CN100592208C - 防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘 - Google Patents

Abstract

本发明为一种可防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，包括有一托盘及一与托盘固接的固定座；其中：该托盘与固定座均为导体，且托盘与固定座之间可构成电传导，又固定座是通过一也为导体的转轴与涂布机上的传动机构连结，并受其传动，该传动机构并具有接地设施；由此，前述托盘、固定座、转轴与传动机构的接地设施之间将构成一静电排放路径，当托盘上真空吸附的玻璃基板完成光刻胶涂布，该玻璃基板与托盘表面瞬间脱离时所产生的大量静电将通过前述静电排放路径迅速泄放导引至大地，从而可避免静电聚集对玻璃基板造成伤害。

Description

防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘

技术领域

本发明属于一种应用于玻璃基板制造过程的装置，尤指一种防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，该涂布机承载盘可避免玻璃基板与涂布机承载盘脱离时，受脱离瞬间时所产生的静电伤害，以确保玻璃基板的良率。

背景技术

液晶屏幕具有轻薄而不占空间的优点，目前已大幅取代传统的阴极射线管屏幕而普遍应用于各种场合之中。

液晶屏幕的核心元件为玻璃基板，在液晶面板的制造过程中，必须在玻璃基板上执行半导体制程以制作薄膜晶体管及线路，其中的黄光制造过程即是在玻璃基板上涂布一层均匀的光刻胶，接着在后续步骤中配合光掩膜来在光刻胶层上形成电路图案，以便能进行曝光显影等后续步骤。

请参照图5，目前在玻璃基板上涂布光刻胶的方式是通过一光刻胶涂布机来进行光刻胶的涂布，该涂布机包含有一马达(图中未示)、一真空泵(图中未示)、一转轴90以及一真空吸盘91；该转轴90是由马达传动而旋转；该真空吸盘91固设于转轴上，且与真空泵连接以便能产生真空吸力。

涂布光刻胶时，先置放一玻璃基板92于真空吸盘顶面，并在玻璃基板92中心处滴上光刻胶液，接着启动真空泵，令真空吸盘对玻璃基板产生真空吸力，接着启动马达，使真空吸盘91连同玻璃基板92旋转，中心处的光刻胶液则受到离心力作用而径向向外扩散至整个玻璃基板92表面。

然而，当涂布光刻胶的步骤完成而将玻璃基板92脱离真空吸盘91的瞬间，真空吸盘91表面将产生达15-16千伏特(Kilovolt，KV)的高压静电，而损坏玻璃基板92上的电路，轻则局部受损，严重时则将造成玻璃基板92的报废，因而降低玻璃基板92的良率。

本发明人根据现有玻璃基板光刻胶涂布机的真空吸盘聚集静电而损坏玻璃基板上原有电路的缺点，改良其不足与缺失，进而发明出一种防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘。

发明内容

本发明的目的在于提供一种防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，该光刻胶涂布机承载盘可顺畅接地而避免聚集静电，使得玻璃基板脱离光刻胶涂布机时不受到静电伤害而报废，以提高玻璃基板的良率。

本发明的目的是这样实现的，一种防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，包含有一托盘与一托盘固接的固定座，其中：

该托盘与固定座均为导体，且托盘与固定座之间可构成电传导，又固定座是通过一也为导体的转轴与涂布机上的传动机构连结，并受其传动，该传动机构并具有接地设施；由此，前述托盘、固定座、转轴与传动机构的接地设施之间将构成一静电排放路径，当托盘上真空吸附的玻璃基板完成光刻胶涂布，该玻璃基板与托盘表面瞬间脱离时所产生的大量静电将通过前述静电排放路径迅速泄放导引至大地，从而可避免静电聚集对玻璃基板造成伤害。

前述托盘具有含碳材料而具备导电特性。

前述托盘含有石墨而具备导电特性。

前述托盘含有金属而具有导电性。

前述托盘的电阻为103-105欧姆(Ω)/平方(ohms/sq)。

前述该转轴靠近顶端的侧壁上形成有至少一个定位槽，该固定座以可拆卸方式固定在转轴上，在固定座的底部向下垂直突伸有一套接部，在套接部底端形成有一供转轴顶端伸入的安装孔，在套接部侧壁贯穿形成有至少一通孔，一可拆式插销穿过通孔并伸入定位槽。

前述托盘中心贯穿形成有一穿孔，且顶面形成有多个与穿孔连通的流道，该固定座中心贯穿形成有一与该穿孔连通的贯孔，由此，可令固定座贯孔通过管线外接一真空泵，并使托盘的流道产生真空吸力。

前述多个流道包含有多个径向流道及多个环形流道。

由上述技术手段，托盘、固定座及转轴所构成的静电排放路径可顺利将静电传导至光刻胶涂布机所在的地面，由此，可避免玻璃基板脱离托盘时，遭受静电损伤玻璃基板上的原有电路，造成玻璃基板报废，故玻璃基板的良率可大大提高。

附图说明

图1：本发明立体外观图。

图2：本发明放大立体外观图。

图3：本发明侧视部份剖面图。

图4：本发明导电示意图，箭头代表导电路径。

图5：已知光刻胶涂布机的示意图。

附图标号：

10 转轴             11 定位槽

20 固定座           21 贯孔

221 安装孔          223 通孔

225 插销            30 托盘

31 穿孔             32 径向流道

33 环形流道         80 平台

90 转轴             91 真空吸盘

92 玻璃基板

具体实施方式

请参照图1及图2，本发明防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘与一传动机构连接，并且外接一真空泵，而整体固定在一平台80上，由此形成一光刻胶涂布机。

请参照图2及图3，该光刻胶涂布机承载盘包含有一托盘30与一托盘30固接的固定座20，其中：

该托盘30与固定座20均为导体，且托盘30与固定座之间可构成电传导，托盘30可具有含碳材料、石墨或是金属等成分因而具备导电特性，较佳者，托盘30的电阻可为103-105欧姆(Ω)/平方(ohms/sq)。

请参照图2与图4，该固定座20是通过一也为导体的转轴10与涂布机上的传动机构连结，并受其传动，该传动机构并具有接地设施；由此，前述托盘30、固定座20、转轴10与传动机构的接地设施之间将构成一静电排放路径，当托盘30上真空吸附的玻璃基板完成光刻胶涂布，该玻璃基板与托盘30表面瞬间脱离时所产生的大量静电将通过前述静电排放路径迅速泄放导引至大地，从而可避免静电聚集对玻璃基板造成伤害。

此外，该托盘30中心贯穿形成有一穿孔31，且顶面形成有多个与穿孔31连通的径向流道32与环形流道33，该固定座20中心贯穿形成有一与该穿孔31连通的贯孔21，由此，可令固定座20贯孔21通过管线外接该真空泵，并使托盘30的流道32、33产生真空吸力。

较佳者，该转轴10靠近顶端的侧壁上形成有至少一个定位槽11，该固定座20是以可拆卸方式固定在转轴10上，在固定座20的底部向下垂直突伸有一套接部22，在套接部22底端形成有一供转轴10顶端伸入的安装孔221，在套接部22侧壁贯穿形成有至少一通孔223，一可拆式插销225穿过通孔并伸入定位槽11以固接转轴10及固定座20。

由上述技术手段，托盘30、固定座20及转轴10所构成的静电排放路径可顺利将静电传导并排放至大地，由此，可避免玻璃基板脱离托盘30时，遭受静电损伤玻璃基板上的原有电路，造成玻璃基板报废，故可提高玻璃基板良率，降低玻璃基板的成本。

Claims (8)

1.一种防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，包含有一托盘和与该托盘固接的固定座，其特征在于：该托盘与固定座均为导体，其中托盘与固定座之间构成电传导，该固定座可受一传动机构传动，并与其接地结构连结，以形成一静电排除路径。

2.如权利要求1所述的防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，其特征在于：该托盘由含碳材料所构成而具备导电性。

3.如权利要求1所述的防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，其特征在于：该托盘含有石墨而具备导电性。

4.如权利要求1所述的防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，其特征在于：该托盘含有金属而具备导电性。

5.如权利要求1至4任一项所述的防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，其特征在于：该托盘的电阻为103-105欧姆/平方。

6.如权利要求5所述的防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，其特征在于：该固定座通过一转轴与传动机构连结，该转轴也为导体，该转轴靠近顶端的侧壁上形成有至少一个定位槽，该固定座是以可拆卸方式固定在转轴上，在固定座的底部向下垂直突伸有一套接部，在套接部底端形成有一供转轴顶端伸入的安装孔，在套接部侧壁贯穿形成有至少一通孔，一可拆式插销穿过通孔并伸入定位槽。

7.如权利要求6所述的防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，其特征在于：该托盘中心贯穿形成有一穿孔，且顶面形成有多个与穿孔连通的流道，该固定座中心贯穿形成有一与该穿孔连通的贯孔，由此，可令固定座贯孔通过管线外接一真空泵，并使托盘的流道产生真空吸力。

8.如权利要求7所述的防止静电聚集的光刻胶涂布机承载盘，其特征在于：该多个流道包含有多个径向流道及多个环形流道。

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