CH702307B1

CH702307B1 - Apparatus for producing slices of material from a material block.

Info

Publication number: CH702307B1
Application number: CH19452010A
Authority: CH
Inventors: Ralf Stockburger
Original assignee: Schmalz J Gmbh
Priority date: 2009-11-23
Filing date: 2010-11-19
Publication date: 2014-07-15
Also published as: DE102009047027B3; CH702307A2; CN102085696A

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Herstellen von Materialscheiben aus einem Materialblock, mit einer Haltevorrichtung (12) für einen Materialblock (10), insbesondere einen Siliziumblock, und mit einer Drahtsäge (18), welche mehrere parallel nebeneinanderliegende, ein Sägegitter aufspannende Sägedrähte (32) aufweist, wobei die Ebene (22) des Sägegitters und die von der Drahtsäge (18) zu durchtrennende Unterseite (24) des Materialblocks (10) einen Winkel (28) einschliessen.The invention relates to a device for producing material disks from a material block, comprising a holding device (12) for a material block (10), in particular a silicon block, and a wire saw (18) which has a plurality of saw wires (32) arranged parallel to one another and grating a saw grating. wherein the plane (22) of the saw grating and the underside (24) of the material block (10) to be cut by the wire saw (18) enclose an angle (28).

Description

[0001] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Herstellen von Materialscheiben aus einem Materialblock, mit einer Haltevorrichtung für einen Materialblock, insbesondere einen Siliziumblock, und einer Drahtsäge, welche mehrere parallel nebeneinanderliegende, ein Sägegitter aufspannende Sägedrähte aufweist. The invention relates to a device for producing sheets of material from a block of material, with a holding device for a material block, in particular a silicon block, and a wire saw, which has a plurality of parallel juxtaposed, a saw grating spanning saw wires.

[0002] Es ist bekannt, dass zur Herstellung von Siliziumwafern ein Siliziumblock mittels z.B. einer Drahtsäge in Siliziumscheiben zersägt wird. Hierfür muss der Siliziumblock festgehalten werden, wofür eine leistungsfähige Spannvorrichtung erforderlich ist. Aus der US 7 353 818 ist eine Haltevorrichtung bekannt, an welcher der Materialblock festgeklebt wird. Dieses Klebeverfahren ist einerseits sehr aufwändig, da die Materialscheiben nach dem Sägen wieder vom Klebstoff befreit werden müssen, andererseits ist ein hochwertiger Klebstoff erforderlich, der den Materialblock spielfrei und starr mit der Haltevorrichtung verbindet. Aus der US 7 025 665 ist eine Haltevorrichtung bekannt, in welche der Materialblock eingespannt wird. Mit diesem Spannverfahren lassen sich aber nur geringe Spanndrücke erzielen, da es sonst zu Verformungen der hergestellten Materialscheiben kommt. Ausserdem können keine Toleranzen in der Höhe der Materialscheiben überbrückt werden. It is known that, to produce silicon wafers, a silicon block is formed by means of e.g. a wire saw is sawn into silicon wafers. For this, the silicon block must be held, for which a powerful clamping device is required. From US 7,353,818 a holding device is known, to which the block of material is glued. This bonding process is on the one hand very complex, since the material discs must be freed from the adhesive after sawing again, on the other hand, a high-quality adhesive is required, which connects the block of material without play and rigid with the holding device. From US 7 025 665 a holding device is known, in which the material block is clamped. With this tensioning method, however, only low clamping pressures can be achieved, since otherwise deformations of the produced material disks occur. In addition, no tolerances in the height of the material discs can be bridged.

[0003] Aus der DE 10 2009 014 571 A1 ist eine Vorrichtung zum Herstellen von Materialscheiben bekannt, bei der der Materialblock von einer Haltevorrichtung angesaugt wird. Zwischen die Materialscheiben werden Abstands- oder Ausgleichsscheiben eingeschoben, so dass sie mittels einer Klemmvorrichtung zusammen mit den Abstands- oder Ausgleichsscheiben geklemmt werden können. Auch bei dieser Vorrichtung besteht die geringe Gefahr, dass die hergestellten Materialscheiben durch das Klemmen verformt oder beschädigt werden. Ausserdem besteht die Gefahr, dass durch Bearbeitungsrückstände (Slurry) die rechenartigen Abstands- oder Ausgleichsscheiben verschmutzen und es dadurch zu Beschädigungen der hergestellten Materialscheiben oder zumindest deren Oberflächen kommt. From DE 10 2009 014 571 A1 an apparatus for producing material discs is known in which the block of material is sucked by a holding device. Distance or shims are inserted between the material discs, so that they can be clamped by means of a clamping device together with the spacer or shims. Even with this device, there is a low risk that the produced material discs are deformed or damaged by the terminals. In addition, there is a risk that the rake-like spacing or shims become dirty due to processing residues (slurry) and damage to the produced material disks or at least their surfaces occurs as a result.

[0004] Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung bereitzustellen, mit welcher auf einfache und preiswerte Art und Weise Materialscheiben hergestellt werden können und insbesondere die hergestellten Materialscheiben ergriffen und abtransportiert werden können, ohne dass sie beschädigt werden. The invention is therefore an object of the invention to provide a device with which in a simple and inexpensive way material discs can be made and in particular the material discs produced can be taken and removed without being damaged.

[0005] Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss mit einer Vorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass die Ebene des Sägegitters und die von der Drahtsäge zu durchtrennende Unterseite des Materialblocks einen von 0° verschiedenen Winkel einschliessen. This object is achieved according to the invention with a device of the type mentioned above in that the plane of the saw grating and the underside of the material block to be cut by the wire saw enclose a different angle from 0 °.

[0006] Dadurch, dass die Ebene des Sägegitters und die von der Drahtsäge zu durchtrennende Unterseite als Materialebene des Materialblocks einen Winkel einschliessen, d.h. dass die zu durchtrennende Materialebene gegenüber der Ebene des Sägegitters schräg steht, wird der Materialblock schräg durchtrennt. Dies hat zur Folge, dass die einzelnen Materialscheiben nicht alle gleichzeitig anfallen, sondern eine Materialscheibe nach der anderen. Hierdurch wird der Vorteil erzielt, dass die Materialscheiben einzeln nacheinander der Vorrichtung entnommen werden können. Für die Entnahme können geeignete Entnahmevorrichtungen verwendet werden, die die einzeln anfallenden Materialscheiben sicher, aber schonend ergreifen und handhaben. Characterized in that the plane of the saw grating and the underside to be cut by the wire saw as an material plane of the material block enclose an angle, i. E. that the material plane to be cut is inclined with respect to the plane of the saw grating, the material block is cut obliquely. This has the consequence that the individual material slices do not all occur simultaneously, but one material disc after another. As a result, the advantage is achieved that the material discs can be removed one after the other of the device. For the removal suitable removal devices can be used, which seize the individually accumulating material discs safely but gently and handle.

[0007] Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Haltevorrichtung mehrere quer zur Schneidrichtung der Drahtsäge nebeneinanderliegende Halteabschnitte aufweist, die einzeln am Materialblock angreifen. Auf diese Weise können problemlos unterschiedlich grosse Materialblöcke ergriffen werden, und es werden nur so viele Halteabschnitte verwendet, wie benötigt werden. Ausserdem können die Halteabschnitte nacheinander so vom ergriffenen Materialblock entfernt werden, wie dieser durch das Abtrennen der einzelnen Materialscheiben kleiner wird. In a further development of the invention, it is provided that the holding device has a plurality of adjacent to the cutting direction of the wire saw holding sections, which attack individually on the block of material. In this way, easily different sized blocks of material can be taken, and it will be used only as many holding sections as needed. In addition, the holding sections can be successively removed from the material block taken as this is smaller by the separation of the individual material discs.

[0008] Bevorzugt weisen die Haltevorrichtung und die mehreren nebeneinanderliegenden Halteabschnitte Vakuumhaltevorrichtungen auf. Hierdurch wird ein schnelles Ergreifen und optimales Festhalten auch bei geringfügig unebenen Oberflächen der Werkstücke gewährleistet. Zudem üben Vakuumhaltevorrichtungen, im Gegensatz zu Klemm- und Spannvorrichtungen, keine oder nur geringe Verformungskräfte auf den Materialblock aus. Preferably, the holding device and the plurality of adjacent holding sections on vacuum holding devices. As a result, a quick gripping and optimum retention is guaranteed even with slightly uneven surfaces of the workpieces. In addition, vacuum holding devices, in contrast to clamping and clamping devices, exert little or no deformation forces on the block of material.

[0009] Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Halteabschnitte quer zur Schneidrichtung der Drahtsäge oder zur Laufrichtung der Sägedrähte nebeneinanderliegen. Somit kann nacheinander jeweils einer der Halteabschnitte vom Materialblock gelöst werden, bevor die Sägedrähte im Bereich dieses Halteabschnitts den Materialblock vollständig durchtrennen. Es wird also verhindert, dass die Drahtsäge in den Halteabschnitt sägt. In a preferred embodiment of the invention, it is provided that the holding portions are juxtaposed transversely to the cutting direction of the wire saw or to the running direction of the saw wires. Thus, one of the holding sections can be successively detached from the block of material before the saw wires completely cut through the material block in the region of this holding section. It is thus prevented that the wire saw saws into the holding section.

[0010] Mit Vorzug ist neben dem Materialblock und neben der Drahtsäge eine Entnahmevorrichtung für die Entnahme der jeweils hergestellten Materialscheibe vorgesehen. Mittels dieser Entnahmevorrichtung wird die jeweils nacheinander vom Materialblock abgetrennte, d.h. abgesägte Materialscheibe erfasst und abgeführt. Da der Materialblock aufgrund der Schrägstellung von Materialblock und Drahtsäge quer zur Schneidrichtung der Sägedrähte abgetragen wird, befindet sich die Entnahmevorrichtung neben der Drahtsäge. With preference, in addition to the block of material and in addition to the wire saw a removal device for the removal of each produced material disc is provided. By means of this removal device, the respective one after the other separated from the block of material, i. sawed-off material disc detected and removed. Since the material block is removed transversely to the cutting direction of the saw wires due to the skewing of block of material and wire saw, the removal device is located next to the wire saw.

[0011] Mit Vorzug weist die Entnahmevorrichtung eine Vakuumspanneinrichtung für die nebeneinanderliegenden Halteabschnitte auf. Vakuumgreif- und -spanneinrichtungen haben den wesentlichen Vorteil, dass sie die jeweilige Materialscheibe ohne Verformung und sehr schnell ergreifen können. Ausserdem kann die jeweilige Materialscheibe positionsgenau abgelegt werden. With preference, the removal device has a vacuum clamping device for the adjacent holding sections. Vacuum gripping and clamping devices have the significant advantage that they can grasp the respective material disc without deformation and very quickly. In addition, the respective material disc can be stored with exact position.

[0012] Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist vorgesehen, dass die Drahtsäge zwei Walzen aufweist, die achsparallel nebeneinanderliegen und über welche die Sägedrähte gespannt sind. Dabei können die Walzen einen kreiszylinderförmigen oder kreiskegelstumpfförmigen Mantel besitzen. Über die durch die Sägedrähte aufgespannte Ebene des Sägegitters, d.h. die Schnittebene, wird der Materialblock allmählich in Scheiben zerteilt, so dass die Materialscheiben an einer Seite des Blocks beginnend einzeln anfallen. In one embodiment of the invention it is provided that the wire saw has two rollers which are juxtaposed axially parallel and over which the saw wires are stretched. The rollers may have a circular cylindrical or circular frustum-shaped jacket. Over the plane of the saw grille, spanned by the saw wires, i. the cutting plane, the block of material is gradually cut into slices so that the slices of material begin on one side of the block starting individually.

[0013] Bei einer anderen Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Drehachsen der Walzen parallel zur zu durchtrennenden Materialebene des Materialblocks oder zu dessen Halteebene liegen. Um die Ebene des Sägegitters schräg zu stellen, sind vor und hinter dem Materialblock Führungsrollen für die Sägedrähte vorgesehen. Die Achsen der Führungsrollen sind gegenüber den Achsen der Walzen geneigt. Dabei tauchen die Führungsrollen mehr oder weniger weit zwischen die Walzen ein. In another embodiment, it is provided that the axes of rotation of the rollers are parallel to the material to be cut through the material block or its holding plane. To skew the plane of the saw grid, guide rollers for the saw wires are provided in front of and behind the material block. The axes of the guide rollers are inclined relative to the axes of the rollers. The guide rollers dive more or less between the rollers.

[0014] Vorteilhaft ist die Lage der Ebene des Sägegitters bezüglich der Lage der zu durchtrennenden Materialebene des Materialblocks mittels der Führungsrollen einstellbar. D.h., es sind der Abstand des Sägegitters vom Materialblock und der Neigungswinkel des Sägegitters einstellbar. Advantageously, the position of the plane of the saw grate with respect to the position of the material to be cut through the material block by means of the guide rollers is adjustable. That is, the distance of the saw grating from the material block and the inclination angle of the saw grating are adjustable.

[0015] Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sehen vor, dass eine den Materialblock in Richtung auf die Drahtsäge zustellende Zuführvorrichtung vorgesehen ist, deren Zuführrichtung orthogonal zur Ebene des Sägegitters oder orthogonal zur von der Drahtsäge zu durchtrennenden Materialebene des Materialblocks ist. Der Materialblock wird also rechtwinklig oder leicht gekippt von der Zuführvorrichtung zugestellt. Preferred embodiments of the invention provide that the material block in the direction of the wire saw delivering feeder is provided, the feed direction is orthogonal to the plane of the saw grating or orthogonal to be separated by the wire saw material plane of the material block. The block of material is thus delivered at right angles or slightly tilted by the feeder.

[0016] Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen sowie der nachfolgenden Beschreibung, in der unter Bezugnahme auf die Zeichnung drei besonders bevorzugte Ausführungsbeispiele im Einzelnen beschrieben sind. Further advantages, features and details of the invention will become apparent from the dependent claims and the following description in which three particularly preferred embodiments are described in detail with reference to the drawing.

[0017] In der Zeichnung zeigen: <tb>Fig. 1<SEP>eine perspektivische Ansicht eines sich oberhalb einer Drahtsäge befindenden Materialblocks; <tb>Fig. 2<SEP>die Ansicht des Materialblocks gemäss Fig. 1 , wobei der Materialblock teilweise in die Drahtsäge eingetaucht ist; <tb>Fig. 3<SEP>die Ansicht des Materialblocks gemäss Fig. 2 , wobei eine Seite des Materialblocks nahezu vollständig durchtrennt ist; <tb>Fig. 4<SEP>die Ansicht des Materialblocks gemäss Fig. 3 , wobei ein Halteabschnitt der Haltevorrichtung abgehoben ist; <tb>Fig. 5<SEP>die Ansicht des Materialblocks gemäss Fig. 4 , wobei eine abgetrennte Materialscheibe entfernt worden ist; <tb>Fig. 6<SEP>eine zweite Ausführungsform der Erfindung mit kreiskegelstumpfförmigen Walzen für die Drahtsäge; und <tb>Fig. 7<SEP>eine dritte Ausführungsform der Erfindung mit Führungsrollen für die Sägedrähte der Drahtsäge.In the drawing: <Tb> FIG. 1 <SEP> is a perspective view of a block of material located above a wire saw; <Tb> FIG. 2 <SEP> the view of the material block according to FIG. 1, wherein the material block is partially immersed in the wire saw; <Tb> FIG. 3 <SEP> the view of the material block according to FIG. 2, wherein one side of the material block is almost completely severed; <Tb> FIG. 4 <SEP> the view of the material block according to FIG. 3, wherein a holding section of the holding device is lifted off; <Tb> FIG. FIG. 5 shows the view of the material block according to FIG. 4, with a cut-off material disc having been removed; FIG. <Tb> FIG. 6 <SEP> a second embodiment of the invention with circular frusto-conical rolls for the wire saw; and <Tb> FIG. 7 <SEP> a third embodiment of the invention with guide rollers for the saw wires of the wire saw.

[0018] Die Fig. 1 zeigt einen Materialblock 10, z.B. einen Siliziumblock, der mittels einer Haltevorrichtung 12 festgehalten wird. Die Haltevorrichtung 12 ist Teil einer (nicht dargestellten) Zustellvorrichtung, die den Materialblock 10 in Richtung des Pfeils 14 auf ein Sägegitter 16 einer Drahtsäge 18 zustellt. Die Haltevorrichtung 12 weist mehrere, in der Zeichnung insgesamt vier Halteabschnitte 20 auf, die nebeneinander angeordnet sind und den Materialblock 10 an dessen Oberseite und an einer Stirnseite 8 ergreifen. Es ist in den Fig. 1 bis 5 erkennbar, dass der Materialblock 10 von der Haltevorrichtung 12 derart geneigt zur Ebene 22 des Sägegitters 16 gehalten wird, dass dessen zu durchtrennende Unterseite als Materialebene 24 oder dessen Halteebene 26 einen Winkel 28 zur Ebene 22 des Sägegitters 16 einschliesst, der grösser 0° und insbesondere 5° ist. Fig. 1 shows a block of material 10, e.g. a silicon block, which is held by means of a holding device 12. The holding device 12 is part of a feed device (not shown) which delivers the material block 10 in the direction of the arrow 14 to a saw grate 16 of a wire saw 18. The holding device 12 has a plurality of, in the drawing, a total of four holding portions 20, which are arranged side by side and take the block of material 10 at the top and on an end face 8. It can be seen in FIGS. 1 to 5 that the material block 10 is held by the holding device 12 so inclined to the plane 22 of the saw grate 16, that its underside to be cut as the material plane 24 or its holding plane 26 an angle 28 to the plane 22 of the saw grating 16 which is greater than 0 ° and in particular 5 °.

[0019] Die Drahtsäge 18 weist zwei Walzen 30 auf, über welche die einzelnen, das Sägegitter 16 bildenden Sägedrähte 32 gespannt sind. Die Achsen der Walzen 30 liegen parallel zur Ebene des Sägegitters 16. The wire saw 18 has two rollers 30, over which the individual, the saw grating 16 forming saw wires 32 are stretched. The axes of the rollers 30 are parallel to the plane of the saw grating 16.

[0020] In der Darstellung der Fig. 2 ist der Materialblock 10 teilweise in das Sägegitter 16 eingetaucht und die Sägedrähte 32 haben begonnen, den Materialblock 10 in einzelne Materialscheiben 34 aufzuteilen. Diese Aufteilung beginnt an der Stelle, an der der Materialblock 10 zuerst in das Sägegitter 16 eintaucht. Durch weiteren Vorschub in Richtung des Pfeils 14 tauchen immer mehr Sägedrähte 32 in den Materialblock 10 ein. In the illustration of FIG. 2, the block of material 10 is partially immersed in the saw grid 16 and the saw wires 32 have begun to divide the block of material 10 into individual sheets of material 34. This division begins at the point at which the material block 10 first dips into the saw grid 16. By further feed in the direction of the arrow 14 more and more sawing wires 32 dive into the block of material 10.

[0021] In der Darstellung der Fig. 3 ist das Ende 36 des Materialblocks 10, das der vom Halteabschnitt 20 gehaltenen Stirnseite 8 gegenüberliegt, nahezu vollständig durchtrennt, wohingegen der vom Halteabschnitt 20 gehaltene Bereich der Stirnseite 8 nur teilweise durchtrennt ist. Das Ende 36 liegt nun unmittelbar neben einer Entnahmevorrichtung 38, die als Vakuumspanneinrichtung 40 ausgebildet ist. Weiterer Vorschub des Materialblocks 10 in Richtung des Pfeils 14 bewirkt, dass die erste Materialscheibe 42 vom Materialblock 10 vollständig abgetrennt wird. Um die Haltevorrichtung 12 nicht durch die den Materialblock 10 durchdringenden Sägedrähte 32 zu beschädigen, wird der dem Ende 36 benachbarte Halteabschnitt 20 vom Materialblock 10 gelöst und abgehoben (Pfeil 44), was in Fig. 4 dargestellt ist. Die einzelnen nebeneinanderliegenden hergestellten Materialscheiben 42 können nunmehr von der Vakuumspanneinrichtung 40 ergriffen, abgesenkt (Pfeil 46) und dadurch vom Sägegitter 16 entfernt und vom Rest des Materialblocks 10 abgenommen und aus der Drahtsäge 18 heraustransportiert (Pfeil 48) werden, was in Fig. 5 dargestellt ist. Nach dem Abheben des letzten, die Oberseite des Materialblocks 10 haltenden Halteabschnitts 20, wird der Rest des Materialblocks 10 noch vom an der Stirnseite 8 angreifenden Halteabschnitt 20 gehalten. In the illustration of FIG. 3, the end 36 of the material block 10, which is opposite to the end portion 8 held by the holding portion 20, almost completely severed, whereas the area held by the holding portion 20 of the end face 8 is only partially severed. The end 36 is now located directly next to a removal device 38, which is designed as a vacuum clamping device 40. Further advancement of the material block 10 in the direction of the arrow 14 causes the first material disk 42 is completely separated from the material block 10. In order not to damage the holding device 12 by the sawing wires 32 penetrating the material block 10, the holding section 20 adjacent to the end 36 is released from the material block 10 and lifted off (arrow 44), which is illustrated in FIG. 4. The individual juxtaposed material discs 42 may now be gripped, lowered (arrow 46) by the vacuum chuck 40 and thereby removed from the saw grid 16 and removed from the remainder of the material block 10 and transported out of the wire saw 18 (arrow 48), as shown in FIG is. After lifting off the last, holding the top of the block of material 10 holding portion 20, the rest of the block of material 10 is still held by the engaging on the end face 8 holding portion 20.

[0022] Alternativ kann der Materialblock 10 auch parallel zu seinen Seitenkanten in Richtung des Pfeils 14 transportiert werden. In diesem Fall ist die Drahtsäge 18 und somit die Ebene des Sägegitters 16 gekippt oder schräggestellt. Nach wie vor schliessen die Ebene des Sägegitters 16 und die zu durchtrennende Materialebene 24 oder die Halteebene 26 des Materialblocks 10 einen Winkel 28 ein, der grösser 0° ist. Alternatively, the block of material 10 can also be transported parallel to its side edges in the direction of the arrow 14. In this case, the wire saw 18 and thus the plane of the saw grating 16 is tilted or inclined. As before, the plane of the saw grating 16 and the material plane 24 to be cut through or the holding plane 26 of the material block 10 enclose an angle 28 which is greater than 0 °.

[0023] Beim in der Fig. 6 dargestellten Ausführungsbeispiel der Erfindung liegen der Materialblock 10 und die Achsen der Walzen 30 parallel zueinander. Die Walzen 30 sind jedoch nicht, wie beim Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 5 , kreiszylinderförmig sondern kreiskegelstumpfförmig ausgebildet. Die Umlaufgeschwindigkeiten der einzelnen Sägedrähte 32 sind in diesem Fall nicht gleich. Die Ebene des Sägegitters 16 und die zu durchtrennende Materialebene 24 oder die Halteebene 26 des Materialblocks 10 schliessen aber wiederum einen Winkel 28 ein, der grösser 0° ist. Der Abtransport der Materialscheiben 42 erfolgt wie beim Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 5 . In the embodiment of the invention shown in FIG. 6, the material block 10 and the axes of the rollers 30 are parallel to each other. However, the rollers 30 are not, as in the embodiment of FIGS. 1 to 5, circular cylindrical but circular frustum-shaped. The rotational speeds of the individual saw wires 32 are not the same in this case. The plane of the saw grating 16 and the material plane 24 or the holding plane 26 of the material block 10 to be cut, however, in turn enclose an angle 28 which is greater than 0 °. The removal of the material disks 42 takes place as in the embodiment of FIGS. 1 to 5.

[0024] Beim in der Fig. 7 dargestellten Ausführungsbeispiel der Erfindung liegen der Materialblock 10 und die Achsen der Walzen 30 ebenfalls parallel zueinander. Die Walzen 30 sind, wie beim Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 5 , kreiszylinderförmig ausgebildet. Zwischen dem Materialblock 10 und den Walzen 30 befinden sich nunmehr Führungsrollen 50, die auf das Sägegitter 16 drücken und dieses auslenken. Zwischen den beiden Führungsrollen 50 weist die Ebene des Sägegitters 16 einen Winkel 28 auf, der von 0° verschieden ist. Dieser Winkel 28 kann durch die Schrägstellung der Führungsrollen 50 eingestellt werden. In the embodiment of the invention shown in FIG. 7, the material block 10 and the axes of the rollers 30 are also parallel to each other. The rollers 30 are, as in the embodiment of FIGS. 1 to 5, circular cylindrical. Between the block of material 10 and the rollers 30 are now guide rollers 50 which press on the saw grid 16 and deflect this. Between the two guide rollers 50, the plane of the saw grating 16 at an angle 28 which is different from 0 °. This angle 28 can be adjusted by the inclination of the guide rollers 50.

[0025] Als wesentlicher Vorteil der Erfindung wird angesehen, dass die Materialscheiben 42 wesentlich schonender behandelt werden und dass sie bei der Herstellung bereits vereinzelt werden. Es entfällt ein Klebe- und Entklebeprozess für den Materialblock 10, und der Aufteilprozess kann vollautomatisiert werden. Ausserdem ist die erfindungsgemässe Vorrichtung in bestehende Maschinen integrierbar. As a significant advantage of the invention is considered that the material discs 42 are treated much gentler and that they are already isolated in the production. It eliminates a bonding and de-bonding process for the material block 10, and the partitioning process can be fully automated. In addition, the device according to the invention can be integrated into existing machines.

[0026] Der Vorteil der alternativen Ausführungsform zu den Fig. 1 und 5 mit parallel zu seinen Seitenkanten in Richtung des Pfeils 14 transportiertem Materialblock 10 sowie der Ausführungsformen der Fig. 6 und 7 besteht darin, dass beim Zerteilen des Materialblockes 10 keine unbrauchbaren, keilförmigen Anschnitte entstehen. The advantage of the alternative embodiment to Figs. 1 and 5 with parallel to its side edges in the direction of arrow 14 transported material block 10 and the embodiments of FIGS. 6 and 7 is that when dividing the block of material 10 is not useless, wedge-shaped Gates arise.

Claims

1. A device for producing material disks (42) from a material block (10), with a holding device (12) for a material block (10), in particular a silicon block, and with a wire saw (18), which a plurality of parallel juxtaposed, a saw grid ( 16) spanning saw wires (32), characterized in that the plane (22) of the saw grating (16) and of the wire saw (18) to be cut underside (24) of the material block (10) has a different angle from 0 ° (28 ) in such a way that the material block (10) is cut obliquely and the material discs (42) are obtained one after the other, wherein the holding device (12) has a plurality of transverse to the cutting direction of the wire saw (18) adjacent holding portions (20) which individually on the material block ( 10) attack.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the plurality of adjacent holding portions (20) are vacuum holding devices (40).

3. Device according to one of the preceding claims, characterized in that in the direction transverse to the cutting direction of the wire saw (18) adjacent to the material block (10) and in the direction transverse to the cutting direction of the wire saw (18) in addition to the wire saw (18) has a removal device (38 ) is provided for the produced material discs (42).

4. Apparatus according to claim 3, characterized in that the removal device (38) in the alignment of the juxtaposed produced material discs (42).

5. Apparatus according to claim 3 or 4, characterized in that the removal device (38) comprises a vacuum clamping device (40) for the removal of the respective produced material disc (42).

6. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the wire saw (18) has two rollers (30), which lie next to each other axially parallel and over which the saw wires (32) are stretched.

7. Apparatus according to claim 6, characterized in that the rollers (30) have a circular cylindrical or circular truncated cone-shaped jacket.

8. Apparatus according to claim 6 or 7, characterized in that the axes of rotation of the rollers (30) parallel to the underside to be cut (24) of the material block (10).

9. Device according to one of the preceding claims, characterized in that in relation to the cutting direction of the wire saw (18) in front of and behind the material block (10) guide rollers (50) for the saw wires (32) are provided.

10. The device according to claim 9, characterized in that by means of the guide rollers (50) the position of the plane of the saw grate (16) with respect to the position of the underside to be cut (24) of the material block (10) is adjustable.

11. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the material block (10) in the direction of the wire saw (18) delivering delivery device is provided, the feed direction (14) orthogonal to the plane of the saw grating (16) or orthogonal to the Wire saw (18) to be cut bottom (24) of the material block (10).