CN100496953C - 微型透镜及其制造方法、光学装置、光传送装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能够任意控制形状、提高聚光功能等光学特性的微型透镜制造方法及微型透镜，以及具有该微型透镜的光学装置、光传送装置、激光打印机用打印头及激光打印机。所述微型透镜的制造方法包括如下工序，即，在基体(3)上面形成基座构件(4b)，在基座构件(4b)上面形成微型透镜(8a)；疏液处理基座构件(4b)的上面；通过利用液滴喷出法多点喷出透镜材料(7)，形成微型透镜(8a)。
Description
技术领域
本发明涉及一种微型透镜制造方法和利用该方法得到的微型透镜及具有该微型透镜的光学装置、光传送装置、激光打印机用打印头、激光打印机。
背景技术
近年来，开始提供具有多个称之为微型透镜的微小透镜的光电装置。作为如此的光学装置，例如有具有激光器的光学装置、或光纤的光互连器以及具有聚集入射光的聚光镜的固体摄像元件等。
可是，构成如此光学装置的微型透镜，以往，采用金属模成形法或光蚀刻法形成(例如，参照特开2000-35504号公报)。
此外，近年来，提出了采用用于打印机等的液滴喷出法，形成微细图形即微型透镜的提案(例如，参照特开2000-280367号公报)。
但是，如果采用金属模成形法或光蚀刻法形成微型透镜，由于需要金属模或复杂的制造工序，所以，增加其成本，此外，还存在难于在任意位置形成任意形状的微型透镜的问题。
此外，如果只采用单一的液滴喷出法，虽然容易在任意的位置形成微型透镜，但难于按所要求的形状控制其形状。
发明内容
本发明是针对上述问题而提出的，目的是提供一种能够任意控制形状、提高聚光功能等光学特性的微型透镜制造方法及微型透镜，以及具有该微型透镜的光学装置、光传送装置、激光打印机用打印头及激光打印机。
为达到上述目的，本发明的微型透镜的制造方法，其特征在于，包括：在基体上面形成基座构件的工序；疏液处理上述基座构件的上面的工序；在上述疏液处理的基座构件的上面，利用液滴喷出法多点地喷出透镜材料，在上述基座构件上面形成微型透镜的工序。
如果采用该微型透镜的制造方法，由于在基座构件上形成微型透镜，所以，通过适宜形成基座构件上面的尺寸或形状，能够适宜形成要得到的微型透镜的尺寸或形状。此外，由于疏液处理基座构件的上面，所以能够增大与喷出配置的透镜材料的基座构件上面的接触角，由此，能够增加基座构件上面所载的透镜材料的数量。另外，在能够如此增加基座构件上面所载的透镜材料的量的状态下，由于能多点地喷出透镜材料，所以，通过适宜调整圆点数量，能够良好地控制要得到的微型透镜的尺寸或形状，由此，也能够形成例如近似球形的形状的微型透镜。
此外，在上述微型透镜的制造方法中，在进行上述疏液处理的工序中，对由上述基座构件形成材料形成的平面进行疏液处理，以便在配置上述透镜材料时发挥疏液性使该透镜材料的接触角达到20°以上。
如此，由于能够确实增大喷出配置的透镜材料的相对于基座构件上面的接触角，所以，能够更多地增加基座构件上面所载透镜材料的量。
此外，在上述微型透镜的制造方法中，在形成上述基座构件的工序中，优选将上述基座构件的上面形状形成圆形或椭圆形，或者多角形。
如此，由于能够形成更近似球形的形状的微型透镜，所以，通过适宜形成该曲率，能够调整聚光功能等光学特性。
此外，在上述微型透镜的制造方法中，在利用上述液滴喷出法喷出透镜材料时，以形成的微型透镜的上面侧的曲率达到预先设定的规定曲率的方式，确定喷出的点数。
如此，由于以达到预先设定的规定曲率的方式形成上面侧的曲率，所以，能够形成具有所要求的光学特性的微型透镜。
本发明的微型透镜，是在基体上形成的基座构件的上面形成的微型透镜，其特征在于：疏液处理基座构件的上面；利用液滴喷出法多点地喷出透镜材料，形成上述微型透镜。
如果采用该微型透镜，由于在基座构件上形成微型透镜，所以，通过适宜形成基座构件上面的尺寸或形状，能将其尺寸或形状形成适宜的尺寸或形状。此外，由于疏液处理基座构件的上面，所以增大喷出配置的透镜材料与基座构件上面的接触角，因此，能够更多地增加基座构件上面所载透镜材料的量。由此，通过适宜调整喷出的透镜材料的圆点数量，能够良好地控制要得到的微型透镜的尺寸或形状，也能够形成例如近似球形的形状的微型透镜。
此外，在上述微型透镜中，优选将上述基座构件的上面形状形成圆形或椭圆形，或者多角形。
如此，由于形成更近似球形的微型透镜，所以，通过适宜形成其曲率，能够良好地调整聚光功能等光学特性。
此外，在上述微型透镜中，与上述基座构件的上面平行的微型透镜的横截面的最大外径，优选大于上述基座构件的上面的外径。
如此，由于具有比基座构件的上面的外径大的横截面，该微型透镜例如形成近似球状，所以，通过适宜形成其曲率，能够良好地调整聚光功能等光学特性。
此外，在上述微型透镜中，优选上述基座构件具有透光性。
如此，当采用在基座构件侧配置发光源时，能够从微型透镜的上面侧，良好地出射该发光源的光，所以，能够通过上面侧的曲率等良好地发挥聚光功能等。
本发明的光学装置，其特征在于：具有面发光激光器和利用上述的制造方法得到的微型透镜或上述的微型透镜，在上述面发光激光器的出射侧，配设上述微型透镜。
如果采用该光学装置，如上所述，由于在上述面发光激光器的出射侧，配设良好地控制了尺寸或形状的微型透镜，所以，能够利用该微型透镜，良好地进行发光激光器的出射光的聚光等，因此能形成具有良好的发光特性(光学特性)的光学装置。
本发明的光传送装置，其特征在于：具有上述的光学装置、受光元件、向上述受光元件传送来自上述光学装置的出射光的光传送机构。
如果采用该光传送装置，如前所述，由于包含具有良好的发光特性(光学特性)的光学装置，所以，形成光传送特性良好的光传送装置。
本发明的激光打印机用打印头，其特征在于：具有上述光学装置。
如果采用该激光打印机用打印头，由于包含具有良好的发光特性(光学特性)的光学装置，所以，形成描绘特性良好的激光打印机用打印头。
本发明的激光打印机，其特征在于：具有上述的激光打印机用打印头。
如果采用该激光打印机，如前所述，由于具有描绘特性良好的激光打印机用打印头，所以该激光打印机自身能够成为描绘特性优良的激光打印机。
附图说明
图1(a)～(e)是本发明的微型透镜的制造工序图。
图2(a)、(b)是喷头的概略构成图。
图3(a)、(b)是本发明微型透镜的制造工序图。
图4(a)～(c)是表示本发明微型透镜的图。
图5(a)～(c)是表示微型透镜的聚光功能的图。
图6是用于说明经过疏液处理的透镜材料的接触角的图。
图7是本发明的激光打印机用打印头的概略构成图。
图中：1…GaAs基板、2…面发光激光器、3…基体、4…基座构件材料层、4b…基座构件、7…透镜材料、8a…微型透镜
具体实施方式
以下，详细说明本发明。
首先，说明本发明的微型透镜的制造方法。本发明的微型透镜的制造方法，具有：在基体上面形成基座构件的工序；疏液处理上述基座构件的上面的工序；在上述疏液处理的基座构件的上面，利用液滴喷出法，多点地喷出透镜材料，在上述基座构件上面形成微型透镜的工序。
此时，在本发明中，所谓的“基体”，指的是具有能够形成上述基座构件的面的基体，具体指的是玻璃基板或半导体基板，以及在其上面形成各种功能性薄膜或功能性要素的基板。此外，关于能够形成上述基座构件的面，可以是平面，也可以是曲面，此外，关于基体自身的形状，也不做特别限定，可以采用多种形状。
在本发明中，如图1(a)所示，作为基体3，例如，准备采用GaAs基板1的并在GaAs基板1上形成多个面发光激光器2的基体。然后，在该基体3的上面侧即成为上述面发光激光器2的出射侧的面上，设置基座构件的形成材料，形成基座构件材料层4。另外，在面发光激光器2上，在其出射口的周边形成由聚酰亚胺树脂等构成的绝缘层(未图示)。这里，作为基座构件的形成材料，优选具有透光性的材料，即，优选在上述面发光激光器2的发光光的波长区几乎不引起吸收的、因此实质上透过该发光光的材料，例如，优选聚酰亚胺系树脂、丙烯酸系树脂、环氧系树脂或氟系树脂等，更优选聚酰亚胺系树脂。
在本实施方式中，作为基座构件的形成材料，采用聚酰亚胺系树脂。此外，在基体3上涂布该聚酰亚胺系树脂的前体，之后，通过大约150℃的加热处理，形成图1(a)所示的基座构件材料层4。另外，关于该基座构件材料层4，在此阶段，不进行充分的硬化，形成能够保持该形状程度的硬度。
在如此形成由聚酰亚胺系树脂等构成的基座构件材料层4后，如图1(b)所示，在该基座构件材料层4上形成抗蚀剂层5。然后，采用抗蚀剂层5，曝光形成规定图形的掩模6，再通过显影，如图1(c)所示，形成抗蚀剂图形5a。
然后，以抗蚀剂图形5a作为掩模，例如，通过采用碱系溶液的湿法蚀刻，对基座构件材料层4进行图形化。由此，如图1(d)所示，在基体3上形成基座构件图形4a。此时，关于形成的基座构件图形4a，将其上面形状形成圆形或椭圆形，或者多角形，优选在其上面形成微型透镜，在本实施方式中，将上面的形状形成圆形。此外，以位于形成在基体3的上述面发光激光器2的出射口9(未图示)的正上面的形式，形成如此的圆形的上面的中心位置。
之后，如图1(e)所示，通过除去抗蚀剂图形5a并进而进行大致350℃的热处理，可以使基座构件图形4a充分硬化而形成基座构件4b。
然后，疏液处理该基座构件4b的上面。作为该疏液处理，例如可优选采用在大气气氛中以四氟化碳作为处理气体的等离子体处理法(CF4等离子体处理法)。该CF4等离子体处理法的条件设定为，例如，等离子体功率50～1000kW、四氟化碳(CF4)的气体流量50～100ml/min、相对于等离子体放电电极的基体3的传送速度0.5～1020mm/sec、基体温度70～90℃。
另外，作为处理气体，也不局限于四氟化碳(CF4)，也可以采用其他氟碳系的气体。通过进行这样的疏液化处理，在基座构件4b的上面，在构成其的树脂中导入氟基，由此，付与高的疏液性。
此时，关于这样的疏液处理，特别是在相对于用上述基座构件4b的形成材料形成的平面，配置后述的透镜材料时，优选以发挥该透镜材料的接触角达到20°以上的疏液性的形式进行。
即，如图6所示，用上述基座构件4b的形成材料(在本例中为聚酰亚胺系树脂)，形成基座构件材料层4，以其表面作平面。然后，对该表面实施前述的疏液处理。之后，在该表面上利用液滴喷出法配置透镜材料7。
于是，透镜材料7形成与对基座构件材料层4的表面的润湿性对应的形状的液滴。此时，如果基座构件材料层4的表面张力设为γs、透镜材料7的表面张力设为γL、基座构件材料层4和透镜材料7之间的界面张力设为γSL、透镜材料7与基座构件材料层4的接触角设为θ，则在γS、γL、γSL、θ之间以下公式成立。
γS＝γSL+γL·cosθ
如后述，成为微型透镜的透镜材料7，其曲率受由上述公式确定的接触角θ的限制。即，在硬化透镜材料7后得到的透镜的曲率，是决定最终的微型透镜的形状的要素之一。因此，在本发明中，为了使得到的微型透镜的形状更近似球状，通过利用疏液处理增大基座构件材料层4和透镜材料7之间的界面张力γSL，可以增大上述接触角θ，即达到20°以上，因此是优选的。
如此，通过在上述基座构件4b的上面，实施按图6所示的接触角θ达到20°以上的条件的疏液处理，如后述，能够确实增大喷出配置在该基座构件4b的上面的透镜材料7的相对于基座构件4b上面的接触角θ’。因此，能够进一步增加基座构件上面所载的透镜材料的量，由此，易于以喷出量(喷出圆点量)控制其形状。
在如此对基座构件4b的上面实施疏液处理后，利用液滴喷出法，在该基座构件4b上多点地喷出透镜材料7。此时，作为液滴喷出法，可采用分配器法或喷墨法等。分配器法，作为喷出液滴的方法，是一般的方法，是在比较大的区域上喷出液滴的有效方法。喷墨法是采用喷头喷出液滴的方法，关于喷出液滴的位置，可以μm级的单位进行控制，此外，喷出液滴的量由于能够以10-12升级的单位进行控制，所以，可用于制造特别微细的透镜(微型透镜)。
为此，在本实施方式中，作为液滴喷出法，采用喷墨法。该喷墨法，作为喷头34，例如，如图2(a)所示，采用具有不锈钢制的喷嘴盘12和振动板13、并借助间隔部件(贮存器盘)14将两者结合的喷头。在喷嘴盘12和振动板13的之间，通过间隔部件14形成多个空腔15…和贮存器16，通过流路17连通空腔15…和贮存器16。
用要喷出的液状体(透镜材料)充满各空腔15和贮存器16，它们之间的流路17具有从贮存器16向空腔15供给液状体的供给口的功能。此外，在喷嘴盘12上，以纵横整列配置的状态，形成多个用于从空腔15喷射液状体的孔状喷嘴18。另外，在振动板13上，形成在贮存器16内开口的孔19，借助管(未图示)将液状体容器(未图示)与该孔19连接。
此外，在与朝向振动板13的空腔15的面相反的一侧的表面上，如图2(b)所示，接合压电元件20。该压电元件20夹持在一对电极21、21之间，通过通电能够向外侧突出而挠曲，因此具有作为本发明的喷出机构的功能。
按如此的构成接合压电元件20的振动板13与压电元件20形成一体，同时向外侧挠曲，由此，增大空腔15的容积。于是，连通空腔15内和贮存器16内，在向贮存器16内充填液状体时，相当于在空腔15内增大的容积程度的液状体，借助流路17从贮存器16流入。
此外，如果从此状态解除向压电元件20的通电，压电元件20和振动板13都返回到原来的形状。由此，由于空腔15也返回到原来的容积，所以空腔15内部的液状体的压力上升，从喷嘴18喷出液状体的液滴22。
另外，作为喷头的喷出机构，除采用上述压电元件20的机电变换体外，也可以采用其他方式，例如，作为能量生成元件采用电热变换体的方式或称为带电控制型、加压振动型的连续方式、静电吸引方式，以及通过照射激光器的电磁波使其发热，利用该发热的作用喷出液状体的方式。
此外，作为喷出的透镜材料7，即成为微型透镜的透镜材料7，采用光透过性树脂。具体举例有聚甲基丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸羟基乙酯、聚甲基丙烯酸环己酯等丙烯酸系树脂；聚二甘醇双烯丙基碳酸酯、聚碳酸酯等烯丙系树脂；甲基丙烯酸树脂；聚氨酯系树脂；聚酯系树脂；聚氯乙烯系树脂；聚醋酸乙烯酯系树脂；纤维素系树脂；聚酰胺系树脂；氟系树脂；聚丙烯系树脂；聚苯乙烯系树脂等热塑性或热硬化性的树脂，可以采用上述其中的一种或多种混合使用。
此外，在本发明中，作为上述光透过性树脂，特别优选采用非溶剂系的光透过性树脂。该非溶剂系的光透过性树脂，不采用有机溶剂溶解光透过性树脂，形成液状体，例如通过用其单体稀释该光透过性树脂，进行液状化，形成可从喷头34喷出的光透过性树脂。在该非溶剂系的光透过性树脂中，通过配合二咪唑系化合物等光聚合引发剂，能够作为放射线照射固化型的光透过性树脂使用。即，通过配合这种光聚合引发剂，能够付与上述光透过性树脂放射线照射固化性。这里，所谓的放射线，是可视光线、紫外线、远紫外线、X射线、电子射线等的总称，但一般采用紫外线。
通过由上述构成形成的喷头34，如图3(a)所示，在基座构件4b上，多点如30点地喷出如此的透镜材料7，在基座构件4b上形成微型透镜前体8。此时，通过利用喷墨法喷出透镜材料7，能够在基座构件4b上的大致中心部高精度地配置透镜材料7。此外，如前所述，通过疏液处理基座构件4b的上面，喷出的透镜材料7的液滴难于在基座构件4b的上面上润湿，所以，配置在基座构件4b上的透镜材料7，不会从基座构件4b上洒落，能够以稳定的状态保持在基座构件4b上。此外，通过间断地喷出多点(本例中为30点)，由该喷出的透镜材料7构成的微型透镜前体8，其横截面(与基座构件4b的上面平行的水平面)，最终大于基座构件4b的上面。
即，在透镜材料7的喷出的初期，由于透镜材料7的喷出量少，如图4(a)所示，以在基座构件4b的整个上面扩展的状态，作为整体不向上鼓起增大，与基座构件4b的上面的接触角θ’形成锐角。
如果从此状态再继续喷出透镜材料7，由于后面喷出的透镜材料7当然与先前喷出的透镜材料7的密合性高，所以，如图4(b)所示，由此，不洒落地形成一体化。于是，该被一体化的透镜材料7增大其体积，鼓起，由此，增大与基座构件4b的上面的接触角θ’，最终能超过直角。
如果从此状态再继续喷出透镜材料7，特别是由于采用喷墨法喷出，通过不增大每个圆点的量，能够保证在基座构件4b上的作为整体的平衡，结果，如图4(c)所示，接触角θ’形成大的钝角，结果形成近似球形的状态。
如此，疏液处理基座构件4b的上面，通过用能够在量及喷出位置方面高精度喷出少量点的喷墨法(液滴喷出法)，在该疏液处理的面上，多点地配置透镜材料7，能够以从接触角θ’比较小的锐角到形成大的钝角的方式，分段制作微型透镜前体8的形状。即，通过与要形成的微型透镜的形状对照地预先适宜决定要喷出的点数，能够形成所要求形状的微型透镜。
如果如此形成所要求形状(在本实施方式中，设定为图4(c)所示的近似球形的形状)的微型透镜前体8，如图3(b)所示，在使这些微型透镜前体8硬化后，形成微型透镜8a。
作为微型透镜的前体8的硬化处理，如前所述，作为透镜材料7，由于采用不添加有机溶剂的、付与放射线照射硬化性的透镜材料，所以，特别优选采用照射紫外线(波长入＝365nm)的处理方法。
此外，在利用如此的紫外线照射的硬化处理后，例如，优选在100℃进行1小时左右的热处理。通过进行该热处理，即使在紫外线照射硬化处理阶段产生硬化不均，也能够减少该硬化不均，形成整体大致均匀的硬化度。
通过这种方式在形成微型透镜8a后，根据需要切断基体3，形成单片化或阵列状等，从而制作成所要求的形状。
另外，由如此制造的微型透镜8a和预先形成在基体3上的上述面发光激光器2，得到成为本发明的一实施方式的光学装置。
在这种微型透镜8a的制造方法中，由于在基座构件4b上形成微型透镜8a，所以，通过适宜形成基座构件4b的上面的尺寸或形状，能够适宜形成要得到的微型透镜8a的尺寸或形状。此外，由于疏液处理基座构件4b的上面，所以，能够增大基座构件4b上面与喷出配置的透镜材料7的接触角θ’，由此能够增加基座构件上面所载透镜材料7的量。此外，在能够如此增加基座构件4b上面所载的透镜材料7的量的状态下，由于能多点地喷出透镜材料7，所以，通过适宜调整点的数量，能够良好地控制要得到的微型透镜8a的尺寸或形状。
即，如上所述，能够以从图4(a)～(c)所示的种种形状即平坦的形状(图4(a))到侧面近似半球的形状(图4(b))以及侧面近似球形的形状(图4(c))的方式，分段制作微型透镜8a。因此，特别是在本实施方式的情况，形成于基体3上的面发光激光器2的出射光(发光光)透过基座构件4b，从与该基座构件4b的相反一侧即从微型透镜8a的上面侧出射，但如图4(a)～(c)所示，由于能够适宜分段制作该微型透镜8a的上面侧的曲率，所以，能够按预先设定调整该微型透镜8a的聚光功能。
因此，例如在将面发光激光器2的出射光(发光光)作为放射光，透过基座构件4b，入射在微型透镜8a时，通过预先根据放射光的放射的情况，以达到预先设定的曲率的方式，形成微型透镜8a的形状即微型透镜8a的上面侧的曲率，例如，如图5(a)～(c)所示，能够用微型透镜8a良好地对面发光激光器2的出射光(发光光)进行聚光。
此外，相反，在面发光激光器2等发光源的光不具有放射性，具有直进性时，通过使其透过微型透镜8a，能够使该透过光具有放射性。
此外，特别是，如图4(b)、(c)所示，通过相对于基座构件4b的上面的外径A，以增大与上述上面平行的横截面中的最大横截面的外径B的形式，形成微型透镜8a，与图4(a)所示的微型透镜8a等相比，将该微型透镜8a形成近似球形状。因此，由于能够相对减小其上面侧的曲率，所以能够进一步提高聚光功能。
此外，在由通过这种方式制造的微型透镜8a和形成于基体3上的上述面发光激光器2构成的光学装置中，如上所述，由于在上述面发光激光器2的出射侧配置良好地控制尺寸或形状的微型透镜8a，所以通过该微型透镜8a，能够良好地进行面发光激光器2的出射光的聚光等，因此能够形成具有良好发光特性(光学特性)的光学装置。
另外，在上述实施方式中，在基体3上形成基座构件材料层4，由该基座构件材料层4形成基座构件4b，但本发明并不局限于此，例如，在由透光性材料形成基体3的表层部等时，也可以在该表层部直接形成基座构件。
此外，关于基座构件4b的形成方法，不局限于上面所述的光蚀刻法，也可以采用其他的形成方法，例如选择生长法或复制法等。
此外，关于基座构件4b的上面形状，也可以根据形成的微型透镜所要求的特性，形成三角形或四角形等形状，另外，关于基座构件4b自身的形状，也可以形成锥形或倒锥形等多种形状。
此外，在上述实施方式中，以形成在基座构件4b上的原状，将微型透镜8a用作透镜，发挥透镜功能，但本发明也不局限于此，也可以用适宜的方法从基座构件4b切离或剥离，将微型透镜8a单独用作光学部件。此时，对于制造中使用的基座构件4b，当然不需要具有透光性。
此外，在本发明中，除了由上述的面发光激光器2和微型透镜8a构成的光学装置，通过具备由传送该光学装置的出射光的光纤或光波导等构成的光传送机构以及接受该光传送机构传送的光的受光元件，也能够具有作为光传送装置的功能。
在如此的光传送装置中，如上所述，由于包含具有良好的发光特性(光学特性)的光学装置，所以该光传送装置也能够成为具有良好传送特性的光传送装置。
此外，本发明的激光打印机用打印头是具有上述光学装置的激光打印机用打印头。即，用于该激光打印机用打印头的光学装置，如图7所示，具有直线配置多个面发光激光器2而成的面发光激光器阵列2a及对于构成该面发光激光器阵列2a的各个面发光激光器2配置的微型透镜8a。另外，对于面发光激光器2，设置TFT等驱动元件(未图示)，此外，在该激光打印机用打印头上设置温度补偿电路(未图示)。
另外，通过具有如此构成的激光打印机用打印头，构成本发明的激光打印机。
在这种激光打印机用打印头中，如上所述，由于包含具有良好的发光特性(光学特性)的光学装置，所以可以成为描绘特性良好的激光打印机用打印头。
另外，在这种具有该激光打印机用打印头的激光打印机中，如上所述，由于包含具有描绘特性良好的激光打印机用打印头，所以该激光打印机本身也能够成为描绘特性良好的激光打印机。
另外，本发明的微型透镜，除上述用途外，还可用于多种光学装置，例如，也可用作设在固体摄像装置(CCD)的受光面或光纤的光接合部等上的光学部件。
Claims (12)
1.一种微型透镜的制造方法，其特征在于，包括：
在基体上面形成基座构件的工序；
对上述基座构件的上面进行疏液处理的工序；
在上述疏液处理后的基座构件的上面，利用液滴喷出法多点地喷出透镜材料，在上述基座构件上面形成微型透镜的工序。
2.如权利要求1所述的微型透镜的制造方法，其特征在于，在进行上述疏液处理的工序中，对由上述基座构件形成材料形成的平面进行疏液处理，以便在配置上述透镜材料时发挥疏液性，使该透镜材料的接触角达到20°以上。
3.如权利要求1或2所述的微型透镜的制造方法，其特征在于，在形成上述基座构件的工序中，将上述基座构件的上面形状形成圆形或椭圆形，或者多角形。
4.如权利要求1～3中任一项所述的微型透镜的制造方法，其特征在于，在利用上述液滴喷出法喷出透镜材料时，确定喷出的点数，以便使形成的微型透镜的上面侧的曲率达到预先设定的规定曲率。
5.一种用权利要求1所述制造方法制造的微型透镜。
6.如权利要求5所述的微型透镜，其特征在于，上述基座构件的上面形状形成为圆形或椭圆形，或者多角形。
7.如权利要求5或6所述的微型透镜，其特征在于，与上述基座构件的上面平行的微型透镜的横截面的最大外径，大于上述基座构件的上面的外径。
8.如权利要求5～7中任一项所述的微型透镜，其特征在于，上述基座构件具有透光性。
9.一种光学装置，其特征在于，具备面发光激光器和利用权利要求1～4中任一项所述的制造方法得到的微型透镜或权利要求5～8中任一项所述的微型透镜，在上述面发光激光器的出射侧配设上述微型透镜。
10.一种光传送装置，其特征在于，具备权利要求9所述的光学装置、受光元件、向上述受光元件传送来自上述光学装置的出射光的光传送机构。
11.一种激光打印机用打印头，其特征在于，具备权利要求9所述的光学装置。
12.一种激光打印机，其特征在于，具备权利要求11所述的激光打印机用打印头。
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