JP2006154355A - 光学部材の製造装置および光学部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 光学部材の曲率変化を小さくすることができるとともに、小さな光学部材を製造することも可能な光学部材の製造装置、および、光学部材の製造方法を提供する。
【解決手段】 吐出ヘッド１２に備えられたノズル孔２３の開口形状は、楕円形状に形成されている。制御部によって、ノズル孔２３から比較的粘度の高い紫外線硬化樹脂からなる液体２１をメニスカス状態に維持するように吐出ヘッド１２を駆動制御する。この状態の吐出ヘッド１２と面発光型半導体レーザ５２の出射面６５上とを近づけ、メニスカス状態の液体２１の先端部２１ｃと出射面６５とを接触させる。出射面６５上には、楕円形状のノズル孔２３のうち狭い幅寸法の分量の液体２１が付着して液滴８４が形成される。その後、この液滴８４に照射部が紫外線を照射することにより、マイクロレンズが形成される。
【選択図】 図８

Description

本発明は、例えば光通信に用いられるレンズ等の光学部材の製造装置および光学部材の製造方法に関する。

光通信に用いられる光学部材の１つにマイクロレンズがある。マイクロレンズは、例えば、面発光型半導体レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting Laser）の出射面上に形成される。ＶＣＳＥＬは、光伝送媒体である光ファイバや光導波路と高精度に位置合わせをするために、ＶＣＳＥＬの出射面の上にマイクロレンズを形成することにより、ＶＣＳＥＬから出射された光の結合効率を高め、外部とのコネクションを実現している。よって、マイクロレンズは、所望の光学特性を得るために、その形状を厳密に制御する必要がある。

マイクロレンズの製造方法は、例えば、吐出ヘッドのノズル孔からＶＣＳＥＬの出射面にマイクロレンズの原料である液体を吐出して形成する。液体は、ノズル孔からの吐出を可能にするために、低い粘度で構成されている。しかしながら、粘度が低いために、出射面に付着した液滴が平ら状に潰れてしまっていた。これにより、液滴を硬化させて形成されたマイクロレンズは、必要な曲率を得ることができなかった。

そこで、例えば、付着されるべき所の出射面に親水性の処理を施し、その周囲に撥水性の処理を施すことにより、液滴が所望の領域以上に広がらないようにして、必要な形状を得る方法が知られている（例えば、特許文献１）。これによれば、液滴の大きさに合わせて親水性の処理を施し、拡がってほしくない領域に撥水性の処理を施すので、液滴が平ら状に拡がることを防止することができる。

また、例えば、仕切り部材によって形成された凹部の中に、液滴を充填する方法が知られている（例えば、特許文献２）。これによれば、仕切り部材は、低い濡れ性を有するように構成されており、液滴が仕切り部材によって弾かれるので、液滴の表面を凸状に形成することができる。
これらにより、液滴が周囲に広がらないようにすることが可能となり、液滴が平ら状になることを抑制することができる。

特開２０００−２８０２号公報 特開２０００−７５１０６号公報

しかしながら、従来の形成方法では、液滴が平ら状になることを抑制することはできるが、液滴の粘度が低いことにより、表面張力が小さく液滴の曲率変化が大きくなってしまった。液滴の粘性を高くすることにより、曲率変化の小さい液滴を形成することはできるが、小さいノズル孔径のままでは液体を吐出することができず、ノズル孔径を大きくする必要があった。このため、ノズル孔径を大きくして吐出すると、液滴の曲率は得られるものの液滴が大きくなり、小さいマイクロレンズを形成することができないという問題があった。

本発明は、このように製造された従来の技術の有する未解決な課題に着目してなされたものであって、光学部材の曲率変化を小さくすることができるとともに、小さな光学部材を製造することも可能な光学部材の製造装置および光学部材の製造方法を提供することを目的とする。

上記問題を解決するために、本発明に係る光学部材の製造装置は、基板上に光学部材を形成する光学部材の製造装置であって、前記基板が載置される載置部と、前記載置部に載置される前記基板の上方に配置され、光学部材の原料である粘性を有する液状材料を下方へ吐出させるノズル孔を有する吐出ヘッドと、前記載置部と前記吐出ヘッドとのうち少なくとも一方を昇降させる昇降手段と、前記ノズル孔から前記液状材料を押し出すとともにその押し出された前記液状材料を前記ノルズ孔より突出する状態に保持可能な液量に前記吐出ヘッドを駆動制御するとともに、前記ノズル孔より突出する前記液状材料を前記基板に付着させることが可能な距離まで前記吐出ヘッドと前記載置部とを接近させその後離間させるように前記昇降手段を駆動制御する制御部と、前記吐出ヘッドと前記載置部との接近および離間により前記基板上に付着した前記液状材料の液滴にエネルギー線を照射する照射部と、を備える。

この構成によれば、制御部によって、吐出ヘッドのノズル孔より粘性を有する液状材料を突出する液量に保持する駆動制御を行い、昇降手段によって基板を載置した載置部と吐出ヘッドとの少なくともどちらか一方を昇降させて基板上に付着させるための駆動制御を行って、ノズル孔から突出した液状材料の先端部分を基板上に付着させるので、基板と液状材料との接触面積をノズル孔の開口面積の割に小さくすることができる。よって、小さな接触面積に付着して分離した液滴を小さくすることができる。更に、粘性を有する液状材料なので、基板に付着した液滴は自重によって平ら状に潰れにくく、曲率変化を小さくすることが可能となる。従って、照射部によって液滴にエネルギー線を照射して形成された光学部材を小さくできるとともに、曲率変化の小さい安定した光学部材を製造することができる。その結果、この光学部材を用いることによって、光の拡散をより抑制することができ、光の伝送効率を向上させることができる。

本発明に係る光学部材の製造装置では、前記制御部は、前記ノズル孔から突出する前記液状材料を凸のメニスカスの状態に保持可能な液量に前記駆動ヘッドを駆動制御することが望ましい。

この構成によれば、ノズル孔から突出する液状材料をメニスカスの状態に保持するので、凸のメニスカスの先端を基板上に接触させることができる。よって、基板と液状材料との接触面積をノズル孔の開口面積の割に小さくできるでので、基板上に付着して分離した液滴を小さくすることが可能となる。また、メニスカスの状態を保持しているので、液滴を基板上に付着させたあと、ノズル孔から突出した液体をノズル孔内に戻すことが可能となる。更に、粘性を有する液状材料なので、液滴は自重によって平ら状に潰れにくく、曲率変化の小さい光学部材を形成することができる。

本発明に係る光学部材の製造装置では、前記ノズル孔の開口形状は、偏平形状に形成されていることが望ましい。

この構成によれば、ノズル孔の開口形状が偏平形状であるので、流路面積が大きくなり、粘性の比較的高い液状材料をノズル孔から吐出させやすくすることができる。粘性が高いので液滴は潰れにくく、安定した球形状に形成することが可能となる。従って、液滴の曲率変化を小さくすることができる。また、偏平形状のうち狭い側の幅で液滴の径が規定されるので、接触面積を小さくすることが可能となり、ノズル孔の開口面積の割に小さな液滴を形成することができる。

本発明に係る光学部材の製造装置では、前記ノズル孔の開口形状は、楕円状であることが望ましい。

この構成によれば、ノズル孔の開口形状が楕円状であるので、粘性の比較的高い液状材料をノズル孔から吐出させやすくすることができる。粘性が高いので液滴は潰れにくく、安定した球形状に形成することが可能となる。従って、液滴の曲率変化を小さくすることができる。また、楕円状のうち狭い側の幅で液滴の径を決めることができるので、接触面積を小さくすることが可能となり、ノズル孔の開口面積の割に小さな液滴を形成することができる。

本発明に係る光学部材の製造装置では、前記液状材料の粘度は、３０〜２００ｃｐｓの範囲であることが望ましい。

この構成によれば、粘度が３０〜２００ｃｐｓの範囲内であるので、粘度が高く、液体材料の接触角を大きくすることができる。よって、付着させて形成された液状材料を潰れにくくすることが可能となる。従って、液滴を安定した球形状に近づけて形成することが可能となり、その結果、曲率の変化を小さくすることができる。

本発明に係る光学部材の製造装置では、前記液状材料の粘度は、８０〜１５０ｃｐｓの範囲であることが望ましい。

この構成によれば、粘度が８０〜１５０ｃｐｓの範囲内であるので、吐出ヘッドのノズル口の界面張力が液体粘度と最適となり、生産性が高い。また、液体材料の接触角をより大きくすることができる。よって、付着させて形成された液状材料を潰れにくくすることが可能となる。従って、液滴を安定した球形状に近づけて形成することが可能となり、その結果、曲率の変化を小さくすることができる。

本発明に係る光学部材の製造装置では、前記制御部は、前記昇降手段によって前記載置部と前記吐出ヘッドとのうち少なくとも一方を昇降させるように駆動制御して、前記基板に付着した前記液状材料を前記液滴として分離させることが望ましい。

この構成によれば、制御部が昇降手段によって載置部と吐出ヘッドとを相対的に離すように駆動制御するので、基板上に付着させた液状材料とノズル孔内にある液状材料とを切り離すことができる。よって、基板上に液滴を形成することができる。

本発明に係る光学部材の製造装置では、前記液状材料は、紫外線硬化樹脂であり、前記エネルギー線は、紫外線であることが望ましい。

この構成によれば、紫外線硬化樹脂に紫外線を照射するので、紫外線によって液状材料を硬化させて、光学部材を形成することができる。また、紫外線を照射するので、熱上昇がなく、液状材料の表面張力が高い状態で硬化させることができる。

本発明に係る光学部材の製造装置では、前記基板は、面発光型半導体レーザであり、前記光学部材は、前記面発光型半導体レーザの上面に形成されることが望ましい。

この構成によれば、光学部材を面発光型半導体レーザ上に形成するので、光学部材によって面発光型半導体レーザから発光した光の拡散を抑制することが可能となる。よって、光の伝送効率を向上させることができる。

上記問題を解決するために、本発明に係る光学部材の製造方法は、基板上に光学部材を形成する光学部材の製造方法であって、吐出ヘッドのノズル孔から前記光学部材の原料である粘性を有する液体材料を突出した状態に保持可能な液量を吐出する吐出工程と、突出した状態の前記液体材料と前記基板とが接触するように前記吐出ヘッドと前記基板とを相対的に近づけて前記基板上に前記液体材料を付着させる付着工程と、前記吐出ヘッドと前記基板とを相対的に離して前記基板上に付着した前記液体材料を液滴として分離する分離工程と、前記基板上に付着した前記液滴にエネルギー線を照射する照射工程と、を有する。

この構成によれば、吐出工程によってノズル孔から液状材料を突出した状態に保持可能な液量を吐出させ、付着工程によって突出した液体材料と基板とを相対的に近づけて基板上に液体材料を付着させるので、基板と液状材料との接触面積をノズル孔の開口面積の割に小さくすることができる。そして、分離工程によって、吐出ヘッドと基板とを相対的に離して液滴を分離するので、小さな接触面積に付着して分離した液滴を小さくすることができる。更に、粘性を有する液状材料なので、基板に付着した液滴は自重によって平ら状に潰れにくく、曲率変化を小さくすることが可能となる。従って、照射工程によって液滴にエネルギー線を照射して形成された光学部材を小さくできるとともに、曲率変化の小さい安定した光学部材を形成することができる。その結果、この光学部材を用いることによって、光の拡散をより抑制することができ、光の伝送効率を向上させることができる。

本発明に係る光学部材の製造方法では、前記吐出工程は、前記液体材料を凸のメニスカスの状態に保持可能な液量を吐出させ、前記付着工程は、前記凸のメニスカスの状態の液体材料と前記基板とを接触させることが望ましい。

この構成によれば、ノズル孔から突出する液状材料をメニスカスの状態に保持するので、メニスカスの先端を基板上に接触させることができる。よって、基板と液状材料との接触面積をノズル孔の開口面積の割に小さくできるでので、基板上に付着して分離した液滴を小さくすることが可能となる。また、メニスカスの範囲内を保持しているので、液滴を基板上に付着させたあと、ノズル孔から突出した液体をノズル孔内に戻すことが可能となる。更に、粘性を有する液状材料なので、液滴は自重によって平ら状に潰れにくく、曲率変化の小さい光学部材を形成することができる。

本発明に係る光学部材の製造方法では、前記ノズル孔の開口形状は、偏平状に形成されていることが望ましい。

この構成によれば、ノズル孔の開口形状が偏平形状であるので、流路面積が大きくなり、粘性の比較的高い液状材料をノズル孔から吐出させやすくすることができる。粘性が高いので液滴は潰れにくく、安定した球形状に形成することが可能となる。従って、液滴の曲率変化を小さくすることができる。また、偏平形状のうち狭い側の幅で液滴の径を決めることができるので、接触面積を小さくすることが可能となり、ノズル孔の開口面積の割に小さな液滴を形成することができる。

本発明に係る光学部材の製造方法では、前記液状材料は、３０〜２００ｃｐｓの範囲の粘度を用いることが望ましい。

この構成によれば、液体材料の粘度が３０〜２００ｃｐｓの範囲内であるので、粘度が高く、液体材料の接触角を大きくすることができる。よって、付着させて形成された液滴を潰れにくくすることが可能となる。従って、液滴を安定した球形状に近づけて形成することが可能となり、その結果、曲率変化の小さい光学部材を形成することができる。

本発明に係る光学部材の製造方法では、前記液状材料は、８０〜１５０ｃｐｓの範囲の粘度を用いることが望ましい。

この構成によれば、液体材料の粘度が８０〜１５０ｃｐｓの範囲内であるので、吐出ヘッドのノズル口の界面張力が液体粘度と最適となり、生産性が高い。また、液体材料の接触角をより大きくすることができる。よって、付着させて形成された液滴を潰れにくくすることが可能となる。従って、液滴を安定した球形状に近づけて形成することが可能となり、その結果、曲率変化の小さい光学部材を形成することができる。

本発明に係る光学部材の製造方法では、前記液状材料は、紫外線硬化樹脂であり、前記エネルギー線は、紫外線であることが望ましい。

この構成によれば、紫外線硬化樹脂からなる液体材料に紫外線を照射するので、紫外線によって液状材料を硬化させて、光学部材を形成することができる。また、紫外線を照射するので、熱上昇がなく、液状材料の表面張力が高い状態で硬化させることができる。

本発明に係る光学部材の製造方法では、前記基板は、面発光型半導体レーザであり、前記面発光型半導体レーザの上面に前記光学部材を形成することが望ましい。

この構成によれば、面発光型半導体レーザ上に光学部材を形成するので、光学部材によって面発光型半導体レーザから発光した光の拡散を抑制することが可能となる。よって、光の伝送効率を向上させることができる。

以下、本発明に係る光学部材の製造方法および光学部材の製造装置の実施形態について図面を参照して説明する。

図１は、本実施形態の光学部材の製造装置の構成を模式的に示す斜視図である。以下、本実施形態の光学部材の製造装置であるマイクロレンズ製造装置の構成について、図１を参照しながら説明する。図１に示すように、マイクロレンズ製造装置１１は、光学部材としてのマイクロレンズ５３（図４参照）の原料である粘性の液状材料（以下、「液体」という）２１（図２（ａ）参照）を吐出する吐出ヘッド１２と、吐出ヘッド１２をＸ方向にスライド移動させる第１のスライド機構（図示せず）と、ステージ１３と、ステージ１３をＹ方向にスライド移動させる第２のスライド機構１６と、ステージ１３をＺ方向に昇降させる第３のスライド機構１７と、エネルギー線の照射を行う照射部８１（図９、工程１５参照）とを有する。

吐出ヘッド１２は、液体２１を吐出するために用いられる。第１のスライド機構は、例えば、第１スライド軸１４と、Ｘ方向駆動用パルスモータ４０ａ（図３参照）とを有する。吐出ヘッド１２は、このＸ方向駆動用パルスモータ４０ａの回転に応じて、第１スライド軸１４に沿ってＸ方向へのスライド移動が可能になっている。

ステージ１３は、吐出ヘッド１２の吐出側と対向する側の位置に配置されている。ステージ１３には、マイクロレンズ５３が形成される前の基板１５が固定されている。ステージ１３上に固定された基板１５に液体２１を吐出および硬化することにより、マイクロレンズ５３が形成される。

第２のスライド機構１６は、ステージをＹ方向に移動させる。第２のスライド機構１６は、例えば、第２スライド軸（図示せず）と、Ｙ方向駆動用パルスモータ４０ｂ（図３参照）とを有する。ステージ１３は、このＹ方向駆動用パルスモータ４０ｂの回転に応じて、第２スライド軸に沿ってＹ方向へのスライド移動が可能となっている。

昇降手段である第３のスライド機構１７は、ステージ１３をＺ方向（高さ方向）に移動させる。第３スライド機構１７は、例えば、第３スライド軸（図示せず）と、Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃ（図３参照）とを有する。ステージ１３は、このＺ方向駆動用パルスモータ４０ｃの回転に応じて、第３スライド軸に沿ってＺ方向へのスライド移動が可能となっている。
第１〜第３のスライド機構によって吐出ヘッド１２とステージ１３とを移動させることにより、液体２１の着弾位置を決定している。

照射部８１（図９、工程１５参照）は、吐出ヘッド１２に設けられており、ノズル孔２３（図２参照）から吐出され基板１５上に付着した液滴８４（図９、工程１４参照）に対してエネルギー線の照射を行う。

図２は、吐出ヘッドの構造を示す模式図である。同図（ａ）は、吐出ヘッドの構造を示す模式断面図であり、同図（ｂ）は、吐出ヘッドを下側からみたときのノズル孔２３の開口形状を示す模式平面図である。以下、吐出ヘッドの構造について、図２を参照しながら説明する。図２（ａ）に示すように、吐出ヘッド１２は、マイクロレンズ５３の原料である液体２１を貯留する液体貯留室２２と、液体２１を吐出するノズル孔２３と、圧電素子２４と、振動板２５とを有する。

マイクロレンズ５３（図４参照）は、光などのエネルギー線を付与することにより硬化可能な液体２１を液滴として基板１５上に付着させるとともに、その液滴を硬化させることで構成される。本実施形態の液体２１は、例えば、短時間のエネルギー線である紫外線が照射されることにより硬化する紫外線硬化型樹脂である。エネルギー線は、例えば、紫外線８３（図９、工程１５参照）である。紫外線硬化型樹脂は、一般に、プレポリマー、オリゴマー、およびモノマーのうち少なくとも１つと光重合開始剤とを含む。紫外線硬化型樹脂としては、例えば、紫外線硬化型のアクリル系樹脂やエポキシ系樹脂が挙げられる。粘度の選択性の広さを考慮すると、アクリル系樹脂を用いるのが好ましい。紫外線硬化型のアクリル系樹脂は、例えば、エポキシアクリレート類、スピロアセタール系アクリレート類等のアクリレート類、エポキシメタクリレート類、スピロアセタール系アクリレート類、ポリエステルメタクリレート類、ポリエーテルメタクリレート類等のメタクリレート類等が挙げられる。

紫外線硬化型樹脂は、熱によって硬化する樹脂ではないため、面発光型半導体レーザ５２（図４参照）などの素子などに与えるダメージを少なくして硬化させることができる。また、熱上昇がないので、液体２１の表面張力が高い状態で硬化させることができる。また、紫外線硬化型樹脂は、一般に光透過性の高いものが多い。よって、硬化させるべき液滴等に紫外線を片面から照射しても液滴の全体を硬化させることが可能である。また、光の損失が少ないことから、長い光路長に対してマイクロレンズ５３を形成する場合に特に有効である。

ノズル孔２３は、液体貯留室２２に貯留された液体２１を吐出するために用いられる。ノズル孔２３の開口形状は、図２（ｂ）に示すように、円を偏平にした楕円状に形成されている。ノズル孔２３は、例えば、第１の幅Ｘと第２の幅Ｙとを有する楕円形状で構成される。第２の幅Ｙは、第１の幅Ｘより狭い幅に設定されている。このような楕円形状にしたことにより、液体２１の流路面積を大きくすることが可能となり、高い粘度の液体２１を吐出することができる。

圧電素子２４は、例えば、ピエゾ素子である。この圧電素子２４は、圧電効果またはピエゾ効果を利用し、電圧が印加されることにより伸縮する性質がある。

振動板２５は、圧電素子２４と液体貯留室２２との間に設けられており、伸縮した圧電素子２４の伸縮に連動して振動する。振動板２５は、例えば、シリコン等の弾性材料によって構成されており、振動しやすい構成になっている。

以上のことから、圧電素子２４に電圧を印加して電圧変化を与えることにより圧電素子２４が伸縮し、圧電素子２４に接している振動板２５に圧力が伝わる。そして、振動板２５が液体貯留室２２側に向かって凹状となるように弾性変形を起こし、その凹状になった空間に供給された液体２１が入り込む。その後、圧電素子２４への電圧の印加を停止すると、凹状の振動板２５が元の状態に戻され、供給されて入り込んだ液体２１の分が液体貯留室２２に圧力を加える。その結果、液体貯留室２２の液体２１が押され、ノズル孔２３より微小量の液体２１が押し出される。

図３は、マイクロレンズ製造装置の電気的構成を模式的に示すブロック図である。以下、マイクロレンズ製造装置の構成について、図３を参照しながら説明する。マイクロレンズ製造装置１１は、マイクロレンズ製造装置１１内の動作を制御するための制御回路３１を備えている。制御回路３１は、コンピュータ３２から液体２１を吐出するための吐出信号などの各種データを受け取る第１インターフェース（Ｉ／Ｆ）３３と、ＲＡＭ３４と、所定の処理を行うためのプログラムやデータを記憶したＲＯＭ３５と、発振回路（図示せず）と、ＣＰＵを含む制御部３６と、駆動パルス生成回路としての駆動波形生成回路３７と、マイクロレンズ製造装置内の回路から送られたデータを受け取る第２インターフェース（Ｉ／Ｆ）３８とを備えている。

第２インターフェース３８には、第１ドライバ３９ａと、第２ドライバ３９ｂと、第３ドライバ３９ｃと、吐出ヘッド１２とに接続されている。第１〜第３ドライバ３９ａ〜３９ｃは、それぞれ、Ｘ方向駆動用パルスモータ４０ａ、Ｙ方向駆動用パルスモータ４０ｂ、Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃに接続されている。Ｘ方向駆動用パルスモータ４０ａは、吐出ヘッド１２に接続されている。Ｙ方向およびＺ方向駆動用パルスモータ４０ｂ，４０ｃは、ステージ１３に接続されている。

ＲＡＭ３４は、各種データの記憶および読み出しに利用される。コンピュータ３２から送信された吐出データは、第１インターフェース３３を介してＲＡＭ３４に記憶される。その後、ＲＡＭ３４から読み出された吐出データは、各種吐出信号に変換されて、吐出ヘッド１２およびステージ１３を制御するために各ドライバ３９ａ〜３９ｃ等に送られる。
駆動波形生成回路３７は、圧電素子２４を駆動するためのパルス電圧を生成する。このパルス電圧を圧電素子２４に印加して振動板２５を変形させることにより、ノズル孔２３から液体２１を吐出したり、ノズル孔２３内に液体２１を吸引したりすることができる。

Ｘ方向駆動用パルスモータ４０ａは、第１ドライバ３９ａを介して第２インターフェース３８に接続されている。第１ドライバ３９ａは、第２インターフェース３８から送られた位置データを含む信号を電流に変換する。Ｘ方向駆動用パルスモータ４０ａは、この電流に従って吐出ヘッド１２をＸ方向に所定量移動させるための回転を行う。

Ｙ方向駆動用パルスモータ４０ｂは、第２ドライバ３９ｂを介して第２インターフェース３８に接続されている。第２ドライバ３９ｂは、第２インターフェース３８から送られた位置データを含む信号を電流に変換する。Ｙ方向駆動用パルスモータ４０ｂは、この電流に従ってステージ１３をＹ方向に所定量移動させるための回転を行う。

Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃは、第３ドライバ３９ｃを介して第２インターフェース３８に接続されている。第３ドライバ３９ｃは、第２インターフェース３８から送られた位置データを含む信号を電流に変換する。Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃは、この電流に従ってステージ１３をＺ方向に所定量移動させるための回転を行う。

図４は、電気光学素子の構造を模式的に示す断面図である。本実施形態における電気光学素子５１とは、受発光素子上に光学部材であるマイクロレンズ５３を形成したものである。受発光素子の１つである発光素子としては、例えば、光を放出する部位（出射面）を有し、半導体レーザ、半導体発光ダイオード、有機ＥＬ装置などが挙げられる。受発光素子の１つである受光素子としては、例えば、光を取り込む部位（入射面）を有し、固体撮像素子、フォトダイオード、ＭＳＭ（Metal Semiconductor Metal）フォトディレクターなどが挙げられる。以下、半導体レーザの１つである面発光型半導体レーザ（ＶＣＳＥＬ）５２上に光学部材としてのマイクロレンズ５３が形成された電気光学素子５１の構成について、図４を参照しながら説明する。

電気光学素子５１は、基板１５としての面発光型半導体レーザ（ＶＣＳＥＬ）５２と、マイクロレンズ５３とを有する。面発光型半導体レーザ５２は、図４に示すように、第１基板５４と、第１基板５４上に形成された垂直共振器（以下「共振器」とする）５５と、共振器５５上に形成された第１電極５６と、第１基板５４の下面側に形成された第２電極５７とを有する。第１基板５４は、例えば、ｎ型ＧａＡｓ（砒素ガリウム）基板である。

共振器５５は、分布反射型多層膜ミラー層（以下、「第１ミラー層」という）５８と、第１ミラー層５８上に形成された柱状の半導体堆積体（以下、「柱状部」とする）５９と、柱状部５９の側面を覆う絶縁層６０とを有する。

柱状部５９は、活性層６１と、活性層６１の上方に形成された酸化アルミニウムからなる電流狭窄層６２と、電流狭窄層６２の上面に形成された分布反射型多層膜ミラー層（以下、「第２ミラー層」という）６３とを有する。

第１電極５６および第２電極５７は、共振器５５に電流を注入するために設けられている。詳しくは、この第１電極５６および第２電極５７によって、活性層６１に電流が注入される。第１電極５６は、例えばＡｕとＺｎの合金とＡｕとの積層膜から形成することができる。第１電極５６は、柱状部５９の上面の一部に開口部６４を有する。柱状部５９の上面のうち、開口部６４によって開口された部分が出射面６５となる。第２電極５７は、例えば、ＡｕとＧｅの合金とＡｕとの積層膜から構成されている。

以上により構成された面発光型半導体レーザ５２は、共振器５５の上面に設けられた出射面６５から、第１基板５４と垂直方向に光（レーザ）を出射することができる。

マイクロレンズ５３は、面発光型半導体レーザ５２の出射面６５上に配置されている。このマイクロレンズ５３は、出射面６５から出射される光（レーザ）に対して透明な液体２１を硬化させることにより構成される。これにより、光（レーザ）を効率良く出射させることが可能となる。

次に、面発光型半導体レーザ５２の一般的な動作を説明する。なお、下記の面発光型半導体レーザ５２の駆動方法は一例であり、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変更が可能である。

まず、第１電極５６と第２電極５７との間で電圧を印加すると、活性層６１において、電子と正孔との再結合が起こり発光が生じる。そこで生じた光が第２ミラー層６３と第１ミラー層５８との間を往復する際に誘導放出が起こり、光の強度が増幅される。光利得が光損失を上まわると、レーザ発振が起こり、柱状部５９上面にある出射面６５からマイクロレンズ５３へと入射する。このマイクロレンズ５３にて放射角が調整された後、第１基板５４に対して垂直方向（図４に示す上方側）に光（レーザ）が出射される。

図５、図６は、面発光型半導体レーザの製造工程を示す模式断面図である。以下、面発光半導体レーザの製造方法を、図５、図６を参照しながら説明する。

まず、図５に示す工程１では、第１基板５４の表面に、組成を変調させながらエピタキシャル成長させることにより、半導体多層膜６６を形成する。半導体多層膜６６は、第１ミラー層５８、活性層６１、第２ミラー層６３を順に第１基板５４上に堆層させることにより形成する。次に、所定のパターンのレジスト層６７を形成する。レジスト層６７は、半導体多層膜６６上に、フォトレジスト（図示せず）を塗布した後、フォトリソグラフィ法によりフォトレジストをパターニングすることにより、所定のパターンに形成される。

工程２では、柱状部５９を形成する。まず、工程１において形成したレジスト層６７をマスクとして、例えばドライエッチング法により、第２ミラー層６３、活性層６１、および第１ミラー層５８の一部をエッチングして、柱状の半導体堆積体（柱状部）５９を形成する。以上により、第１基板５４上に、柱状部５９を含む共振器５５が形成される。その後、レジスト層６７を除去する。

工程３では、必要に応じて、電流狭窄層６２を形成する。電流狭窄層６２は、第２ミラー層６３の一部を酸化することにより形成する。電流狭窄層６２を備えた面発光型半導体レーザ５２（図４参照）では、駆動する際に、電流狭窄層６２が形成されていない部分（酸化されていない部分）のみに電流が流れる。従って、酸化によって電流狭窄層６２を形成する工程において、形成する電流狭窄層６２の範囲を制御することにより、電流密度の制御が可能となる。

図６に示す工程４では、柱状部５９を取り囲む絶縁層６０を形成する。ここでは、絶縁層６０を形成するための材料は、例えば、ポリイミド樹脂を用いる。まず、例えば、スピンコート法を用いて、樹脂前駆体（ポリイミド前駆体）を共振器５５上に塗布して、樹脂前駆体層（図示せず）を形成する。この際、前記樹脂前駆体層の膜厚が柱状部５９の高さより大きくなるように形成する。
次に、この基板を、例えば加熱して溶媒を除去した後、柱状部５９の上面５９ａを露出させる。柱状部５９の上面５９ａを露出させる方法としては、ＣＭＰ法、ドライエッチング法、ウエットエッチング法などが利用できる。この後、前記樹脂前駆体層をイミド化させることで、絶縁層６０が形成される。

工程５では、活性層６１に電流を注入するための第１電極５６および第２電極５７、およびレーザ光の出射面６５を形成する。まず、例えば真空蒸着法により絶縁層６０および柱状部５９の上面５９ａ（図６、工程４参照）に、例えばＡｕとＺｎの合金とＡｕとの積層膜（図示せず）を形成する。この場合、最表面にＡｕ層を形成する。次に、リフトオフ法により、柱状部５９の上面５９ａに、前記積層膜が形成されていない部分を形成する。この部分が開口部６４となる。そして、柱状部５９の上面５９ａのうち開口部６４内の領域が出射面６５として機能する。
次に、第１基板５４の裏面５４ａに、例えば真空蒸着法により、例えばＡｕとＧｅの合金とＡｕとの積層膜（図示せず）を形成する。
以上の工程（工程１〜工程５）により、出射面６５を含む面発光型半導体レーザ５２を形成する。

図７は、液滴の粘度と接触角との関係を示すグラフである。以下、液滴の粘度と接触角との関係を、図７を参照しながら説明する。横軸は液滴の粘度を示し、縦軸には液滴の接触角を示している。液滴の粘度は、数値が大きくなるに従って粘度が高くなり、流動性が低下してくる。液滴の接触角は、液滴が球状に近づくに従って、数値が大きくなる。

図７に示すように、粘度が低いほど液滴８４（図９、工程１４参照）の接触角が小さくなり、液滴８４は平ら状に潰れてくる。粘度が高いほど液滴８４の接触角が大きくなり、液滴８４は略球状に形成される。つまり、液滴粘度が低いほど流動性が高いので、ノズル孔２３の開口形状を小さくして小さい液滴８４を形成することができるが、液滴８４を球状に近づけることが難しくなる。一方、液滴粘度が高いほど流動性が悪いのでノズル孔２３の開口形状を大きくしなければならず、これにより液滴８４が大きくなってしまうが、液滴８４を球状に近づけて形成することができる。

以上のことから、球状の（曲率変化の少ない）曲面をもつサイズの小さな液滴８４を形成したい場合、高い粘度の液体２１を吐出させることと、液体２１を出射面６５に接触させる接触面積を小さくすることが必要である。そして、この液滴８４に紫外線８３（図９、工程１５参照）が照射されてできたマイクロレンズ５３を用いることにより、光の拡散をより抑制することができ、光の伝送効率を向上させることができる。
本実施形態における液体２１の粘度は、曲率変化を小さくするとともにノズル孔２３から液体２１の吐出を可能にするため、図７に示すように、３０〜２００ｃｐｓの範囲を用いる。また、好ましくは、より曲率変化を小さくするとともにノズル孔２３からの液体２１の吐出をしやすくするため、さらには、ノズル孔２３の界面張力と液体２１の粘度とを最適にし、生産性を高めるために、８０〜１５０ｃｐｓの範囲を用いる。

図８，９は、マイクロレンズの製造工程を示す模式断面図である。以下、マイクロレンズ製造装置を用いて、面発光型半導体レーザの出射面上にマイクロレンズを製造する方法を、図８，９を参照しながら説明する。なお、図８，９に示す面発光型半導体レーザ５２は、図６の工程５に示す面発光型半導体レーザ５２を模式化したものであり、同様に構成されている。また、マイクロレンズ５３（図４参照）は、例えば、液滴吐出法により出射面６５に向けて液体２１を吐出する方法により形成される。但し、本実施形態では、液体２１は、液滴８４として吐出してしまわない程度に液体２１を押し出す吐出力を与える。なお、液体２１の粘度および吐出量等を考慮して、吐出方法を選択するのが望ましい。

まず、図８に示す工程１１では、吐出ヘッド１２と面発光型半導体レーザ５２とを近づけた状態を示している。吐出ヘッド１２は、コンピュータ３２から送られた吐出信号を基にしてＸ方向駆動用パルスモータ４０ａを所定量回転させることにより、Ｘ方向の所定位置に移動する。面発光型半導体レーザ５２を載置したステージ１３は、吐出信号を基にしてＹ方向およびＺ方向駆動用パルスモータ４０ｂ，４０ｃを所定量回転をさせることにより、Ｙ方向およびＺ方向（高さ方向）の所定位置に移動する。これにより、吐出ヘッド１２とマイクロレンズ５３を形成する面発光型半導体レーザ５２の出射面６５との液体２１を吐出するための位置合わせが終了する。
液体２１の先端面２１ａは、吐出ヘッド１２の先端面１２ａと同じ高さにある。なお、この状態を液体２１の「基準状態」とする。吐出ヘッド１２と出射面６５との位置合わせが終了したあと、圧電素子２４に所定量のパルス電圧を印加する。

工程１２では、ノズル孔２３から液体２１を突出させた状態を示している（吐出工程）。まず、圧電素子２４に所定量のパルス電圧を印加したことにより、振動板２５が弾性変形を起こし、液体貯留室２２内に圧力を加える。このとき制御部３６は、ノズル孔２３から凸状のメニスカス状態に保持可能な液量を押し出すことが可能な吐出強さに駆動制御している。これにより、液体２１の先端面２１ａは、ノズル孔２３から所定量（所定高さ）押し出されて突出するメニスカス状態を維持している。なお、本実施形態におけるメニスカス状態とは、液体２１に力を加えていれば突出状態を維持し、力を無くせば突出状態の液体２１が元の基準状態に戻るような液面２１ｂ状態をいう。

工程１３では、ノズル孔２３から突出したメニスカスの液面２１ｂを、面発光型半導体レーザ５２の出射面６５上に付着させた状態を示している（付着工程）。まず、Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃを所定量回転させて、液体２１の先端部２１ｃが出射面６５に接触する距離、つまり、吐出ヘッド１２の先端面１２ａと面発光型半導体レーザ５２の上面５２ａとの間隔が隙間Ｈになるようにステージ１３を上昇させる。隙間Ｈは、例えば、ノズル孔２３からメニスカスの状態に液体２１を突出させるためのパルス電圧と、突出した液体２１の突出高さＧ（工程１２参照）と、液体２１の粘度と、ノズル孔２３の開口寸法（第２の幅Ｙ）と、所望の接触面積とを有して求められる。また、隙間Ｈは、試行実験によって求めるようにしてもよい。吐出ヘッド１２と出射面６５との隙間を狭くして、出射面に接触する液体の面積を多くすれば、大きな液滴を形成することができる。一方、吐出ヘッド１２と出射面６５との隙間を広くして、出射面６５に接触する液体の面積を小さくすれば、小さな液滴を形成することができる。

ノズル孔２３から突出したメニスカス状態の液体２１は、その先端部２１ｃで出射面６５と接触する。ノズル孔２３の開口形状は、図２（ｂ）で説明したように、第１の幅Ｘと第２の幅Ｙとを有する楕円形状に形成されている。ノズル孔２３から突出した液体２１は、ノズル孔２３開口の楕円形状の中で、第２の幅Ｙ（狭い側の幅）とほぼ等しい直径の凸状の球面と出射面６５とが接触し付着する。

図９に示す工程１４では、吐出ヘッド１２とステージ１３とを離して、出射面６５上に液滴８４を形成する（分離工程）。まず、Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃを所定量回転させて、ステージ１３を下降させる。これにより、ノズル孔２３内の液体２１と繋がっていたメニスカス状態の液体２１のうち、出射面６５上に付着した液体２１が液滴８４として分離する。この液滴８４の大きさは、例えば、ノズル孔２３の第２の幅Ｙによって決定される。工程１３において、第２の幅Ｙ分の液体２１が出射面６５上に接触して付着しているので、液体２１を分離するとき、出射面６５側に残る液体２１は表面張力によって球状になろうとする。よって、出射面６５上には、例えば、第２の幅Ｙとほぼ等しい直径を有する液滴８４が形成される。また、この第２の幅Ｙを、第１の幅Ｘより大きくならない範囲で可変させることにより、液滴８４の大きさ、つまりマイクロレンズ５３の大きさを制御することが可能となる。
液滴８４は、高い粘度を有するので、自重によって潰れにくく、曲率変化が小さい略球状を維持することができる。また、分離したあとのノズル孔２３先端から突出している液体２１は、ノズル孔２３に引き戻され、液体２１の先端面２１ａは、吐出ヘッド１２の先端面１２ａと同じ高さ（基準状態）になっている。

工程１５では、液滴８４に紫外線８３を照射してマイクロレンズ５３を完成させる（照射工程）。液滴８４は、紫外線硬化樹脂からなるので、照射部８１から紫外線８３が当たることにより硬化する。液滴８４は、硬化後にマイクロレンズ５３となる。曲率変化の少ない状態の液滴８４に対し紫外線８３を照射するので、曲率の安定したマイクロレンズ５３を形成することができる。

以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
（１）本実施形態によれば、ノズル孔２３の開口形状を楕円形状にしているので流路面積が大きくなり、粘度の高い紫外線硬化型樹脂からなる液体２１を吐出させやすくすることができる。また、高い粘度の液体２１を楕円形状のノズル孔２３からメニスカス状態に突出させているので、この液体２１と出射面６５とを付着させたとき、楕円形状の中で狭い幅側の寸法（第２の幅Ｙ）とほぼ等しい直径を有する液体２１を出射面６５に付着させて液滴８４を形成することができる。よって、出射面６５上に接触する接触面積を小さくすることができる。従って、ノズル孔２３の開口面積の割に液滴８４を小さく形成することができる。更に、液滴８４の粘度が高いので出射面６５との接触角を大きくすることができ、これにより液滴８４が平ら状に潰れにくく略球状（曲率変化の小さい）の液滴８４を形成することができる。そして、この液滴８４に照射部８１から紫外線８３を照射するので、曲率変化の小さい略球状のマイクロレンズ５３を形成することが可能となる。その結果、光の拡散をより抑制することができ、光の伝送効率を向上させることができる。

（２）本実施形態によれば、マイクロレンズ５３の原料に紫外線硬化型樹脂を使用し、熱によって硬化させるのではなく紫外線８３で硬化させるので、面発光型半導体レーザ５２に与えるダメージを少なくすることができる。また、温度上昇によって粘度を低下させないので、液滴８４の表面張力が高い状態で硬化させることができる。よって、曲率変化の少ないマイクロレンズ５３を形成することができる。また、紫外線硬化型樹脂は、光透過性の高いものが多く光の損失が少ないので、長い光路長に対しても適用することができる。

（３）本実施形態によれば、制御部３６によって、圧電素子２４に印加するパルス電圧を一定にして、液体貯留室２２に加わる圧力を一定にすることによりノズル孔２３から突出するメニスカス状態の液体２１の液量を常に一定にすることが可能となる。更に、吐出ヘッド１２と出射面６５上の隙間Ｈを一定にして出射面６５上に液体２１を付着させているので、常に液体２１と出射面６５との接触する接触面積を同じにすることができる。よって、サイズにバラツキの少ない液滴８４を形成することができる。

（４）本実施形態によれば、粘度の高い液体２１を使うので、出射面６５への付着により球状に近い液滴８４を形成することができる。よって、従来のような撥液処理や親液処理を施す必要がなく、製造工程を簡略化させ、製造コストを抑制することができる。

なお、本実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
（変形例１）前記実施形態では、ノズル孔２３は、楕円状の開口形状により、流路面積を大きくして粘度の高い液体２１を吐出するようにしていた。これを、ノズル孔の開口形状を大きな丸形状にして液体２１を吐出するようにしてもよい。これによれば、大きな丸形状のノズル孔により流路面積が大きくなるので、粘度の高い液体２１を吐出することができる。更に、ノズル孔からメニスカス状態に液体２１を突出させて、凸状の液体２１の先端部を出射面６５上に付着させることにより、接触面積を小さくすることができる。よって、接触面積に対応した小さな液滴を形成することができる。更に、液体２１の粘度が高いので、曲率変化の少ない液滴を形成することができる。

（変形例２）前記実施形態では、ノズル孔２３から突出したメニスカス状態の液体２１を出射面６５に付着させたあと液滴８４に分離するとき、ステージ１３を下降させることにより吐出ヘッド１２から面発光型半導体レーザ５２を離して液体２１を分離していた。これを、吐出ヘッド１２をＺ方向に移動可能な移動手段を設け、吐出ヘッド１２を出射面６５に付着させた液体２１から離すようにして、液滴８４と分離するようにしてもよい。また、圧電素子２４にパルス電圧を印加して、液体２１をノズル孔２３側に引くことにより、出射面６５に付着させた液体２１を分離するようにしてもよい。

（変形例３）前記実施形態では、ノズル孔２３からメニスカス状態に液体２１を突出させてからステージ１３を上昇させて、液体２１と面発光型半導体レーザ５２の出射面６５とを接触させるようにしていた。これを、予め求められた隙間Ｈになるまでステージ１３を上昇させて吐出ヘッド１２に近づけ、そのあと、圧電素子２４にパルス電圧を印加してノズル孔２３から所定のメニスカス状態になるまで液体２１を突出させて出射面６５に付着させるようにしてもよい。また、吐出ヘッド１２に対しステージ１３を近づけながら、ノズル孔２３から液体２１を吐出させて、隙間Ｈの高さまで移動を完了したときにメニスカス状態の液体２１を出射面６５に付着させるようにしてもよい。

（変形例４）前記実施形態では、液滴８４を形成するのに液滴吐出法を用いていた。これを、ディスペンサ法を用いて形成するようにしてもよい。ディスペンサ法を用いて形成する場合、液体２１の吐出量を多くすることが可能であるので、液体２１の粘度を高くすることができる。よって、比較的大きな液滴８４を容易に形成することができる。その結果、曲率変化の少ない曲面をもつ液滴８４を形成することが可能となり、曲率の安定したマイクロレンズ５３を形成することができる。

（変形例５）前記実施形態では、ノズル孔２３から突出させる液量を、圧電素子２４に印加するパルス電圧を一定にすることにより制御していた。これを、圧電素子２４を使用せずに水頭差を利用して、ノズル孔２３から突出させる液量を制御するようにしてもよい。

一実施形態における、光学部材の製造装置の構成を模式的に示す斜視図。 吐出ヘッドの構造を模式的に示す断面図。同図（ａ）は、吐出ヘッドの構造を示す模式断面図であり、同図（ｂ）は、吐出ヘッドを下側からみたときのノズル孔の開口形状を示す模式平面図。 マイクロレンズ製造装置の電気的構成を模式的に示すブロック図。 面発光型半導体レーザとマイクロレンズの構造を模式的に示す断面図。 面発光型半導体レーザの製造工程を示す模式断面図。 面発光型半導体レーザの製造工程を示す模式断面図。 液滴の粘度と液滴の接触角との関係を示すグラフ。 マイクロレンズの製造工程を示す模式断面図。 マイクロレンズの製造工程を示す模式断面図。

符号の説明

１１…光学部材の製造装置としてのマイクロレンズ製造装置、１２…吐出ヘッド、１３…載置部としてのステージ、１５…基板、１７…昇降手段としての第３のスライド機構、２１…液体材料である液体、２１ａ…液体の先端面、２１ｂ…液体の液面、２１ｃ…液体の先端部、２２…吐出ヘッドを構成する液体貯留室、２３…吐出ヘッドを構成するノズル孔、２４…吐出ヘッドを構成する圧電素子、３７…駆動パルス生成部としての駆動波形生成回路、４０ａ…Ｘ方向駆動用パルスモータ、４０ｂ…Ｙ方向駆動用パルスモータ、４０ｃ…Ｚ方向駆動用パルスモータ、５１…面発光型半導体レーザと光学部材とを組み合わせた電気光学素子、５２…面発光型半導体レーザ（ＶＣＳＥＬ）、５３…光学部材としてのマイクロレンズ、６４…開口部、６５…出射面、８１…照射部、８３…エネルギー線としての紫外線、８４…液滴。

Claims (16)

1. 基板上に光学部材を形成する光学部材の製造装置であって、
   前記基板が載置される載置部と、
   前記載置部に載置される前記基板の上方に配置され、光学部材の原料である粘性を有する液状材料を下方へ吐出させるノズル孔を有する吐出ヘッドと、
   前記載置部と前記吐出ヘッドとのうち少なくとも一方を昇降させる昇降手段と、
   前記ノズル孔から前記液状材料を押し出すとともにその押し出された前記液状材料を前記ノズル孔より突出する状態に保持可能な液量に前記吐出ヘッドを駆動制御するとともに、前記ノズル孔より突出する前記液状材料を前記基板に付着させることが可能な距離まで前記吐出ヘッドと前記載置部とを接近させその後離間させるように前記昇降手段を駆動制御する制御部と、
   前記吐出ヘッドと前記載置部との接近および離間により前記基板上に付着した前記液状材料の液滴にエネルギー線を照射する照射部と、
   を備えたことを特徴とする光学部材の製造装置。
2. 請求項１に記載の光学部材の製造装置であって、
   前記制御部は、前記ノズル孔から突出する前記液状材料を凸のメニスカスの状態に保持可能な液量に前記駆動ヘッドを駆動制御することを特徴とする光学部材の製造装置。
3. 請求項１又は２に記載の光学部材の製造装置であって、
   前記ノズル孔の開口形状は、偏平形状に形成されていることを特徴とする光学部材の製造装置。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の光学部材の製造装置であって、
   前記ノズル孔の開口形状は、楕円状であることを特徴とする光学部材の製造装置。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学部材の製造装置であって、
   前記液状材料の粘度は、３０〜２００ｃｐｓの範囲であることを特徴とする光学部材の製造装置。
6. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学部材の製造装置であって、
   前記液状材料の粘度は、８０〜１５０ｃｐｓの範囲であることを特徴とする光学部材の製造装置。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の光学部材の製造装置であって、
   前記制御部は、前記昇降手段によって前記載置部と前記吐出ヘッドとのうち少なくとも一方を昇降させるように駆動制御して、前記基板に付着した前記液状材料を前記液滴として分離させることを特徴とする光学部材の製造装置。
8. 請求項１〜７のいずれか一項に記載の光学部材の製造装置であって、
   前記液状材料は、紫外線硬化樹脂であり、
   前記エネルギー線は、紫外線であることを特徴とする光学部材の製造装置。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学部材の製造装置であって、
   前記基板は、面発光型半導体レーザであり、
   前記光学部材は、前記面発光型半導体レーザの上面に形成されることを特徴とする光学部材の製造装置。
10. 基板上に光学部材を形成する光学部材の製造方法であって、
    吐出ヘッドのノズル孔から前記光学部材の原料である粘性を有する液体材料を突出した状態に保持可能な液量を吐出する吐出工程と、
    突出した状態の前記液体材料と前記基板とが接触するように前記吐出ヘッドと前記基板とを相対的に近づけて前記基板上に前記液体材料を付着させる付着工程と、
    前記吐出ヘッドと前記基板とを相対的に離して前記基板上に付着した前記液体材料を液滴として分離する分離工程と、
    前記基板上に付着した前記液滴にエネルギー線を照射する照射工程と、
    を有することを特徴とする光学部材の製造方法。
11. 請求項１０に記載の光学部材の製造方法であって、
    前記吐出工程は、前記液体材料を凸のメニスカスの状態に保持可能な液量を吐出させ、
    前記付着工程は、前記凸のメニスカスの状態の液体材料と前記基板とを接触させることを特徴とする光学部材の製造方法。
12. 請求項１０又は１１に記載の光学部材の製造方法であって、
    前記ノズル孔の開口形状は、偏平状に形成されていることを特徴とする光学部材の製造方法。
13. 請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
    前記液状材料は、３０〜２００ｃｐｓの範囲の粘度を用いることを特徴とする光学部材の製造方法。
14. 請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
    前記液状材料は、８０〜１５０ｃｐｓの範囲の粘度を用いることを特徴とする光学部材の製造方法。
15. 請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
    前記液状材料は、紫外線硬化樹脂であり、
    前記エネルギー線は、紫外線であることを特徴とする光学部材の製造方法。
16. 請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
    前記基板は、面発光型半導体レーザであり、
    前記面発光型半導体レーザの上面に前記光学部材を形成することを特徴とする光学部材の製造方法。
    

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