CN100489577C - 偏振光过滤器以及偏振光过滤器的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明防止偏振光过滤器上产生漏光。仅让入射光中的规定方向的偏振光方向透过的偏振光过滤器(1)，以偏振光过滤器(1)的入射面(1S)以及透过面(1R)的相互正交的两个轴作为X轴和Y轴、以偏振光过滤器(1)的厚度方向作为Z轴时，在把YZ平面朝向X轴的方向倾斜规定角度而成的多个平面上形成有偏振光分离膜的多个第一倾斜偏振光分离膜(21)，和以相同角度朝向与其相反的方向倾斜而成的多个第二倾斜偏振光分离膜(22)，在入射面(1S)和透过面(1R)的内侧附近交叉成大致锯齿状，通过采用这样的构成，可以防止相对于入射光产生漏光。

Description

偏振光过滤器以及偏振光过滤器的制造方法

技术领域

本发明涉及仅让规定方向的偏振光方向的光通过的偏振光过滤器，以及用来制造该偏振光过滤器的偏振光过滤器的制造方法。

背景技术

在拾光器(光ピツクアツプ)、液晶投影仪等光学装置、或者数字相机等摄像装置等中，采用了偏振光过滤器，该偏振光过滤器仅让混杂有P偏振光以及S偏振光的光中的任一方偏振光光线透过。作为偏振光过滤器的一例，在专利文献1中公开了一种偏振光过滤器，该偏振光过滤器使用多个形成有按照偏振光方向区分透过和反射的偏振光分离膜的偏振光光束分离器，将所述多个偏振光光束分离器粘合起来。在专利文献1中，为了具有偏振光过滤器(专利文献1中为偏振光光束分离器阵列)的功能，把按照45度倾斜角形成偏振光分离膜的多个偏振光光束分离器排成一列、把相邻的偏振光光束分离器的偏振光分离膜相互正交地排列，并通过粘接剂进行粘合。

专利文献1日本特开平5-19208号公报

发明内容

上述专利文献1中的偏振光过滤器是将偏振光光束分离器彼此接合而成的，因此，当偏振光光束分离器的粘贴精度理想的情况下可以使偏振光分离膜彼此线接触，然而，接合面稍稍错开的话偏振光分离膜彼此就不能进行线接触，无法获得偏振光分离膜的连续性。如果在偏振光过滤器上产生间隙的话，从该间隙的部分入射的入射光不受偏振光分离膜的偏振光分离作用而作为漏光透过。这样，从间隙部分漏过的光成为P偏振光和S偏振光的混合光而透过，所以，不能充分发挥作为偏振光过滤器的功能。

另外，当接合偏振光光束分离器而生成偏振光过滤器时，如果偏振光过滤器中的一部分偏振光光束分离器向与入射光的行进方向相平行的方向发生错位的话，发生错位的偏振光光束分离器与其它的偏振光光束分离器之间会产生台阶。产生所述台阶的话，偏振光光束分离器的边缘部分(棱线部分)变得明显化，偏振光分离膜与边缘部分一致，所以如果在明显化了的边缘部分产生裂口、缺损等的话，偏振光分离膜的一部分就会损失。这样，对于损失了的部分就会产生间隙，作为如上述那样从间隙部分漏过的光的透射光因没有受到偏振光分离作用而变成P偏振光和S偏振光的混合光。因而，不能充分发挥作为偏振光过滤器的功能。

如果不能充分发挥作为偏振光过滤器的功能的话，例如将偏振光过滤器用于液晶投影仪时，会从损失了的偏振光分离膜的部分透过P偏振光和S偏振光的混合光，所以投影到屏幕上的图像变暗。另外，在偏振光过滤器的后段配置了偏光板的情况下，P偏振光和S偏振光的混合光被该偏光板吸收。偏光板的寿命依存于累计的被吸收光的量，因此，发生混合光漏光的话，被配置在后段的偏光板吸收的光量增加，存在偏光板的寿命缩短的问题。

另一方面，偏振光过滤器将多个偏振光光束分离器排列成一列而构成，如上所述，如果相邻的偏振光光束分离器之间产生台阶的话，偏振光过滤器整体上无法形成为平面状，整体上呈凹状或凸状歪曲。如果偏振光过滤器歪曲的话，整体上会发生透镜效果，无法发挥纯粹地透过P偏振光、反射S偏振光这样的功能。

因此，构成偏振光过滤器时，需要以理想的粘贴精度将偏振光光束分离器彼此进行粘贴，然而偏振光光束分离器是非常微小的物体，使粘贴精度成为理想精度是非常困难的。尤其是，如在专利文献1中也记载了的那样，为了谋求光学系统整体的紧凑化，偏振光过滤器在小型化、轻量化、薄型化方面的要求高，所以将尺寸微小的偏振光光束分离器彼此以极高的精度进行粘贴是非常困难的，而且存在着对应于精度的提高成本也会增加的问题。

本发明的目的是，防止入射光不受偏振光分离作用而产生漏光。

本发明的偏振光过滤器，在平板状的透明部件上形成有按照偏振光方向区分透过和反射的偏振光分离膜；其特征在于：当以所述偏振光过滤器的入射面以及透过面的相互正交的两个轴作为X轴和Y轴、以所述偏振光过滤器的厚度方向作为Z轴时，在把由所述Z轴和所述Y轴形成的平面朝向所述X轴的方向倾斜规定角度而成的多个平面上形成所述偏振光分离膜作为第一偏振光分离膜，在以相同角度朝向与所述第一偏振光分离膜相反的方向倾斜而成的多个平面上形成所述偏振光分离膜作为第二偏振光分离膜；所述多个第一偏振光分离膜与所述多个第二偏振光分离膜分别在所述偏振光过滤器的所述入射面和所述透过面的内侧交叉成十字形或丁字形；所述多个第一和第二偏振光分离膜，当其两端露到所述入射面和所述透过面上时，与对方的偏振光分离膜至少在所述偏振光过滤器内部的两个部位以上交叉成十字形或丁字形，当其两端中仅一端露到所述入射面或所述透过面上时，另一端与对方的偏振光分离膜交叉成丁字形，当其两端既没有露到所述入射面上也没有露到所述透过面上时，两端与对方的偏振光分离膜交叉成丁字形。

另外，本发明的偏振光过滤器的制造方法，用来制造在平板状的透明部件上形成有按照偏振光方向区分透过和反射的偏振光分离膜的偏振光过滤器；其特征在于，包括：平板透明基板两面研磨工序、第一偏振光分离膜形成工序、垂直层合体生成工序、平行切断体生成工序、平行切断体两面研磨工序、第二偏振光分离膜形成工序、台阶层合体生成工序、斜方切断体生成工序、和斜方切断体两面研磨工序；所述平板透明基板两面研磨工序，对作为平板状的透明基板的平板透明基板的两面进行研磨；所述第一偏振光分离膜形成工序，在所述平板透明基板两面研磨工序中被研磨了的所述平板状的透明基板的表面或背面的任何一面上，形成所述偏振光分离膜；所述垂直层合体生成工序，将形成有所述偏振光分离膜的所述平板透明基板在垂直方向上进行层合，使形成有所述偏振光分离膜的面与没有形成所述偏振光分离膜的面接合，从而生成垂直层合体；所述平行切断体生成工序，把所述垂直层合体在垂直方向上以与平板透明基板厚度相同的间隔进行等间隔切断，生成平行切断体；所述平行切断体两面研磨工序，对所述平行切断体的切断面进行研磨；所述第二偏振光分离膜形成工序，在所述平行切断体两面研磨工序中被研磨了的所述平行切断体的表面或背面中的任何一面上形成所述偏振光分离膜；所述台阶层合体生成工序，以使在所述第二偏振光分离膜形成工序中形成了所述偏振光分离膜的所述平行切断体变成台阶形状的方式，把形成了所述偏振光分离膜的面与没有形成所述偏振光分离膜的面接合而层合，由此生成台阶层合体；所述斜方切断体生成工序，把所述台阶层合体沿着所述台阶形状的倾斜角以规定间隔进行切断，生成斜方切断体；所述斜方切断体两面研磨工序，对所述斜方切断体的切断面进行研磨而生成所述偏振光过滤器；在所述斜方切断体生成工序中，将所述台阶层合体切断时的切断间隔T2，当以所述平行切断体的厚度作为T1时，按照满足“ $T2>T1/\sqrt{2}$ ”的切断间隔进行切断。

本发明可以对于入射光防止未受到偏振光分离作用产生漏光。

附图说明

图1是偏振光过滤器的轴测图。

图2是偏振光过滤器的侧面图以及说明偏振光过滤器的功能的说明图。

图3是制造偏振光过滤器的制造方法的流程图。

图4是说明从平板透明基板到制造平行切断体为止的过程的说明图。

图5是台阶层合体以及将其切断时的说明图。

图6是斜方切断体的侧面图。

图7是实施例2中将台阶层合体切断时的说明图以及偏振光过滤器的侧面图。

具体实施方式

下面参照附图说明本发明的实施方式。图1中，本发明的偏振光过滤器1在平板状的玻璃部件等的透明部件3上没有裂缝地连续地形成了偏振光分离膜2。偏振光分离膜2是将折射率低的膜与折射率高的膜相互层合成的电介质多层膜，具有按照偏振光方向把入射光区分为透过和反射的功能。在此，透过P偏振光、将S偏振光反射，当然，具有相反的特性也可以。因此，入射到偏振光过滤器1的光在偏振光过滤器1的偏振光分离膜2的作用下仅仅透过P偏振光而将S偏振光反射。

图1中，在偏振光过滤器1上形成有入射面1S和透过面1R。入射到偏振光过滤器1的光从入射面1S入射，从透过面1R仅仅透过任何一方的偏振光方向的光。因此，透过面1R相对于入射面1S形成相反面，在入射面1S和透过面1R之间，偏振光分离膜2在平板状的透明部件3上形成大致锯齿状。当偏振光分离膜2相对于入射光成为规定角度(例如45度)时，发挥透过P偏振光而反射S偏振光的功能。由于形成大致锯齿状，由此，偏振光过滤器1可以达成薄形化，可望光学装置整体上紧凑化。因此，成为大致锯齿状。而且，在后文中对于形成“大致锯齿状”而不是形成“锯齿状”的理由进行说明。

为了充分发挥仅仅让入射到偏振光过滤器1的光中的P偏振光透过这样的过滤功能，需要入射光的全部光线全部入射到偏振光分离膜2。为此，需要采用在偏振光分离膜2上不存在间隙的结构。如果在偏振光分离膜2上存在间隙的话，通过该间隙的光线不受到偏振光分离膜2的偏振光分离作用而作为P偏振光与S偏振光的混合光透过，所以，不能充分发挥作为偏振光过滤器的功能。

如图1所示那样，以相互正交的3个轴分别为X轴、Y轴、Z轴。以偏振光过滤器1的入射面1S以及透过面1R的相互正交的2个轴为X轴和Y轴(图中，长边侧为X轴、短边侧为Y轴)，以偏振光过滤器1的厚度方向为Z轴。如上所述，偏振光分离膜2形成为大致锯齿状，而具体来说，把由Y轴和Z轴形成的YZ平面向X轴的方向倾斜而成多个平面，把在上述多个平面上形成的偏振光分离膜2作为第一倾斜偏振光分离膜21，把在以相同角度向与第一倾斜偏振光分离膜21相反方向倾斜而成的多个平面上形成的偏振光分离膜2作为第二倾斜偏振光分离膜22。也如图1所示，第一倾斜偏振光分离膜21和第二倾斜偏振光分离膜22形成了多个，第一倾斜偏振光分离膜21和第二倾斜偏振光分离膜22分别在入射面1S以及透过面1R的内侧附近交叉成十字形。由此，偏振光分离膜2整体上形成大致锯齿状的形状。

因此，第一倾斜偏振光分离膜21和第二倾斜偏振光分离膜22不是线接触，而是在入射面1S和透过面1R的内侧附近交叉成十字形。如果第一倾斜偏振光分离膜21和第二倾斜偏振光分离膜22为线接触的状态的话，就形成严格的锯齿状。但是，由于采用交叉成十字形的结构，所以不是构成严格的锯齿状而是构成大致锯齿状。

如上所述，第一倾斜偏振光分离膜21和第二倾斜偏振光分离膜22在入射面1S和透过面1R的内侧附近交叉成十字形。即，在偏振光过滤器1的内部交叉。这样的话，入射到偏振光过滤器1的入射光全部都受到偏振光分离膜2的偏振光分离作用。参照图2(a)的话，第一倾斜偏振光分离膜21和第二倾斜偏振光分离膜22分别与相邻的对方的倾斜偏振光分离膜在入射面1S的内侧附近以及透过面1R的内侧附近的两个部位交叉成十字形。而且，第一倾斜偏振光分离膜21和第二倾斜偏振光分离膜22的交叉部CR全部形成在偏振光过滤器1的内部，因此，可以在X轴方向以及Y轴方向上没有间隙地配置偏振光分离膜2。为此，入射光必定会受到偏振光分离膜2的偏振光分离作用。

参照图2(b)进行说明，在入射光的光线中，入射到不是交叉部CR的位置的光线L1入射到第二倾斜偏振光分离膜22，通过偏振光分离作用，P偏振光成为透过光L1P而透过，S偏振光成为反射光L1S而反射。而且，反射光L1S入射到第一倾斜偏振光分离膜21，通过偏振光分离作用，再次反射而朝向与光线L1相反的方向反射。另一方面，入射到交叉部CR的光线L2受到第一倾斜偏振光分离膜21和第二倾斜偏振光分离膜22的偏振光分离作用使P偏振光成为透过光L2P透过、使S偏振光成为反射光L2S反射。

在此，由于交叉部CR形成为处于比透明部件3的表面以及背面更靠内侧，因此，即使交叉部CR的位置比规定位置多少错开，由于交叉部CR位于比透明部件3的表面和背面更靠内侧，所以入射光必定透过偏振光分离膜2。另外，图1和图2所示的偏振光过滤器1，举例示出了交叉部CR处于透明部件3的表面以及背面的内侧附近，偏振光分离膜2连续成为大致锯齿状，然而，交叉部CR位于透明部件3的厚度方向的任何位置都可以。这是由于，只要交叉部CR位于透明部件3的表面和背面的内侧，入射光的全部光线必定受到偏振光分离膜2的作用。

如上所述，本发明的偏振光过滤器，在入射面1S和透过面1R的内侧，多个第一倾斜偏振光分离膜21和多个第二倾斜偏振光分离膜22交叉成大致锯齿状，由此，可以在偏振光分离膜2上没有裂缝地保持连续性，可以防止产生间隙。因此，可以防止漏光的产生，可以充分发挥作为偏振光过滤器的功能。

下面，以实施例1对制造本实施方式中说明了的偏振光过滤器1的制造方法进行说明。

(实施例1)

根据图3的流程图，对制造实施方式中说明了的偏振光过滤器1的偏振光过滤器的制造方法进行说明。如实施方式中说明的那样，偏振光过滤器1将偏振光分离膜2形成为大致锯齿状，第一倾斜偏振光分离膜21和第二倾斜偏振光分离膜22在透明部件3的内部交叉成十字形。因此，无法把通常的偏振光光束分离器(在立方体形状、长方体形状的透明部件上以45度的角度形成有偏振光分离膜的偏振光光束分离器)排列成一列通过粘接剂粘贴而制造偏振光过滤器1。在此，通过下述的制造方法来制造偏振光过滤器1。

在图4(a)中，准备多个平板状的平板透明基板10(厚度为T1)，对各个平板透明基板10的两面进行表面研磨，确保高的面精度(步骤S1)。在各个平板透明基板10的表面和背面的任何一面(在此，为背面10R)上形成偏振光分离膜2(步骤S2)。由于偏振光分离膜2是电介质多层膜，所以，通过真空蒸镀法、离子镀方法、离子助推法(イオンアシスト法)、喷溅法以及其它蒸镀方法，例如将折射率低的膜的材料和折射率高的膜的材料交互地蒸镀在平板透明基板10上。按照偏振光分离膜2的光学的功能，适当地控制蒸镀材料、蒸镀时间等。

下面，在图4(b)中，将多张平板透明基板10进行接合，从而使得形成有偏振光分离膜2的背面10R与没有形成偏振光分离膜2的表面10S被接合，构成垂直层合体11(步骤S3)。图中，作为一例，举例示出了将6张平板透明基板10层合的例子。于是，如图4(b)所示那样，将垂直层合体11在垂直方向上以等间隔进行切断(步骤S4)。此时，垂直层合体11以与平板透明基板10的厚度T1相同的间隔进行切断(图中，以虚线表示切断面)。

图4(c)中，示出了以等间隔将垂直层合体11切断而生成的平行切断体12。平行切断体12呈平板状的形状，以等间隔形成有偏振光分离膜2。由于平行切断体12是将垂直层合体11切断而生成的，所以，没有保证其表面12S以及背面12R的面精度。在此，通过对平行切断体12的表面12S和背面12R进行表面研磨，而确保高的面精度(步骤S5)。于是，对平行切断体12的表面12S或背面12R中的任何一方的面(在此，为背面12R)形成偏振光分离膜2(步骤S6)。偏振光分离膜2是与形成在平板透明基板10上的膜相同的膜，通过上述蒸镀方法形成。

下面，如图5(a)所示那样，将形成了偏振光分离膜2的平行切断体12层合成台阶状构成台阶层合体14(步骤S7)。通过将平行切断体12的形成有偏振光分离膜2的背面12R与没有形成偏振光分离膜2的表面12S成为接合面地进行接合而层合，从而构成台阶层合体14。此时，平行切断体12的层合，按照厚度T1一点点错开而构成台阶状。由此，生成图5(a)所示那样的台阶层合体14。

生成台阶层合体14之后，以角度与台阶形状的倾斜角相同的倾斜角进行台阶层合体14的切断，生成图6所示那样的多个斜方切断体15(步骤S8)。最初，对切断台阶层合体14时的切断角度进行说明。图5(a)的台阶层合体14，错开与平行切断体12的厚度T1相同的间隔T1而构成台阶层合体14，所以，台阶层合体14的台阶形状的倾斜角为45度。以与台阶形状的倾斜角相同的角度，即45度的角度将台阶层合体14切断。作为切断台阶层合体14的方法有下述方法，即，将台阶层合体14固定在平面上，以相对于水平面为45度的倾斜角进行切断的方法，或将台阶层合体14以45度倾斜的状态与水平面平行地进行切断的方法等。图5(b)中，举例示出了将台阶层合体14倾斜45度，与水平面平行地以相等间隔进行切断的方法。

下面，对切断间隔进行说明。图5(b)是表示将台阶层合体14以相等间隔T2切断了的图。以切断间隔T2被切断而生成的斜方切断体15的形状与最终制造的偏振光过滤器1大致相近。如实施方式中说明了的那样，偏振光过滤器1构成为，使得第一倾斜偏振光分离膜2与第二倾斜偏振光分离膜2的交叉部CR处于透明部件3的表面和背面的内侧。在此，图5(b)的斜方切断体15中，偏振光分离膜2进行交叉的部位成为交叉部CR。而且，斜方切断体15的厚度方向为图中的厚度T2的方向(与台阶层合体14的台阶形状的倾斜角正交的方向)，所以，以交叉部CR处于厚度T2的内侧的方式进行台阶层合体14的切断。在上述实施方式中，偏振光分离膜2形成为大致锯齿状，交叉部CR形成在透明部件3的表面和背面的内侧附近，所以，以交叉部CR形成在斜方切断体15的切断面的内侧附近的方式进行切断。

上述斜方切断体15的厚度也可以进一步变薄。即，只要是在把交叉部CR配置在斜方切断体15的内侧的状态下进行切断，不是上述那样按照相等间隔进行切断也可以。即，如图5(b)所示，如果以切断间隔T2按相等间隔进行切断的话，生成的厚度与最终形状的偏振光过滤器1相比其厚度多少有余量，然而，以比切断间隔T2短的间隔进行切断也可以。此时，如果切断间隔的厚度变薄的话，可获得与最终形状的偏振光过滤器1形状接近的斜方切断体15。如果以比切断间隔T2短的切断间隔进行切断的话，在最终形状的偏振光过滤器1中使用的部件之外，会生成不使用的废弃的部件(不满足交叉部CR的条件的部件)。

在此，为了在斜方切断体15的切断面的内侧形成交叉部CR，将台阶层合体14切断的切断间隔T2必须满足“T2>T1×sin45°”，即“ $T2>T1/\sqrt{2}$ ”这样的条件式。在处于切断面C附近的交叉部CR与处于切断面C附近的交叉部CR在厚度方向上的间隔成为

因而，为了在切断面的内侧形成交叉部CR，斜方切断体15的厚度T2必须满足“ $T2>T1/\sqrt{2}$ ”的条件式。

下面，为了确保高的面精度，对图6中的斜方切断体15的两个切断面进行表面研磨(步骤S9)。对斜方切断体15进行表面研磨之后成为偏振光过滤器1。

如上述说明，经过本实施例的制造方法，可以制造上述实施方式中的偏振光过滤器1。

(实施例2)

上述实施例1中，台阶层合体的台阶形状的层合以相等间隔(实施例1中为T1)错开地构成，然而它们不以严格的相等间隔构成台阶形状也可以。换言之，即便是在将台阶层合体层合的时候产生若干偏差，也可以达成本发明的目的。图7示出了其一例。在图7(a)中，本实施例的台阶层合体75是将多个平行切断体73按厚度T1一点点错开构成的，然而，其中的一个平行切断体73A以不是T1的间隔被构成为台阶形状。

图7(b)表示本实施例的偏振光过滤器70。本实施例的偏振光过滤器70采用了与实施方式中说明了的实施方式1的偏振光过滤器1不同的构成。即，在上述实施方式中，形成为大致锯齿状的各个交叉部在厚度方向(Z轴方向)上形成在特定的位置，而本实施例的偏振光过滤器70在各个交叉部形成在非特定的位置。在此情况下，也可以没有裂缝地形成偏振光分离膜。

即，在偏振光过滤器70上形成有多个第一倾斜偏振光分离膜和角度与其对称的第二倾斜偏振光分离膜，各个第一倾斜偏振光分离膜和各个第二倾斜偏振光分离膜分别在偏振光过滤器70的入射面和透过面的内侧沿厚度方向在非特定的位置交叉。此时，由各个第一倾斜偏振光分离膜的一部分和各个第二倾斜偏振光分离膜的一部分形成与上述实施方式中的大致锯齿状不同的形状，然而，本实施例的偏振光过滤器70也可以采用大致锯齿状的形状。在图7(b)中，用实线表示构成大致锯齿状的形状的第一倾斜偏振光分离膜的一部分和第二倾斜偏振光分离膜的一部分，其它部分用虚线表示。

这样，第一倾斜偏振光分离膜的实线部分和第二倾斜偏振光分离膜的实线部分连续构成大致锯齿状的形状。即，一个第一倾斜偏振光分离膜的实线部分(图中为77A)与两个第二倾斜偏振光分离膜的实线部分(图中为77B、77C)交叉，而这两个第二倾斜偏振光分离膜的实线部分77B、77C也分别与相邻的第一倾斜偏振光分离膜的实线部分(图中为77D、77E)交叉。这样，各个第一倾斜偏振光分离膜和第二倾斜偏振光分离膜就连续地进行交叉。

即，实施方式中说明了的偏振光过滤器1，第一倾斜偏振光分离膜和第二倾斜偏振光分离膜在入射面和透过面的内侧附近交叉，交叉部在偏振光过滤器1的厚度方向上形成在特定的位置，所以，虽为大致锯齿状，却是比较接近理想的锯齿状的形状。另一方面，本实施例的偏振光过滤器70，交叉部在偏振光过滤器70的厚度方向上形成在非特定的位置，所以，由各个偏振光分离膜的实线部分构成的大致锯齿状没有形成与理想的锯齿状近似的形状。但是，尽管其形状有别于理想的锯齿状，但在偏振光过滤器70的入射面和透过面的内部，也可以连续地而且没有裂缝地形成偏振光分离膜。因此，在将台阶层合体层合时，即使产生若干偏差，也可以达成本发明的目的。

如果结合实线部分和虚线部分注意此时的交叉的状态的话，多个第一和第二倾斜偏振光分离膜，当其两端露到入射面和透过面上时，与对方的倾斜偏振光分离膜在所述偏振光过滤器的内部的至少两个部位以上交叉成十字形或丁字形，其两端中的仅仅一端露到入射面或透过面上时，另一端与对方的倾斜偏振光分离膜交叉成丁字形，其两端都没有露到入射面和透过面中的任一个时，两端与对方的倾斜偏振光分离膜交叉成丁字形。

采用上述的构成的话，在本实施例的偏振光过滤器70上可以没有裂缝地连续地形成偏振光分离膜，可以防止入射光漏光的产生。此时，切断台阶层合体75时的切断间隔T2，与上述实施例1相同地，当所述平行切断体的厚度为T1时，切断间隔T2满足“ $T2>T1/\sqrt{2}$ ”的关系，按此切断间隔进行切断。由此，构成台阶层合体75时，即使一部分产生偏差，也可以制造能够防止漏光的偏振光过滤器70。

Claims (4)

1.一种偏振光过滤器，所述偏振光过滤器在平板状的透明部件上形成有按照偏振光方向区分透过和反射的偏振光分离膜；其特征在于：

当以所述偏振光过滤器的入射面以及透过面的相互正交的两个轴作为X轴和Y轴、以所述偏振光过滤器的厚度方向作为Z轴时，

在把由所述Z轴和所述Y轴形成的平面朝向所述X轴的方向倾斜规定角度而成的多个平面上形成所述偏振光分离膜作为第一偏振光分离膜，在以相同角度朝向与所述第一偏振光分离膜相反的方向倾斜而成的多个平面上形成所述偏振光分离膜作为第二偏振光分离膜；

所述多个第一偏振光分离膜与所述多个第二偏振光分离膜分别在所述偏振光过滤器的所述入射面和所述透过面的内侧交叉成十字形或丁字形；

所述多个第一和第二偏振光分离膜，当其两端露到所述入射面和所述透过面上时，与对方的偏振光分离膜至少在所述偏振光过滤器内部的两个部位以上交叉成十字形或丁字形，当其两端中仅一端露到所述入射面或所述透过面上时，另一端与对方的偏振光分离膜交叉成丁字形，当其两端既没有露到所述入射面上也没有露到所述透过面上时，两端与对方的偏振光分离膜交叉成丁字形。

2.如权利要求1所述的偏振光过滤器，其特征在于：所述第一偏振光分离膜与所述第二偏振光分离膜形成大致锯齿状。

3.一种偏振光过滤器的制造方法，所述偏振光过滤器的制造方法用来制造在平板状的透明部件上形成有按照偏振光方向区分透过和反射的偏振光分离膜的偏振光过滤器；其特征在于，包括：平板透明基板两面研磨工序、第一偏振光分离膜形成工序、垂直层合体生成工序、平行切断体生成工序、平行切断体两面研磨工序、第二偏振光分离膜形成工序、台阶层合体生成工序、斜方切断体生成工序、和斜方切断体两面研磨工序；

所述平板透明基板两面研磨工序，对作为平板状的透明基板的平板透明基板的两面进行研磨；

所述第一偏振光分离膜形成工序，在所述平板透明基板两面研磨工序中被研磨了的所述平板状的透明基板的表面或背面的任何一面上，形成所述偏振光分离膜；

所述垂直层合体生成工序，将形成有所述偏振光分离膜的所述平板透明基板在垂直方向上进行层合，使形成有所述偏振光分离膜的面与没有形成所述偏振光分离膜的面接合，从而生成垂直层合体；

所述平行切断体生成工序，把所述垂直层合体在垂直方向上以与平板透明基板厚度相同的间隔进行等间隔切断，生成平行切断体；

所述平行切断体两面研磨工序，对所述平行切断体的切断面进行研磨；

所述第二偏振光分离膜形成工序，在所述平行切断体两面研磨工序中被研磨了的所述平行切断体的表面或背面中的任何一面上形成所述偏振光分离膜；

所述台阶层合体生成工序，以使在所述第二偏振光分离膜形成工序中形成了所述偏振光分离膜的所述平行切断体变成台阶形状的方式，把形成了所述偏振光分离膜的面与没有形成所述偏振光分离膜的面接合而层合，由此生成台阶层合体；

所述斜方切断体生成工序，把所述台阶层合体沿着所述台阶形状的倾斜角以规定间隔进行切断，生成斜方切断体；

所述斜方切断体两面研磨工序，对所述斜方切断体的切断面进行研磨而生成所述偏振光过滤器；

在所述斜方切断体生成工序中，将所述台阶层合体切断时的切断间隔T2，当以所述平行切断体的厚度作为T1时，按照满足“

”的切断间隔进行切断。

4.如权利要求3所述的偏振光过滤器的制造方法，其特征在于：在所述台阶层合体生成工序中，所述平行切断体被层合，使得每隔开与该平行切断体厚度相同的间隔就错开而形成台阶形状。

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