CN100497134C - 托盘输送装置 - Google Patents
托盘输送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN100497134C CN100497134C CNB2004100069605A CN200410006960A CN100497134C CN 100497134 C CN100497134 C CN 100497134C CN B2004100069605 A CNB2004100069605 A CN B2004100069605A CN 200410006960 A CN200410006960 A CN 200410006960A CN 100497134 C CN100497134 C CN 100497134C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tray
- main frame
- conveying device
- fixed
- tray conveying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
本发明涉及用于输送装有电子器件的搬运托盘的输送装置,尤其涉及电子器件在输送托盘中不晃动或不脱出,能平稳输送的托盘输送装置。本发明的托盘输送装置包括:主框架;安装在主框架上,支撑固定托盘的固定机构;安装在所述的主框架上,对固定机构所支撑的固定托盘进行矫正的矫正机构;安装在所述的主框架上,夹持搬运托盘的夹持机构;安装在所述的主框架上,用于检测夹持板和搬运托盘的至少一个或一个以上的检测传感器。本发明的采用这种结构的输送装置的优点在于:固定托盘由第一和第二固定构件固定,利用矫正机构对固定托盘的左/右侧倾斜进行矫正,并且通过准确地将搬运托盘的上部罩住,而使半导体器件在搬运托盘中不会晃动或脱出。
Description
技术领域
本发明涉及一种托盘输送装置,尤其涉及下述这样的一种托盘输送装置,该托盘输送装置利用一固定机构夹持固定托盘,利用矫正机构对被夹持的固定托盘的左/右侧倾斜进行矫正,利用被夹持的固定托盘罩住搬运托盘的上部,这样,在输送搬运托盘的过程中,能保持平稳,使电子体器件不会从搬运托盘中脱落。
背景技术
通常,在生产线上生产出来的电子(半导体)器件,要在出厂之前进行测试,以便鉴别是合格品还是不合格品。此时,卧式(水平)处理机主要用于此类器件中的非存储器半导体封装件的嵌块平板组件(quad flat package,简称为QFP)、滚珠格板阵列(ball gridarrays,简称为BGA)、针式格板阵列(pin grid arrays,简称为PGA)、小轮廓组件(small outline packages,简称为SOP)等各种逻辑器件的测试。
所述的卧式处理机,在各道工序之间,在水平状态下,一边自动移动放置在托盘上的器件,一边将这些器件安装到水平设置的测试点的测试插口上,进行所需的测试,然后根据测试结果,按照各种等级分类,再卸载到托盘上。
另外,最近,不仅要求半导体器件在常温下,而且要求在高温或低温的特定环境下各项性能保持稳定。因此,要求卧式处理机具备能够在用户规定的温度下,测试半导体器件性能的功能。
还有,为了在上述的高温或低温条件下测试半导体器件,装载半导体器件的托盘必须能够平稳地进行输送。
如前所述,为了用处理机测试小型半导体(电子)器件,当使用搬运托盘输送小型半导体器件时,半导体器件在搬运托盘中晃动或飞离出来的现象频繁发生。
这种现象是由于半导体器件体积小、重量轻而引起的。此前,韩国注册专利公报第10-0381854号曾披露了一种现有的托盘输送装置。
对于具有所述功能的处理机中用于输送托盘的现有的托盘输送装置,将参照附图加以说明。
图6是现有的托盘输送装置的立体示意图。
首先,如图6所示,通过安装在基座板10的X轴方向上的滚珠螺杆11的旋转,使基座板10在X轴方向上移动;在基座板10的面上,通过沿Z方向延伸的线性导向器12,设置第一和第二支撑板20、30。
这里,第一支撑板20、和第二支撑板30,分别通过安装在其下部的第一缸体21、和第二缸体31的驱动,沿Z轴方向移动。为了将托盘1装到第一支撑板20的上部,在支撑板上部的外周适当配置有多个导向销子22,以便对托盘1的边缘进行导向。在第二支撑板30的下部外侧,配置有挂钩32,以便能在下部夹持托盘1。
然后,第二支撑板30的挂钩32,可利用在其上部连接的挂钩机构33,在第二支撑板30的内/外侧旋转,该挂钩机构33通过与其一端连接的缸体34进行驱动。
挂钩机构33是由“H”形的框架33a、与框架33a两侧的顶端相对安装的4个销子33b以及分别与销子33b连接的可旋转的4个轴33c构成的。
由于采用了这种结构的挂钩机构33,通过挂钩32的正/反旋转,便可夹持/释放托盘1。
另外,第一和第二支撑板20、30,分别在各自的外侧安装有邻接的传感器23、35,用以检测托盘1的有/无。
采用上述结构的现有的托盘输送装置,利用第一支撑板20输送空托盘1,利用第二支撑板30输送装载有电子器件(图中未显示)的托盘1。
发明内容
可是,为了夹持托盘,这种现有的托盘输送装置的第二支撑板,采用通过挂钩机构旋转的挂钩。但是,这样只具有支撑托盘的底面的功能,而不能准确夹持,因此,在移动过程中,由于装置晃动会导致托盘错位,而产生电子器件的拾取装置不能准确地拾取电子器件的问题。
另外,由于现有的托盘输送装置是在同时夹紧和安装载有电子器件的托盘和空托盘的状态下移动,因此存在其构成复杂、不易设置、整体重量重的结构问题。
现有技术还存在因托盘输送装置使用的用于输送托盘的部件较多,致使造价增高的问题。
本发明就是为了解决这类问题,提供下述的托盘输送装置,即:利用第一和第二固定构件夹持固定托盘;采用矫正机构对被夹持的固定托盘的左/右侧倾斜进行矫正,然后将搬运托盘的上部罩住,从而可以防止输送装置在输送搬运托盘的过程中,搬运托盘所装载的电子器件晃动或脱离出来。
为达此目的,本发明的托盘输送装置包括:输送装有电子器件的托盘的输送装置的主框架;安装在所述主框架的侧部,支撑固定托盘的固定机构;安装在所述主框架的下部,对所述的固定机构所支撑的固定托盘进行矫正的矫正机构;安装在所述的主框架的上部,用于夹持搬运托盘的夹持机构(装置);安装在所述的主框架上,用于检测夹持板和搬运托盘的至少一个检测(感应)传感器。
所述的固定机构由安装在主框架的一侧,支撑固定托盘一端的第一固定部分和安装在主框架的另一侧,支撑固定托盘另一端的第二固定部分构成。
所述的第一固定部分包括:设置在主框架一侧的销子;一端接在所述销子上的拉伸弹簧;在所述拉伸弹簧的另一端上连接的利用弹力直接夹持固定托盘一端,在其内侧形成开槽形状的第一固定构件;设置在所述的槽孔内,可滑动的、对第一固定构件的移动进行导向的滑动构件。
所述的第一固定构件的一端形成有挂钩钳口部,以便能挂住并夹持固定托盘(的一端)。
所述的第二固定部分包括:安装在主框架的另一侧,直接支撑固定托盘的另一端的第二固定构件,和将所述的第二固定构件装到主框架上的连接构件。
在主框架的中央部位,设置至少一个以上的所述的矫正机构,以支撑并矫正该固定托盘。
所述的矫正机构包括以下部分:设置在主框架上部的平板;设置在该平板下部的压缩弹簧;安装在所述压缩弹簧的下部,并利用压缩弹簧的弹力,直接矫正固定托盘的衬垫;使所述的平板和压缩弹簧以及衬垫在基座框架上结合的连接构件。
所述的夹持机构包括:夹持搬运托盘的夹持部分,和驱动所述夹持部分的驱动部分,以及对夹持部分进行导向的导向部分。
所述的夹持部分包括:夹持搬运托盘的多个夹紧爪,和驱使所述夹紧爪移动的多个夹持板。
为了使所述的夹紧爪能够同时夹持搬运托盘的左/右两端,将位于左侧的多个夹紧爪和位于右侧的多个夹紧爪相对安装在主框架的左/右两侧。
位于所述主框架左侧的夹持板和位于所述主框架右侧的夹持板彼此相对设置。安装在主框架右侧的夹持板上的夹紧爪被设置在主框架右侧,安装在主框架左侧的夹持板上的夹紧爪被设置在主框架左侧。
附图说明
图1是本发明的托盘输送装置的夹持机构的分解立体图。
图2是表示托盘输送装置固定机构的第一固定部分和第二固定部分的立体图。
图3a表示托盘输送装置的第一固定部分和第二固定部分(准备)固定该固定托盘的立体示意图。
图3b表示固定托盘被托盘输送装置的第一和第二固定部分固定,且多个夹紧爪离开的状态的立体图。
图3c表示托盘输送装置的分开了的多个夹紧爪(准备)夹持搬运托盘的立体图。
图3d表示搬运托盘被托盘输送装置的靠拢了的多个夹紧爪夹持住的立体图。
图4a表示托盘输送装置的第一和第二固定部分准备固定固定托盘的左视图。
图4b表示固定托盘已被托盘输送装置的第一和第二固定部分固定的固定状态的左视图。
图5a表示托盘输送装置的分开了的多个夹紧爪(准备)夹持搬运托盘的正面图。
图5b表示搬运托盘被托盘输送装置的靠拢的多个夹紧爪夹持的正面图。
图6是现有技术的托盘输送装置的立体示意图。
具体实施方式
下面,参照附图详细说明本发明的托盘输送装置。
图1是用于处理机的本发明的托盘输送装置的夹持机构的分解立体图。图2是表示该托盘输送装置的固定机构的第一和第二固定部分的立体图。
图3a表示托盘输送装置的第一固定部分和第二固定部分(准备)固定该固定托盘的立体示意图。图3b表示固定托盘被托盘输送装置的第一和第二固定部分固定,且多个夹紧爪呈分开的状态的立体图。图3c表示托盘输送装置的分开了的多个夹紧爪(准备)夹持搬运托盘的立体图。图3d表示搬运托盘被托盘输送装置的靠拢了的多个夹紧爪夹持住的立体图。
图4a表示托盘输送装置的第一和第二固定部分准备固定固定托盘的左视图。图4b表示固定托盘被托盘输送装置的第一和第二固定部分固定的固定状态左视图。
图5a表示托盘输送装置的呈分开状态的多个夹紧爪准备夹持搬运托盘的正面图。图5b表示搬运托盘已被托盘输送装置的多个靠拢的夹紧爪夹持的正面图。
首先,如图1~图5b所示,托盘输送装置100包括以下部分:主框架110(包括框体和基座板,也可以是一体的);相对设置在所述主框架110的上部,用于支撑固定托盘T1并使其固定的固定机构;对被固定在所述固定机构上的固定托盘T1进行矫正的矫正机构140;安装在所述主框架110的上部,用于夹持搬运托盘T2,使搬运托盘紧贴所述固定托盘T1下部的夹持机构200;对所述的夹持机构和被夹持机构夹持的搬运托盘T2进行检测的检测传感器300。
在所述主框架110(的基座板)的一端形成有钳口部111,并在所述的钳口部111上形成有连接沟槽111a。
所述的固定机构包括:设置在主框架110的一侧,支撑固定托盘T1一端的第一固定部分120;和安装在主框架110的另一侧,支撑固定托盘T1另一端的第二固定部分130。
该第一固定部分120包括以下部分:设置在主框架110一侧的销子121;拉伸弹簧122,其一端设置在该销子121上;第一固定构件123,该第一固定构件与该拉伸弹簧122的另一端连接,靠弹力直接夹持固定托盘T1的一端,在第一固定构件内侧形成有槽孔123a;滑动构件124,该滑动构件设置在该槽孔123a内,可以滑动地、对第一固定构件123的移动进行导向。
为能挂住并夹持固定托盘T1,该第一固定构件123的一端被加工成能挂住的挂钩钳口部123b,这样,固定托盘T1的一端就可以被牢固地支撑固定。
该第二固定部分130包括:安装在基座框架(主框架)110的另一侧,直接支撑固定托盘T1另一端的第二固定构件131;和将该第二固定构件131设置在基座框架110上的连接构件132。
该第二固定部分130,通过连接构件132,与主框架110的钳口部111上所形成的连接槽沟111a连接,将第二固定部分130设置在该钳口部111上。
在主框架的中央部位安装有所述的至少一个矫正机构140,用于支撑该固定托盘T1,并且能够对该固定托盘T1的左/右侧倾斜进行矫正。
该矫正机构140,包括以下部分:平板141,该平板安装在基座框架110的上部;压缩弹簧142,该压缩弹簧安装在平板141的下部;衬垫143,该衬垫安装在该压缩弹簧142的下部,通过压缩弹簧142的弹力直接矫正固定托盘T1;连接构件144,用于将该平板141和压缩弹簧142以及衬垫143连接并安装到基座框架110上,如图2所述。
该夹持机构200包括:夹持搬运托盘T2的夹持部分210;驱动该夹持部分210的驱动部分220;以及对该夹持部分210进行导向的导向部分230,如图1、图3a-3d所示。
该夹持部分210包括:夹持搬运托盘T2的多个夹紧爪211,和使该夹紧爪211移动的多个夹持板212。
对于该夹紧爪211,位于左侧的多个(图中显示两个)夹紧爪和位于右侧的多个夹紧爪被相对安装在主框架110的左右两侧,以便能同时夹持搬运托盘T2的左右两端。
对于该夹持板212,位于该基座框架110左侧的装有夹紧爪211的夹紧爪板212和位于该基座框架110右侧的装有夹紧爪211的夹紧爪板212相对设置。就是说,装有夹紧爪211的夹紧爪板212被分别相对设置在该基座框架110的两侧。
该驱动部分220包括:用于使夹持部分210移动的滚珠螺杆221和驱动该滚珠螺杆221的缸体(汽缸或液压缸)222。
在该汽缸222的左右侧,分别安装有互为对称的多根滚珠螺杆221,在该缸体222的驱动下,每根滚珠螺杆221在同一个方向上旋转。
这里,每根滚珠螺杆221,分别在其外圆周上形成的螺纹(无图示)是相互对称形成的,每根滚珠螺杆221在同一个方向上旋转,使分别装在各滚珠螺杆221上的夹持板212相互分开或靠拢。
该导向部分230是由相对该夹持部分210的夹持板212移动的杆231和引导该杆231移动的导向块232组成的,利用该杆231,该夹持板212能在保持水平的状态下移动。
该检测传感器300是光(信号)传感器(该输送装置要安装至少一个光传感器)包括第一传感器310和第二传感器320。
该第一光传感器310,安装在主框架的上部,用来检测夹持板212;该第一光传感器310设置有多个,用于同时检测多个夹持板212;该第二光传感器320安装在主框架的两侧,用于检测搬运托盘T2的有/无。
在该主框架110的一侧,安装有速度控制阀门400,用于调节供给该缸体222的压缩空气(液体)量。
根据本发明,采用上述结构的托盘输送装置100,可用于对搬运托盘T2进行堆垛的堆垛器,该托盘上的半导体器件要安装在普通处理机上(无图示)。
下面再进一步详细说明本发明的托盘输送装置结构和操作,如图4a至5b所示。
首先,安装托盘输送装置100,以便将搬运托盘T2存放到处理机配备的多个堆垛器里,或从堆垛器中取出来。
此时,将固定托盘T1固定到位于托盘输送装置100的主框架110上的固定机构的第一和第二固定部分120、130。把固定托盘T1的一端插到第二固定部分130里,把固定托盘T1的另一端插到第一固定部分120里。
由于该第二固定部分130呈“”形状,第一固定部分120中的第一固定构件123的一端加工成钳口部123b的形状,这样就能牢固夹持住固定托盘T1。在该第一固定部分120上装有弹性构件(拉伸弹簧)122,通过弹力将该固定托盘T1支撑固定在第一和第二的固定部分120、130上。
然后,被第一和第二的固定部分120、130固定了的固定托盘T1,通过安装在主框架110下部的矫正机构140能保持水平状态,不向左侧/右侧倾斜。
此时,夹持机构的缸体222一工作,则在缸体222两侧连接的滚珠螺杆221就旋转,多个夹持板212则分别离开该缸体222,于是,装在该夹持板212上的多个夹紧爪211也随之离开(分开)。
接着,离开了的多个夹紧爪211,靠该缸体222的逆向驱动,一边倒转,一边沿着滚珠螺杆221靠拢,以夹持载有电子器件的搬运托盘T2。
此时,当第二光传感器320检测到搬运托盘T2时,数个夹紧爪211靠拢,在多个夹紧爪211靠拢的过程中,通过第一光传感器310的检测,使夹紧爪211的靠拢动作停止。
这样,搬运托盘T2的上部被叠放到固定托盘T1的下面,使该搬运托盘T2的上部被罩住,这样一来,该搬运托盘T2中装载的电子器件就能处于准确的位置,不存在错位的问题。
接着,该托盘输送装置100一旦夹持载有电子器件的搬运托盘T2,则将该搬运托盘T2输送到规定的位置上。
采用这种结构的本申请发明的托盘输送装置,可用于一般处理机设置的各种堆垛器,以便准确地装载装或卸载有电子器件的搬运托盘。
发明的效果
正如以上说明的那样,本发明的托盘输送装置,由于采用了矫正机构来矫正固定托盘的倾斜,采用固定托盘罩住搬运托盘的上部,其效果是在输送搬运托盘的过程中,能防止搬运托盘中装载的半导体器件晃动或从中脱出。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
符号说明
100:托盘输送装置
110:主框架
120:第一固定部分
130:第二固定部分
140:矫正机构
200:夹持机构
210:夹持部分
220:驱动部分
230:导向部分
300:检测传感器
310:第一检测传感器
320:第二检测传感器
T1:固定托盘
T2:搬运托盘
Claims (16)
1.一种托盘输送装置,所述托盘输送装置用于输送装有电子器件的托盘,其特征在于包括:主框架;固定机构,所述固定机构安装在所述主框架的侧部,用于支撑固定托盘;矫正机构,所述矫正机构安装在所述主框架上,用于对所述的固定机构所支撑的固定托盘进行矫正;夹持机构,所述夹持机构安装在所述的主框架的上部,用于夹持搬运托盘;至少一个传感器,所述传感器安装在所述的主框架上,用于检测夹持机构和搬运托盘,其中通过所述夹持机构所述搬运托盘的上部被所述固定托盘罩住。
2.根据权利要求1所述的托盘输送装置,其特征在于,所述的固定机构包括:安装在所述的主框架一侧,用于支撑固定托盘的一端的第一固定部分;安装在所述的主框架另一侧,用于支撑固定托盘的另一端的第二固定部分。
3.根据权利要求2所述的托盘输送装置,其特征在于:所述的第一固定部分包括:安装在主框架的一侧的销子;拉伸弹簧,所述拉伸弹簧的一端安装在所述销子上;第一固定构件,所述第一固定构件设置在所述拉伸弹簧的另一端,用于通过弹力直接夹持固定托盘的一端,在所述第一固定构件的内侧形成有槽孔;滑动构件,所述滑动构件设置在所述槽孔内,可以滑动地、对第一固定构件的移动进行导向。
4.根据权利要求3所述的托盘输送装置,其特征在于:所述的第一固定构件的一端具有挂钩钳口部,用以挂住并夹持所述固定托盘。
5.根据权利要求3所述的的托盘输送装置,其特征在于:所述的第二固定部分包括:第二固定构件,所述第二固定构件安装在所述主框架的另一侧,用于直接支撑固定托盘的另一端;连接构件,用于将所述第二固定构件安装到所述的主框架上。
7.根据权利要求1所述的托盘输送装置,其特征在于:至少一个所述的矫正机构安装在主框架的中央部位,用于支撑并矫正固定托盘。
8.根据权利要求1或7所述的托盘输送装置,其特征在于,所述的矫正机构包括:安装在主框架的上部的平板;安装在所述平板的下部的压缩弹簧;安装在所述压缩弹簧的下部的衬垫,所述衬垫用于通过压缩弹簧的弹力直接矫正固定托盘;连接构件,所述连接机构用于连接所述平板和压缩弹簧以及衬垫并安装到所述主框架上,以矫正固定托盘的左/右侧的倾斜。
9.根据权利要求1所述的托盘输送装置,其特征在于,所述的夹持机构包括:用于夹持搬运托盘的夹持部分;用于驱动所述的夹持部分的驱动部分;以及导向部分,所述的夹持部分被驱动部分驱动时,由导向部分进行导向。
10.根据权利要求9所述的托盘输送装置,其特征在于,所述的夹持部分包括:设置在所述主框架的左右两侧的多个夹紧爪,用于夹持搬运托盘;设置在所述主框架的左右两侧的多个夹持板,所述夹紧爪设置在所述夹持板上。
11.根据权利要求9所述的托盘输送装置,其特征在于,所述的驱动部分由用于移动所述夹持部分的多根滚珠螺杆和用于驱动所述滚珠螺杆的缸体构成。
12.根据权利要求10所述的托盘输送装置,其特征在于,所述的导向部分包括:相对于所述夹持部分的夹持板移动的杆,和引导所述杆移动的导向块。
13.根据权利要求1所述的托盘输送装置,其特征在于,所述的检测传感器为光传感器。
14.根据权利要求13所述的托盘输送装置,其特征在于,所述托盘输送装置包括至少一个所述的光传感器。
15.根据权利要求10所述的托盘输送装置,其特征在于,所述的检测传感器为光传感器,所述的光传感器由第一光传感器和第二光传感器构成。
16.根据权利要求15所述的托盘输送装置,其特征在于,所述的第一光传感器安装在主框架的上部,用于检测夹持板;所述的第二光传感器安装在主框架的两侧,用于检测所述搬运托盘。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2004100069605A CN100497134C (zh) | 2004-03-01 | 2004-03-01 | 托盘输送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2004100069605A CN100497134C (zh) | 2004-03-01 | 2004-03-01 | 托盘输送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1663892A CN1663892A (zh) | 2005-09-07 |
CN100497134C true CN100497134C (zh) | 2009-06-10 |
Family
ID=35035245
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB2004100069605A Expired - Fee Related CN100497134C (zh) | 2004-03-01 | 2004-03-01 | 托盘输送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN100497134C (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102438434A (zh) * | 2010-09-29 | 2012-05-02 | 株式会社日立高新技术 | 电子器件安装装置以及托盘分离装置和托盘分离方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014077755A (ja) * | 2012-10-12 | 2014-05-01 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の搬送装置および電子部品の搬送方法 |
-
2004
- 2004-03-01 CN CNB2004100069605A patent/CN100497134C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102438434A (zh) * | 2010-09-29 | 2012-05-02 | 株式会社日立高新技术 | 电子器件安装装置以及托盘分离装置和托盘分离方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1663892A (zh) | 2005-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7876089B2 (en) | Test handler, method for loading and manufacturing packaged chips, and method for transferring test trays | |
US7661921B2 (en) | Semiconductor material handling system | |
CN101847572B (zh) | 半导体器件分拣装置及其分拣方法 | |
US20090237089A1 (en) | Apparatus for transferring packaged chips, test handler and method for manufacturing packaged chips | |
TW200416187A (en) | Substrate carrier handler that unloads substrate carriers directly from a moving conveyor | |
US7562923B2 (en) | Tray transferring apparatus with gripper mechanism | |
KR100751495B1 (ko) | 반도체웨이퍼 분류장치 및 그것을 이용한 분류방법 | |
CN100497134C (zh) | 托盘输送装置 | |
CN111361989A (zh) | 一种用于丝印机的下料搬运装置 | |
CN110610874A (zh) | 储料器 | |
KR100411297B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치 | |
CN101211808B (zh) | 用在搬送机中的捡拾器和使该捡拾器放置封装芯片的方法 | |
KR20150144301A (ko) | 사출물의 무게감지기능을 구비한 취출로봇 | |
CN219861556U (zh) | 一种pvd自动上下料设备 | |
KR20110117387A (ko) | 트레이 이송방법 및 이를 이용한 테스트 핸들러 | |
KR100795964B1 (ko) | 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 회수장치 | |
KR20110113267A (ko) | 트레이 이송 방법, 이를 적용한 트레이 이송 장치 및 테스트 핸들러 | |
KR100566821B1 (ko) | 트레이 이송장치 | |
KR101642659B1 (ko) | 반도체 칩 다이 본딩 장치 | |
CN113697493A (zh) | 一种袋装物料搬运输送装置 | |
KR102148106B1 (ko) | 반도체 패키지 싱귤레이션 로딩장치 및 로딩방법 | |
CN109047044B (zh) | Sfp封装电口模块测试装置 | |
US6468023B1 (en) | Apparatus and method for inverting an IC device | |
KR100299105B1 (ko) | 테스트 핸들러의 픽커 가변조절장치 | |
KR200394150Y1 (ko) | 트레이 플리퍼부를 구비하는 반도체 패키지의 비젼인스펙션 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20090610 Termination date: 20160301 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |