CN100429757C - 重物转动装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种紧凑的重物转动装置的技术。该转动装置构成为包括：与重物(5)结合的转动臂(11)；以及驱动该转动臂(11)旋转的驱动装置(12)。驱动装置(12)包括：电动机，其内置有与行星齿轮式减速器的旋转输入部在同一轴线(A)上连接的转子轴，另外，该转动臂(11)的第一平面与行星齿轮式减速器的作为旋转输出部的平面结合，另一方面，该转动臂(11)通过与第一平面垂直的第二平面与重物结合。另外，所述转动臂(11)和所述驱动装置(12)在转动臂(11)的转动支点的轴线(A)方向上配置在重物(5)的宽度(D)内。另外，驱动装置(12)的行星齿轮式减速器也可以配置成前级和后级两级。

Description

重物转动装置

技术领域

本发明涉及一种重物转动装置，其应用于对半导体设备之类的被检查体的电特性进行测定的探测装置等，用于使试验头等重物转动。

背景技术

现有的检查装置，例如探测装置包括：装载部，其具有对半导体晶片进行逐枚搬运的搬运机构；以及探测部，其对半导体晶片连续地进行电气检查。该探测部包括：载置台，其在与所述搬运机构之间对半导体晶片逐枚进行交接；探测卡，其配置于该载置台的上方；以及试验头，其电气地切断该探测卡与试验器之间。试验头通过试验头框架和铰链固定于旋转轴，并能够以该旋转轴为中心在探测装置主体和维护区之间转动例如180度。近年来，随着试验头的大型化，其重量达到了600～800Kg。为了使作为这样的重物的试验头转动，大多使用电动机。另外，日本公开专利公报的特开平9-298224号中公开了与所述现有技术大致相同内容的技术。

然而，在如现有的探测装置等检查装置那样通过电动机和齿轮来支承试验头的重量的结构中，由于传递电动机的驱动力的齿轮大型化，并且齿轮为多级结构，因而使得装置复杂且成本增加。另外，大型化的齿轮的旋转使得无法降低用于使试验头转动的转动半径，从而存在导致探测装置的设置空间增大的问题。

发明内容

本发明为了解决上述问题而提出，其目的在于提供一种不使用大型齿轮的、零件数量少的重物转动装置。其结构、手段如下所述。

即，根据本发明第一方面，提供一种重物转动装置，其具有：与重物结合、并且绕轴线上的转动支点转动的转动臂；和驱动该转动臂转动的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括：行星齿轮式减速器，其包括固定部、旋转输入部、具有相对于所述转动支点的所述轴线垂直的垂直平面的旋转输出部、以及设置于所述固定部和所述旋转输出部之间的一对滚动轴承；电动机，其中内置有具有线圈的定子、和与所述行星齿轮式减速器的所述旋转输入部同轴地连接的转子轴，所述转动臂具有：第一平面，其与所述旋转输出部的所述平面结合；以及第二平面，其与所述重物结合，并与所述转动支点的所述轴线相比位于所述重物侧，而且与所述第一平面垂直，所述转动臂和所述驱动装置在所述转动支点的所述轴线方向上配置在所述重物的宽度内。

根据本发明第二方面，在本发明第一方面的基础上，其特征在于，所述重物在所述转动支点的所述轴线方向上的宽度的中心位置配置在：所述一对滚动轴承中位于所述旋转输出部的垂直平面侧的一个滚动轴承、和该一个滚动轴承的接触角线与所述转动支点的所述轴线的交叉点之间。

根据本发明第三方面，在本发明第一方面的基础上，其特征在于，在所述行星齿轮式减速器和所述电动机之间设置有作为前级减速机构的前级减速器，该前级减速器的旋转输入部和所述电动机的转子轴同轴地结合，该前级减速器的旋转输出部和所述行星齿轮式减速器的旋转输入部同轴地结合。

根据本发明第四方面，在本发明第一方面的基础上，其特征在于，所述重物转动装置还具有固定所述行星齿轮式减速器的支承台和载置该支承台的架台，所述行星齿轮式减速器的所述固定部具有外径部为圆形、且与所述旋转输出部的所述平面平行的安装平坦面，所述支承台具有：安装有所述行星齿轮式减速器的固定部的所述安装平坦面的第一安装面；安装有所述架台、并与所述第一安装面垂直的第二安装面；以及连接所述第一安装面的外侧两端部和第二安装面的外侧两端部的一对肋部，所述行星齿轮式减速器的固定部的所述安装平坦面的外径部被切成使所述一对肋部侧具有比所述圆形外径小的长度。

根据本发明第五方面，提供一种重物转动装置，其具有：与重物结合、并且绕轴线上的转动支点转动的转动臂；和驱动该转动臂转动的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括：行星齿轮式减速器，其包括固定部、旋转输入部、具有相对于所述转动支点的所述轴线垂直的垂直平面的旋转输出部、以及设置于所述固定部和所述旋转输出部之间的一对滚动轴承；电动机，其与所述行星齿轮式减速器的所述旋转输入部同轴地连接，所述转动臂具有：第一平面，其与所述旋转输出部的所述平面结合；以及第二平面，其与所述第一平面垂直，所述转动臂和所述驱动装置在所述重物的所述转动支点的所述轴线方向上配置在所述重物的宽度内。

本发明涉及的重物转动装置由于具有上述结构，因而具有如下效果。

即，根据本发明第一方面，提供一种重物转动装置，其具有：与重物结合、并且绕轴线上的转动支点转动的转动臂；和驱动该转动臂转动的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括：行星齿轮式减速器，其包括固定部、旋转输入部、具有相对于所述转动支点的所述轴线垂直的垂直平面的旋转输出部、以及设置于所述固定部和所述旋转输出部之间的一对滚动轴承；电动机，其中内置有具有线圈的定子、和与所述行星齿轮式减速器的所述旋转输入部同轴地连接的转子轴，所述转动臂具有：第一平面，其与所述旋转输出部的所述平面结合；以及第二平面，其与所述重物结合，并与所述转动支点的所述轴线相比位于所述重物侧，而且与所述第一平面垂直，所述转动臂和所述驱动装置在所述重物的所述转动支点的所述轴线方向上配置在所述重物的宽度内。

由于具有这样的结构，重物的重心与转动支点的轴线之间的距离缩短，并且能够构成转动臂和驱动装置在重物的转动支点的轴线方向上位于重物的宽度内的紧凑的重物转动装置。

根据本发明第二方面，提供一种重物转动装置，在本发明第一方面的基础上，其特征在于，所述重物在所述转动支点的所述轴线方向上的宽度的中心位置配置在：所述一对滚动轴承中位于所述旋转输出部的垂直平面侧的一个滚动轴承、和该一个滚动轴承的接触角线与所述转动支点的所述轴线的交叉点之间。

由于具有这样的结构，能够悬臂支承重物，并能够使重物无摇摆地稳定转动。

根据本发明第三方面，提供一种重物转动装置，在本发明第一方面的基础上，其特征在于，在所述行星齿轮式减速器和所述电动机之间设置有作为前级减速机构的前级减速器，该前级减速器的旋转输入部和所述电动机的转子轴同轴地结合，该前级减速器的旋转输出部和所述行星齿轮式减速器的旋转输入部同轴地结合。

由于具有这样的结构，因为通过两级减速机构获得高减速比，因而能够减小减速器和电动机的外径。因此，能够减小重物的转动半径。

根据本发明第四方面，提供一种重物转动装置，在本发明第一方面的基础上，其特征在于，所述重物转动装置还具有固定所述行星齿轮式减速器的支承台和载置该支承台的架台，所述行星齿轮式减速器的所述固定部具有外径部为圆形、且与所述旋转输出部的所述平面平行的安装平坦面，所述支承台具有：安装有所述行星齿轮式减速器的固定部的所述安装平坦面的第一安装面；安装有所述架台、并与所述第一安装面垂直的第二安装面；以及连接所述第一安装面的外侧两端部和第二安装面的外侧两端部的一对肋部，所述行星齿轮式减速器的固定部的所述安装平坦面的外径部被切成使所述一对肋部侧具有比所述圆形外径小的长度。

由于具有这样的结构，由于将行星齿轮式减速器固定部的安装平坦面外径部的一对肋部侧切断为较短，因而转动臂的第二平面和转动支点的轴线之间的距离不会增大，即不会增大重物的转动半径，能够通过一对肋部来加强支承台的第一安装面和第二安装面，从而能够加固支承台。

根据本发明第五方面，提供一种重物转动装置，其具有：与重物结合、并且绕轴线上的转动支点转动的转动臂；和驱动该转动臂转动的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置包括：行星齿轮式减速器，其包括固定部、旋转输入部、具有相对于所述转动支点的所述轴线垂直的垂直平面的旋转输出部、以及设置于所述固定部和所述旋转输出部之间的一对滚动轴承；电动机，其与所述行星齿轮式减速器的所述旋转输入部同轴地连接，所述转动臂具有：第一平面，其与所述旋转输出部的所述平面结合；以及第二平面，其与所述第一平面垂直，所述转动臂和所述驱动装置在所述转动支点的所述轴线方向上配置在所述重物的宽度内。

由于具有这样的结构，能够构成使转动臂和驱动装置在重物的转动支点的轴线方向上位于重物的宽度内的紧凑的重物转动装置。

附图说明

图1是表示本发明的重物转动装置的一例的正视图。

图2表示本发明的重物转动装置的一例，是所述图1的俯视图。

图3表示本发明的重物转动装置的架台和驱动装置，是从所述图2中的箭头E方向观察到的侧视图。

图4表示本发明的重物转动装置的一例，是从所述图1中的箭头F方向观察到的侧视图。

图5表示本发明的重物转动装置的架台和驱动装置，是从所述图3中的箭头G方向观察到的侧视图。

图6表示本发明的重物转动装置的驱动装置的一例，是垂直剖面图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的重物转动装置的实施方式进行详细说明。

例如图1所示，探测装置1构成为包括：探测装置主体(以下简称为“装置主体”)2，其构成对被检查体例如半导体晶片进行电气检查的探测部；架台3，其与该装置主体2的左侧相邻地配置；作为重物的试验头5，其通过该架台3在装置主体2和维护区4之间转动大致180度；连接环7；以及探测卡8。另外，在装置主体2的右侧配设有半导体晶片搬运装置9，该半导体晶片搬运装置9以盒为单位收纳半导体晶片，并从该盒向探测部逐枚装载、卸载半导体晶片。

另外，在形成装置主体2的顶面的顶板10的中央孔(未图示)中设有探测卡8，当试验头5转动至装置主体2并定位于其上时，所述试验头5通过连接环7与探测卡8上表面的连接端子电连接。因此，例如，探测装置1，经由试验头5、探测卡8的探针，通过载置台上的半导体晶片的电极，来接收来自试验器的测试信号，从而对半导体晶片的各IC芯片进行电气检查。

如图2所示，所述试验头5通过转动臂11固定于驱动装置12的旋转轴，并可以通过该旋转轴转动，所述转动臂11具有第一平面11a和垂直于该第一平面11a的第二平面11b。所述转动臂11与作为重物的试验头5结合，并绕驱动装置12的旋转轴的轴线A上的转动支点转动。该驱动装置12通过支承台13设置于架台3的上表面，用于驱动该转动臂11使其转动。该支承台13包括：第一安装面13a，其安装于所述驱动装置12或收容于该驱动装置12中的行星齿轮式减速器的固定部，即安装于固定壳体28的安装平坦面；第二安装面13b，其垂直于该第一安装面13a；以及一对肋部13c、13c，其连接所述第一安装面13a的外侧两端部和所述第二安装面13b的外侧两端部。

另外，所述驱动装置12或收容于该驱动装置12中的行星齿轮式减速器的固定部(即，固定壳体28的所述安装平坦面)的外径部在所述一对肋部13c、13c侧形成切断部28a、28a。这使得行星齿轮式减速器的固定部(即固定壳体28的安装平坦面)的外径部的一对肋部13c、13c侧被切成比较短，因此转动臂11的第二平面11b和转动支点的轴线A之间的距离不会增大，即不会增大试验头5等重物的转动半径，能够通过一对肋部13c、13c来加强支承台13的第一安装面13a和第二安装面13b，从而能够加固支承台13。

在图中，14是设置架台3的设置台，在该架台3的内部收容有控制装置。15、15是螺栓，其通过插入到形成于所述第二安装面13b的、直径稍大的图2、图3所示的自由尺寸孔15a、15a中，来对第二安装面13b相对于前后左右进行定位，并将支承台13固定于该架台3上。16是配置于对后述的电动机17的旋转位置和速度进行检测的编码器的前表面的罩。

如图4和图5所示，在所述驱动装置12的旋转输出部上安装有所述转动臂11的第一平面11a。在转动臂11的所述第二平面11b侧的部位穿设有例如四列长孔11c、11c…，在该长孔11c、11c…中螺合有螺栓(未图示)，转动臂相对于试验头5的位置可以调节上下位置，并且固定于试验头5。

下面参照图6等对所述驱动装置12进行详细说明。

所述驱动装置12构成为主要包括：电动机17；通过该电动机17的驱动而进行减速旋转的减速机构；以及对该电动机17的旋转位置和速度进行检测的编码器19。所述减速机构既可以是单一的减速机构，也可以是这样的减速机构：由对所述电动机17的旋转轴速度进行一次减速的前级减速机构，和接着对由该前级减速机构减速后的旋转轴速度进行二次减速的后级减速机构组成。

图6所示的驱动装置12中收容的减速机构是行星齿轮式减速器，是具有前级减速器和后级减速器即两级减速器的结构示例。

17是电动机，其包括：圆筒状的定子17b，其具有线圈部17a；转子17d，其配设于定子的内侧，并具有被可自在旋转地支承的转子轴17c；以及电动机壳体17e，其从外部包覆该定子17b。该电动机壳体17e由第一壳体17e1、第二壳体17e2和第三壳体17e3构成，并且是将所述三者结合在一起而构成的。所述第一壳体17e1的前表面通过螺栓18、18固定构成为箱状的所述罩16的边缘部，并且设置固定成由所述罩16覆盖。在所述转子17d的另一侧直接连接有编码器19的转子轴。22是所述第一壳体17e1的前表面壁。

20是前级减速器，其构成为主要包括：作为固定部的圆筒状的内齿齿轮体21，其在内周部具有作为内齿的多个内齿销24c2；一对外齿齿轮24c，其进行偏心摆动运动，并且其外摆线圆齿形的外齿与所述内齿齿轮体21的内齿销24c2啮合；小齿轮17f，其形成于作为旋转输入部的所述转子轴17c；作为旋转输出部的轴23；以及行星齿轮式减速器24，其具有设置于所述内齿齿轮体21和所述轴23之间的作为前级的一对滚动轴承和后级的一对滚动轴承的主轴承24a、24b。

所述轴23构成为包括：第一端板23a，其外周面与前级的一对主轴承24a卡合；以及第二端板23c，其外周面与后级的一对主轴承24b卡合，该第二端板23c具有间隙配合于所述内齿齿轮体21内的柱部23b。

并且，第一端板23a、具有柱部23b的第二端板23c和后述的转子轴26a，通过卡入在形成于它们自身的轴孔23d中的锥销23e和螺栓25而相邻地结合在一起。在前级小齿轮17f上啮合有设置于曲柄轴23f的直齿轮23g。该曲柄轴23f可自在旋转地支承于所述第一端板23a和第二端板23c，并且通过滚针轴承24c1与所述外齿齿轮24c卡合。所述转子轴17c的旋转在小齿轮17f和直齿轮23g之间被减速，并传递至曲柄轴23f。该曲柄轴23f的旋转使所述外齿齿轮24c偏心摆动，从而使所述轴23减速输出地进行旋转。

另外，所述内齿齿轮体21的上部前表面通过螺栓20a与所述电动机壳体17e的第三壳体17e3相邻地结合在一起，所述内齿齿轮体21的上部后表面通过螺栓20a与筒状的连接部件27相邻地结合在一起，所述连接部件27的与后述的后级减速器26结合的外表面形成为阶梯状。

下面对后级减速器26进行说明。

后级减速器26构成为主要包括：作为固定部的圆筒状的内齿齿轮体28，其在内周部具有作为内齿的多个内齿销30c2；一对外齿齿轮30c，其进行偏心摆动运动，并且其外摆线圆齿形的外齿与所述内齿齿轮体21的内齿销30c2啮合；小齿轮26b，其形成于作为旋转输入部的所述转子轴26a；作为旋转输出部的轴29；以及行星齿轮式减速器31，其具有设置于所述内齿齿轮体28和所述轴29之间的、作为前级的一对滚动轴承和后级的一对滚动轴承的主轴承30a、30b。所述转子轴26a与所述第二端板23c结合。

所述轴29构成为包括：第一端板29a，其外周面与前级的一对主轴承30a卡合；以及第二端板29c，其外周面与后级的一对的主轴承30b卡合，该第二端板29c具有间隙配合于所述内齿齿轮体28内的柱部29b。

并且，第一端板29a和具有柱部29b的第二端板29c，通过插入到形成于它们自身的轴孔29d中的锥销(未图示)和螺栓32相邻地结合在一起。在前级小齿轮26b上啮合有设置于曲柄轴29f的直齿轮29g。该曲柄轴29f可自在旋转地支承于所述第一端板29a和第二端板29c，并且通过滚针轴承30c1而与所述外齿齿轮30c卡合。所述旋转轴26a的旋转在小齿轮26b和直齿轮29g之间被减速，并传递至曲柄轴29f。该曲柄轴29f的旋转使所述外齿齿轮30c偏心摆动，从而使所述轴29减速输出地进行旋转。后级减速器26的减速比例如设定为大约1/10。

并且，在第二端板29c的与所述转动臂11的转动支点的轴线A垂直的垂直平面29i上，通过螺栓(未图示)结合有所述转动臂11。

另外，转动臂11具有：第一平面11a，其与作为旋转输出部的轴29即第二端板29c的平面结合；以及第二平面11b，其与由所述试验头5等构成的重物结合，并与转动支点的所述轴线A相比位于重物侧，且垂直于所述第一平面11a。并且，如图2所示，所述转动臂11和所述驱动装置12在转动臂11的转动支点的轴线A的方向上设置在重物5的宽度D内。另外，单点划线C表示所述重物即试验头5在轴线A的方向上的中心位置。由此，试验头5等重物的重心与转动支点的轴线A之间的距离缩短，并且转动臂11和驱动装置12能够构成在转动支点的轴线A方向上位于重物的宽度D内的紧凑的重物转动装置。

这里，试验头5等重物在所述转动臂11的转动支点的轴线A方向上的中心位置C设定为：在距离L之间，该距离L为所述一对滚动轴承中作为位于旋转输出部的垂直平面侧的一个滚动轴承的主轴承30b与点P之间的距离，所述点P是与该主轴承30b的轴接触角为α(度)的线B和所述转动支点的轴线A交叉的交叉点。这里，接触角α(度)公知为优选设定成35(度)～45(度)。由于构成该结构，因此能够通过悬臂来支承试验头5等重物，并且能够能够使重物稳定地转动。

并且，在所述转动臂11的第一平面11a侧，如图5所示，以所希望的间隔环在整周上设有直径稍大的螺栓插入孔11d、11d…，在该螺栓插入孔11d、11d…中螺合图4所示的螺栓11e、11e…，对所述驱动装置12在旋转方向上进行定位，并调整其上下或者左右方向的移动，然后将所述驱动装置12固定于所述转动臂11。

下面对本发明的重物转动装置的动作进行说明。

所述电动机17高速旋转，从而驱动试验头5等重物如图1所示在实线所示的位置和虚线所示的位置之间转动。并且，转子17d在圆筒状的定子17b的内侧高速旋转，从而使直接连接于转子17d的转子轴17c旋转。旋转力被传递至与形成于该转子轴17c后端的小齿轮17f啮合接合的直齿轮23g，通过该直齿轮23g的旋转，在轴的大致中央部具有曲柄部分的曲柄轴23f由配置在轴23上的一对轴承支承着旋转。

该曲柄轴23f的旋转力传递至相邻的由两列构成的外齿齿轮24c、24c，通过该外齿齿轮24c、24c的旋转动作，来使作为旋转输出部的轴23的、第一端板23a和具有柱部23b的第二端板23c减速旋转。并且，该第二端板23c通过螺栓25将其旋转力传递至后级减速器26。这样，所述前级减速器20通过行星齿轮式减速器24将电动机17的旋转速度例如减速至大约1/60。

下面，如上所述，经第一级减速了的轴23的旋转力传递至作为旋转输入部的转子轴26a，该转子轴26a以由前级减速器20减速后的速度旋转。旋转力被传递至与形成于转子轴26a后端的小齿轮26b啮合接合的直齿轮29g，通过该直齿轮29g的旋转，在大致中央具有曲柄部分29h的曲柄轴29f由相邻地配置于直齿轮29g的前表面的主轴承30e支承着旋转。该曲柄轴29f的旋转力传递至相邻的由两列构成的外齿齿轮30c、30c，通过该外齿齿轮30c、30c的旋转动作，来使作为旋转输出部的轴29的、第一端板29a和具有柱部29b的第二端板29c进一步减速旋转。并且，该第二端板29c通过螺栓11e、11e…而与转动臂11的第一平面11a相邻地结合，从而减速驱动该转动臂11。

并且，通过由所述编码器19对电动机17的旋转位置和速度进行检测并同时进行调整，试验头5等重物被从图1中虚线所示位置向实线所示位置驱动转动大致180度。并且，试验头5通过连接环而与探测卡8上表面的触点电连接，探测装置1经由试验头5、探测卡8的探针，通过载置台上的半导体晶片的电极来接收来自试验器的测试信号，从而对半导体晶片的各IC芯片进行电气检查。

因此，所述后级减速器26使前级减速器20的旋转速度例如减速至大约1/100，并使电动机17的旋转速度例如减速至大约1/6000。并且，由于通过两级减速机构来获得高减速比，因此能够减小前/后级减速器20、26和电动机17的外径。从而能够进一步减小试验头5等重物的转动半径。该减速比的值可通过适当设定所述行星齿轮式减速器31的内部构成要素或者部件的设计尺寸和形状等来选定。

作为本发明，通过将所述具有第二端板29c的轴23固定于所述转动臂11，能够仅通过前级这一单一减速器来构成重物转动装置。

如上所述，本发明的重物转动装置适用于对半导体设备之类的被检查体的电气特性进行测定的探测装置等。

Claims (5)

1.一种重物转动装置，其具有：与重物结合、并且绕轴线上的转动支点转动的转动臂；和驱动该转动臂转动的驱动装置，其特征在于，

所述驱动装置包括：行星齿轮式减速器，其包括固定部、旋转输入部、具有相对于所述转动支点的所述轴线垂直的垂直平面的旋转输出部、以及设置于所述固定部和所述旋转输出部之间的一对滚动轴承；电动机，其中内置有具有线圈的定子、和与所述行星齿轮式减速器的所述旋转输入部同轴地连接的转子轴，

所述转动臂具有：第一平面，其与所述旋转输出部的所述平面结合；以及第二平面，其与所述重物结合，并与所述转动支点的所述轴线相比位于所述重物侧，而且与所述第一平面垂直，

所述转动臂和所述驱动装置在所述转动支点的所述轴线方向上配置在所述重物的宽度内。

2.根据权利要求1所述的重物转动装置，其特征在于，

所述重物在所述转动支点的所述轴线方向上的宽度的中心位置配置在：所述一对滚动轴承中位于所述旋转输出部的垂直平面侧的一个滚动轴承、和该一个滚动轴承的接触角线与所述转动支点的所述轴线的交叉点之间。

3.根据权利要求1所述的重物转动装置，其特征在于，

在所述行星齿轮式减速器和所述电动机之间设置有作为前级减速机构的前级减速器，该前级减速器的旋转输入部和所述电动机的转子轴同轴地结合，该前级减速器的旋转输出部和所述行星齿轮式减速器的旋转输入部同轴地结合。

4.根据权利要求1所述的重物转动装置，其特征在于，

所述重物转动装置还具有固定所述行星齿轮式减速器的支承台和载置该支承台的架台，

所述行星齿轮式减速器的所述固定部具有外径部为圆形、且与所述旋转输出部的所述平面平行的安装平坦面，

所述支承台具有：安装有所述行星齿轮式减速器的固定部的所述安装平坦面的第一安装面；安装有所述架台、并与所述第一安装面垂直的第二安装面；以及连接所述第一安装面的外侧两端部和第二安装面的外侧两端部的一对肋部，

所述行星齿轮式减速器的固定部的所述安装平坦面的外径部被切成使所述一对肋部侧具有比所述圆形外径小的长度。

5.一种重物转动装置，其具有：与重物结合、并且绕轴线上的转动支点转动的转动臂；和驱动该转动臂转动的驱动装置，其特征在于，

所述驱动装置包括：行星齿轮式减速器，其包括固定部、旋转输入部、具有相对于所述转动支点的所述轴线垂直的垂直平面的旋转输出部、以及设置于所述固定部和所述旋转输出部之间的一对滚动轴承；电动机，其与所述行星齿轮式减速器的所述旋转输入部同轴地连接，

所述转动臂具有：第一平面，其与所述旋转输出部的所述平面结合；以及第二平面，其与所述第一平面垂直，

所述转动臂和所述驱动装置在所述转动支点的所述轴线方向上配置在所述重物的宽度内。

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