6(b)所示，通过把一次侧馈电线固定在棒状的支撑构件17上，能够集中到窗口侧面部分进行缠绕，能够使绕组与馈电线不接触地缩短两者的距离，能够提高从一次侧馈电线5向二次侧馈电线的供电效率。二次侧受电芯子9A、9B也做成与一次侧受电芯子6A、6B相同的形状，图6中，对于7A，如果把7A替换成9a1，则变成表示二次侧受电芯子9A的图。另外，图中的箭头表示电流流动的方向。

Claims (11)

1.一种涂胶机，该涂胶机设置多个在台架上能够沿着一个方向往复动作的门型框、和能够沿着上述门型框的长边方向移动的涂敷头，在以与在上述涂敷头上设置的喷嘴的喷射口相对的方式设置的台上放置基板，通过从上述喷射口向上述基板上喷射充填在胶收容筒中的胶的同时，使上述基板与上述喷嘴的相对位置关系变化，从而在上述基板上涂敷所希望形状的胶图形，其特征在于：

为了向上述门型框馈电，采取在台架一侧直线形地配置的馈电线与门型框一侧设置的受电芯子之间利用电磁耦合进行非接触馈电，在门型框上设置的直线形的馈电线与设置有各头的受电芯子之间进行非接触馈电的结构，并具有在上述移动的门型框上设置的光通信单元与地面一侧的光通信单元之间、以及在上述多个涂敷头上设置的光通信单元与地面一侧设置的光通信单元之间直接互换控制信号的结构。

2.根据权利要求1所述的涂胶机，其特征在于：

具有采取在上述门型框上设置半反射镜，把来自地面一侧光通信单元的信号光中的半反射镜的透射光输入到在门型框上设置的光通信单元，而把半反射镜的反射光输入到在多个涂敷头上设置的光通信单元的结构。

3.根据权利要求2所述的涂胶机，其特征在于：

具有采取设置2个上述可移动的门型框，在各个框上可移动地设置多个涂敷头的结构。

4.根据权利要求3所述的涂胶机，其特征在于：

以可向各个门型框通信的方式，上下配置两组上述地面一侧的光通信单元。

5.根据权利要求3所述的涂胶机，其特征在于：

把上述地面一侧的光通信单元以把两个门型框夹住的方式，配置在上述台架上。

6.根据权利要求3所述的涂胶机，其特征在于：

采取把在上述台架上设置的支撑馈电线的直线形的支撑构件固定在框移动方向的两个端部上设置的立板上，在上述支撑构件上固定上述馈电线的结构。

7.一种涂胶机，该涂胶机设置多个在台架上能够沿着一个方向往复动作的门型框、和能够沿着上述门型框的长边方向移动的涂敷头，在以与在上述涂敷头上设置的喷嘴的喷射口相对的方式设置的台上放置基板，通过从上述喷射口向上述基板上喷射充填在胶收容筒中的胶的同时，使上述基板与上述喷嘴的相对位置关系变化，从而在上述基板上涂敷所希望形状的胶图形，其特征在于：

为了向上述门型框馈电，采取在台架一侧在框移动方向的两个端部设置的立板之间固定2条直线形的支撑构件，沿着上述支撑构件配置馈电线，在多个位置用固定用线把上述馈电线固定在上述支撑构件上，配置成使得在安装于门型框上的受电芯子中所设置的贯通孔内上述支撑构件与由其支撑的馈电线不接触。

8.根据权利要求7所述的涂胶机，其特征在于：

采取在上述门型框上设置半反射镜，把来自地面一侧光通信单元的信号光中的半反射镜的透射光输入到在门型框上设置的光通信单元，把半反射镜的反射光输入到在多个涂敷头上设置的光通信单元的结构。

9.根据权利要求8所述的涂胶机，其特征在于：

采取设置2个上述可移动的门型框，在各个框上可移动地设置多个涂敷头的结构。

10.根据权利要求9所述的涂胶机，其特征在于：

以可向各个门型框通信的方式，上下配置两组上述地面一侧的光通信单元。

11.根据权利要求9所述的涂胶机，其特征在于：

把上述地面一侧的光通信单元以把两个门型框夹住的方式，配置在上述台架上。

Images