CN100383917C - 气动式平台开盖机构 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及半导体晶片加工的平台开盖机构。本发明公开的一种气动式平台开盖机构，包括：用于平台盖启闭的气动装置、连接杆，其中，所述平台盖和传输腔室的腔体通过连接杆连接。本发明能快速地开启和闭合平台盖；同时保证了平台盖完全开启后及开启过程中的安全和稳定；若平台盖在开启过程中出现断电或断气情况，其平台盖不会快速向下旋转，从而避免设备碰撞的产生；若平台盖完全开启后出现断电或断气情况，则其保持原来的位置不变。

Description

气动式平台开盖机构
技术领域
本发明涉及半导体晶片加工的平台开盖机构，具体涉及气动式平台开盖机构。
背景技术
在半导体晶片加工过程中，晶片被输送到负载锁闭室，然后传输腔室中的真空机械手把晶片从负载锁闭室中取出，并把晶片传送到与腔室相连的晶片加工腔室，从而对晶片进行各种制程工艺。完成各制程后，真空机械手又从加工腔室中取出晶片，并把其输送回负载锁闭室。图1是平台系统示意图，包括负载锁闭室、平台盖、传输腔室、开盖机构，还有图中没有显示的真空机械手(位于传输腔室内)和前端传输单元(位于负载锁闭室前端并与之相连)。其中平台盖和传输腔室构成一个容积较大的密闭空间，里面装配有真空机械手。在装配真空机械手和进行传输腔室维护等工作时需要打开平台盖。在300mm平台系统中，平台盖质量达60Kg，盖的直径接近1米，在操作中，开盖速度慢，不安全。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明的目的是提供一种开盖速度快、开盖安全稳定的气动式平台开盖机构。
(二)技术方案
为了达到上述目的，本发明采取以下方案：
本发明的气动式平台开盖机构包括传输腔室、平台盖、两个气缸、支架、上轴和前轴，所述支架固定在所述传输腔室的腔体上，所述上轴设在所述支架上部，所述前轴设在所述平台盖上，所述两个气缸的缸体转动连接在上轴的两端，所述两个气缸的缸体可围绕所述上轴转动，所述两个气缸的活塞杆对称地连接在前轴上，所述支架的下部设有下轴，所述下轴通过连接杆与所述平台盖连接，该连接杆一端转动连接在下轴上，另一端固定在所述平台盖。
其中，所述气缸的气路中设有单向排气节流阀和中封式电磁阀。
其中，所述气缸活塞杆完全缩回时，平台盖旋转角度大于90°。
其中，所述平台盖闭合时，气缸的行程比满行程少5～10mm。
(三)有益效果
由于采取以上技术方案，本发明能快速地开启和闭合平台盖；同时保证了平台盖完全开启后及开启过程中的安全和稳定；若平台盖在开启过程中出现断电或断气情况，其平台盖不会快速向下旋转，从而避免设备碰撞的产生；若平台盖完全开启后出现断电或断气情况，则其保持原来的位置不变。
附图说明
图1是本发明平台盖开盖状态立体结构示意图；
图2是本发明平台盖完全开启状态结构示意图；
图3是本发明气缸气路原理图；
图4是本发明平台盖工作原理示意图；
图5是平台盖完全开启后的工作原理示意图。
图中：1、平台盖；2、气缸；3、支架；4、铰连接件；5、前轴；6、上轴；7、下轴；8、连接杆；9、负载锁闭室；10、转输腔室的腔体；11、气缸缸体；12、气缸活塞杆；13、单向排气节流阀；14、节流阀；15、中封式三位五通电磁阀。
具体实施方式
以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
(一)为了充分公开本发明的技术内容，下面结合附图说明本发明平台盖启闭的工作原理。
如图4、图5所示，气缸2长度可变，图中内圆是以气缸2零行程时的总长度为半径，上轴6轴心为圆心所形成的圆；外圆半径等于气缸2满行程时的总长度，圆心也是上轴6的轴心。平台盖1在绕下轴7轴旋转时，气缸2绕上轴旋转，并且气缸的长度在不断地变化，但是前轴5一定要始终位于外圆和内圆之间。上轴6和下轴7的竖直距离越大则气缸2拉动平台盖1的力越小；上轴6和下轴7之间水平距离的大小应保证平台盖1在完全开启过程中气缸不产生死角。如图5所示，当平台盖1完全开启后，盖重心位于上轴6左侧，同时气缸2与平台盖1表面间的夹角应大于0°，防止产生死角。
(二)本发明具体实施例。
如图1所示，本发明的开盖机构包括气缸2、连接杆8、支架3、铰连接件4和轴。开盖机构的支架3固定在传输腔室的腔体10上表面，支架3上有上轴6和下轴7，上轴6与气缸缸体11连接，下轴7与连接杆8的一端连接，连接杆8另一端通过螺钉固定到平台盖1上；气缸2通过气缸活塞杆12与前轴连接，然后与固定在平台盖1上铰连接件4连接。这样，当气缸2伸缩时，平台盖1就会绕支架3上的下轴7进行旋转运动，从而实现盖子的开启和闭合。当气缸2完全或接近完全缩回时，平台盖1旋转角度超过90°，以便使盖子的重心位于下轴的左上方，此时用支架3支撑住平台盖1，如图2所示。这样在在平台盖1开启后即便出现断电和断气等意外情况时，平台盖1也不会向下旋转，从而避免了对设备的损害。
为了避免平台盖1在闭合时与传输腔室产生碰撞，本发明开盖机构的气缸2采用气缓冲，并且在气缸缸体11上或支架3上设置行程开关。此外盖子闭合时气缸的行程应接近满行程，即要求此时气缸的行程比满行程少5～10mm。
如图3所示，为了对开盖旋转速度进行调节，本发明在气路中设置了2个单向排气节流阀13。此外，气路系统采用了中封式电磁阀15，防止平台盖1开启过程中的意外断电造成平台盖1向下旋转与传输腔室的腔体10产生碰撞。

Claims (4)

1.一种气动式平台开盖机构，包括传输腔室(10)、平台盖(1)、两个气缸(2)、支架(3)、上轴(6)和前轴(5)，其特征在于：所述支架(3)固定在所述传输腔室的腔体(10)上，所述上轴(6)设在所述支架(3)上部，所述前轴(5)设在所述平台盖(1)上，所述两个气缸(2)的缸体(11)转动连接在所述上轴(6)的两端，所述两个气缸的缸体(11)可围绕所述上轴(6)转动，所述两个气缸(2)的活塞杆(12)对称地连接在所述前轴(5)上，所述支架(3)的下部设有下轴(7)，所述下轴(7)通过连接杆(8)与所述平台盖(1)连接，该连接杆(8)一端转动连接在下轴(7)上，另一端固定在所述平台盖(1)。
2.如权利要求1所述的气动式平台开盖机构，其特征在于：所述气缸的气路中设有单向排气节流阀(13)和中封式电磁阀(15)。
3.如权利要求1所述的气动式平台开盖机构，其特征在于：所述气缸活塞杆(12)完全缩回时，平台盖旋转角度大于90°。
4.如权利要求1所述的气动式平台开盖机构，其特征在于：所述平台盖(1)闭合时，气缸(2)的行程比满行程少5～10mm。
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