CN100591596C - 基板移载装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板移载装置，该基板移载装置包括一第一载具、一第二载具及一工作台。该第一载具是两端开口的箱体，包括一顶板、一底板及两侧板，该两侧板上设有互相对应的基板托片；该第二载具是一端开口的箱体，其内设有基板托片；该工作台是由一平台、一推板及一中转装置构成，该平台是用以支撑第一载具及第二载具，该中转装置固定设置在平台上并置于该第一载具和第二载具之间，该推板可通过该第一载具、第二载具及中转装置并在其间作往返运动。该中转装置包括一定位尺及一高度可调节的中转箱，该定位尺是靠近该中转箱设置，该中转箱具有一顶板和两侧板，该顶板设有一平衡杆与该定位尺配合，其两侧板是由多个支撑板及“X”型交叉杆构成。

Description

基板移载装置

【技术领域】

本发明是关于一种基板移载装置，特别是关于一种用于平面显示器制程中可使基板在两基板载具间实现批量转移的基板移载装置。

【背景技术】

平面显示器制程中，玻璃基板常需要从一基板载具转移到另一基板载具。

现有技术平面显示器制程中是用机械手臂或徒手将基板从原基板载具中取出后移到另一载具之中。请参阅图4，2001年11月21日公告的美国专利第6,318,948号揭露一基板传送装置和基板处理系统。该基板传送装置设有第一传送手臂21和第二传送手臂24可把基板3移进或移出基板载具50。该基板载具50内设有多个承载基板3的凹曹52并设有一开口51。该第一传送手臂21和第二传送手臂24置于平台4上，并由一个可往返运动的驱动装置驱动，把基板载具50内的基板3转移到其他承载装置之中。

但是，该基板传送装置是逐一将基板从基板载具中转移，单位时间内取放基板的数量有限，并且利用机械手臂或徒手实现基板在基板载具间的转换易造成基板缺角、破损等现象，使得废品率升高，生产率降低，产品成本增高。

【发明内容】

为了克服现有技术在基板移载过程中废品率高、工作效率低的缺点，本发明提供一种可以批量并且安全转移基板的基板移载装置。

本发明解决技术问题所采用的技术方案是：提供一种基板移载装置，包括一第一载具、一第二载具和一工作台；该第一载具是两端开口的箱体，其包括一顶板、一底板及两侧板，该两侧板上设有相互对应的基板托片；该第二载具是一端开口的箱体，其内设有基板托片；该工作台是一平台，该平台用来支撑第一载具及第二载具，其进一步包括一推板和一中转装置，该中转装置固定设置在平台上并置于第一载具和第二载具之间，该推板可通过第一载具、第二载具及中转装置并在其间作往复运动，该中转装置是由一定位尺及一高度可调节的中转箱构成，该定位尺是靠近该中转箱设置，该中转箱具有一顶板和两侧板，该顶板设有一平衡杆和定位尺配合，其两侧板是由多个支撑板及“X”型交叉杆构成。

本发明的有益效果是：与现有技术相比，本发明基板移载装置设有一推板和一中转装置，可以利用该推板将第一载具内基板通过中转装置一次性推入第二载具中。当第一载具和第二载具的高度不同时，将基板推入中转装置的中转箱后，把中转箱的高度调整到与第二载具相同，便可直接将基板推入第二载具中，从而快速、安全移载基板。

【附图说明】

图1是本发明之基板移载装置的立体示意图。

图2是本发明之基板移载装置的平台示意图。

图3是本发明推板的放大分解图。

图4是现有技术基板船送装置的机械手臂示意图。

【具体实施方式】

请参阅图1，本发明基板移载装置包括一第一载具1、一第二载具2和一工作台3。

该第一载具1是基板处理过程中使用的载具，其是两端开口的箱体，包括一顶板11、一底板12及两侧板13。该两侧板13设有互相对应的多个基板托片131，该底板12一端进一步开设置一缺口121。该第载具2是至少一端开口的箱体，其内设有基板托片21。

该工作台3包括一平台40、一推板50和一中转装置60。该平台40用来支撑第一载具1和第二载具2，其一端设有一滑动导槽41。该推板50可在滑动导槽41内滑动。该中转装置60固定设置于平台40中间位置并置于第一载具1与第载具2之间。

请一起参阅图2和图3，该平台40上在与滑动导槽41相对的另一端进一步设有至少一卡槽42和一挡块43。该挡块43下端设有卡扣431，可以与卡槽42扣合。一挡板44固定在该滑动导槽41端部并位于推板50外侧，以防止推板50从滑动导槽41内滑出。

该推板50包括第一条形板510、第二条形板520、一连接第一条形板510及第二条形板520的连接装置530和一“Z”型板54。该第一条形板510上设有一滑槽511，其上特定位置处设有一通孔512。第二条形板520的横截面形状与滑槽511的横截面形状相同，并可在该滑槽511内滑动，并且该第二条形板520上设有多个卡孔521。该连接装置530包括一拉杆531、一弹簧532及一舌片533。该拉杆531是“T”型杆，其末端设有一凸台5311，该凸台5311可穿过通孔512，该弹簧532的直径大于通孔512的直径。安装时，将拉杆531穿过通孔512后把弹簧532套设于该拉杆531上，然后将舌片533卡在弹簧532与拉杆531凸台5311之间以防止弹簧532从拉杆531上脱出，最后拉紧拉杆531把第二条形板520套进滑槽511内，调整其高度使其上多个卡孔521之一与拉杆531高度相同，松开拉杆531使其在弹簧532作用下弹入对应卡孔521。另外，为使推板50能顺利通过第一载具1，该第一条形板510底端高度略高于平台40上第一载具1的底板12。该“Z”型板54一端与第一条形板510相连，其另一端置于平台40的滑动导槽41内并可自由滑动。

该中转装置60固定设置于平台40上，其是由一定位尺61和一高度可调节的中转箱62构成。该定位尺61靠近中转箱62设置，其上设有刻度并在每一刻度处设有定位孔611。该中转箱62是两端开口的箱体，其包括一顶板630和两侧板640。该中转箱62的两侧板640是由多个支撑板641和“X”型交叉杆642构成。该支撑板641两端分别设置一滑槽6411，该滑槽6411上对应定位尺61的刻度设有多个小凹槽(图未示)，该小凹槽可帮助操作者在操作过程中控制中转箱62的高度。该多个支撑板641通过多个“X”型交叉杆642连接。该多个“X”型交叉杆642的端部两两相连并可以其交叉点为支点转动。该两两相连的端部各设有一螺钉6421和一螺母6422。该“X”型交叉杆642端部的螺钉6421分别穿过相邻两支撑板641的滑槽6411，其端部用螺母6422锁紧，以把该螺钉限制在滑槽6411内滑动。该顶板630相对于定位尺61设有一平衡杆631，该平衡杆631一端固定在顶板上，另一端设有一弹型卡扣装置6311，该弹性卡扣装置6311的结构和推板50的连接装置530相同，其可与定位尺61的定位孔611配合。该弹性卡扣装置6311与定位孔611扣合后可给中转箱62一向上的拉力，防止中转箱62因重力作用而下滑。

请再次参照图1，该第一载具1内承载多个基板(图未示)，该基板需移至第载具2内。调整挡块43的位置，选择合适的卡槽42与其卡扣431相扣合。把第二载具2置于该平台40上，并使该第二载具2抵触该挡块43，其开口端与中转箱62的开口端相对。然后把第一载具1置于平台40的另一端，并使其缺口121面向推板50。推动推板50，则推板50与第一载具1内基板接触，继续推动推板50，将基板推入中转箱62内对应的支撑板641上。当第一载具1与第二载具2的尺寸相同时可直接将基板推入第载具2内。当第一载具1的高度大于第二载具2的高度时，把平衡杆631端部的弹性卡扣装置6311从原定位孔611中拉出，并调整中转箱62，使其高度与第载具2相同，松开弹性卡扣装置6311，让其弹入相应高度的定位孔611中，以保持中转箱62的稳定。然后将推板50上的连接装置530的拉杆531从原卡孔521中拉出，调整该第二条形板520的高度使推板50能从中转箱62中通过，松开拉杆531，使其在弹簧532作用下弹入第二条形板520对应的卡孔521内。最后推动推板50，便可把中转箱62中的基板推入第二载具2内，实现基板在两载具间的快速、安全的转移。当第一载具1的高度小于第二载具2时亦然。

同时为防止基板在移载过程中产生静电，该基板移载装置的各组件均由具有静电防护的材料制成，如防静电丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(Acrylonitrile Butadiene Styrene，ABS)、聚丙烯(Polypropylene，PP)、聚乙烯(Polyethylene，PE)等塑胶材料。

本发明中各组件间的固定连接可以采用多种方法，如第一条形板和第二条形板的连接装置可用可拆卸的螺钉、螺母替代；中转箱与平台、中转箱顶面与平和杆的固定连接可采用螺钉或胶合的方式等。

Claims (10)

1.一种基板移载装置，包括一第一载具、一第二载具和一工作台，该第一载具是两端开口的箱体，其包括一顶板、一底板及两侧板，该两侧板上设有相互对应的基板托片，该第二载具是一端开口的箱体，其内设有基板托片，该工作台是一平台，该平台用来支撑第一载具及第二载具，其特征在于：该工作台进一步包括一推板和一中转装置，该中转装置固定设置在平台上并置于第一载具和第二载具之间，该推板可通过第一载具、第二载具及中转装置并在其间作往复运动，该中转装置是由一定位尺及一高度可调节的中转箱构成，该定位尺是靠近该中转箱设置，该中转箱具有一顶板和两侧板，该顶板设有一平衡杆和定位尺配合，其两侧板是由多个支撑板及“X”型交叉杆构成。

2.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于：该推板包括第一条形板、第二条形板及连接装置，该第一条形板上设有一滑槽和一通孔，该第二条形板可在该滑槽内滑动，且该第二条形板设有多个卡孔，该连接装置穿过该通孔并与该复数卡孔之一配合。

3.如权利要求2所述的基板移载装置，其特征在于：该连接装置由一“T”型拉杆、一弹簧及一舌片构成，该拉杆端部设有凸台。

4.如权利要求2所述的基板移载装置，其特征在于：该推板进一步设置一“Z”型板，该“Z”型板与第一条形板相连，且该第一条形板底端的位置高于平台上第一载具的底板。

5.如权利要求4所述的基板移载装置，其特征在于：该平台于第一载具所处端进一步设置一滑动导槽和一挡板，该“Z”型板可与滑动导槽配合并在其中自由滑动，该挡板固定在滑动导槽端部，以防止推板从滑动导槽内滑出。

6.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于：该支撑板两端部分别设一滑槽，该多个“X”型交叉杆之端部两两相连并可以其交叉点为支点转动，该“X”型交叉杆两两相连的端部设有一螺钉和一螺母，该螺钉可与相邻两支撑板对应的滑槽配合，该螺母与螺钉配合，以把螺钉限制在滑槽内滑动

7.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于：该定位尺上设有刻度并在每一刻度处设置定位孔，该平衡杆端部设有一弹性卡扣装置，该弹性卡扣装置可与定位尺的定位孔配合。

8.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于：该平台进一步设有一挡块，该挡块与第二载具相抵触，该挡块下端设有卡扣且该平台上挡块所处端设有至少一卡槽，该卡槽是与该挡块之卡扣相扣合。

9.如权利要求5所述的基板移载装置，其特征在于：该第一载具的底板进一步设有可使“Z”型板通过的缺口。

10.如权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于：该基板移载装置是由具静电防护的材料制成。

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