CN100587529C

CN100587529C - 光开关

Info

Publication number: CN100587529C
Application number: CN200710101887A
Authority: CN
Inventors: 加藤嘉睦; 滨田义彦; 森惠一; 伊卷理; 近藤健治
Original assignee: Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Current assignee: Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Priority date: 2006-04-27
Filing date: 2007-04-25
Publication date: 2010-02-03
Anticipated expiration: 2027-04-25
Also published as: US7468995B2; US20070253045A1; CN101063732A

Abstract

本发明涉及一种光开关，其输入口(光纤61)与第一、第二输出口(光纤62、63)的光耦合通过由驱动器对反射镜的驱动而转换，第一、第二输出口在隔着输入口的相反一侧相互成为锐角而配置，经第一反射镜面(35a)、使输入口与第一输出口光耦合，经第二反射镜面(36a)、使输入口与第二输出口光耦合。入射光(71)向反射镜面(35a)、(36a)射入的入射角相等，且使自输入口分别至第一及第二输出口的光程相等。驱动器在第一反射镜面(35a)的近前位置使第二反射镜面(36a)插入或拔出。

Description

光开关

技术领域

本发明涉及在光通信等领域使用的光开关。

背景技术

对于在光路的转换中使用反射镜的光开关，有来自输入口的光在输出口耦合为止、利用经反射镜一次的反射或利用两次反射等的光开关，但例如从经过反射的光的偏振波状态的变化的观点来看，希望经过反射镜的反射次数少，另外也希望相对于反射镜的入射角小。

图5(A)为1×2型的光开关的以往例，表示专利文献1所记载的结构，图中，11表示入射光纤，12、13分别表示输出光纤。另外，14表示可动反射镜，15表示固定反射镜。

在该例中，来自入射光纤11的光经固定反射镜15反射，与输出光纤13光耦合，另外，通过可动反射镜14移动而遮住光路，来自入射光纤11的光经可动反射镜14反射，与输出光纤12光耦合，从而通过可动反射镜14的移动进行光路的转换。

可动反射镜14的杆设置于支柱支承的翘翘板型的驱动部16上，通过驱动部16的转动(翘翘板运动)，可动反射镜14进出光路。图5(A)中，17a、17b表示用于吸引由驱动部16的软磁体构成的杆的电磁线圈，18表示壳体。

图5(B)表示图5(A)的反射镜与光路的详细关系，图中，α_b表示相对于可动反射镜14的光入射角(＝反射角)，α_c表示相对于固定反射镜15的光入射角(＝反射角)。在专利文献1中，这些入射角α_b、α_c为20°以下，且α_b≠α_c，通过对α_b与α_c设置角度差，而规避输出光纤12与13重叠。另外，记载了具体数值的例子，α_b＝8°，α_c＝13°。

上述专利文献1中记载的光开关经反射镜的反射次数为一次，另外，可以说所希望的理由是：向反射镜入射光的入射角也在20°以下时，在控制使入射角小这一点上，光的偏振波状态的变化也小。但是，由于其特征在于相对于两个反射镜改变光入射角的缘故，通过两个反射镜分别反射而所射出的两射出光的偏振波状态不相同，即，成为不适应使两射出光的偏振波状态高精度一致的要求的结构。

在使用两个反射镜的1×2型的光开关中，为了使转换射出的两射出光的偏振波状态高精度地一致，希望使向这两个反射镜射入的光入射角相等，专利文献2中记载了这样使向两个反射镜射入的光的入射角相等的反射镜配置及光路结构。

但是，在专利文献2中所记载的结构中，两个反射镜在光路上不能够位于相接近的位置，产生在两个反射镜之间必须设置相当的间隔的状况。这是由于相对于输入口、两个输出口配置于相同侧而引起的，对这一点，以下参照图6进行具体说明。另外，图6中，输入口及两个输出口分别作为光纤，对这些光纤及两个反射镜付与与图5(A)相同的符号进行说明。

两个反射镜14、15位于向它们射入的光的入射角相等而平行的位置，并且两个输出光纤12、13也是光轴互相平行地配置。来自入射光纤11的入射光的反射镜14及15的反射点为E、F，从点F向输出光纤12的光轴的垂线为FG。

EF·sin∠FEG＝FG

在此，向反射镜14、15射入的光的入射角若为例如10°，则∠FEG＝20°。另外，若输出光纤12、13的直径(包层直径)为Φ125μm，这些光纤12、13的光轴间距离与包层直径相同为125μm，则FG＝125μm，光路上的反射镜间距离EF为：

EF＝125/sin20°＝365μm。

这样的两个反射镜14、15之间的大的间隔，会招致以下的不利点。即，在前端例如带有棒状透镜、入射光纤11具有聚光功能的情况下，来自该入射光纤11的光形成的光束收敛部的位置(光束直径最小的位置，即设于光纤前端的透镜的焦点位置)只要与两个反射镜14、15的其中一个相一致，则就会位于加大偏离的另一个的位置。例如，若光束收敛部的位置与反射镜15相一致，则通过在反射镜14上照射大尺寸的光点，而不得不使反射镜14的面积增大及驱动行程增大。另一方面，若光束收敛部的位置与反射镜14相一致，则通过在反射镜15上照射大尺寸的光点，而不得不使反射镜15的面积增大。

这样的反射镜面积增大的情况，在将光开关由例如MEMS(Micro ElectroMechanical System微电机系统)构成的情况下，成为大问题。即，需要增大构成反射镜的硅层(硅器件层)的厚度，另外，产生了对于这样的厚的硅器件层必须垂直进行精度良好的蚀刻的问题。另外，驱动行程的增大也产生要求驱动器的驱动电压增大的负担。

专利文件1(日本)特开JP2003-248180

专利文件2(日本)特开平1-306811

发明内容

本发明的目的是鉴于以上问题、提供能够获得与偏振波状态一致的两射出光、且能够由MEMS容易构成的光开关。

根据本发明的光开关，其包含，

基板；

反射镜装置，其配置于所述基板上、延长面相互以规定角度交叉、在所述基板的板面上具有垂直的第一反射镜面和第二反射镜面；

第一光波导装置，其配置于具有以与所述第一反射镜面和第二反射镜面相等的角度而形成光路的前端的所述基板上；

第二及第三光波导装置，其在所述第一光波导装置的两侧、相互成锐角配置于所述基板上，具有通过所述第一及第二反射镜面的反射、分别与所述第一光波导装置的前端进行光耦合的前端；

驱动器，其配置于所述基板上，驱动所述反射镜装置，经所述第一反射镜面与所述第二反射镜面中的任一个、将所述第二或第三光波导装置的前端与所述第一光波导装置的前端进行光耦合，

使通过所述第一反射镜面而进行光耦合的所述第一及第二光波导装置的前端之间的光程、与通过与所述第二反射镜面而进行光耦合的所述第一及第三光波导装置的前端之间的光程相等。

附图说明

图1是用于说明本发明的光开关的一实施例的结构的平面图；

图2是表示对图1安装光纤的状态的重要部件的部分放大平面图；

图3(A)是表示图1所示的光开关的光路的详细图；

图3(B)是表示在将反射镜作为具有第一反射镜面和第二反射镜面的一体可动反射镜的情况下的结构及光路的图；

图4是用于说明光开关的制造方法的一例的工序图；

图5(A)是用于说明1×2型光开关的以往结构例的图；

图5(B)是用于说明图5(A)的动作的图；

图6是用于说明相对于输入口、将两个输出口配置于相同侧的以往结构例中相对两个反射镜入射角相等的情况下产生的问题的图。

具体实施方式

对本发明的实施方式，参照附图通过实施例进行说明。

图1表示本发明的1×2型光开关的一实施例的结构，在该例中，光开关由MEMS构成，如后述的图4(A)所示，使用具有硅基板21、氧化硅膜22及硅器件层23的三层结构的SOI(Silicon on insulator)晶片20而制造。另外，以下所说明的各构成要件通过将硅基板21上硅器件层23、氧化硅膜22适当蚀刻除去而形成。

作为光波导装置，在该例中使用光纤，对光纤的端部定位、收容的三个光纤槽(光纤引导器)31～33从硅基板21的内陆到达外周而形成。这些光纤槽31～33在它们的内端合并为一个、形成反射镜收容室34，两面的光纤槽32、33隔着正中间的光纤槽31相互成为锐角而形成。各光纤槽31～33的外端(开放端)一侧的部分向外侧宽度逐渐变宽而形成。另外，在图1中，省略光纤的图示。

在三个光纤槽31～33的内端合并而形成的反射镜收容室34中配置固定反射镜35，进而，配置可动反射镜。光电反射镜35从中心部34的内侧壁突出而形成，可动反射镜36在可动杆38的前端一体形成。

可动杆38位于与反射镜收容室34连通的杆槽39内，分别在长的可动杆38的延伸方向中间部、及与形成可动反射镜36的前端的相反一侧的基端部，一对枢轴41a、41b及42a、42b延长形成以在可动杆38的宽度方向两侧突出。可动杆38通过这些枢轴41a、41b及42a、42b，在可动杆38的长度方向可以位移地被支承。各枢轴41a、41b及42a、42b具有作为板簧的功能，这些可动杆38及相反一侧的前端由固定部37支承。另外，这些枢轴41a、41b及42a、42b分别位于与杆槽39连通的凹部43～46内。

在枢轴41a、41b及42a、42b之间，可动杆38上配设梳齿型静电驱动器。梳齿型静电驱动器由固定梳齿电极51、52和可动梳齿电极47构成，可动梳齿电极47突出形成于在可动杆38的宽度方向两侧突出形成的支承梁48a、48b上以及它们的各自的枢轴41a、41b一侧及枢轴42a、42b一侧。另外，可动梳齿电极47经支承梁48a、48b、可动杆38及枢轴41a、41b、42a、42b，与固定部37电导通。

在可动杆38的延伸方向，在隔着可动梳齿电极47的两侧，第一固定梳齿电极51和第二固定梳齿电极52与可动梳齿电极47以啮合的方式配置，该第一、第二固定梳齿电极51、52分别从固定部53a、53b及54a、54b突出而形成。另外，在图1中，55a、55b、56a、56b分别表示在固定部53a、53b、54a、54b连续设置的端子。

图2表示对图1在各光纤槽31～33收容配置光纤端部的状态的重要部件的详细放大图，配置于光纤槽31的光纤61的前端部作为输入口、配置于光纤槽32、33的光纤62、63的前端部分别作为第一及第二输出口。

对各光纤61～63省略详细图示，其作为分别在各自的前端带有棒状透镜的带有杆式透镜的光纤而具有聚光功能。对杆式透镜可以利用例如将渐变折射率光纤(GI光纤)减短的光纤。另外，对各光纤61～63的前端面(杆式透镜的前端面)相对于光纤轴倾斜、且对固定部37的板面为直角实施研磨，使光纤61～63具有倾斜端面。另外，光纤62、63的倾斜端面的法线在与硅基板21的板面平行的面内，相对于光纤62、63各自的光轴，相互朝外取向而配置。这样，与光纤62、63的光轴所成的角度相比较，能够使从反射镜面35a、36a到达光纤62、63的端面的反射光72、73的轴所成的角度加大，因此，这样就能够使光纤61、62、63的端面与反射镜面35a、36a之间的距离变短。

下面，对该光开关的动作进行说明。光开关制造后的初期状态(第一稳定状态)下，可动反射镜36位于图1、2所示的位置，此时，如图3(A)所示，从光纤61射入的入射光71经固定反射镜35的反射镜面35a反射，该反射光72射入光纤62。

与可动梳齿电极47导通的固定部37及第一固定梳齿电极51分别接地的状态下，只要在第二固定梳齿电极52上施加电压，第二固定梳齿电极52与可动梳齿电极47之间静电吸引力起作用、在该力大于第一稳定状态的枢轴41a、41b、42a、42b的保持力的情况下，枢轴41a、41b、42a、42b向第二稳定状态反转，即使断掉电压，也可以自我维持该状态。此时，可动杆38使可动反射镜36在其延伸方向位移而进一步进入中心部34内，由此，如图3(A)虚线表示，可动反射镜36向自光纤61射入的入射光71的光路上插入。因此，入射光71经可动反射镜36的反射镜面36a反射，该反射光73射入光纤63。如图3(A)所示，反射镜面36a如箭头所示，通过向该反射镜面内方向驱动，能够不依赖于反射镜面36a上的反射位置，而使反射光73的光轴能够保持一定位置。

另一方面，在固定部37及第二固定梳齿电极52分别接地的状态下，只要对第一固定梳齿电极51施加电压，第一固定梳齿电极51与可动梳齿电极47之间静电吸引力起作用、在该力大于第二稳定状态的枢轴41a、41b、42a、42b的保持力的情况下，枢轴41a、41b、42a、42b反转，再次返回第一稳定状态。

这样，在该例中，枢轴41a、41b、42a、42b为双稳定型的结构，通过驱动梳齿型静电驱动器，而驱动可动反射镜36，在固定反射镜35的近前位置插入或拔出，从而转换光路。或者，向第一固定梳齿电极51及第二固定梳齿电极52施加的电压，例如在端子部55a、55b、56a、56b分别连接接合线，经这些接合线而进行。

下面，对于从光纤61至光纤62及63的光路进行详细说明。如前所述，光纤62、63隔着光纤61而相互在相反一侧、互相成为锐角而配置，如图3(A)所示，来自光纤61的入射光71，向固定反射镜35的反射镜面35a射入的入射角，与向可动反射镜36的反射镜面36a射入的入射角相互相等。在该例中，入射角α为10°，因此，两反射光72、73的光轴所成的角度θ为θ＝4α＝40°。

另一方面，如前所述，由于光纤61～63具有倾斜端面，光纤62、63的光轴所成的角度θ′(参照图2)，小于如上所述的θ＝40°。

即，若空气的折射率为1，光纤62、63端部的中心折射率(前端的杆式透镜的中心折射率)为n，端面倾斜角为β，则θ′表示为：

θ′＝θ-2{sin^-1(nsinβ)-β}，

在此，若n＝1.46，β＝8°，则两光纤62、63的光轴所成的角度θ′为θ′＝32.6°。

另一方面，如图2所示，各光纤61～63的端面的中心为P、Q、R，如图3(A)所示，入射光71的反射镜面35a中的反射点为S，反射镜面36a的中反射点为T时，在该例中，光程PS+SQ与PT+TR相等，即从光纤61的端面经反射镜面35a至光纤62的端面的光程，与自光纤61的端面经反射镜面36a至光纤63的端面的光程相互相等。另外，该光程为L(＝PS+SQ＝PT+TR)。

空中传播光的光程L优选抑制光扩散并且短，另外优选反射镜面35a和36a的光路上的距离在它们的两反射镜面35a和36a上极其接近光束收敛部并且短。通过光束收敛部上配置反射镜面的位置，能够使所需要的反射镜的直径减小。

在该例中，光纤61～63的端面极其接近反射镜面35a和36a而配置，或者，使在反射镜面35a和36a的光路上的距离也极短。光纤61～63的直径(包层直径)为φ125μm的情况下，如果以数值例表示，则可以使L＝750μm，在反射镜面35a和36a的光路上的距离(点T和S之间的距离)为24.5μm。这与现有技术说明中所例举的数值例相比显著减小。而且，在这种情况下，光纤61～63的前端部相互极度接近，即，接近于相接的极限位置而配置，例如，点P与R的距离为130μm。

从安装可动杆38的可动反射镜36优选尽量小的观点来看，自光纤61射入的入射光71的光束收敛部优选例如在反射镜面36a上形成。但是，如上所述，在该实施例中，由于能够在反射镜面35a和36a上相互接近而配置，因此，反射光71也可以在自该光路上插入的反射镜面36a的位置T至反射镜面35a的位置S的任意位置上形成光束收敛部。

根据上述例子，自光纤61(输入口)的入射光71射入固定反射镜35的反射镜面35a的入射角，与射入可动反射镜36的反射镜面36a的入射角相互相等，另外，自光纤61的端面经反射镜面35a至光纤62的端面的光程，与自光纤61的端面经反射镜面36a至光纤63的端面的光程相互相等。因此，能够使光纤62、63(第一及第二输出口)射出的两射出光的偏振波状态高精度一致。另外，光纤62、63隔着光纤61相互成锐角而配置，因此，由于向两反射镜面35a、36a射入的入射光71的入射角α为锐角，在该点上，能够得到良好的偏振波状态。

进而，由于光纤62、63隔着光纤61相互各在相反一侧的位置上，因此，该光纤62、63的端面不接近，另外，因为由反射镜面35a、36a分别反射的反射光72、73在相互分开的方向上行进，能够将例如应该与一侧的光纤62光耦合的反射光72而与另一侧的光纤63光耦合的串线干扰大幅度减少，从而能够得到良好的串线干扰性能。

进而，这样由于光纤62、63隔着光纤61而位于相互相反一侧的位置上，因此，光纤62、63不会重叠，即，能够使光纤62、63的端面例如相对于反射镜面35a同等地接近，因而，可以使反射镜面36a相对于在光路上的反射镜面35a非常接近。因此，能够使照射在反射镜面35a和36a上的光点同时减小，构成不产生如图6所示的以往例那样的其中一个为大尺寸的光点的光路。在该点上，上述的光开关对由MEMS而构成的开关，非常适合。

另外，如前所述，将作为第一及第二输出口的光纤62、63的端面作为倾斜端面，通过该两倾斜端面的法线相对与光纤的光轴相互朝外而配置光纤62、63，由于能够使两光纤62、63的光轴所成的角度θ′小于向它们射入的反射光72、73的光轴所成的角度θ，因此，光纤62、63所成的角度可以更窄，在这一点上，能够谋求光开关的小型化及集成性的提高。

图4为将用于制造上述MEMS光开关的过程模式化而表示的图，以下，对各工序进行说明。

步骤S1：在SOI晶片20的硅器件层23表面上形成氧化硅膜24，通过光刻法及蚀刻，而对氧化硅膜24进行构图。

步骤S2：将氧化硅膜24作为掩模对硅器件层23在垂直方向进行各向异性蚀刻。蚀刻通过例如ICP-RIE(利用电感耦合等离子体的反应性离子蚀刻)而进行。这样，形成图2中的光纤槽31、32、33、中心凹部34、可动杆槽39、凹部43～46等，同时，形成固定反射镜35、可动反射镜36、可动杆38、枢轴41a、41b、42a、42b、梳齿电极47、51、52等的外周形状。

步骤S3：通过将芯片浸渍于氢氟酸中，蚀刻除去在应该成为可动部25的结构下的氧化硅膜22。另外，相对于宽度小的可动部25，在宽度大的(面积大)固定部26下残留氧化硅膜22。

步骤S4：对例如反射镜或电极垫的需要的部位用金属涂敷，在表面形成金属膜27。进而，安装光纤60而完成光开关。

但是，在图1、2、3(A)中所说明的实施例中，使用具有反射镜面35a的固定反射镜35和具有反射镜面36a的可动反射镜36的两个反射镜，反射镜也可以由将具有两个反射镜面35a和36a的一体的可动反射镜而构成。图3(B)表示那样的一体的可动反射镜36′，该可动反射镜36′在可动反射镜36的前端，与固定反射镜35的结构一体形成。可动反射镜36′与可动反射镜36相同，在可动杆38的前端一体形成。另外，通过梳齿型静电驱动器，可动反射镜36′的驱动方向与如图3(A)所示的可动反射镜36的情况相同，为与反射镜面36a平行的方向，另外光开关制造后的初始状态如图3(B)的实线所示，反射镜面36a离开光路、成为入射光71向反射镜面35a射入的状态。

双稳定光开关制造后的初期的稳定状态向的枢轴41a、41b、42a、42b的状态为第一状态，由最初施加电压，可动杆38在其轴向移动、开关成为第二稳定状态时的枢轴的状态为第二状态，则在稳定状态下的可动杆的位置及方向的再现精度，与枢轴在第一状态的情况下相比，一般来讲，在第二状态下的不好。在此，为了尽量减小对于精度不好的影响，像这样，枢轴在第一状态下与驱动器的驱动轴(驱动方向)不平行的反射镜面优选能够受到入射光的照射的结构。枢轴在第二状态下，至少在反射镜面36a的箭头所示的可动方向上即使再现位置精度不好，也不会影响反射光73的光轴位置。

根据如图3(B)所示的可动反射镜36′，如图3(A)所示，不再需要可动反射镜36与可动反射镜35间的所需要的间隙，因此，能够进一步缩短反射镜面35a和反射镜面36a的光路上的距离(点T与S之间的距离)。

以上，对作为光波导装置、使用光纤的例子进行了说明，但光波导装置并不局限于光纤，也可以是例如在基板上形成的光波导路，在这种情况下，光波导路例如为曲面、且具有聚光功能。

另外，上述各实施例中，例如如图2所示，表示了中央的光纤61为输入口、其两侧的光纤62、63为输出口的例子，但也可以将两侧的两光纤62、63作为第一及第二输入口，将光纤61作为输出口，通过开关对第一及第二输入口中的任一个发出的光进行选择、经输出口(光纤61)输出而进行动作。在这种情况下，向第一及第二输入口输入的光在到达输出口之间所受的偏振波状态的变化大致相互相同。

根据该发明，能够使光开关中两射出光的偏振波状态一致，且能够实现良好的串线性能。

进而，根据该发明，将光路上的两反射镜面与现有技术相比，能够大幅度相接近而配置，因此，由于能够同时使向这些反射镜面照射的光点减小，即，能够使光束收敛部的位置与这些两反射镜面大致一致，在该点上，能够由MEMS简单地构成。

Claims

1.一种光开关，其特征在于，

在基板上配置具有在所述基板的板面上垂直固定的第一反射镜面的第一反射镜和具有与所述基板的板面垂直的第二反射镜面的第二反射镜，所述第一反射镜面的延长面与所述第二反射镜面的延长面相互以规定角交叉；

在所述基板上配置第一光波导装置，自所述第一光波导装置的前端至所述第一反射镜面的光路与所述第一反射镜面所成的角度和自所述第一光波导装置的前端至所述第二反射镜面的光路与所述第二反射镜面所成的角度相互相等；

在所述基板上在所述第一光波导装置的一侧和另一侧分别配置第二及第三光波导装置，所述第二及第三光波导装置的光轴相互成锐角；

在所述基板上配置进行光耦合切换的驱动器，所述光耦合为：将所述第二反射镜向与所述第二反射镜面平行且与所述基板的板面平行的方向驱动，通过相对自所述第一光波导装置的前端至所述第一反射镜面的光路、在所述第一反射镜面的近前位置插拔所述第二反射镜面，从而在光开关的第一稳定状态下使所述第一光波导装置的前端通过所述第一反射镜面的反射而与所述第二光波导装置的前端进行光耦合，以及，在光开关的第二稳定状态下使所述第一光波导装置的前端通过所述第二反射镜面的反射而与所述第三光波导装置的前端进行光耦合；

使通过所述第一反射镜面的反射而进行光耦合的所述第一及第二光波导装置的前端之间的光程、与通过与所述第二反射镜面的反射而进行光耦合的所述第一及第三光波导装置的前端之间的光程相等。

2.一种光开关，其特征在于，

在基板上配置具有与所述基板的板面垂直的第一反射镜面的第一反射镜和与所述第一反射镜一体形成且具有与所述基板的板面垂直的第二反射镜面的第二反射镜，所述第一反射镜面的延长面与所述第二反射镜面的延长面相互以规定角交叉；

在所述基板上配置进行光耦合切换的驱动器，所述光耦合为：将所述第二反射镜向与所述第二反射镜面平行且与所述基板的板面平行的方向驱动，通过相对自所述第一光波导装置的前端至向所述第一反射镜面照射的位置的光路、在所述第一反射镜面的近前位置插入或拔出所述第二反射镜面，从而在光开关的第一稳定状态下使所述第一光波导装置的前端通过所述第一反射镜面的反射而与所述第二光波导装置的前端进行光耦合，以及，在光开关的第二稳定状态下使所述第一光波导装置的前端通过所述第二反射镜面的反射而与所述第三光波导装置的前端进行光耦合；

3.如权利要求1或2所述的光开关，其特征在于，来自所述第一光波导装置的前端的光在从所述第二反射镜面插入或拔出的所述近前的位置、至照射所述第一反射镜面的位置中的任一位置上，形成光束收敛部。

4.如权利要求1或2所述的光开关，其特征在于，所述第二及第三光波导装置的前端分别形成为倾斜端面，所述第二及第三光波导装置的倾斜端面的法线在与所述基板的板面平行的面内，分别相对于所述第二及第三光波导装置的光轴方向向外取向。

5.如权利要求4所述的光开关，其特征在于，所述第一、第二及第三光波导装置的前端分别为带有棒状透镜的光纤。

6.如权利要求4所述的光开关，其特征在于，所述第一光波导装置的前端为使光向所述第一或第二反射镜面入射的输入口，所述第二光波导装置的前端为接收来自所述第一反射镜面的反射光的输出口，所述第三光波导装置的前端为接收来自所述第二反射镜面的反射光的输出口。

7.如权利要求4所述的光开关，其特征在于，所述第二及第三光波导装置的前端为使光分别向所述第一及第二反射镜面入射的输入口，所述第一光波导装置的前端为接收来自所述第一或第二反射镜面的反射光的输出口。