CN100466286C

CN100466286C - 电光学装置及电光学装置的制造方法

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Publication number: CN100466286C
Application number: CNB2006100719034A
Authority: CN
Inventors: 田边诚一; 町田佳彦
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-03-31
Filing date: 2006-03-31
Publication date: 2009-03-04
Anticipated expiration: 2026-03-31
Also published as: CN1841763A

Abstract

提供具备均匀的膜厚的电光学装置及电光学装置的制造方法。在基板(S)上，形成包围多个有机EL元件(24)所有的象素电极(27)的围堰(25)。然后，向被围堰(25)形成的基板(S)中央形成的凹状区域(26)内的整个区域，涂敷液态组成物，在相同的围堰(25)内，形成各有机EL元件(24)的发光层(28)。

Description

电光学装置及电光学装置的制造方法

技术领域

[0001]

本发明涉及电光学装置及电光学装置的制造方法。

背景技术

[0002]

近几年来，作为发光元件，使用有机电致发光元件(以下称作“有机EL元件”)的显示器及打印机的光写入头的电光学装置的开发，正在积极地进行。

[0003]

这种电光学装置，其制造方法随着构成有机EL元件的发光材料(以下称作“有机EL材料”)是高分子系有机材料还是低分子系有机材料而不同。而且，有机EL材料是高分子系有机材料时，使用所谓“液滴喷出法”进行制造的情况，已经广为人知。即将该有机EL材料溶解或分散到所定的溶剂中，形成液态组成物，再将该液态组成物从液滴喷出头的喷嘴喷出，涂敷到基板的所定的象素电极上。这时，用隔壁划分象素电极的周围，从而抑制被涂敷的有机材料液体，与涂敷到其它位置的象素电极上的液态组成物互相混合，能够形成高精细的图案。

[0004]

可是，在上述液滴喷出法中，被涂敷到象素电极上的液态组成物中的溶剂的蒸发，极其迅速。而且，在基板上的端部(上端、下端、左端、右端)，溶剂分子分压比涂敷在基板中央的液态组成物低，所以迅速开始干燥。这样，被涂敷到基板端部的液态组成物和涂敷到中央的液态组成物，在干燥时间上就出现差异。这种液态组成物的干燥时间上的差异，引起象素内、象素间的有机EL元件各层的膜厚不匀，成为光亮度不匀等的原因。因此，有人提议在基板上的端部的周围，设置与显示无关的虚设的涂敷区域，从而扩大涂敷区域，使基板内的溶剂的蒸发气压均匀(专利文献1)。

[0005]

另外，在这种电光学装置及光写入头中，为了提高有机EL元件的发光效率，在发光层和电极之间，设置空穴注入层及电子注入层的技术，广为人知。

【专利文献1】特开2002—222695号公报

[0006]

可是，液态组成物的干燥状态，还受到各隔壁的表面状态的影响。这样，即使如上所述，设置虚设的涂敷区域，各隔壁的表面状态不均匀时，也存在着难以形成均匀的膜的问题。

发明内容

[0007]

本发明就是针对上述问题研制的，其目的在于提供防止构成有机发光元件的各层的膜厚的不匀、抑制起因于该膜厚的不匀的光亮度不匀及对可靠性的影响的电光学装置及电光学装置的制造方法。进而，还提供一边抑制光亮度不匀、一边高密度配置发光元件，还可以描绘高精细的图象的电光学装置及电光学装置的制造方法。

[0008]

本发明的电光学装置，具有：多个象素电极，共同围住所述多个象素电极整体的隔壁，和在由所述隔壁包围的区域整体配置的功能层。还具有由配置在所述多个象素电极与所述覆盖所述多个象素电极整体的相对电极之间的所述功能层形成的多个发光元件。

这样，各发光元件，没有一个个地被隔壁包围。所以，例如采用液滴喷出法形成构成发光元件的层时，喷出的液态组成物的干燥时间，不会因隔壁的表面状态而异。其结果，能够均匀地形成所有的发光元件的层的膜厚，所以能够提供不出现光亮度不匀等的显示不匀的电光学装置。

[0009]

在该电光学装置中，所述隔壁，其形状可以模仿所述各发光元件的形状地形成。这里所谓的“模仿发光元件的形状”，是指从排列在靠近隔壁一侧的发光元件的外周到隔壁的距离，大致相等。

这样，由于从各发光元件到隔壁的距离、即包围发光元件的液态组成物的量相等，所以在各发光元件中，其各个位置的层的干燥条件都相等。其结果，在各发光元件内及发光元件之间的膜厚，不会产生不匀。

[0011]

在该电光学装置中，所述多个发光元件，可以用液体工艺形成。

这样，在形成发光元件时，包含构成发光元件的材料(例如构成发光元件的发光层的发光材料)的液态体，被涂敷到用隔壁围住的区域内。这时，在区域内，因为不设置隔壁，所以被涂敷到区域内的液态体，不会受到隔壁的表面状态的影响，其结果，可以与区域内的位置无关，在遍及该区域内的整个区域，液态体的涂敷量均匀，所以获得的构成发光元件的层(例如发光层)，其膜厚均匀。这样，由于在象素内、象素间的各层的膜厚均匀，所以能够抑制光亮度不匀等的显示不匀的发生。

[0012]

在该电光学装置中，在多个象素电极和与所述多个象素电极一一相对配置的公共电极之间，形成至少包含发光层的功能层地形成所述多个发光元件；所述发光层，可以用有机材料构成。

[0013]

这样，能够构成具备具有均匀的膜厚的发光层的有机电致发光元件。所以能够易于实现不出现光亮度不匀等的显示不匀的电光学装置。

[0014]

在该电光学装置中，所述各发光元件，可以交错晶格状地排列。

这样，能够高密度地形成发光元件。其结果，能够提供不出现光亮度不匀等的显示不匀的、高析象度的电光学装置。

[0015]

在该电光学装置中，在所述多个象素电极之间配置的所述功能层的电阻值，可以比在被所述象素电极和所述公共电极夹住的区域配置的所述功能层的电阻值高。

[0016]

这样，由于在多个象素电极的每一个的周围配置的功能层的电阻值，比在象素电极和公共电极之间配置的功能层高，所以由各象素电极供给的载流子，不会流入与邻接的其它象素电极相对的功能层，集中流入位于与各象素电极相对的区域内的功能层。所以，被某个象素电极供给的载流子，流入该象素电极的周围的功能层，同时发光，不会出现所谓的“发光串扰”。其结果，能够实现具备可以高精密的显示的发光部组件的电光学装置。

[0017]

在该电光学装置中，所述功能层，具备有机导电性层；在所述多个象素电极之间配置的所述功能层的电阻值，可以比在被所述象素电极和所述公共电极夹住的区域配置的所述功能层的电阻值高。

[0018]

这样，设置有机导电性层后，即使有机导电性层是导电性高的材料(低电阻材料)，载流子也不会流入在各象素电极周围配置形成的有机导电性层，能够集中流入在与象素电极相对的区域内配置形成的有机导电性层。其结果，能够实现可以进行高精密的显示的电光学装置。

[0019]

在该电光学装置中，所述有机导电性层，可以包含聚乙烯二羟基噻吩。

这样，包含聚乙烯二羟基噻吩(PEDOT)的有机导电性层，可以获得很高的导电性和对发光层而言的很高的空穴注入效率。这样，能够以较低的驱动电压，实现具有较高的发光效率的发光部组件。其结果，能够实现高效率、而且具备可以高精细描绘的发光部组件的电光学装置。

[0020]

在该电光学装置中，所述有机导电性层，可以包含聚苯胺基。

这样，包含聚苯胺基的有机导电性层，是导电性高的材料(低电阻材料)，也可以作为空穴注入层发挥作用。所以，设置包含聚苯胺基的有机导电性层后，能够实现具有较高的发光效率的发光部组件。其结果，能够实现高效率、而且具备可以高精细描绘的发光部组件的电光学装置。

[0021]

在该电光学装置中，所述发光元件阵列，可以有选择地将光照射到感光元件上。

这样，能够以光亮度不匀较少的高析象度，在感光体上进行高强度的光写入。

[0022]

本发明的电光学装置的制造方法，具备：形成多个象素电极的工序；形成共同围住所述多个象素电极的隔壁的工序；在被所述隔壁围住的区域整体，形成功能层的工序。

[0023]

这样，各发光元件，没有一个个地被隔壁包围。所以，例如采用液滴喷出法形成构成发光元件的层时，喷出的液态组成物的干燥时间，不会因象素的位置及隔壁的表面状态而异。其结果，能够均匀地形成在一个隔壁内形成的所有的发光元件的层的膜厚，所以能够制造不出现光亮度不匀等的显示不匀的电光学装置。

[0024]

在该电光学装置的制造方法中，所述功能层，可以采用液滴喷出法进行。

这样，可以不使用真空装置等，形成所需膜厚的层。

[0025]

在该电光学装置的制造方法中，还可以具有选择地将光照射到所述功能层上的工序。

这样，能够防止因供给到某个象素电极的载流子，流入周围的功能层，而使该象素电极的周围的功能层同时发光，即所谓的“发光串扰”。

[0026]

在该电光学装置的制造方法中，还可以有选择地将光照射到所述象素电极和象素电极之间的区域配置的所述功能层上。

[0027]

在该电光学装置的制造方法中，所述光，可以是紫外线。

这样，易于提高在多个象素电极的每一个的周围配置形成的功能层的电阻值。

[0028]

在该电光学装置的制造方法中，可以在照射所述光后，对所述功能层进行热处理。

这样，在用光照射功能层后，进行热处理，能够再现性良好地提高照射了光的区域的电阻。

附图说明

图1光打印机的主要剖面图。

图2黑色用有机EL曝光头2K的立体图。

图3(a)是第1实施方式的发光元件阵列的俯视图，(b)是(a)中a—a线剖面图，(c)是(a)中b—b线剖面图。

图4旨在讲述光学部件的结构而绘制的图形。

图5(a)～(d)分别是为了讲述有机EL曝光头的制造方法而绘制的图形。

图6(a)～(c)分别是第2实施方式的发光元件阵列的俯视图。

图7是第3实施方式的发光元件阵列的俯视图。

图8(a)是第4实施方式的发光元件阵列的俯视图，(b)是(a)中a—a线剖面图。

图9(a)～(c)分别是为了讲述第4实施方式涉及的有机EL打印头的制造方法而绘制的图形。

图10(a)～(c)同样分别是为了讲述第4实施方式涉及的有机EL打印头的制造方法而绘制的图形。

图11(a)～(c)同样分别是为了讲述第4实施方式涉及的有机EL打印头的制造方法而绘制的图形。

图12(a)是第5实施方式的发光元件阵列的俯视图，(b)是(a)中a—a线剖面图。

具体实施方式

[0029]

(第1实施方式)

下面，按照各图，讲述作为具备本发明的一种实施方式的光写入头的电光学装置——光打印机。此外，以下讲述的光打印机，是可以全色显示的随机方式的光打印机。

[0030]

图1是光打印机的主要剖面图。

如图1所示，光打印机1，具备作为光写入头及发光部组件的黑色用有机EL曝光头2K、蓝绿用有机EL曝光头2C、品红用有机EL曝光头2M及黄色用有机EL曝光头2Y。另外，光打印机1，在各曝光头2K、2C、2M、2Y的下方，分别具备黑色用感光鼓3K、蓝绿用感光鼓3C、品红用感光鼓3M及黄色用感光鼓3Y。

[0031]

进而，光打印机1，具备：驱动滚轮4；从动滚轮5；张力滚轮6；以及一边在该张力滚轮6的作用下，被施加张力后张紧，一边朝逆时针方向循环驱动的中间复制带7。而且，各感光鼓3K、3C、3M、3Y，与中间复制带7隔着所定间隔配置。

[0032]

各感光鼓3K、3C、3M、3Y，与中间复制带7的驱动同步，在图1中，朝顺时针方向旋转驱动。然后，各曝光头2K、2C、2M、2Y，与各感光鼓3K、3C、3M、3Y的旋转同步，依次线扫描各感光鼓3K、3C、3M、3Y的外周面，在对应的各感光鼓3K、3C、3M、3Y上形成与描绘数据对应的静电潜影。

[0033]

另外，在各感光鼓3K、3C、3M、3Y的周围，设置着使该各感光鼓3K、3C、3M、3Y的各外周面一样带电的电晕带电器8K、8C、8M、8Y。

[0034]

另外，光打印机1，在黑色用感光鼓3K、蓝绿用感光鼓3C、品红用感光鼓3M及黄色用感光鼓3Y的周围，分别具备黑色用显影装置9K、蓝绿用显影装置9C、品红用显影装置9M及黄色用显影装置9Y。该各显影装置9K、9C、9M、9Y，将对应的颜色的显影剂——墨粉，赋予在对应的有机EL曝光头2K、2C、2M、2Y作用下，在各感光鼓3K、3C、3M、3Y上形成的静电潜影，形成可视象(墨粉象)。例如：蓝绿用显影装置9C，将蓝绿色的墨粉，赋予在蓝绿用有机EL曝光头2C的作用下，在蓝绿用感光鼓3C上形成的静电潜影，形成可视象(墨粉象)。

[0035]

详细地说，各显影装置9K、9C、9M、9Y，例如作为墨粉，使用非磁性一成分墨粉，将该一成分显影剂，例如用供给滚轮向显影滚轮输送，并且用限制片限制附着在显影滚轮表面的墨粉的膜厚。这样，使显影滚轮接触或按压各感光鼓3K、3C、3M、3Y，从而使显影剂按照在各感光鼓3K、3C、3M、3Y上形成的静电潜影的电位电平附着后，作为可视象(墨粉象)显影。

[0036]

进而，光打印机1，在各感光鼓3K、3C、3M、3Y的周围，具备将用各显影装置9K、9C、9M、9Y显影的可视象(墨粉象)，依次复制到一次复制对象——中间复制带7上的一次复制滚轮10K、10C、10M、10Y。进而，光打印机1，在各感光鼓3K、3C、3M、3Y的周围，还具备清洗装置11K、11C、11M、11Y。清洗装置11K、11C、11M、11Y，在一次复制后，除去残留在各感光鼓3K、3C、3M、3Y的表面上的墨粉。

[0037]

这种在各感光鼓3K、3C、3M、3Y上形成的黑色、蓝绿、品红、黄色的可视象(墨粉象)，在一次复制滚轮10K、10C、10M、10Y的作用下，依次复制到中间复制带7上。经过该一次复制后，在中间复制带7上依次重合后成为全色的可视象(墨粉象)，在二次复制滚轮的作用下，被二次复制到专用纸等记录介质P上，再通过一对定影滚轮12后，在记录介质P上定影。可视象(墨粉象)定影的记录介质P，在排纸滚轮13的引导下，被排到在光打印机1上部形成的排纸托盘14上。

[0038]

另外，光打印机1具备：保持多枚记录介质P的给纸盒15，从该给纸盒15一枚枚进给记录介质P的搓纸轮16，规定向二次复制滚轮66的二次复制部供给记录介质P的供给时刻的控制滚轮17。进而，光打印机1还具备：和中间复制带7一起形成二次复制部的二次复制滚轮18，以及二次复制后除去中间复制带7的表面残留的墨粉的清洗板19。

[0039]

下面，详细讲述有机EL曝光头2K、2C、2M、2Y。此外，由于黑色用有机EL曝光头2K、蓝绿用有机EL曝光头2C、品红用有机EL曝光头2M及黄色用有机EL曝光头2Y，都具有相同的结构，所以为了便于讲述，只对黑色用有机EL曝光头2K进行详细讲述，对其它的有机EL曝光头2C、2M、2Y，则不再赘述。

[0040]

图2是黑色用有机EL曝光头2K的立体图。黑色用有机EL曝光头2K，具备朝一个方向、即朝垂直于中间复制带7的输送方向的方向配置的箱体21，和位于箱体21和黑色用感光鼓3K之间、被箱体21支承固定的光学部件23。箱体21，在黑色用感光鼓3K的一侧，具有开口部，发光元件阵列22被固定成朝着该开口部射出光。

[0041]

图3(a)是发光元件阵列22的俯视图，图3(b)是图3(a)中a—a线剖面图，图3(c)是图3(a)中b—b线剖面图。

如图3(a)所示，发光元件阵列22，在基板S上，排列着多个作为发光元件的有机电致发光元件(以下称作“有机EL元件”)24。本实施方式的发光元件阵列22，纵向一列等间距地排列的多个(在本实施方式中是10个)有机EL元件24，被排列成2列。而且，各有机EL元件24，与相邻的另一列有机EL元件24，在纵向上错开半个间距地配置。就是说，各有机EL元件24，交错晶格状地排列。

[0042]

另外，在多个有机EL元件24的周围，包围该多个有机EL元件24全体地形成作为隔壁的围堰25。本实施方式的围堰25，如图3(a)所示，包围多个有机EL元件24全体地略呈四边形。

[0043]

如图3(b)、(c)所示，围堰25，由在基板S上形成的亲液性围堰25a，和在该亲液性围堰25a上形成的斥液性围堰25b构成。亲液性围堰25a的一部分，比斥液性围堰25b朝基板S中央侧伸出地形成。亲液性围堰25a，本来是用具有亲液性的材料，例如氧化硅(SiO₂)构成。另外，也可以是尽管不具备亲液性的材料，但实施通常使用的众所周知的亲液化处理后，将表面亲液化的材料。另一方面，斥液性围堰25b，本来是用具有斥液性的材料，例如氟类树脂构成。另外，也可以是尽管不具备斥液性的材料，但图案形成通常使用的丙烯树脂及聚酰亚胺树脂等有机树脂，采用CF₄等离子体处理等，将表面斥液化的材料。

[0044]

另外，如图3(b)、(c)所示，利用围堰25，在基板S中央，形成作为元件形成区域的凹状区域26。在凹状区域26的底部，形成作为阳极的象素电极27。本实施方式的象素电极27，是圆形形状。另外，本实施方式的象素电极27，在形成纵一列等间距排列多个(在本实施方式中是10个)的同时，还横向排列2列。而且，各象素电极27，与相邻的其它列的象素电极27，纵向错开半个间距地配置。各象素电极27，通过互相独立的布线做媒介，与未图示的数据信号输出驱动电路连接。而且，由该数据信号输出驱动电路输出的描绘数据信号，被供给象素电极27。

[0045]

另外，在凹状区域26的底部，覆盖其整个面地形成发光层28。这样，在各象素电极27上也层叠发光层28。另外，遍及斥液性围堰25b及发光层28上的整个面，形成作为公共电极的阴极29。该阴极29，与所述数据信号输出驱动电路连接。进而，在整个阴极29上，形成密封部件30。而且，由所述象素电极27、与所述象素电极27相对形成的阴极29、在所述象素电极27和所述阴极29之间形成的发光层28，构成有机EL元件24。

[0046]

具有这种结构的有机EL曝光头2K，如图3(b)、(c)所示，发光层28的膜厚，在凹状区域26内的整个区域，非常均匀地形成。所以，在各象素电极27上，形成膜厚均匀的发光层28。另外，在所定的象素电极27上形成的发光层28的膜厚，和在其它象素电极27上形成的发光层28的膜厚，是均匀的。

[0047]

如图4所示，在与发光元件阵列22相对的位置，具备光学部件23。该光学部件23，在内部具备多个透镜31，将有机EL元件24射出的光聚光，然后从另一端射出，照射(描绘)到黑色用有机EL曝光头2K上。

[0048]

其它的有机EL曝光头2C、2M、2Y也一样，在其各发光元件阵列上设置的有机EL元件的发光层的膜厚均匀。另外，其它的有机EL曝光头2C、2M、2Y，从其光学部件23的另一端，朝对应的各感光鼓3C、3M、3Y射出。而且，各感光鼓3K、3C、3M、3Y上的电位电平，按照射出的光变化，从而控制墨粉的附着力，在各感光鼓3K、3C、3M、3Y上，使根据所述描绘数据信号的可视象(墨粉象)定影。这时，由于各有机EL曝光头2K、2C、2M、2Y上设置的各有机EL元件24的发光层的膜厚均匀，所以在各感光鼓3K、3C、3M、3Y上显影的可视象(墨粉象)，是没有光亮度不匀等显示不匀的可视象(墨粉象)。

[0049]

下面，按照图5，讲述有机EL曝光头2K、2C、2M、2Y的制造方法。此外，黑色用有机EL曝光头2K、蓝绿用有机EL曝光头2C、品红用有机EL曝光头2M及黄色用有机EL曝光头2Y，都采用相同的方法制造。所以，为了便于讲述，只对黑色用有机EL曝光头2K的制造方法详细讲述，对其它的有机EL曝光头2C、2M、2Y，则不再赘述。

[0050]

首先，在基板S上的大致中央部位，采用众所周知的方法，对多个象素电极27进行布图，以便将其交错晶格状地配置。接着，如图5(a)所示，在基板S上的多个象素电极27的周围，围住多个象素电极27的整体地对氧化硅(sio₂)布图，形成亲液性围堰25a。然后，在形成的亲液性围堰25a上，使亲液性围堰25a的一部分向基板S的中央侧伸出地对氟系树脂布图，以便使其高度例如成为1～2μm地形成斥液性围堰25b。这样，就在基板S上，在多个象素电极27的周围，围住多个象素电极27的整体地形成了围堰25(围堰形成工序)。其结果，在形成象素电极27的基板S的中央，形成凹状区域26。

[0051]

接着，在凹状区域26内，采用作为液体工艺的液滴喷出法，形成发光层28(元件形成工序)。即如图5(b)所示，使作为构成发光层28的组成物的发光材料，溶解或分散到二甲苯这种所定的溶剂中后形成的液态组成物L，从喷出头40的喷嘴N喷出。这时，沿着喷出头40上设置的、朝纸面及深处延伸的导轨41，一边使喷出头40对基板S相对移动，一边依次喷出液态组成物L，从而在凹状区域26内多次喷出液态组成物L。这样，使液态组成物L涂敷到凹状区域26内的整个面上。

[0052]

再接着，将基板S，例如置放到加热板上加热，使液态组成物L中的溶剂蒸发，在凹状区域26内的整个面上形成发光层28(参照图5(c))。

[0053]

这时，由于在各象素电极27之间没有围堰，所以不会象现有技术那样，喷出的液态组成物L的干燥时间，受在各象素电极27之间形成的围堰的表面状态的影响，在各象素电极27中互不相同。这样，干燥后，就在遍及凹状区域26上的整个面上，形成发光层28。该发光层28，在遍及凹状区域26上的整个面上成为均匀的膜厚。

[0054]

然后，在围堰25及发光层28上，采用蒸镀方法等，层叠LiF层、Ca层、Al层等，形成阴极29。接着，在阴极29的整个面上，形成具有光透过性的、例如用树脂等构成的密封件30(参照图5(d))。

[0055]

综上所述，采用本实施方式后，可以获得以下效果。

(1)采用本实施方式后，在基板S上，形成包围多个有机EL元件24的象素电极27的全体的围堰25。而且，在形成围堰25的基板S的中央形成的凹状区域26内的整个区域，涂敷液态组成物L，形成发光层28。

[0056]

所以，由于在各象素电极27(有机EL元件24)的每一个上没有围堰，所以不象现有技术那样，喷出的液态组成物L的干燥时间，受在各象素电极27(有机EL元件24)的每一个上形成的围堰的表面状态的影响，在各象素电极27内互不相同。这样，发光层28在遍及凹状区域26上的整个面上，成为均匀的膜厚。其结果，在围堰25内形成的各有机EL元件24，能够形成互相没有光亮度不匀等显示不匀的可视象(墨粉象)。

(2)采用本实施方式后，各有机EL曝光头2K、2C、2M、2Y，具备具有多个有机EL元件24的发光元件阵列22，和在与发光元件阵列22相对的位置上具有的光学部件23。而且，各有机EL元件24射出的光，被光学部件23聚光，照射到对应的各感光鼓3K、3C、3M、3Y上。这时，各有机EL元件24的发光层28，由于是均匀的膜厚，所以在各感光鼓3K、3C、3M、3Y上显影的墨粉象，成为没有光亮度不匀等显示不匀的象。其结果，能够提供可以印刷显示品位优异的图象的光打印机1。

(3)采用本实施方式后，通过液滴喷出法，在凹状区域26内形成发光层28。这样，可以不使用真空装置等，形成所需膜厚的发光层28。另外，在液滴喷出法中，将作为构成发光层28的组成物的发光材料，溶解或分散到所定的溶剂(例如二甲苯)中后形成的液态组成物L，向凹状区域26喷出，然后经过干燥形成发光层28，所以能够与凹状区域26的形状无关，进行高精细的布图。

(第2实施方式)

下面，按照图6，讲述将本发明具体化的第2实施方式。在该第2实施方式中，对和第1实施方式相同的结构部件，赋予相同的符号，不再赘述。

[0057]

图6(a)是第2实施方式涉及的发光元件阵列22A的俯视图，图6(b)是图6(a)中a—a线剖面图，图6(c)是图6(a)中b—b线剖面图。

如图6(a)所示，发光元件阵列22A，和上述第1实施方式一样，具有在基板S上排列多个有机EL元件24的结构，亲液性围堰25a被共同包围有机EL元件24地配置。另一方面，斥液性围堰25b，在本实施方式中，则划分各象素电极27地配置。

[0058]

该亲液性围堰45，例如膜厚是50～150nm，用氧化硅(SiO₂)构成。另外，亲液性围堰45，既可以是具有亲液性的材料，也可以是实施通常使用的众所周知的亲液化处理后，将表面亲液化的材料。

[0059]

这样，能够避免电场集中到象素电极27的端部。其结果，能够延长有机EL元件24的寿命

(第3实施方式)

下面，按照图7，讲述将本发明具体化的第3实施方式。在该第3实施方式中，对和前述第1及第2实施方式相同的结构部件，赋予相同的符号，不再赘述。

[0060]

图7是第3实施方式的发光元件阵列22B的俯视图。如图7所示，发光元件阵列22B，和前述第1实施方式一样，用一个围堰50包围多个有机EL元件24的全体地形成。而且，本实施方式的发光元件阵列22B，只有在基板S上形成的围堰50的形状，和前述第1实施方式的围堰25不同。就是说，如图7所示，本实施方式的围堰50，在凹状区域26的基板中央侧的形状，模仿有机EL元件24的象素电极27的形状形成。在本实施方式中，因为象素电极27是圆形，所以围堰50的凹状区域26的内侧的形状，模仿象素电极27的形状地形成圆形形状。这样，从各象素电极27的中心位置到围堰50的距离相等。于是，采用液滴喷出法，将液态组成物L涂敷到凹状区域26内后，例如使用加热板，将基板S干燥。这时，在基板S上的端部(上端、下端、左端、右端)，由于溶剂分子分压比涂敷到基板S中央的液态组成物L低，所以从基板S上的端部侧开始干燥。这时，因为从各象素电极27的中心位置到围堰50的距离相等，所以能够减少象素电极27上的干燥不匀。

[0061]

综上所述，采用本实施方式后，可以获得以下效果。

(1)采用本实施方式后，模仿有机EL元件24的象素电极27的形状，形成围堰50的凹状区域26的内侧的形状。这样，从各象素电极27的中心位置到围堰50的距离相等。其结果，由于能够减少象素电极27上的干燥不匀，所以能够形成具有膜厚更均匀的发光层28的有机EL元件24。

(第4实施方式)

下面，按照图8～图11，讲述将本发明具体化的第4实施方式。在该第4实施方式中，对和上述第1实施方式相同的结构部件，赋予相同的符号，不再赘述。

[0062]

图8(a)是发光元件阵列22C的俯视图，图8(b)是图6(a)中a—a线剖面图。

发光元件阵列22C的有机EL元件24，在其功能层上，除了发光层28以外，还具备空穴注入层61及电子注入层62。

[0063]

详细的说，如图8(b)所示，在凹状区域26的底部，覆盖各象素电极27地形成空穴注入层61。该空穴注入层61，由聚乙烯二羟基噻吩(以下记作“PEDOT”)及聚苯乙烯磺酸(以下记作“PSS”)的混合物构成。此外，为了便于讲述，将空穴注入层61中配置在被象素电极27和阴极29夹住的区域Q1上的(在象素电极27上的区域Q1形成的)空穴注入层61，作为符号“61L”；将配置在多个象素电极27之间的区域Q2上的空穴注入层61，作为符号“61H”。

[0064]

在各区域Q1上形成的空穴注入层61L，具有数十Ω/□～数千Ω/□左右的薄膜电阻值。另一方面，在区域Q2上形成的空穴注入层61H，比通常的空穴注入层材料的薄膜电阻值高，具有数MΩ/□～数百MΩ/□左右的薄膜电阻值。这样，由象素电极27供给的载流子(空穴)，几乎不流入空穴注入层61H，而集中流入空穴注入层61L。

[0065]

在空穴注入层61上，形成发光层28。在发光层28上，形成电子注入层62。另外，在电子注入层62上，共同覆盖各象素电极27和斥液性围堰25b地形成阴极29。

[0066]

该电子注入层62，是有机导电性层，是由聚苯撑乙烯撑系的聚合体构成的众所周知的电子注入层材料。此外，为了便于讲述，将电子注入层62中配置在被象素电极27和阴极29夹住的区域Q1上的(在象素电极27上的区域Q1形成的)电子注入层62，作为符号“62L”；将配置在多个象素电极27之间的区域Q2上的电子注入层62，作为符号“62H”。

[0067]

在各区域Q1上形成的电子注入层62L，具有包含本来的聚苯撑乙烯撑系的聚合体的电子注入材料的电阻值。另一方面，在各区域Q2上形成的电子注入层62H，具有比包含本来的聚苯撑乙烯撑系的聚合体的电子注入层62高的电阻值。这样，由象素电极27供给的载流子(电子)，几乎不流入电子注入层62H，而集中流入电子注入层62L。

[0068]

在阴极29的整个上面，形成所述密封部件30。而且，用空穴注入层61L、发光层28、电子注入层62L构成功能层。另外，由象素电极27及阴极29和在它们之间被夹住的功能层，构成发光元件——有机EL元件24。

[0069]

具有这种结构的有机EL曝光头2K，如图8(d)所示，空穴注入层61、发光层28、电子注入层62的各膜厚，在遍及凹状区域26内的整个区域非常均匀。这样，就在各象素电极27上，形成膜厚均匀的发光层28。

[0070]

下面，按照图9～图11，讲述有机EL曝光头2K、2C、2M、2Y的制造方法。此外，黑色用有机EL曝光头2K、蓝绿用有机EL曝光头2C、品红用有机EL曝光头2M及黄色用有机EL曝光头2Y，采用完全相同的方法制造。所以，为了方便起见，只讲述黑色用有机EL曝光头2K的制造方法，对于其它的有机EL曝光头2C、2M、2Y则不再赘述。

[0071]

首先，在基板S上的大致中央部位，采用众所周知的方法，交错晶格状地对20个象素电极27进行布图。接着，如图9(a)所示，在基板S上，围住各象素电极27的整体地对氧化硅(SiO₂)布图，形成亲液性围堰25a。然后，在形成的亲液性围堰25a上，使亲液性围堰25a的一部分向基板S的中央侧伸出地对氟系树脂布图，以便使其高度例如成为1～2μm地形成斥液性围堰25b。这样，就在基板S上，在多个象素电极27的周围，围住各象素电极27的整体地形成了围堰25(围堰形成工序)。其结果，在形成各象素电极27的基板S的中央，形成凹状区域26。

[0072]

接着，在凹状区域26内，采用作为液体工艺的液滴喷出法，形成空穴注入层61。即如图9(b)所示，使以PEDOT/PSS为主体的空穴注入层材料，溶解或分散到乙二醇这种所定的溶剂中后形成的液态组成物LA，从喷出头65的喷嘴N喷出。这时，一边沿着喷出头65上设置的、朝纸面及深处延伸的导轨65A，使喷出头65对基板S相对移动，一边向凹状区域26内多次喷出液态组成物LA。这样，使液态组成物LA涂敷到凹状区域26内的整个面上(功能层形成工序)。

[0073]

在本实施方式中，作为混合空穴注入材料——PEDOT/PSS的比率，使用PEDOT:PSS＝1:5～1:10。这样提高PEDOT的比率后，可以在降低电阻的同时，实现形成的发光元件的发光电压的低电压化及高效率化、长寿命化。但是降低空穴注入材料的电阻后，空穴注入层的一部分也可以作为电极使用，所以发光的发光元件的周边部就会发光，使多个发光元件发光时，容易产生配置在其间的发光元件发光的所谓“发光串扰”。因此，通常大多使用PEDOT:PSS＝1:20左右的材料。在本实施方式中，由于具有将该空穴注入层61的一部分高电阻化的工序，所以能够使用这种低电阻的空穴注入材料。

[0074]

接着，将基板S输送到密闭容器内，在容器内进行减压后，从配置在基板S上的液态组成物LA中除去溶剂，使其成膜。用30秒～数分钟左右的时间，从大气压减压到1Torr为止后，能够形成平坦性更高的空穴注入层61。另外，使用多种溶剂时，可以采用多个步骤，按照使用的各溶剂的蒸气压，将压力保持在该溶剂的蒸气压附近地进行减压。这样，能够使配置的液态组成物LA整个面的干燥速度更加一致，能够形成平坦性更高的膜。在本发明中，在离开围堰25某种程度的区域，配置各象素电极27，所以能够降低围堰25对在其上配置的液态组成物LA的干燥状态的影响，能够在所有的象素电极27上形成平坦的、膜厚均匀性更高的空穴注入层61。

[0075]

另外，还可以和第1实施方式一样，将基板S例如置放到加热板上加热，使液态组成物LA中的溶剂蒸发，在凹状区域26的整个面上形成空穴注入层61(参照图9(c))。

[0076]

接着，如图10(a)所示，将掩模M1放置到空穴注入层61上。掩模M1具备对紫外光具有透过性的透过区域Ta，和遮断紫外光透过的非透过区域Tb，掩模M1的大小，正好覆盖空穴注入层61的整个面。掩模M1纵—列等间距地2列排列在10个部位排列的圆形形状的非透过区域Tb。而且，各非透过区域Tb，和相邻的其它列的非透过区域Tb纵向错开半个间距地配置。就是说，掩模M1的各非透过区域Tb，配置在和象素电极27上的区域Q1相对的位置上；透过区域Ta，配置在和象素电极27以外的区域Q2相对的位置上。所以，非透过区域Tb，配置在各象素电极27上的区域Q1形成的空穴注入层61处；透过区域Ta，配置在各象素电极27上的区域Q2形成的空穴注入层61处。

[0077]

然后，如图6(a)所示，通过掩膜M1做媒介，对空穴注入层61的整个面照射紫外光R(光照射工序)。照射紫外光，波长为350nm以下，最好是250～300nm。其结果，位于区域Q1的空穴注入层61未被紫外光R照射，只有位于区域Q2的空穴注入层61被紫外光R照射。被紫外光R照射的、位于区域Q2的空穴注入层61，其结晶性变性，电阻值增大。另一方面，未被紫外光R照射的、位于区域Q1的空穴注入层61，其结晶性不变性，电阻值低。这样，形成具备具有低电阻值的空穴注入层61L，和具有高电阻值的空穴注入层61H的空穴注入层61。

[0078]

进而，在100℃～150℃中，实施1分钟～数分钟的加热处理。经过加热处理后，可以使用紫外光曝光的区域的反应更加稳定地进行，能够再现性良好地提高照射了紫外光的区域的电阻。

[0079]

在本实施方式中，作为有选择地照射紫外光的方法，记述了使用将掩模直接贴紧或接近基板S的方法。但是，也可以使用投影型的曝光装置，使用在玻璃掩模上形成的掩模，有选择地照射紫外光。

[0080]

接着，和前述第1实施方式一样，采用液滴喷出法，形成发光层28。即如图10(c)所示，使作为构成发光层28的组成物的发光材料，溶解或分散到二甲苯这种所定的溶剂中后形成的液态组成物L，从喷出头40的喷嘴N喷出。这时，一边沿着喷出头40上设置的所述导轨41，使喷出头40对基板S朝纸面及深处方向移动，一边依次喷出液态组成物L，从而向空穴注入层61的整个面上喷出液态组成物L。这样，使液态组成物L涂敷到空穴注入层61的整个面上。

[0081]

再接着，和形成空穴注入层61的工序一样，将基板S输送到密闭容器内，在容器内进行减压后，从配置在基板S上的液态组成物L中除去溶剂，使其成膜。由于在离开围堰25某种程度的区域，配置各象素电极27，所以能够在所有的象素电极27上形成平坦的、膜厚均匀性高的发光层28。

[0082]

另外，还可以将基板S例如置放到加热板上加热，使液态组成物L中的溶剂蒸发，形成发光层28。这时，空穴注入层61由于在遍及凹状区域26的整个面上成为均匀的膜厚，所以蒸发后，该发光层28在遍及凹状区域26的整个面上成为均匀的膜厚。

[0083]

接着，采用液滴喷出法，在发光层28上形成电子注入层62。就是说，使包含作为构成电子注入层62的组成物的聚苯撑乙烯撑系的聚合体的电子注入层材料，溶解或分散到二甲苯这种所定的溶剂中后形成的液态组成物，从喷出头的喷嘴喷出，向发光层28的整个面上喷出将电子注入层材料溶解或分散到所定的溶剂中的液态组成物。然后，将基板S输送到密闭容器内，在容器内进行减压后，从而使液态组成物中的溶剂蒸发，使基板S上配置的液态组成物成膜。另外也可以例如置放到加热板上加热，使所述电子注入层材料的液态组成物中的溶剂蒸发。这时，如图11(a)所示，由于发光层28遍及整个面上，形成均匀的膜厚，所以电子注入层62在遍及凹状区域26上的整个面上成为均匀的膜厚。

[0084]

接着，如图11(a)所示，将掩模M2放置到电子注入层62上。掩模M2的大小，正好覆盖电子空穴注入层62的整个面，具有和所述掩模M1相同的形状。即具备对紫外光具有透过性的透过区域Ta，和遮断紫外光透过的非透过区域Tb。非透过区域Tb，配置在与各象素电极27上的区域Q1相对的位置；透过区域Ta，配置在与象素电极27以外的区域Q2相对的位置。所以，在与各象素电极27上的区域Q1上形成的电子注入层62处，配置非透过区域Tb。而在与各象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2上形成的电子注入层62处，配置透过区域Ta。

[0085]

然后，如图11(a)所示，通过掩膜M2做媒介，对电子注入层62的整个面照射紫外光R(光照射工序)。照射紫外光，和前文所述一样，波长为350nm以下，最好是250～300nm。其结果，位于区域Q1的电子注入层62未被紫外光R照射，只有位于区域Q2的电子注入层62被紫外光R照射。其结果，被紫外光R照射的、位于区域Q2的电子注入层62，其结晶性变性，电阻值增大。另一方面，未被紫外光R照射的、位于区域Q1的电子注入层62，其结晶性不变性，电阻值低。这样，形成具备具有低电阻值的电子注入层62L，和具有高电阻值的电子注入层62H的电子注入层62。

[0086]

进而，在100℃～150℃中，实施1分钟～数分钟的加热处理。经过加热处理后，可以使被紫外光曝光的区域的反应更加稳定地进行，能够再现性良好地提高照射了紫外光的区域的电阻。

[0087]

[0088]

接着，如图11(b)所示，从空穴注入层61中除去掩膜M2。然后，在围堰25及电子注入层62上，采用众所周知的蒸镀方法等，层叠LiF层、Ca层、Al层等，形成阴极29。接着，和所述第1实施方式一样，在阴极29的整个面上，形成具有光透过性的、例如用树脂等构成的密封件30(参照图11(c))。

[0089]

综上所述，采用本实施方式后，可以获得以下效果。

(1)采用本实施方式后，通过液滴喷出法，在凹状区域26内形成空穴注入层61、发光层28、电子注入层62。这样，可以不使用真空装置等，形成所需膜厚的空穴注入层61、发光层28、电子注入层62。另外，在凹状区域26内配置多个象素电极27后，可以遍及各象素电极，使在各象素电极上形成的空穴注入层61、发光层28、电子注入层62的膜厚均匀。

(2)采用本实施方式后，由各象素电极27供给的空穴，及由阴极29供给的电子，不会流入被各象素电极27和阴极29夹着的区域Q1以外的区域Q2。其结果，对于所定的象素电极27上的发光层28而言，在供给空穴及电子之际，能够抑制其周边的发光层及相邻的其它象素电极27上的发光层28同时发光的所谓“发光串扰”现象的出现。因此，能够实现可以更精细地描绘的有机EL曝光头2K、2C、2M、2Y。其结果，就能实现可以打印高精细图象的光打印机1。

[0090]

特别是在电子照射打印机用的光写入头中，各象素的发光光向周边部位的扩大，就回导致在感光体上成象时的对比度下降。虽然有人提议采用在象素周边设置遮光层，从而防止该象素周边部位的光的方法。但由于该方法不能有效地使用发光光，所以使光的利用效率降低。本发明使电荷集中到象素电极27上的发光层28，从而缩小发光区域，因此既能提高光的利用效率，又能提高成象时的析象度。

(3)采用本实施方式后，有选择地照射紫外光，从而能够将空穴注入层61或电子注入层62划分成电阻高的区域和电阻低的区域。因此，能够不使制造工序复杂化地提高光的利用效率，实现高精细化。

(4)采用本实施方式后，即使使用表面电阻值低的空穴注入材料及电子注入材料时，也能抑制发光的串扰。使用表面电阻值低的空穴注入材料及电子注入材料，可望实现发光电压的低电压化，提高发光效率，延长发光元件的寿命。这样，采用本发明后，使用这些表面电阻值低的空穴注入材料及电子注入材料，可以不使发光装置的析象度及发光效率降低地实现低电压化，提高发光效率，延长元件的寿命。此外，在本实施方式中，介绍了将象素电极27作为阳极使用的结构，但在将象素电极27作为阴极使用的结构中，本发明也有效。这时，有选择地使紫外光照射电子注入/输送层后，能够使各象素电极27的电子注入/输送层高电阻化，发挥很高的效果。

(第5实施方式)

下面，按照图12，讲述将本发明具体化的第5实施方式。在该第5实施方式中，除了围堰的构造以外，都和上述第4实施方式相同，所以对和第4实施方式相同的结构部件，赋予相同的符号，不再赘述。

[0091]

图12(a)是第5实施方式涉及的发光元件阵列22D的俯视图，图12(b)是图12(a)中a—a线剖面图。

如图12(a)所示，发光元件阵列22D，和上述第4实施方式一样，具有在基板S上除了发光层28以外，还排列多个具备空穴注入层61及电子注入层62的有机EL元件24的结构，斥液性围堰25b，被共同包围发光元件阵列22D地配置。而且，位于象素电极27上方的区域Q1的空穴注入层61L及电子注入层62L，与位于象素电极27上方以外的区域Q2的空穴注入层61H及电子注入层62H相比，分别是低电阻的层。

[0092]

另一方面，亲液性围堰45，在本实施方式中，划分各象素电极27地配置。该亲液性围堰45，例如由膜厚为50～150nm的氧化硅(SiO₂)构成。另外，亲液性围堰45，即使是不具有亲液性的材料，也可以是实施通常使用的众所周知的亲液化处理后，将表面亲液化的材料。

[0093]

此外，发明的实施方式，不局限于上述第1～第5实施方式，还可以如下所述地实施。

[0094]

在上述实施方式中，主要讲述在电子照相打印机用的光写入头中应用的情况。但只要是具有连续的空穴注入层、电子注入层的结构，就能有效地应用本发明。例如，在使矩阵状的白色的发光元件与彩色滤波器组合后进行彩色化的显示装置中，也能使用。

[0095]

○在上述各实施方式中，使用液滴喷出法，形成空穴注入层61、电子注入层62及发光层28。但并不局限于此，例如可以使用分配器，涂敷包含空穴注入层材料、电子注入层材料及发光层材料的各液态组成物。这样，也能获得和上述实施方式同样的效果。

[0096]

○在上述各实施方式中，象素电极27成为圆形形状，但也可以不是圆形，例如可以近似四边形。这时，象上述实施方式那样，使用成为四边形形状的围堰25，能够形成具有膜厚更均匀的空穴注入层61、电子注入层62及发光层28的有机EL元件24。

[0097]

○在上述各实施方式中，空穴注入层61是包含PEDOT的有机导电性层，但即使是不包含PEDOT的有机导电性层，也能应用。另外，电子注入层62是包含由聚苯撑乙烯撑系的有机导电性层，但即使是不包含聚苯胺基的有机导电性层，也能应用。

[0098]

○在上述各实施方式中，作为发光元件，使用了有机EL元件。但并不局限于此。总而言之，只要是至少一部分层由液态组成物构成的发光元件，哪种发光元件也行。

[0099]

○在上述第4及第5实施方式中，由象素电极27、空穴注入层61、发光层28、电子注入层62及阴极29构成有机EL元件24，但本发明并不局限于此。例如除了象素电极27、空穴注入层61、发光层28、电子注入层62及阴极29之外，在空穴注入层61和发光层28之间设置空穴输入层，在电子注入层62和阴极29之间设置电子输入层也行。

[0100]

另外，设置各空穴输入层及电子输入层时，提高该象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的各空穴输入层及电子输入层的电阻值后，能够使各象素电极27供给的空穴，集中供给到各象素电极27上的区域Q1形成的空穴注入层61L。因此，能够抑制所谓“发光串扰”的发生。

[0101]

○在上述第4及第5实施方式中，提高了象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的所有的空穴注入层61H及电子注入层62H的各电阻值。但也可以不是提高象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的所有的空穴注入层61H及电子注入层62H的各电阻值，而是只提高各象素电极27上的区域Q1的周围附近的区域Q2的空穴注入层61及电子注入层62的电阻值。这样，可以获得和上述实施方式同样的效果。

[0102]

○在上述第4及第5实施方式中，在基板S上层叠象素电极27、空穴注入层61、发光层28、电子注入层62及阴极29，提高了象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的空穴注入层61及电子注入层62的电阻值。但形成高电子值的层，并不局限于空穴注入层61及电子注入层62。例如：也可以在基板S上层叠象素电极27、发光层28及阴极29，提高象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的发光层28的电阻值。这样，由于能够将由各象素电极27供给的空穴，集中供给各象素电极27上的区域Q1形成的发光层28，所以能够抑制所谓“发光串扰”的发生。

[0103]

另外，也可以在象素电极27、空穴注入层61、发光层28、电子注入层62及阴极29以外设置有机EL元件24，在空穴注入层61和发光层28之间设置空穴输送层，在电子注入层62和阴极29之间设置电子输送层，提高象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的各空穴输送层及电子输送层的电阻值。总而言之，只要使象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的各层的电阻值，比象素电极27上的区域Q1的各层的电阻值高就行。

[0104]

○在上述各实施方式中，空穴注入层61是包含PEDOT的有机导电性层。但即使是包含聚苯胺基的有机导电性层，也能获得和上述实施方式同样的效果。

[0105]

○在上述第4及第5实施方式中，通过作为光，使用紫外光R的化学反应，提高电阻值。但也可以使用紫外光以外的光提高电阻值。例如：可以利用二氧化碳激光器、受激准分子激光器、YAG激光器等，使照射的区域热变性后提高其电阻。另外，还可以用更高的能量进行激光照射，通过激光磨损，除去照射的区域的膜。进而，还可以使用在想使电阻增大的区域，有选择地配置预先照射激光的吸收率高的材料，对以适当的值形成膜的整个面，进行激光照射那样的工序。这种采用激光的加工，在现有压力的保护气中或惰性气体的保护气中进行，从防止污染及功能层的劣化上说，是首选的。特别是采用激光的加工，以发光层的形成前的工序进行，由于防止发光层的劣化，所以是首选的。例如采用在空穴注入层上形成发光层的结构时，对空穴注入层进行采用激光的加工，非常有效。

[0106]

○在上述第4及第5实施方式中，在基板S上，层叠象素电极27、空穴注入层61、发光层28、电子注入层62及阴极29，向象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的空穴注入层61及电子注入层62照射紫外光R，从而提高了区域Q2内的空穴注入层61及电子注入层62的电阻值。也可以在位于除了形成象素电极27的划分区域以外的空穴注入层61的正下方的基板S上，设置由吸收紫外光R的所定的材料构成的层。另外，同样，在位于电子注入层62的正下方的象素电极27上的区域Q1以外的整个区域Q2的发光层28上，在基板S上设置由吸收紫外光R的所定的材料构成的层。然后，使用掩模M1、M2照射紫外光R。这样，由于能使象素电极27上的区域Q1以外的整个区域Q2的空穴注入层61及电子注入层62效率良好地吸收紫外光R，所以能够切实提高所述区域Q2内的空穴注入层61及电子注入层62的电阻值。

[0107]

○在上述第4及第5实施方式中，是在象素电极27上设置空穴注入层61的同时，还在阴极29的正下方设置电子注入层62。但本发明并不局限于此。对于在象素电极27上设置电子注入层62、在阴极29的正下方设置空穴注入层61的结构，也能应用。就是说，即使将象素电极27作为阴极，将阴极29作为阳极时，也能使象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的电子注入层的电阻值，比区域Q1大。另外，还能使象素电极27上的区域Q1以外的区域Q2的空穴注入层的电阻值，比区域Q1大。这样，也能获得和上述实施方式同样的效果。

Claims

1、一种电光学装置，其特征在于：具有：

多个象素电极，

共同围住所述多个象素电极整体的隔壁，和

在由所述隔壁包围的区域整体配置的功能层。

2、如权利要求1所述的电光学装置，其特征在于：还具有由配置在所述多个象素电极与所述覆盖所述多个象素电极整体的相对电极之间的所述功能层形成的多个发光元件，

所述隔壁，其形状模仿所述各发光元件的形状。

3、如权利要求1所述的电光学装置，其特征在于：所述多个发光元件，用液体工艺形成。

4、如权利要求3所述的电光学装置，其特征在于：所述功能层至少包含发光层；

所述发光层，用有机材料构成。

5、如权利要求1～4任一项所述的电光学装置，其特征在于：所述各发光元件，排列成交错晶格状。

6、如权利要求1～4任一项所述的电光学装置，其特征在于：所述功能层，由第1功能层和第2功能层形成，所述第1功能层配置在所述多个象素电极与所述公共电极未夹住的区域，所述第2功能层的电阻值配置在所述象素电极与所述公共电极夹住的区域，

所述第1功能层的电阻值比所述第2功能层的电阻值高。

7、如权利要求6所述的电光学装置，其特征在于：所述功能层，具备有机导电性层；

所述有机导电性层，具有：形成在所述第1功能层上的第1有机导电性层和形成在所述第2功能层上的第2有机导电性层；

所述第1有机导电性层的电阻值，比所述第2有机导电性层的电阻值高。

8、如权利要求7所述的电光学装置，其特征在于：所述有机导电性层，包含聚乙烯二羟基噻吩。

9、如权利要求7所述的电光学装置，其特征在于：所述有机导电性层，包含聚苯胺基。

10、如权利要求1～4任一项所述的电光学装置，其特征在于：所述发光元件阵列，有选择地将光照射到感光体上。

11、一种电光学装置的制造方法，其特征在于，具备：

形成多个象素电极的工序；

形成共同围住所述多个象素电极全体的隔壁的工序；以及

在被所述隔壁围住的区域整体，形成功能层的工序。

12、如权利要求11所述的电光学装置的制造方法，其特征在于：所述功能层的工序，采用液滴喷出法进行。

13、如权利要求11或12所述的电光学装置的制造方法，其特征在于：还具有选择地将光照射到所述功能层上的工序。

14、如权利要求11或12所述的电光学装置的制造方法，其特征在于：有选择地将光照射到所述象素电极与象素电极之间的区域配置的所述功能层上。

15、如权利要求14所述的电光学装置的制造方法，其特征在于：所述光，是紫外线。

16、如权利要求14所述的电光学装置的制造方法，其特征在于：在照射所述光后，对所述功能层进行热处理。