CN100496974C - 印刷装置、其控制方法以及制造平板显示器的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及能够在基板上形成平整薄膜的印刷装置、控制该印刷装置的方法、以及制造平板显示器的方法。印刷装置包括：在其上安装基板的工作台；掩模，其位于该工作台上并具有由支撑件作为构架的网状件；刮板，其能够从支撑件的一侧移动到另一侧以在基板上形成薄膜；刮板驱动器，用于驱动该刮板；以及控制器，用于控制刮板驱动器，以使刮板在网状件与支撑件之间的边界区域停止预定的时间。

Description

印刷装置、其控制方法以及制造平板显示器的方法

相关申请交叉引用

本申请要求2005年10月14日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第2005-0097213号的优先权，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明总体涉及印刷装置(印刷设备，printing apparatus)，尤其涉及能够在基板上形成均匀薄膜的印刷装置。

背景技术

目前，在平板显示器工业领域中，OLED(有机发光二极管)的作用变得越来越重要。OLED的这种日益增长的重要性至少部分地归因于其有利的特性，如低的驱动电压要求、轻的重量、薄、宽的视角、以及快速的响应时间。

OLED包括：第一基板，其设置有沉积在该基板上的有机层如有机发光层、空穴注入层、空穴传输层等；以及第二基板，其连接至第一基板。第一和第二基板大致位于平行的平面内。薄膜插入在第一基板与第二基板之间，用于组装两个基板并防止湿气或氧气流入到OLED中，并且这样的薄膜形成在基板的整个表面上。

这里，薄膜可以是能通过印刷方法形成在基板上的有机膜。

印刷方法需要通过使用掩模在基板上均匀地形成薄膜。掩模具有网状件(mesh part)以及围绕该网状件的支撑件(支架)。掩模位于基板的上方，用膜材料润湿的刮板(涂刷器，squeegee)通过掩模，同时将其朝向基板进行按压。这样，膜材料填充网状件。

在印刷工艺过程中，被刮板下压的网状件改变其形状(例如，伸长)以接触薄膜，在刮板通过网状件后，网状件回复到自然位置，使它与薄膜分开。由于薄膜的粘性，所以网状件与薄膜的分开比刮板的移动速度慢。掩模的支撑件，其与薄膜分开速度比网状件快(因为在支撑件的下部不形成粘性的薄膜)，该支撑件拉紧网状件，使得在网状件中有高的张力水平。由于这种高的张力水平，所以当网状件最终与薄膜分开时，从薄膜的释放是突然和快速的，释放产生的张力。

网状件的这种突然释放的问题在于，其导致形成凸起或变形部分而破坏薄膜的均匀性。

发明内容

因此，本发明的目的是提供能在基板上形成平整和均匀的薄膜的印刷装置、控制该印刷装置的方法、以及使用该印刷装置制造平板显示器的方法。

在一方面，本发明涉及印刷装置，其包括：工作台(台板，table)，基板安装在该工作台上；掩模，其位于该工作台上并包括由支撑件作为构架的网状件；刮板，其能够从支撑件一侧移动到另一侧以在基板上形成薄膜；刮板驱动器，用于驱动刮板；以及控制器，用于控制刮板驱动器以将刮板在网状件与支撑件之间的边界区域停止预定时间。

在另一方面，本发明涉及控制印刷装置的方法，包括：将掩模布置在基板上，其中，掩模具有由支撑件作为构架的网状件；将膜材料置于支撑件的一侧；将刮板置于支撑件上；移动刮板从掩模的一侧到另一侧同时朝向基板挤压网状件；将刮板在支撑件与网状件的边界区域停止预定的时间；以及在预定时间之后，将刮板朝向支撑件移动。

在又一方面，本发明涉及制造平板显示器的方法，需要提供基板；将掩模设置在基板上，其中该掩模包括由支撑件作为构架的网状件；通过移动刮板从掩模的一侧到另一侧将薄膜形成在基板上；将刮板在支撑件与网状件的边界区域停止预定时间；在预定时间后移动刮板；以及将刮板停止在支撑件上。

附图说明

通过以下结合附图的示例性具体实施方式的描述，本发明上述和/或其它方面以及优点将变得显而易见和更容易理解，其中：

图1是根据本发明具体实施方式的丝网印刷装置的平面图；

图2是图1的丝网印刷装置沿线II-II的截面图；

图3是图1的丝网印刷装置沿线III-III的截面图；

图4是以预定时间停止在支撑件一侧上的刮板的截面图；

图5是根据本发明具体实施方式的丝网印刷装置的控制结构图；

图6是示意说明根据本发明具体实施方式的丝网印刷装置的控制方法的流程图；

图7是利用根据本发明具体实施方式的丝网印刷装置制造的OLED的截面图。

具体实施方式

现在参照本发明的具体实施方式，其中的实施例结合附图加以说明，其中在全文中相同的附图标号代表相同的元件。下面参照附图描述这些具体实施方式以便解释本发明。

图1是根据本发明具体实施方式的丝网印刷装置的平面图，图2是图1的丝网印刷装置沿线II-II的截面图，而图3是图1的丝网印刷装置沿线III-III的截面图。

根据本发明具体实施方式的丝网印刷装置1包括：工作台10，在其上稳定地安装了基板100；掩模20置于工作台10上；掩模支撑部件30，其支撑掩模20的至少一侧，并将掩模20与工作台10隔开；刮板40，其在掩模20上方扫描(扫动，scan)；刮板驱动器51、55，其包括能使刮板40从掩模的一侧直线运动到掩模的另一侧的第一驱动电动机51以及能使刮板升高和降低的第二驱动电动机55；以及控制器60，用于控制刮板驱动器51、55。

将作为加工对象的基板100稳定地安装在工作台10上，该工作台10装配有至少一个安装销11。当通过传送装置(如自动装置)将基板100传送到工作台10上时，工作台10中的安装销11升起，用于稳定地支撑基板100。通过随着安装销11下移、退回到工作台10内时的下降，基板100被稳定地放置在工作台10上。

掩模20置于工作台10上。掩模20包括对应于基板100的网状件21、围绕网状件21的支撑件23、以及掩模框架25，其中掩模框架25被设置在支撑件23的至少一个边缘上，用于防止掩模20移动。网状件21可以具有四边形形状以及通常为正方形或菱形的孔。网状件21的尺寸等于或小于基板100的尺寸。支撑件23由包括塑性材料的柔性材料制成，并紧固在网状件21的边缘上以拉紧网状件21和防止它下沉或下垂。支撑件23通过刮板的挤压随网状件21上下移动。在如下所述稳定地安装在掩模支撑部件30上后，掩模框架25支撑掩模20，并防止掩模20在操作刮板40期间移动或滑动。

掩模支撑部件30设置在工作台10的相对两侧。掩模支撑部件30防止掩模20在在操作刮板40过程中移动，并通过以预定间隙与基板隔开而支撑掩模20。在掩模20与基板100之间的间隙d1能够根据基板的尺寸而改变，并且通常在约5cm～30cm的范围内。如果基板尺寸为约730mm×920mm，则间隙d1为约10cm。

如图3所示，在掩模20中的扫描操作过程中，通过将膜材料105放置在网状件21上，刮板40在基板100上形成薄膜110。更详细地，刮板40进行从掩模20中支撑件的一侧23a朝向另一侧23b(其正对支撑件的一侧23a)的直线运动，并推动在支撑件的一侧23a堆积的膜材料105通过网状件21。同时，刮板40朝向基板100挤压网状件21，在基板100上形成具有预定厚度的薄膜110。由刮板40挤压的网状件21被拉伸而接触薄膜110，并在刮板40继续移动后与薄膜110分开。

由于薄膜110的粘性，网状件21与薄膜110分开的速度小于刮板40的移动速度。因此，当网状件21最终与薄膜110分开时，分开速度快。这种分开的快速至少部分地由支撑件23拉紧网状件21所造成。另外，支撑件23与基板100分开的速度高于网状件21与在基板100上的薄膜110分开的速度。这是因为粘性薄膜110没有在支撑件23的下部形成。由于网状件21与薄膜110的快速分开，以及支撑件23以与网状件21与薄膜110分开的速度不相同的速度与基板100分开，所以形成的薄膜110不均匀。更具体地，从网状件21快速分开的部分薄膜110发生凸起或变形。这种不均匀性导致在薄膜110上的其它元件(如电极)的形成缺陷，最终由于允许氧气或水到达元件而使图像质量下降。

本发明基于以下的发现：这个问题能够通过使支撑件23与基板100分开的速度与网状件21与薄膜110分开的速度相匹配而得以消除。如图4所示，刮板40在网状件21与支撑件23b之间的边界上停止较短时间。

为了降低网状件21与基板100上的薄膜110分开的速度，可通过刮板40挤压靠近支撑件23b附近的网状件21的部分。通过这样做，在与薄膜110接触的网状件21的部分上的向上的力被减小，使得网状件21与薄膜110分开的速度与支撑件23与基板100分开的速度基本匹配。因此，通过使由从网状件21的突然释放导致的薄膜110的凸起最小化，而改善了膜均匀性。

与网状件21接触的刮板40在掩模20上扫描，并沿相对于刮板40的一侧的形成预定角度的方向继续进行。这是为了通过将膜材料105置于网状件21上而形成平整膜，并且角度“a”(示于图1中)可以根据网状件21的设计图案而改变。在一些具体实施方式中，角度“a”可以为约5～50度。刮板40可以是具有用柔性材料如橡胶覆盖的部分的长条状物，用于接触网状件。刮板40的长度可以等于或小于网状件21的宽度。操作杆41穿过刮板40，并且轴承43设置在操作杆41的相对端上。

刮板驱动器51、55包括能使刮板40从掩模20的一侧直线运动到掩模20的另一侧的第一驱动电动机51以及能使刮40板升高和降低的第二驱动电动机55。

如图1所示，在第一驱动电动机51中，形成如长螺杆状的旋转杆52沿着掩模20的两个平行侧边以预定间隙隔开设置，而电动机53连接到旋转杆52的其中一个上，以使旋转杆52旋转。另一个旋转杆52通过传送带54连接到电动机53上，使得两个旋转杆52均以相同速度同时旋转。旋转杆52插入到轴承43中，并且随着旋转杆52的螺纹部分啮合轴承43形成的纹路图案(螺纹)，刮板40进行直线运动。在其它具体实施方式中，可以采用分开的电动机分别单独用于两个旋转杆。可选替换地，旋转杆52可以设置有在操作杆41的端上形成的齿条，随着齿条与小齿轮的啮合，使刮板40能够直线运动。

参照图2，第二驱动电动机55放置在穿过刮板40的驱动杆41上，并控制刮板40的上/下移动。通过以预定角度旋转驱动杆41，第二驱动电动机55控制刮板40与基板100之间的距离。即，在通过以预定角度旋转刮板40使刮板40的底部能够接触网状件21之后，通过操作第一驱动电动机51使刮板40进行直线运动。在另一个具体实施方式中，刮板40被构造为使用电动机、齿轮、以及轴承等而不使用旋转部件进行直线运动。如图所示，第二驱动电动机55可以设置在驱动杆41的两侧或者其中一侧。第二驱动电动机55使网状件21的膜材料105朝向基板100受压，从而在基板100上形成薄膜110。

如图5所示，用于控制刮板驱动器51、55的控制器60可设置在丝网印刷装置1的一侧。控制器60控制第一驱动电动机51，以使刮板40在支撑件23b与网状件21之间的边界上停止预定时间。一旦刮板开始运转时，则通过计数在第一驱动电动机51中的电动机53的转数，控制器60能确定刮板40的当前位置。通过这样的确定，一旦刮板40被置于靠近网状件21的支撑件的一侧23b，则控制器60控制第一驱动电动机51以停止刮板40。当靠近支撑件23b的网状件21与基板100上形成的薄膜110分开时，控制器60能够停止刮板40。同样，通过确定薄膜110的粘度以及网状件21受到的张力，网状件21与薄膜110分开的分开速度能够在分开期间相对恒定地保持。控制器60确定并计算用于保持恒定分开速度的因素(例如，时间)。在一些具体实施方式中，控制器60能控制第一驱动电动机51，以在1秒与5分钟之间的时间停止刮板40。如果刮板40的停止时间太短，则由于支撑件23与基板100分开比网状件21与薄膜110分开快，所以在薄膜110中会产生凸起部分或者其它形式的不平整。相反，如果停止时间太长，无效地花费时间而且产率降低。

现在，将对通过使用具有上述结构的丝网印刷装置1形成薄膜的原理和方法进行解释。图6是解释说明根据本发明具体实施方式的丝网印刷装置的控制方法的流程图。

一旦基板稳定地安装在工作台10上，则将包括网状件21以及围绕网状件21的支撑件23的掩模20设置在基板100上。膜材料105包括在支撑件一侧23a。

膜材料可以是利用树脂的自由基型粘结剂或阳离子型粘结剂。对于自由基型粘结剂，树脂可以是热固性树脂如脲醛树脂、三聚氰胺树脂、酚醛树脂、间苯二酚树脂、环氧树脂、不饱和聚酯树脂、聚氨酯树脂或丙烯酸树脂；热塑性树脂如醋酸乙烯树脂、乙烯醋酸乙烯共聚物树脂、丙烯酸尸(acryl-resin)、氰基丙烯酸酯树脂、聚乙烯醇树脂、聚酰胺树脂、聚烯烃树脂、热塑性聚氨酯树脂、饱和聚酯树脂、纤维素等；各种含有酯-丙烯酸酯、尿烷-丙烯酸酯、环氧-丙烯酸酯、黑素丙烯酸酯、或丙烯酸尸-丙烯酸酯、以及尿烷-聚酯的醋酸盐。对于阳离子型粘结剂，树脂可以是环氧树脂、乙烯基醚等、硫醇/N-添加剂树脂粘结剂、或利用包括橡胶的组合物或包含乙烯基苯酚、氯丁二烯、腈-苯酚、尼龙-苯酚、环氧-苯酚等的酚类组合物的复合聚合物粘结剂，其中橡胶如氯丁二烯橡胶、腈橡胶、苯丁橡胶、天然橡胶、丁基橡胶、或硅酮。本文列出的材料是用于说明的而不是用于限定本发明的。同样，在膜材料105中可加入填料。例如，无机材料如SiOx、SiON、SiN等，或金属如Ag、Ni、Al等可用作填料，但也可使用本文没有具体提及的材料。膜材料105可利用UV射线、可见光、UV射线与热的组合、热、或后固化、其它形式加以固化。

利用在网状件21的一侧包括的膜材料105，控制器60操作刮板驱动器51、55，以将刮板40置于支撑件的一侧23a。接着，如图6所示，控制器60启动在基板100上的刮板40从支撑件23a至支撑件23b的扫描操作(S200)。此时，通过朝向基板100挤压网状件21，刮板40允许薄膜110形成在基板100上。

在刮板40的运行过程中，控制器60通过计算电动机53的转数而确定刮板40的当前位置，其中电动机53使刮板40能够进行直线运动。可选替换地，可使用传感器来确定刮板40的当前位置。控制器60确定刮板40是否处于网状件21和支撑件23b之间的边界处(S300)，以便当刮板40处于在边界之前的区域时使刮板40利用控制器60连续运行，并且一旦刮板40到达该边界区域，就通过控制器将所述刮板40停止预定时间(S400)。然后，控制器60计算刮板40的停止时间(S500)。即，控制器60确定时间量，其中邻近支撑件23b的网状件21的部分与薄膜110分开，并将刮板停止该时间。为了确定停止时间，控制器60可提前收集关于薄膜110的粘度和网状件21与支撑件23之间的张力的数据。在其它具体实施方式中，可对刮板40加以控制以停止在前设置的时间。设置的时间可根据基板100上端薄膜的尺寸和粘度不同地加以输入。在一些具体实施方式中，控制器60可控制第一驱动电动机51以将刮板停止在1秒至5分钟之间的任意时间。在选择准确的时间段中，刮板40的停止时间不应该太短，因为如上所述，则本发明的目的就不能实现。另一方面，当停止时间太长时，由于加工时间增加所以生产率变低。

通过以上述方式控制丝网印刷装置，网状件21与薄膜110的分开速度从开始到结束恒定地被控制，使得在基板100上形成的薄膜110是平整和均匀的。

然后，当整个网状件21与薄膜110分开时，控制器60使刮板40可以进一步移动和使其停止。现在将详细解释利用上述丝网印刷装置的平板显示器的制造方法。虽然以上具体实施方式是以各种平板显示器的OLED方面的内容进行描述的，但是应当理解，所要求保护的本发明适用于其它平板显示器，如LCD、或PDP等。如本文所使用的，形成在另一膜(层)“之上”的任何膜(层)包括两种情况，即两个膜直接接触的情况和在该两个膜(层)之间存在介入膜(层)的情况。

图7为利用根据本发明的丝网印刷装置制造的OLED的截面图。OLED5为利用有机物(响应于电信号而发光)的自发光型元件。OLED中的有机物的寿命和效力由于暴露于氧气和湿气(水)而减少。因此，采用有效阻止氧气和湿气进入该有机物(有机发光层)的密封方法很重要。

根据本发明，如图7所示，OLED5包括：第一基板100a，其包括有机元件120以显示图像；第二基板100b，其设置在与第一基板100a平行的平面内，用于阻止氧气和水到达有机元件120；以及薄膜110a、110b，其设置在第一基板100a和第二基板100b之间。

第一基板100a为透明基板，并且可以为塑料基板或有机基板。而且，尽管未示出，但是可在有机元件120与第一基板100a之间，即在第一基板100a的上表面上形成隔离层。包括SiON、SiO₂、SiNx、以及Al₂O₃等的隔离层隔离氧气或水，使其不会利用通过第一基板100a的扩散而进入有机元件120中，并且可通过溅射形成。

用现有方法形成的有机元件120包括有机发光层、空穴注入层、以及空穴传输层。有机元件120响应于由信息处理单元输出的图像信号而显示图像。

第二基板100b可用与第一基板100a相同的材料制成。另外，苏打-石灰玻璃基板、硼硅酸盐玻璃基板、硅酸盐玻璃基板、以及铅玻璃基板等可用于第二基板100b。第二基板100b的厚度可在约0.1mm和约10mm之间，优选在约1mm和约10mm之间的范围内，用于阻止水或氧气通过第二基板100b扩散入有机元件120中。

薄膜110a、110b设置在第一和第二基板100a、100b之间。薄膜110a、110b包括密封材料，该密封材料阻止氧气或水通过第一基板100a和第二基板100b之间的空间扩散。同时，薄膜110a、110b将两个基板100a、100b相互连接起来。薄膜110a、110b可包括有机膜、无机膜、或由有机材料和无机材料组成的复合膜。有机膜可以是聚乙炔、聚酰亚胺、以及环氧树脂等，而无机膜可以是氧化硅、氮化硅、氧化镁、氧化铝、氮化铝、以及氧化钛。

在图7示出的前述具体实施方式中，在两个基板100a、100b上提供了包括有机材料的薄膜110a、110b，并且在安装在有机元件基板100a的薄膜110a上提供了由无机材料组成的保护层130。密封材料不局限于图中所描述的材料或结构，并且可用多种方式进行制造。薄膜110a、110b可包括热或光固化材料。

以下将参照图7所示的具体实施方式解释利用印刷方法的OLED的密封方法。首先，将设置有有机元件120的第一基板100a稳定地安装在工作台10上，并将由有机材料组成的薄膜110a通过在掩模20上扫描操作刮板以覆盖有机元件120。这里，优选将上述丝网印刷装置用于薄膜110a、110b以形成均匀和平整表面的薄膜。如上所述，刮板40的停止时间可以在约1秒至约5分钟之间，在该时间期间，网状件21与邻近支撑件23b的薄膜分开。

薄膜110a可通过将热和/或光施加至薄膜110a而被部分固化或完全固化。提前固化或部分固化薄膜110a的原因在于阻止在薄膜固化中产生的气体或有害物进入有机元件120，从而减少或防止OLED劣化。如果任何气体进入有机元件120，则产生的气体在OLED5的工作期间可作为气泡出现在屏幕上，从而降低画面的质量。在所述的具体实施方式中，在固化工艺过程中产生的气体释放到基板100a、100b的外部，这是由于两个膜在基板组装之前已固化。通过在组合基板100a、100b之前实施固化工艺，可将有机元件120由于在固化期间产生的气体的劣化减少到最小。至于关注的固化程度，优选部分固化，因为两个基板的组装效率在部分固化状态为良好并且在固化过程中产生的气体通过部分固化可充分地排出到基板100a、100b的外部。

由无机材料组成的保护层130形成在第一基板100a的薄膜110a上。可选替换地，保护层可包括与水和/或氧气发生化学反应的材料，如钙、氧化钙、钡、以及氧化钡等。在一些具体实施方式中，薄膜110a可进一步包括吸湿性材料。

利用丝网印刷装置1将薄膜110b形成在第二基板100b上，其形成时间为或者与薄膜110a形成的相同时间或不同时间。这里，薄膜110b可以为预固化状态的有机膜。

一旦制备了两个基板100a、100b并将二者相互连接后，就通过施加热和/或光同时挤压基板而将薄膜110a、110b固化。在真空室(优选具有约760托的压力)中连接基板。通过在真空室中实施连接，有机元件120可有效地免于水和氧气的侵入。这种密封工艺足够简单，以至于其应用于规模生产时没有任何困难。

在另一具体实施方式中，在形成分别由在两个基板100a、100b上的有机材料组成的薄膜110a、110b之后，在相互组装两个基板阶段中可执行固化阶段。同时，在部分或全部固化在第一基板100a上的薄膜110a后，可实施进一步固化，同时连接两个基板。

在又一具体实施方式中，在形成由在两个基板100a、100b上的有机材料组成的薄膜110a、110b之后，以及在形成在有机元件基板100a的薄膜110a上的无机膜之后，可实施固化，同时组装两个基板100a、100b。图7提及的第一基板的薄膜110a的部分固化或全部固化在这个具体实施方式中被省去。

在又一具体实施方式中，在第一基板100a上沉积有机膜、无机膜、以及有机膜之后，固化可在组装有机元件基板100a和密封基板100b之后进行。在全部或部分固化在第一基板上的有机膜之后，进一步的固化在组装第一基板100a和第二基板100b之后进行，以由此形成OLED5。

如上所述，本发明提供了可在基板上形成均匀薄膜的印刷装置、及其控制方法、以及应用该控制方法制造平板显示器的方法。

尽管已经示出和描述了本发明的几个示例性具体实施方式，但是应当理解，本领域的技术人员在不背离本发明的原则和精神的情况下，可对这些具体实施方式作出变化，本发明的范围由所附权利要求及其等同物所限定。

Claims (25)

1.一种印刷装置，包括：

工作台，在其上安装基板；

掩模，其位于所述工作台上并包括由支撑件作为构架的网状件；

刮板，设置用于从所述掩模的一侧移动到另一侧，以在所述基板上形成薄膜；

刮板驱动器，用于驱动所述刮板；以及

控制器，用于控制所述刮板驱动器，其中所述控制器使所述刮板在所述网状件和所述支撑件之间的边界区域停止预定的时间。

2.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述控制器控制所述刮板驱动器以使所述刮板停止直至所述网状件与所述薄膜分开。

3.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述控制器控制所述刮板驱动器以使所述刮板停止1秒和5分钟之间的时间。

4.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述控制器控制所述刮板驱动器以使所述刮板停止在邻近所述网状件的所述支撑件上。

5.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述控制器确定所述刮板是否位于所述网状件和所述支撑件之间的边界区域。

6.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述控制器控制所述刮板的停止持续时间。

7.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述网状件的尺寸等于或小于所述基板的尺寸。

8.根据权利要求7所述的印刷装置，其中，所述网状件为矩形形状。

9.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，在所述支撑件的至少一个侧边的边缘提供用于支撑所述掩模的掩模框架。

10.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述刮板当其从所述支撑件的一侧移动到另一侧时进行直线移动。

11.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述刮板在所述掩模上移动，以使沿所述刮板侧边延伸的第一方向和所述刮板移动的第二方向保持预定的角度。

12.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，所述掩模与所述工作台以预定的间隙分开，并且所述刮板朝向所述基板挤压所述网状件，同时在所述扫描操作过程中使包括在所述支撑件侧边上的膜材料保持在所述网状件中。

13.根据权利要求12所述的印刷装置，其中，所述受压网状件改变其形状以接触所述薄膜，并且所述网状件在所述刮板通过所述受压网状件之后与所述薄膜分开。

14.根据权利要求12所述的印刷装置，其中，当所述刮板挤压所述网状件时，所述支撑件随着所述网状件上下移动。

15.一种控制印刷装置的方法，包括：

将掩模设置在基板上，其中所述掩模具有由支撑件作为构架的网状件；

将膜材料置于所述支撑件的一侧；

将刮板置于所述支撑件上；

移动所述刮板从所述掩模的一侧到另一侧，同时朝向所述基板挤压所述网状件；

使所述刮板在所述支撑件和所述网状件之间的边界区域停止预定的时间；以及

在所述预定时间之后朝向所述支撑件移动所述刮板。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，对所述刮板加以控制以在所述基板上形成薄膜，同时在所述网状件被所述膜材料填充的情况下移动所述刮板通过所述掩模。

17.根据权利要求15所述的方法，其中，停止所述刮板包括：

确定所述刮板在移动通过所述掩模之后是否处于所述边界区域中；以及

如果所述刮板处于所述边界区域中，则停止所述刮板直至所述网状件与所述薄膜分开。

18.根据权利要求15所述的方法，其中，停止所述刮板包括控制所述刮板以使所述刮板在所述支撑件和所述网状件处停止1秒至5分钟。

19.一种制造平板显示器的方法，包括：

提供基板；

在所述基板上设置掩模，所述掩模包括由支撑件作为构架的网状件；

通过移动所述刮板从所述掩模一侧到另一侧在所述基板上形成薄膜；

使所述刮板在所述网状件和所述支撑件之间的边界区域停止预定的时间；

在所述预定时间之后移动所述刮板并将所述刮板停止在所述支撑件处。

20.根据权利要求19所述的方法，其中，停止所述刮板直至所述网状件与所述薄膜分开。

21.根据权利要求19所述的方法，其中，所述刮板停止在1秒至5分钟之间的时间。

22.根据权利要求19所述的方法，其中，所述刮板停止在邻近所述网状件的所述支撑件上。

23.根据权利要求19所述的方法，其中，所述基板为第一基板和与所述第一基板组装在一起的第二基板中的一个，其中所述第一基板包括有机发光层。

24.根据权利要求23所述的方法，进一步包括：

在平整地涂布所述第一基板和第二基板中的至少一个之后，通过将所述基板置于平行平面中而将所述第一基板和所述第二基板加以组装，以及在所述组装之前固化所述薄膜。

25.根据权利要求24所述的方法，其中，在部分固化或固化在所述第一基板上形成的所述薄膜之后，组装所述第一基板和所述第二基板。

Images