JP3219057B2 - 可変光減衰器 - Google Patents
可変光減衰器Info
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/264—Optical coupling means with optical elements between opposed fibre ends which perform a function other than beam splitting
- G02B6/266—Optical coupling means with optical elements between opposed fibre ends which perform a function other than beam splitting the optical element being an attenuator
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、外部からの信号に
よって減衰量を制御することができる可変光減衰器に関
するものである。
よって減衰量を制御することができる可変光減衰器に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の可変光減衰器は、多くの構成部品
を必要としている。例えば、中田他著「磁気光学型可変
光アッテネータ」（１９９７年電子情報通信学会エレク
トロニクスソサイエティ大会Ｃ−３−４８）には、従来
の可変光減衰器の構成が記載されている。
を必要としている。例えば、中田他著「磁気光学型可変
光アッテネータ」（１９９７年電子情報通信学会エレク
トロニクスソサイエティ大会Ｃ−３−４８）には、従来
の可変光減衰器の構成が記載されている。
【０００３】図５は、従来の可変光減衰器の構成例を示
した図である。光ファイバ５０１、５０２、レンズ５０
３、５０４、ファラデー回転子５０５、偏光分離素子５
０６、５０７、電磁石５０８によって構成されている。
この種の可変光減衰器は、通常の状態では、光ファイバ
５０１から出射された光は、レンズ５０３、５０４間で
はコリメートビームとなり、偏光分離素子５０６、ファ
ラデー回転子５０５、偏光分離素子５０７を通過する
が、そのほとんどが再び光ファイバ５０２に結合される
ように配置されている。そして、減衰量を変化させる場
合には、電磁石５０８の磁界を適宜に変化させることに
よってビームの位置をずらせて光５０２に結合する光の
量を変化させる。
した図である。光ファイバ５０１、５０２、レンズ５０
３、５０４、ファラデー回転子５０５、偏光分離素子５
０６、５０７、電磁石５０８によって構成されている。
この種の可変光減衰器は、通常の状態では、光ファイバ
５０１から出射された光は、レンズ５０３、５０４間で
はコリメートビームとなり、偏光分離素子５０６、ファ
ラデー回転子５０５、偏光分離素子５０７を通過する
が、そのほとんどが再び光ファイバ５０２に結合される
ように配置されている。そして、減衰量を変化させる場
合には、電磁石５０８の磁界を適宜に変化させることに
よってビームの位置をずらせて光５０２に結合する光の
量を変化させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の可変光減衰器は、部品点数も必然的に多くなり構成
も複雑である上、大型であり高価であるという問題点が
ある。また、電磁石による磁界を変化させているため、
消費電力が大きいという問題もある。加えて、ファラデ
ー回転子の回転角度に波長依存性があることから、減衰
量の波長依存性が大きいという問題点もある。
来の可変光減衰器は、部品点数も必然的に多くなり構成
も複雑である上、大型であり高価であるという問題点が
ある。また、電磁石による磁界を変化させているため、
消費電力が大きいという問題もある。加えて、ファラデ
ー回転子の回転角度に波長依存性があることから、減衰
量の波長依存性が大きいという問題点もある。
【０００５】本発明も目的は、このような問題点を解決
し、消費電力が少なくて外部からの減衰量の制御が容易
でかつ正確で、しかも偏光依存性の小さい可変光減衰器
を提供することにある。
し、消費電力が少なくて外部からの減衰量の制御が容易
でかつ正確で、しかも偏光依存性の小さい可変光減衰器
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の可変光減衰器
は、上記問題点を解決するために、終端部において第１
の湾曲部を有する第１の光導波路と、終端部において第
１の光導波路の近傍にあって第１の湾曲部と反対側に湾
曲する第２の湾曲部を有する第２の光導波路と、第１の
光導波路から終端部において出射された光を反射して第
２の光導波路に結合させる反射部を有する光反射部とを
備えており、光反射部が反射部を第１の光導波路に対し
て垂直な軸回りに回転させる反射部回転部を備えている
ことを特徴としている。
は、上記問題点を解決するために、終端部において第１
の湾曲部を有する第１の光導波路と、終端部において第
１の光導波路の近傍にあって第１の湾曲部と反対側に湾
曲する第２の湾曲部を有する第２の光導波路と、第１の
光導波路から終端部において出射された光を反射して第
２の光導波路に結合させる反射部を有する光反射部とを
備えており、光反射部が反射部を第１の光導波路に対し
て垂直な軸回りに回転させる反射部回転部を備えている
ことを特徴としている。
【０００７】本発明の可変光減衰器はまた、同様の構成
として、第１の光導波路と、第２の光導波路と、第１及
び第２の光導波路にそれぞれ接続され、モード結合が生
じるように互いに近接して配置された２本の光導波路か
らなる方向性結合器であって、完全結合長のほぼ半分の
長さの結合部を有し、当該半分の長さの位置で終端部が
形成された方向性結合器と、方向性結合器の第１の光導
波路に接続される光導波路から終端部において出射され
た光を反射して第２の光導波路に接続された光導波路に
結合させる反射部を有する光反射部とを備えており、光
反射部が、反射部を第１の光導波路に対して垂直な軸回
りに回転させる反射部回転部を備えていることを特徴と
している。
として、第１の光導波路と、第２の光導波路と、第１及
び第２の光導波路にそれぞれ接続され、モード結合が生
じるように互いに近接して配置された２本の光導波路か
らなる方向性結合器であって、完全結合長のほぼ半分の
長さの結合部を有し、当該半分の長さの位置で終端部が
形成された方向性結合器と、方向性結合器の第１の光導
波路に接続される光導波路から終端部において出射され
た光を反射して第２の光導波路に接続された光導波路に
結合させる反射部を有する光反射部とを備えており、光
反射部が、反射部を第１の光導波路に対して垂直な軸回
りに回転させる反射部回転部を備えていることを特徴と
している。
【０００８】ここで、反射部回転部は、反射部を支持す
るヒンジ部と、ヒンジ部の根本に形成された電極を有
し、電極に印加された電圧によりヒンジ部を回転させる
ヒンジ型マイクロマシンであることを特徴としている。
るヒンジ部と、ヒンジ部の根本に形成された電極を有
し、電極に印加された電圧によりヒンジ部を回転させる
ヒンジ型マイクロマシンであることを特徴としている。
【０００９】本発明の可変光減衰器は、上記構成におい
て、さらに、外部との接続を容易にすべく、第１及び第
２の光導波路の終端部とは反対側の端部においてそれぞ
れ接続された第１及び第２の光ファイバを備えているこ
とを特徴としている。また、本発明の可変光減衰器は、
終端部と反射部の間には第１の光導波路とほぼ同じ屈折
率を有する溶液性の樹脂が配置されていることを特徴と
している。
て、さらに、外部との接続を容易にすべく、第１及び第
２の光導波路の終端部とは反対側の端部においてそれぞ
れ接続された第１及び第２の光ファイバを備えているこ
とを特徴としている。また、本発明の可変光減衰器は、
終端部と反射部の間には第１の光導波路とほぼ同じ屈折
率を有する溶液性の樹脂が配置されていることを特徴と
している。
【００１０】本発明の可変光減衰器は、第１の光導波路
の終端部から出射された光を終端部近傍に配置した反射
部により反射させて第２の光導波路に結合させる構成を
基本としている。そして、反射部を光導波路に対して垂
直な軸方向に回転させて反射角を変化させることによ
り、第２の光導波路への結合を変化させて減衰量を制御
するようにしている。特に、本発明の可変光減衰器で
は、上記反射部の回転をシリコンマイクロマシン等を利
用することにより、小型化し、しかも精度の良い制御が
できるようにした点に特徴がある。
の終端部から出射された光を終端部近傍に配置した反射
部により反射させて第２の光導波路に結合させる構成を
基本としている。そして、反射部を光導波路に対して垂
直な軸方向に回転させて反射角を変化させることによ
り、第２の光導波路への結合を変化させて減衰量を制御
するようにしている。特に、本発明の可変光減衰器で
は、上記反射部の回転をシリコンマイクロマシン等を利
用することにより、小型化し、しかも精度の良い制御が
できるようにした点に特徴がある。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の可変光減衰器につ
いて、図面を参照して詳細に説明する。
いて、図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】図１は、本発明の可変光減衰器の第１の実
施例の構成を示す上面図である。可変光減衰器１００
は、Ｙ分岐導波路１０１、ヒンジ型マイクロマシン１０
２、光ファイバ１０３、１０４から構成されている。
施例の構成を示す上面図である。可変光減衰器１００
は、Ｙ分岐導波路１０１、ヒンジ型マイクロマシン１０
２、光ファイバ１０３、１０４から構成されている。
【００１３】Ｙ分岐導波路１０１は、光ファイバとほぼ
同一のモードフィールド径を有した２本の導波路がＹ分
岐結合部１０５で結合する構成となっている。すなわ
ち、Ｙ分岐導波路は、第１の光導波路（図面中上部）と
第２の光導波路（同下部）からなる。第１の光導波路は
基板右端の終端部にいくに従って下方向に湾曲する湾曲
部を有している。一方、第２の光導波路は終端部にいく
に従って、上方向に湾曲する湾曲部を有している。両光
導波路は、終端部近傍でほぼ接触するほどに近接するよ
うに形成されている。
同一のモードフィールド径を有した２本の導波路がＹ分
岐結合部１０５で結合する構成となっている。すなわ
ち、Ｙ分岐導波路は、第１の光導波路（図面中上部）と
第２の光導波路（同下部）からなる。第１の光導波路は
基板右端の終端部にいくに従って下方向に湾曲する湾曲
部を有している。一方、第２の光導波路は終端部にいく
に従って、上方向に湾曲する湾曲部を有している。両光
導波路は、終端部近傍でほぼ接触するほどに近接するよ
うに形成されている。
【００１４】図１において、光ファイバ１０３から出射
された信号光１０６は、Ｙ分岐型導波路１０１を透過
後、Ｙ分岐結合部１０５においてヒンジ型マイクロマシ
ン１０２で反射され、再びＹ分岐導波路１０１を経て光
ファイバ１０４に導かれる。ヒンジ型マイクロマシン１
０２により、反射してＹ分岐導波路１０１に結合する信
号光１０６の結合効率を制御することで、可変光減衰器
を実現することができる。
された信号光１０６は、Ｙ分岐型導波路１０１を透過
後、Ｙ分岐結合部１０５においてヒンジ型マイクロマシ
ン１０２で反射され、再びＹ分岐導波路１０１を経て光
ファイバ１０４に導かれる。ヒンジ型マイクロマシン１
０２により、反射してＹ分岐導波路１０１に結合する信
号光１０６の結合効率を制御することで、可変光減衰器
を実現することができる。
【００１５】すなわち、第１の光導波路の終端部から出
射された光は、全反射膜が表面に形成された反射部１０
６で反射され、第２の光導波路に結合される。いま、減
衰量を抑えたいときは、反射部１０６が終端部にほぼ平
行になるように配置されるようにすればよい。
射された光は、全反射膜が表面に形成された反射部１０
６で反射され、第２の光導波路に結合される。いま、減
衰量を抑えたいときは、反射部１０６が終端部にほぼ平
行になるように配置されるようにすればよい。
【００１６】一方、減衰をさせる場合には、反射部１０
６が光導波路に対して垂直な軸回りに回転をさせるよう
にする。反射部が回転をすれば、回転角に応じて反射角
も変化し、第１の光導波路から出射された光の第２の光
導波路への結合の量を変化させることができる。なお、
図１においては、紙面に対して垂直な軸回りに回転をさ
せているが、紙面の上下方向にある軸回りに反射部１０
６を回転させてもよい。
６が光導波路に対して垂直な軸回りに回転をさせるよう
にする。反射部が回転をすれば、回転角に応じて反射角
も変化し、第１の光導波路から出射された光の第２の光
導波路への結合の量を変化させることができる。なお、
図１においては、紙面に対して垂直な軸回りに回転をさ
せているが、紙面の上下方向にある軸回りに反射部１０
６を回転させてもよい。
【００１７】次に、本発明の可変光減衰器の第２の実施
例について説明する。第２の実施例も光減衰の基本的な
原理は第１の実施例と同様であるが、図２に示されるよ
うに、Ｙ分岐型導波路の代わりに、方向性結合器が用い
られている点で相違する。第２の実施例で用いられてい
る方向性結合部２０５は、完全結合長の半分の長さを有
している。このような構成では、光ファイバ２０３から
第１の光導波路に入射された光は、方向性結合部２０５
でモード結合により上部の光導波路から下部の光導波路
に徐々に移行し、終端部でほぼ半分が移行する。反射部
２０６で反射され、再び方向性結合２０５においてモー
ド結合によりさらに下部の光導波路に移行し、方向性結
合部２０５を出たところでほぼ全部の光が移行する。こ
のような構成によっても、終端部に反射部２０６を配置
し、回転角を制御することにより減衰量を制御すること
ができる。
例について説明する。第２の実施例も光減衰の基本的な
原理は第１の実施例と同様であるが、図２に示されるよ
うに、Ｙ分岐型導波路の代わりに、方向性結合器が用い
られている点で相違する。第２の実施例で用いられてい
る方向性結合部２０５は、完全結合長の半分の長さを有
している。このような構成では、光ファイバ２０３から
第１の光導波路に入射された光は、方向性結合部２０５
でモード結合により上部の光導波路から下部の光導波路
に徐々に移行し、終端部でほぼ半分が移行する。反射部
２０６で反射され、再び方向性結合２０５においてモー
ド結合によりさらに下部の光導波路に移行し、方向性結
合部２０５を出たところでほぼ全部の光が移行する。こ
のような構成によっても、終端部に反射部２０６を配置
し、回転角を制御することにより減衰量を制御すること
ができる。
【００１８】ここで、第１及び第２の実施例の構成にお
ける反射部の回転には、微小角度の精密な調整が要求さ
れるが、本発明の可変光減衰器では、この反射部１０６
の回転制御には、ヒンジ型マイクロマシンが用いられて
いる。
ける反射部の回転には、微小角度の精密な調整が要求さ
れるが、本発明の可変光減衰器では、この反射部１０６
の回転制御には、ヒンジ型マイクロマシンが用いられて
いる。
【００１９】次に、このヒンジ型マイクロマシン１０
２、２０２の構成について説明する。
２、２０２の構成について説明する。
【００２０】図３は、本発明の可変光減衰器の第１の実
施例等に用いられているマイクロマシンの構成を示す斜
視図である。
施例等に用いられているマイクロマシンの構成を示す斜
視図である。
【００２１】ヒンジ型マイクロマシン３００は、本体３
０１、マイクロヒンジ３０２、電極３０３、３０４、全
反射膜３０５で構成される。このようなヒンジ型マイク
ロマシンは、例えばＥ．Ｏｂｅｒｍｅｉｅｒ他著「ＤＥ
ＳＩＧＮ ＡＮＤ ＦＡＢＲＩＣＡＴＩＯＮ ＯＦ Ａ
Ｎ ＥＬＥＣＴＲＯＳＴＡＴＩＣＡＬＬＹ ＤＲＩＶＥ
Ｎ ＭＩＣＲＯ−ＳＨＵＴＴＥＲ」（Ｔｈｅ ７ ｔｈ
Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ
ｏｎ ｓｏｌｉｄ−ｓｔａｔｅ ｓｅｎｓｏｒｓ ａ
ｎｄ ａｃｔｕａｔｏｒｓ ｐｐ１３２−１３５）に詳
細に記載されている。
０１、マイクロヒンジ３０２、電極３０３、３０４、全
反射膜３０５で構成される。このようなヒンジ型マイク
ロマシンは、例えばＥ．Ｏｂｅｒｍｅｉｅｒ他著「ＤＥ
ＳＩＧＮ ＡＮＤ ＦＡＢＲＩＣＡＴＩＯＮ ＯＦ Ａ
Ｎ ＥＬＥＣＴＲＯＳＴＡＴＩＣＡＬＬＹ ＤＲＩＶＥ
Ｎ ＭＩＣＲＯ−ＳＨＵＴＴＥＲ」（Ｔｈｅ ７ ｔｈ
Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ
ｏｎ ｓｏｌｉｄ−ｓｔａｔｅ ｓｅｎｓｏｒｓ ａ
ｎｄ ａｃｔｕａｔｏｒｓ ｐｐ１３２−１３５）に詳
細に記載されている。
【００２２】図３において、ヒンジ型マイクロマシン３
００は、電極３０３、３０４に電圧を印加することによ
り本体３０１、マイクロヒンジ３０２の間にクーロン力
が発生し、マイクロヒンジ３０２が図３の矢印方向に回
転させることができる。
００は、電極３０３、３０４に電圧を印加することによ
り本体３０１、マイクロヒンジ３０２の間にクーロン力
が発生し、マイクロヒンジ３０２が図３の矢印方向に回
転させることができる。
【００２３】次に、本発明の可変光減衰器の動作につい
て、図１に戻って第１の実施例を例に説明する。
て、図１に戻って第１の実施例を例に説明する。
【００２４】左方向から入射された信号光は、波長１５
５０ｎｍを有している。ヒンジ型マイクロマシン１０２
は、マイクロヒンジ部に波長１５５０±３０ｎｍにおい
て反射率９９％となる全反射膜が形成されている。光フ
ァイバ１０３から出射された信号光１０６は、Ｙ分岐型
導波路１０１を透過後、Ｙ分岐結合部１０５においてヒ
ンジ型マイクロマシン１０２に形成された全反射膜で反
射され、再びＹ分岐導波路１０１を経て光ファイバ１０
４に導かれる。
５０ｎｍを有している。ヒンジ型マイクロマシン１０２
は、マイクロヒンジ部に波長１５５０±３０ｎｍにおい
て反射率９９％となる全反射膜が形成されている。光フ
ァイバ１０３から出射された信号光１０６は、Ｙ分岐型
導波路１０１を透過後、Ｙ分岐結合部１０５においてヒ
ンジ型マイクロマシン１０２に形成された全反射膜で反
射され、再びＹ分岐導波路１０１を経て光ファイバ１０
４に導かれる。
【００２５】図３において、ヒンジ型マイクロマシン３
００は、電極３０３、３０４に電圧を印加することによ
り本体３０１、マイクロヒンジ３０２の間にクーロン力
が発生し、マイクロヒンジ３０２が図３の矢印方向に回
転する。従って、図１においてマイクロマシン１０２に
印加する電圧により、ヒンジ型マイクロマシン１０２で
反射してＹ分岐導波路１０１に結合する信号光１０６の
結合効率を変えることができる。マイクロマシン１０２
に印加する電圧を０Ｖから１５Ｖに変化させることで、
可変光減衰器の挿入損失を３ｄＢから２０ｄＢに変化さ
せることができる。また、挿入損失３ｄＢ、２０ｄＢ時
に、１５３０ｎｍから１５７０ｎｍにおける挿入損失の
波長依存性は０．１ｄＢ以下となることが確認されてい
る。なお、本実施例では、図示省略されているが、終端
部の端面にはフレネル反射による反射戻り光の発生と反
射損失を少なくするために、反射無反射コーティングが
施されている。
００は、電極３０３、３０４に電圧を印加することによ
り本体３０１、マイクロヒンジ３０２の間にクーロン力
が発生し、マイクロヒンジ３０２が図３の矢印方向に回
転する。従って、図１においてマイクロマシン１０２に
印加する電圧により、ヒンジ型マイクロマシン１０２で
反射してＹ分岐導波路１０１に結合する信号光１０６の
結合効率を変えることができる。マイクロマシン１０２
に印加する電圧を０Ｖから１５Ｖに変化させることで、
可変光減衰器の挿入損失を３ｄＢから２０ｄＢに変化さ
せることができる。また、挿入損失３ｄＢ、２０ｄＢ時
に、１５３０ｎｍから１５７０ｎｍにおける挿入損失の
波長依存性は０．１ｄＢ以下となることが確認されてい
る。なお、本実施例では、図示省略されているが、終端
部の端面にはフレネル反射による反射戻り光の発生と反
射損失を少なくするために、反射無反射コーティングが
施されている。
【００２６】次に、本発明の第３の実施例について図面
を参照して詳細に説明する。
を参照して詳細に説明する。
【００２７】上述した第１の実施例及び第２の実施例で
は、いずれも終端部から出射した光は、反射部１０６、
２０６に達するまでに空気層を通過することになる。上
述したように終端部に無反射コーティングを施すことに
より終端部での反射戻り光の発生と反射損失を低減させ
ることができるが、完全にこれを防止することは困難で
ある。
は、いずれも終端部から出射した光は、反射部１０６、
２０６に達するまでに空気層を通過することになる。上
述したように終端部に無反射コーティングを施すことに
より終端部での反射戻り光の発生と反射損失を低減させ
ることができるが、完全にこれを防止することは困難で
ある。
【００２８】そこで、第３の実施例では、終端部（図示
省略）と反射部４０６と間に光導波路とほぼ同じ屈折率
を有する樹脂を配置している点に特徴がある。これによ
り、終端部から光が出射する際にもフレネル反射を抑え
ることができるようになる。図４に示される第４の実施
例の構成では、ヒンジ型マイクロマシン４０２の全体を
ケース４０６に収容し、ケース内に樹脂４０７を充填し
た構成になっているが、終端部と反射部４０６との間の
みに樹脂が配置されるようにしてもよい。なお、本実施
例に用いることができる樹脂としては、例えばパーフル
オロカーボン、パーフルオロトリアルキルアミン等が適
している。
省略）と反射部４０６と間に光導波路とほぼ同じ屈折率
を有する樹脂を配置している点に特徴がある。これによ
り、終端部から光が出射する際にもフレネル反射を抑え
ることができるようになる。図４に示される第４の実施
例の構成では、ヒンジ型マイクロマシン４０２の全体を
ケース４０６に収容し、ケース内に樹脂４０７を充填し
た構成になっているが、終端部と反射部４０６との間の
みに樹脂が配置されるようにしてもよい。なお、本実施
例に用いることができる樹脂としては、例えばパーフル
オロカーボン、パーフルオロトリアルキルアミン等が適
している。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の可変光減
衰器は、第１の光導波路の終端部から出射された光を終
端部近傍に配置した反射部により反射させて第２の光導
波路に結合させる構成を基本としている。そして、反射
部を光導波路に対して垂直な軸方向に回転させて反射角
を変化させることにより、第２の光導波路への結合を変
化させて減衰量を制御するようにしている。特に、本発
明の可変光減衰器では、上記反射部の回転をシリコンマ
イクロマシン等を利用することにより、小型化し、しか
も精度の良い制御ができるという効果を奏する。
衰器は、第１の光導波路の終端部から出射された光を終
端部近傍に配置した反射部により反射させて第２の光導
波路に結合させる構成を基本としている。そして、反射
部を光導波路に対して垂直な軸方向に回転させて反射角
を変化させることにより、第２の光導波路への結合を変
化させて減衰量を制御するようにしている。特に、本発
明の可変光減衰器では、上記反射部の回転をシリコンマ
イクロマシン等を利用することにより、小型化し、しか
も精度の良い制御ができるという効果を奏する。
【００３０】また、ヒンジ型マイクロマシンを用いるこ
とにより、構成部品は少なくてすみ小型化にも適してい
る。さらに、消費電力も少なく、従来のファラデー回転
子を用いた構成にくらべて、全反射膜の波長依存性は一
般に小さいことから減衰量の波長依存性も小さいという
効果もある。
とにより、構成部品は少なくてすみ小型化にも適してい
る。さらに、消費電力も少なく、従来のファラデー回転
子を用いた構成にくらべて、全反射膜の波長依存性は一
般に小さいことから減衰量の波長依存性も小さいという
効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の可変光減衰器の第１の実施例の構成を
示す上面図である。
示す上面図である。
【図２】本発明の可変光減衰器の第２の実施例の構成を
示す上面図である。
示す上面図である。
【図３】本発明の可変光減衰器の第１の実施例等に用い
られているマイクロマシンの構成を示す斜視図である。
られているマイクロマシンの構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の可変光減衰器の第３の実施例の構成を
示す上面図である。
示す上面図である。
【図５】従来の可変光減衰器の一例を示す図である。
１０１ Ｙ分岐型導波路 １０２ ヒンジ型マイクロマシン １０３ 光ファイバ １０４ 光ファイバ １０５ Ｙ分岐結合部 １０６ 反射部 ２０１ 方向性結合器型導波路 ２０２ ヒンジ型マイクロマシン ２０３ 光ファイバ ２０４ 光ファイバ ２０５ 方向性結合部 ２０６ 反射部 ３０１ 本体 ３０２ マイクロヒンジ ３０３ 電極 ３０４ 全反射膜 ４０１ Ｙ分岐型導波路 ４０２ ヒンジ型マイクロマシン ４０３ 光ファイバ ４０４ 光ファイバ ４０５ Ｙ分岐結合部 ４０６ 反射部 ４０７ ケース ４０８ 樹脂 ５０１ 光ファイバ ５０２ 光ファイバ ５０３ レンズ ５０４ レンズ ５０５ ファラデー回転子 ５０６ 偏光分離素子 ５０７ 偏光分離素子 ５０８ 電磁石
Claims (5)
- 【請求項１】 終端部において第１の湾曲部を有する第
１の光導波路と、 前記終端部において前記第１の光導波路の近傍にあっ
て、前記第１の湾曲部と反対側に湾曲する第２の湾曲部
を有する第２の光導波路と、 前記第１の光導波路から前記終端部において出射された
光を反射して前記第２の光導波路に結合させる反射部を
有する光反射手段とを備え、 前記光反射手段は、前記反射部を前記第１の光導波路に
対して垂直な軸回りに回転させる反射部回転手段を備え
ていることを特徴とする可変光減衰器。 - 【請求項２】 第１の光導波路と、 第２の光導波路と、 前記第１の光導波路と前記第２の光導波路にそれぞれ接
続され、モード結合が生じるように互いに近接して配置
された２本の光導波路からなる方向性結合器であって、
完全結合長のほぼ半分の長さの結合部を有し、当該半分
の長さの位置で終端部が形成された方向性結合器と、 前記方向性結合器の前記第１の光導波路に接続される光
導波路から前記終端部において出射された光を反射して
前記第２の光導波路に接続された光導波路に結合させる
反射部を有する光反射手段とを備え、 前記光反射手段は、前記反射部を前記第１の光導波路に
対して垂直な軸回りに回転させる反射部回転手段を備え
ていることを特徴とする可変光減衰器。 - 【請求項３】 前記反射部回転手段は、 前記反射部を支持するヒンジ部と、 前記ヒンジ部の根本に形成された電極を有し、 前記電極に印加された電圧により前記ヒンジ部を回転さ
せることを特徴とするヒンジ型マイクロマシンであるこ
とを特徴とする請求項１又は請求項２記載の可変光減衰
器。 - 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれかの
請求項に記載の前記可変光減衰器は、さらに、 前記第１の光導波路の前記終端部とは反対側の端部にお
いて接続された第１の光ファイバと、 前記第２の光導波路の前記終端部とは反対側の端部にお
いて接続された第２の光ファイバとを備えていることを
特徴とする可変光減衰器。 - 【請求項５】 前記終端部と前記反射部の間には前記第
１の光導波路とほぼ同じ屈折率を有する溶液性の樹脂が
配置されていることを特徴とする請求項１から請求項４
までのいずれかの請求項に記載の可変光減衰器。
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP26989198A JP3219057B2 (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | 可変光減衰器 |
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| JP2000098136A JP2000098136A (ja) | 2000-04-07 |
| JP3219057B2 true JP3219057B2 (ja) | 2001-10-15 |
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|---|---|---|---|
| JP26989198A Expired - Fee Related JP3219057B2 (ja) | 1998-09-24 | 1998-09-24 | 可変光減衰器 |
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-
1998
- 1998-09-24 JP JP26989198A patent/JP3219057B2/ja not_active Expired - Fee Related
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